JPS60136142U - 半導体基板の収納箱 - Google Patents
半導体基板の収納箱Info
- Publication number
- JPS60136142U JPS60136142U JP2272484U JP2272484U JPS60136142U JP S60136142 U JPS60136142 U JP S60136142U JP 2272484 U JP2272484 U JP 2272484U JP 2272484 U JP2272484 U JP 2272484U JP S60136142 U JPS60136142 U JP S60136142U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage box
- semiconductor substrate
- substrate storage
- semiconductor substrates
- entrance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はキャリアを示す斜視図、第２図は従来技術を示
す断面図、第３図は本考案の実施例を示す断面図である
。 なお、図において、１・・・・・・半導体基板収納箱、
２・・・・・・案内羽根、３・・・・・・半導体基板、
である。
す断面図、第３図は本考案の実施例を示す断面図である
。 なお、図において、１・・・・・・半導体基板収納箱、
２・・・・・・案内羽根、３・・・・・・半導体基板、
である。
Claims (1)
- 案内羽根の長さを入口では長く収納部では短かくし、収
納状態で半導体基板と半導体基板の収納箱との接触部分
を少なくしたことを特徴とする半導体基板の収納箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2272484U JPS60136142U (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 半導体基板の収納箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2272484U JPS60136142U (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 半導体基板の収納箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136142U true JPS60136142U (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=30515287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2272484U Pending JPS60136142U (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 半導体基板の収納箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136142U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61146948U (ja) * | 1985-03-04 | 1986-09-10 |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP2272484U patent/JPS60136142U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61146948U (ja) * | 1985-03-04 | 1986-09-10 |
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