JPS60133514A - 薄膜磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は薄ＩＩ！ｉ！磁気ヘッドの製造方法に係り、さ
らに詳しくは基板上に磁性膜を薄膜堆積法により形成し
た薄膜磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

［従来技術］ 薄膜磁気ヘッドは基板上にフォトリングラフィ技術及び
薄膜堆積法を用いて磁気回路や電極等を形成したもので
、駆動周波数を高くでき、従来の磁気コアと巻線から成
るバルクタイプの磁気ヘッドに比較して、小型化、高密
度化が容易であるため、実用化に対する研究が盛んに行
われている。

また、垂直磁気記録用の磁気へ・ノドのマルチトラック
化に対しても薄膜磁気ヘッドが有効であり、このマルチ
トラック化により同時に多くの情報を記録、再生するこ
とが可能となる。

ところで、このような利点を有する薄膜磁気ヘッドの製
造を考えてみると前工程においてはフォトリングラフィ
の技術と薄１１り堆積法により可視光の範囲内での高精
度の加工を行うことができるが、後工程においては磁気
記録媒体摺動面（以下摺動面と略称する）の研削加工を
行わなければならない。

この研削加工は機械加工でありフォトリングラフィ技術
などに比較して高精度を実現することが困難である。

この機械加工による摺動面の研削は基板の端面から所定
長さだけ行われ薄膜磁気ヘッドが要求される特性を保持
することができるだけの摩耗量を残して摺動面が仕上げ
られる。

この期待される特性を保持することができる摩耗量を寿
命寸法と呼ぶが、この寸法はギャップ深さに等しい。

ところが、前述したように摺動面の加工は機械加工であ
−り高精度を保持することが困難であり、寿命寸法を正
確に出すことが困難である。

さらに悪いことには前工程で高精度に形成されたヘッド
パターンは不透明なカバーで覆われているため内部が見
えないことが普通である。

このため、通常は寿命寸法を表示するマークを従って、
実際に管理する寸法とは異なるマークの寸法を基準に寿
命寸法を加工することになり寿命寸法の管理はさらに困
難となる。

このような欠点を解消しようとしてヘッド力、バーを透
明にし研削位置が見えるようにしても研削中に研削量を
確認するため、直接９間接にヘッドパターン位置を顕微
鏡で確認することが必要で研削をたびたび中断しなけれ
ばならず極めて能率が悪かった。

［目　的］ 本発明は以上のような従来の欠点を除去するために成さ
れたもので、極めて高精度で、かつ自動的に寿命寸法を
出すことができるように構成した薄膜磁気ヘッドの製造
方法を提供することを目的としている。

［実施例］ 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図及び第２図は本発明の一実施例を説明するもので
、図において符号１で示すものは基板で、本実施例の場
合には基板１を磁気回路の一部を構成する下部磁性層と
して利用しているため、Ｍ　ｎ　Ｚ　ｎフェライトなど
の磁性材を用いている。

この磁性層１上には絶縁層２を介してコイル３が形成さ
れている。

そして、隣接するコイル間は寿命寸法を決定する短絡パ
ターン４によって連結されている。

また、コイル３の巻終り端３ａ、３ａ間には導通針７が
接続される。

また、コイル３上には絶縁層２を介して上部磁性層５が
形成しである。

前述した短絡パターン４は水平に配置されており、この
短絡パターン４からコイル３側への所定圧９１　Ｌ　ｔ
が寿命寸法である。

このように隣接するコイル間を短絡パターン４によって
連結し、しかもこの短絡パターン４の位１１週を寿命寸
法を決定するだめの基準としであるため第１図、第２図
に符号６で示す矢、印方向から摺動面側の研削を行い、
短絡パターン４が切断されると導通針７がこれを直ちに
検出し、目的とする量の研削が完了し、寿命寸法が正確
に出されたことがわかる。

すなわち、寿命寸法が自動的に、かつ正確に検出でき、
生産性が著しく向上する。

尚、上述した実施例にあっては２トラツクのヘッドとし
て例示したが２トラック以−にのマルチトラックに全て
適用することができる。

また、」上述した実施例にあっては下部磁性層を基板に
よって構成した例を示したが、基板」二に別個に下部磁
性層を形成した構造を採用した薄膜磁気ヘッドにも適用
できることは勿論である。

さらに、上述したような方法を採用すると２チヤンネル
ビデオ帯域ヘツドのような精富加玉を必要とし、寿命寸
法がヘッドの特性に直接関係する薄膜磁気ヘッドには極
めて有効である。

［効果］ 接するコイル間を短絡パターンにより連結し、しかもこ
の短絡パターンを寿命寸法決定位置に配置すると共に隣
接するコイル間に導通針を配布し摺動面研削時に前記導
通パターンを切断する位置まで研削を進め、導通パター
ン切断時を導通針により検出し、摺動面加工を終了させ
る方法を採用しているため、研削終了が電気的に判定可
能で自動研削ができ生産性を著しく向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を説明するもので、第１図は平面
図、第２図は縦断側面図である。 １・・・基板　２・・・絶縁層 ３・・・コイル　４・・・短絡パターン５・・・上部磁
性層　７・・・導通針 Ｌｆ・・・寿命寸法 第１ｕ 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に２個以」二のヘッドパターンを薄膜堆積
   法により形成する際に隣接するヘッドパーターンのコイ
   ル間を連結する短絡パターンを形成し、この短絡パター
   ンをキャップ深さである寿命寸法決定位置に配置し、磁
   気記録媒体摺動面加工時に前記短絡パターンを切断する
   位置まで加工することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製
   造方法。
2. （２）短絡パターンの切断は隣接するコイル間に接続し
   た導通針により検出することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の薄膜磁気へ、ノドの製造方法。