JPS60136135U - 半導体製造装置のボ−ト搬送装置 - Google Patents

半導体製造装置のボ−ト搬送装置

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JPS60136135U
JPS60136135U JP2259984U JP2259984U JPS60136135U JP S60136135 U JPS60136135 U JP S60136135U JP 2259984 U JP2259984 U JP 2259984U JP 2259984 U JP2259984 U JP 2259984U JP S60136135 U JPS60136135 U JP S60136135U
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JP
Japan
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door
semiconductor manufacturing
tilting member
cylinder
manufacturing equipment
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JP2259984U
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Inventor
茂 武田
古門　竜彦
Original Assignee
株式会社日立国際電気
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１　図ａ〜ｄは従来のソフトランディング方式のボー
ト搬送装置の一例の構成と作用を説明するための説明用
断面図、第２図ａ、ｂは従来のカンテイレバ一方式のボ
ート搬送装置の一例の構成と作用を説明するための説明
用１所面図、第３図は本考案によるボート搬送装置の第
１実施例の構成を示す断面図、第４図ａ〜Ｃは同じくそ
の作用を説明するための説明用断面図、第５図ａは第２
実施例の一部の断面図、第５図すは第３実施例の一部の
斜視図である。 １・・・反応管、２・・・ボート、３・・・ウェーハ、
４・・・炉口フランジ、５・・・炉口０リング、７・・
・炉口ドア、８・・・カンテイレバー、９・・・ガイド
レール、１０・・・ガイドレール固定部、１２・・・移
動本体、１３・・・ドア予圧スプリング（弾性材）、１
４・・・ベローまたはダイヤフラム（伸縮自在継手）、
１７・・・傾動部材、１８・・・水平軸、１９・・・一
端密閉形（円）筒体、２０ａ、２０ｂ・・・カンテイレ
バー支持材、２１・・・カンテイレバー保持スプリング
（弾性材）、２２・・・ドア支持スプリング（弾性材）
、２３・・・台座、２４・・・ドア支持兼ドア予圧弾性
材。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）前後動せしめられる移動本体１２にカンテイレバ
    ー８の基部を支持し、このカンテイレバー８の基部側に
    炉口ドア７を備え、反応管１へのカンテイレバー８の挿
    入、引き出しにより炉口ドア７の開閉とカン４イレバー
    ８の先端部に載置したボート２の搬入、搬出を行う半導
    体製造装置のボート搬送装置において、前記移動本体１
    ２に傾動部材１７の下端基部を水平軸１８により枢支し
    、この傾動部材１７に一端密閉形筒体１９を水平に設け
    、この一端密閉形筒体１９の内面に前記カンテイレバー
    ８の基部を支持し、傾動部材１７の外周には前記炉口ド
    ア７を嵌合させ、炉口ドア７と一端密閉形筒体１９の外
    周との間を伸縮自在継手１４で連結すると共に、炉口ド
    ア７と一端密閉形筒体１９または傾動部材１７との間に
    ドア支持とドア予圧を行う弾性材を挿設してなる半導体
    製造装置のボート搬送装置。
  2. （２）炉口ドア７と一端密閉形筒体１９または傾動部材
    １７との間に挿設したドア支持とドア予圧を行う弾性材
    は、ドア支持弾性材２２とドア予圧弾性材１３またはド
    ア支持兼予圧弾性材２４である実用新案登録請求の範囲
    第１項記載の半導体製造装置のボート搬送装置。
JP2259984U 1984-02-20 1984-02-20 半導体製造装置のボ−ト搬送装置 Granted JPS60136135U (ja)

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JPS60136135U true JPS60136135U (ja) 1985-09-10
JPH0124926Y2 JPH0124926Y2 (ja) 1989-07-27

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JPH0124926Y2 (ja) 1989-07-27

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