JPS60125378A - 化学銅めつき液 - Google Patents

化学銅めつき液

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JPS60125378A
JPS60125378A JP23359983A JP23359983A JPS60125378A JP S60125378 A JPS60125378 A JP S60125378A JP 23359983 A JP23359983 A JP 23359983A JP 23359983 A JP23359983 A JP 23359983A JP S60125378 A JPS60125378 A JP S60125378A
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JP
Japan
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plating
plating solution
copper plating
chemical copper
ions
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JP23359983A
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English (en)
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Hiroshi Kikuchi
廣 菊池
Akira Tomizawa
明 富沢
Hitoshi Oka
岡 齊
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Priority to KR1019840003557A priority patent/KR890002654B1/ko
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は金鵬銅を化学的に還元して析出される化学鋼め
っき液において、大きな引張り強さのめつき皮膜を安定
に得る化学銅めっき液に関する。
〔発明の背景〕 化学銅めっきでプリント板の回路を形成するプリント板
の製造方法で鉱、部品のハンダ付けに際して、熱衝激に
耐える化学銅めっき皮膜でスルーホールを形成する必要
がある。このためには、めっき皮膜の機械的性質として
伸びの大きさのみならず、引張り強さの大きいこと(高
強度)が望ましい。従来技術は、極めて限定された低濃
度St化合物の添加を必須条件としているため、81等
の不純物を含肩する安価な工業薬品を用いることかでき
す、高純度薬品の使用において初めて高強度皮膜を得る
ことができるものであった。また、工業的規模の大きさ
のめつき檜においては化学銅めつきの最大の安定剤であ
る溶存酸素の濃度が液全体に均一にならず酸素濃度の低
い部分では高強度のめっき皮膜を得ることができず、実
生産上大きな障碍であった。
以下、上記欠点を詳しく述べると次の通りである。
例えば、特開昭54−19430に記載の方法は、めつ
き液に水溶性ケイ素化合物を添加して高強度皮膜を得る
方法であるが、めっき液への水溶性化合物の添加量をS
iとして0.08〜1.7 ミリモル/lの低濃度とす
ることが必須条件でめった。しかしながら、工業的には
化学鋼めつき液は数1000を規模で用いられるため、
純度は低いが安価な工業薬品が用いられ、めっきの繰り
返しに応じてめっきの消費成分が補給されるが、めっき
液を調整した薬品に加 ゛えてこの補給薬品中のケイ素
含有不純物がめつき液中に遂次蓄積し、めっき液中のS
tB度は容易にケイ素化合物の最適添加濃度(Stとし
て0.07〜1.7ミリモル/2)を越えてしまうため
、めっき皮膜が跪くな9実用には供し得なかった。
すなわち、上記の従来技術は高純度薬品の使用のもとに
初めて達成されるものであって、化学銅めっきが工業的
価値を発揮するには、上記したように成る程度不純物を
含んでいるが安価な工業薬品の使用のもとに、フェノー
ル樹脂、エポキシ樹脂、又はポリイミド樹脂などから成
るプリント板材料の表面に回路状に約35μmの厚さで
めっきされるものでなければならない。
しかしながら、上記樹脂などから成る被めっき物は、一
般的な化学銅めっき、条件でおる温度約70℃、pH約
12の高温、高アルカリ水溶液中に12〜35時間浸漬
されるため、上記側、脂の一部はめっき液に溶解し、溶
解物は上記めっき液の添加物の作用効果を低減してしま
うため、めっき負荷によってはめつき初期より所望のめ
つき皮膜の特性が得られなかった。また、めっき負荷を
調節して注意深くめつきしても、上記樹脂基板のメーカ
や製造ロットごとによる微妙な品質差によって樹脂溶解
量が変動して、突然めっき皮膜の特性が低し、管理不能
となり多大の工業的障碍であった。
さらに、次に述べる重大な問題があった。
すなわち、化学銅めっきの最大の安定剤は酸素であり、
通常、化学銅めっきL液毛空気で激しく撹拌することに
よって達成される。この理由は明確ではないが、めっき
反応で生じる1価銅イオン中間体(めっき液分解の核と
なるもので酸化第1銅を生ずる)を2価銅イオンへ酸化
するためと考えられる。従って化学銅めっきの皮膜強度
はめつき液中の溶存酸素濃度(最大3 ppm溶解する
)に影響されるのである。化学銅めっきは工業的にはi
 1000〜10000 tの大規模で用いられるので
、めっき液に十分空気を吹込んでも液全体に均一に酸素
が行きわたらず、酸素濃度が不足する部分では強度の大
きいめっき皮膜を得ることが出来ず、その結果、製品の
品質が低下するという生産上の大きな障害があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は引張シ強さの大きい化学銅めっき皮膜を
高安定に得ることのできる長寿命化学銅めっき液を提供
することにある。
〔発明の概要〕
本発明の目的を達成するために、2価の銅イオン、2価
銅イオンの錯化剤、還元剤+pHpH削節剤価銅イオン
の錯化剤、ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤を
必須成分として含んで成る化学銅めっき液において、8
1.Ge、もしくは■から選ばれた元素を含む化合物と
陽イオン界面活性剤を併合添加することにより、プリン
ト板樹脂が液中に溶解しても高安定に皮膜の引張り強さ
を得る化学銅めっき液を得た。
以上が本発明の概要であるが、本発明を具体化する場合
の可能な実施の態様について以下付記説明する。すなわ
ち、本発明で採用し得る化学めっき液をより具体的に説
明する。
一般に、化学銅めっき液とは2価の銅イオン。
2価銅イオンの錯化剤、還元剤apHpH調節剤側1価
銅イオ銀化剤、およびポリオキシエチレン系非イオン界
面活性剤を必須成分として含んで成るもので、化学的に
金属鋼を還元析出するものである。
と\で、2価銅イオンは硫酸銅、ギ酸銅、塩化銅などで
代表される水溶注鋼塩よシ供給されるもので、主として
経済的理由によって硫酸銅が用いられる。2価銅イオン
の錯化剤はアルカリ水溶液中で、2価銅イオンの沈澱を
防止するために用いられるもので、エチレンジアミン四
酢酸(KDTA) 。
ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレン
トリアミン五酢酸、イミノニ酢酸、イミノ二酢酸ニトリ
ロ三酢酸などで代表されるポリアミノカルボン酸もしく
はそれらのアルカリ金^塩が用いられるが、主として経
済的理由によってEDTAのナトvクム塩が用いられる
。還元剤は錆化した2価銅イオンを金属銅に還元するも
ので、ホルムアルデヒドもしくはホルムアルデヒド水溶
液であるホルマリン、パラホルムアルデヒドで代表され
るホルムアルデヒド重合物、ホウ素化水素化合物。
ヒドラジンなどが用いられるが、これも経済的理由によ
ってホルマリンが用いられる。pH調節剤は液のpHを
適当な値に保つためのもので、アルカリ金属の水酸化物
ならばよく普通、安価な水酸化ナトリウムが用いられる
。1価銅イオンの錯化剤はめつき中の副生成物である酸
化第1銅を溶解するもので、シアン化合物、α、α′−
ジピリジル、0−7エナントロリン、クプロイン、バン
クグロインなどで代表され、1価銅イオンを選択的に錯
化する錯化剤が用いられる。ポリオキシエチレン系非イ
オン界面活性剤はめつき液の安定剤でポリエチレングリ
コール、ポリエチレンオキサイド、ポリエチレン・ポリ
プロピレンのブロックポリマで代表サレるポリエチレン
オキシド基を含む化合物が用いられる。
本発明は上記した必須成分にSl 、 G@、もしくは
■から選はれた元素を合む化合物と陽イオン界面活性剤
を添加して成るものである。こ\で、Si 。
Ge 、もしくは■を含む化合物とは、オルトおよびJ
A&イリ+)、 II 117人 々イ豊搬伏−索去什
〃イ素などのケイ素化合物、酸化ゲルマニウム、ゲルマ
ニウム単体、水素化ゲルマニウムなどのゲルマニウム化
合物、酸化バナジウム、メタバナジン酸ナトリウムなど
のバナジウム化合物などのアルカリ性水溶液に溶解する
ものであればよい。さらに陽イオン界面活性剤は第1級
、第2級、第3級アルキルアミン塩もしくは第4級アン
モニウム塩。
エステルもしくはエーテルもしくFiアミド結合アミン
、ピリジニウム塩などを用いる仁とができる。
望ましくは、アルカリ水溶液中で分解することなく安定
な第4級のアルキルアミン塩の使用が好適である。
本発明のSl、Go、もしくはVを含む化合物と陽イオ
ン界面活性剤の併合使用によるめっき皮膜強度安定化の
相乗作用のメカニズムは明らかではないが以下のように
推察される。
すなわち、プリント板基材であるフェノール樹脂、エポ
キシ樹脂、ポリイミド樹脂などは、化学銅めっき液の高
温、高アルカリ水溶液中で加水分解することによってゆ
つくりと溶解する。恐らく、この溶解物は水酸基やカル
ボキシル基など負電荷を有するポリマと考えられる。こ
のポリマがめつき中の銅表面に強く吸着する結果、Si
、Ge、Vなどの化合物が有する銅結晶微細化(すなわ
ち、高強度化)の作用を減じるために、めっきの進行(
基材の溶解の進行)と共にめっき皮膜強度が低下するも
のと考えられる。
しかるに、正電荷を有する陽イオン界面活性剤が共存し
ていると、上記負電荷を有するポリマと正電荷を有する
陽イオン界面活性剤が結合する結果、非水溶性化合物と
なり、ポリマの銅表面に対する吸着力がなくなp 、−
8J−7Ge 、もしくは■化合物の吸着効果が発揮で
きることになって、めっき皮膜強度の安定化が生じるも
のと考えられる。または、St、Ge、もしくは■化合
物はアルカリ水溶液中でポリ陰イオンを生じるが、これ
と複数個の陽イオン界面活性剤とが結合して巨大分子を
形成して、上記の溶解物であるポリマの銅表面への吸糸
を防止する効果を有するのかも知れない。
さらに、大規模めつき槽中でのめつき液中の酸素濃度の
均一化に対する陽イオン界面活性剤の作用効果は次のよ
うに考えられる。めっき液中で陽イオン界面活性剤はポ
リオキシエチレン系非イオン界面活性剤と分子鎖を搦め
て結合するが、このような分子によって空気の気泡の液
中への分散性が向上し、陽イオン界面活性剤が酸素不足
時に生じる酸化第一銅のめつき皮膜への混入を防止する
などの作用効果が考えられる。
〔発明の実施例〕
以下に、本発明の具体的な実施例、ならびに比較例を示
し、さらに詳細に説明する。
まず、(比較例)、(実施例)での実験条件。
方法について説明すると以下のようである。
〔I〕化学銅めっき液組成 Cu8011’ 5H20・・・・・・・・・曲・・・
・・・・・・・・0.048モルEDTA −2N&・
・・・・・曲・・・・・曲・聞・・・0.11 モルN
aOH・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・四曲
曲・・・pHを12.2とする量37%ホルマリン・・
・・・川・曲・4ゴ(a) l 1ilh銅イオンの錯
化剤・・・・・・2 X 10−’〜10−’モル(b
)ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・5 X 1O
−6〜8×10 モル(cl Si 、 Geもしくa
v化合物・0−5 X 10−2モル(d)陽イオン界
面活性剤・・・・・・0〜1O−5モル水 ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・Itとする量[1)めっき条件 (1)めっき温度=70℃ (2)めっき負荷: 100 cm2/1(3)めっき
槽容量:50t [111]実験方法 プリント板基材の溶解によるめっき皮膜への影響をめる
実験のためには、エポキシ樹脂基板(厚さ1.6 m+
n 、両面銅箔なし)を用いて行なった。
すなわち、めっきを施し、めっき皮膜を採取するだめの
2テンレス・スチール板とエポキシ樹脂基板をそれぞれ
xoocm2/z めっき液に没頭し、ステンレス・ス
チール仮に化学銅めっきする間、エポキシ樹脂基板のめ
つき液への溶解を図った。厚さ35μmにめっき後、ス
テンレス・スチール板よりめっき皮膜を剥離し、1×1
06nの大きさに切断Wイa1龜i社齢抛fトリイ跳り
占±ub /7)−咄飴終質を測定した。なお、後述す
るめつき回数とは、めっき負荷100crn2/L の
条件で35μmの厚さにめっきする繰り返し回数を意味
する。
めっきの進行によって液中のめつき反応成分の濃度が減
少するが、これら成分濃度は成分濃度の自動分析と消費
成分の自動補給によって常時一定に保った。
以下、比較例1例、実施ψす6例について具体的に説明
する。
(比較例) 先づ、比較例として従来技術のようにSl、Ge。
もしくはV化合物は添加するが、陽イオン界面活性剤を
使用しない場合について述べる。
前記[1)に記した化学銅めっき液において、以下の成
分、濃度のものを用いた。
(a) 1価銅イオンの錯化剤 α、α′−ジピリジル: 3.5XlO−1モル(b)
ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤ポリエチレン
クリコールステアリルアミン: 1.1XIO−”モル
(e)R+ 、(2e t l−(h’ V イ]′ 
イモ物メタケイ酸ナトリウム: 3.5 X 10−5
モル(d)陽イオン界面活性剤 無添加 結果は第1表に示す通りで、エポキシを浸漬せずステン
レスやスチールのみの理想状態でめっきした場合(第1
表A)は、めっき回数を重ねても引張り強さ5Q ”!
’111112以上の高強度を得た。一方、エポキシ樹
脂基板を浸漬してめっきした場合(第1表B)は、めっ
き1回目より50に9/、、2以下となplめつき液へ
のエポキシ樹脂の溶解のため各種添加剤の効果が低減し
、著しく強肱が小さくなった。
A:めっキ液への浸漬はステンレススチールのみB:め
っき液への浸漬はステンレススチールとエポキシ樹脂基
板 なお、第1表Aの場合はめつき6回目に至ってめっきが
めつき槽壁へ析出し、高強度な皮膜が得られるもののめ
つき液が不安定な状態になった。一方第1表Bの場合は
めつき5回目に至ってめっきが停止した。
以上のように、第1表Aによればめっき初回からめつき
皮膜の引張り強さとして50に7.2を越える高強度な
ものを得ることができたが、本比較例と同様の組成のめ
つき液を用いて5000 を槽でめっき皮膜を採取した
ところ、めっき皮膜の引張り強さは35 KF/、+2
のものが出現した。
(実施例−1) 前記(比較例)で用いた化学鋼めっき液に陽イオン界面
活性剤として次のものを加えた。
(di陽イオン界面活性剤 ヘキサデシルトリメチルアンモニウムφプロミド(〔0
16H55N(CHう))〕Br : 1.4× 1O
−11モルエホキシ樹脂板を浸漬しつつステンレス・ス
チール上にめっきを10回行なった。その結果#′i第
2表に示すようにめっき10回目に至っても引張り強さ
として55に%−以上を得た。
第 2 表 さらに篤くべきことは、めっき初期においてωに9/n
2以上の引張り強さが得られ、皮膜は鏡面光沢を有しめ
っき10回目に至っても(比較例)第1表Aのようにめ
っき槽へのめつき析出が生じなかったことである。この
ことから、陽イオン界面活性剤の添加効果として、エポ
キシ樹脂のめつき液への溶解にもか\わらずめつき皮膜
の強度を長時間にわたって得られることは明白である。
また、500(lの大規模めっき槽においてもめつき初
回からめつき皮膜の引張り強さ50 ”7’tar 2
以上が得られることを確認した。
(実施例−2) 前記〔I〕に記した化学鋼めっき液において、以下の成
分、濃度のものを用いた。
(aJ 1価銅イオンの錯化剤 (比較例)と同じ (b)ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤(比較
例)と同じ (c) St 、 GeもしくはV化合物第3表の通シ (d)陽イオン界面活性剤 (実施例−1)と同じ エポキシ樹脂とステンレス・スチール板ヲ同時に浸漬し
て化学銅めっきし、初回よpめつき皮膜の引張り強さが
59 KV/、、2以上を得ためつき回数を81、Ge
、もしくはV各添加化合物の種類、添加量と対比して示
すと第3表の通りである。St化合物については、Si
濃度として0,2 ミ’)モル/を以下となると皮膜の
引張り強さがめつき初回から5QKVwM2以下となっ
た。また、10ミリモル/を以上の添加でめっき速度が
著しく低下しく0.2μm/ll以下)、めっき皮膜の
採取が事実上不能となった。
第 3 表 υ強さが50 KW/、ア2を越えためっき回E−:め
つき実施せず GeについてはStと同じ結果を得た。■についテij
: Sl 、 Goよpも有効添加量が低いが、0.0
01−1ミリモル/l の間で良い結果を得た。これら
化合物のめつき皮膜強度の向上理由は明らかでないが、
これらの元素が水溶液中T 5i2076″、 5i3
096−。
Ge02(OH)22− 、 V2O6(OH)5− 
fxどノポリ陰イオンを形成することが知られておpl
このポリ陰イオン゛と陽イオン界面活性剤の相乗効果に
よるものと考えられる。
(実施例−3) 前記[1]に記した化学銅めつ上液において以下の成分
、濃度のものを用いた。
(a) 1価銅イオンの錯化剤 (比較例)と同じ (b)ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤(比較
例)と同じ (c) St 、 GeもしくはV化合物メタケイ酸ナ
トリウム: 3.5 X 10−うモル(d)陽イオン
界面活性剤 第4表の曲り (実施例−2)と同様の方法により各種陽イオン界面活
性剤の種類と添加量に対し、めっき皮膜の引張り強さが
50Kg、、、2を越えるめっき回数を第4表に示し尼
。各陽イオン界面活性剤の添加において添加量が0.0
2 ミ!J モル/を以下となると、めっき皮膜の引張
9強さが50 ”7’wx2以下となり添加効果が低下
した。一方、添加片が1ミリモル/lを越えるとめつき
皮膜が黒色となシ、めっき皮膜が脆くなって引張り強さ
が50 KV/、、2以下となった。
第 4 表 轟l:ヘキサデシルトリメチルアンモニウムプロミド2
:ステアリルジメチルベンジルアンモニウムクロ2イド
3ニドデシルピリジニウムクロ2イド 4ニドデシルアミン酢酸塩 ヘキサデシルトリメチルアンモニウムプロミド。
ステアリルジメチルベンジルアンモニウムクロクイドな
どの第4級アンモニウム塩に属する陽イオン界面活性剤
の添加鉱著しくめつ含液の安定性とh命を向上する効果
を発揮した。一方、ドデシルピリジウムクロライドや第
1級アルキルアミン塩に属するドデシルアミン酢酸塩の
添加効果は第4戚アンモニウム塩より低い結果を得た。
この点に関しては、陽イオン界面活性剤ならば81.G
oもしくはV化合物との相乗効果によって、めっき皮膜
強度安定化の効果を持つが、めっき液が高温高アルカリ
状態であるため、陽イオン界面活性剤が加水分解し、ア
ルカリ水溶液中で分解する程度の差が、添加効果の差異
となって現われているものと考えられ′る。
(実施例−4) 前記CI)に記した化学銅めっき液において、以下の成
分、濃度のものを用いた。
(a)1価銅イオンの錯化剤 第5表の通り。
(b)ポリオキシエチレン系非イオン界面活性剤H(O
CH2CH2)15 NHC1gH57: 1.I X
 10−’ モ#(c) Si 、 GeもしくはV化
合物メタケイ酸ナトリウム:3.5XllJ モル(d
)陽イオン界面活性剤 [Cl6H55N(Cl5)5]Br : 1.4Xl
Oモル(実施例−2)と同様の方法によシ、1価銅イオ
ン錯化剤としてα、α′−ジピリジル、0−7エナント
ロリン、バンクプロインスルホン酸ナトリウムを選び、
81.GeもしくはV化合物と陽イオン界面活性剤のめ
つき皮膜強度に対する安定化効果を測定した。その結果
は第5表の通シで、α、α′−ジピリジルに関しては添
加濃度が0.03 ミリモル/を以下となると、めっき
がめつき槽壁に析出してめっき皮膜の採取が不能となっ
た。また、1ミリモル/L以上ではめつき速度が著しく
低下(0,1μm/h以下)したので、めっき皮膜の採
取ができなかった。
第一−5表 この最大最小の濃度範囲ではめつき皮膜高強度イしに著
しい安定性を示した。その他の1価銅イオン錯化剤につ
いても同様の傾向を示したー、有効添加濃度範囲は前記
α、α′−ジピリジルより、より低濃度側となった。こ
れらの差異は1価銅イオンと結合する安定度常数の大小
に関するものと考えられる。
(実施例−5) 前記CI]に記した化学銅めっき液において、以下の成
分、濃度のものを用いた。
(a)1価銅イオン錯化剤 αα′αジーリジル:3.5X10 モル(b)ポリオ
キシエチレン系非イオン界面活性剤第6表の通り (c)Si 、 GoもしくはV化合物メタケイ酸ナト
リウム:3.5XlOモル(d)陽イオン界面活性剤 (C16H53N(Cl5)51Br : 1.4 X
 10 モ/L’(実施例−2)と同様の方法により、
第6表に示す代表的ポリオキシエチレン糸非イオン界面
活性剤を用い、81.Geもしくは■化合物と陽イオン
界面活性剤のめつき皮膜強度に対する安定化効果を測定
した。その結果、第6表のように添加量が5 x 10
−’ ミ!J モル/l 以下となると、めっきがめつ
き槽壁に析出しめつき皮膜の引張り強さとして59Kf
/、2以上を得るめっき回数が低下した。一方、添加濃
度が0.5〜0.8ミリモル/を以上となるとめつき液
が著しく発泡し、めっき作業が困難となυ、めっき不能
となった。
At : H(OCH2CH2)15NHc1g)13
7A3 : [0(CH2CH20)。(Cうt(c、
0)p(CH2CH2O)。IHA4 : [H(OC
R2CH2)lo)2NctgH57:花王石鹸に、に
、 ff(実施例−6) 2価銅イオンの錯化剤のfill類と濃度およびめっき
液PH+ホルマリン濃度、めりき温朋の変イしに対する
めつき皮膜強度安定化の効果を測定した。用いためつき
液組成、10度、条件は以下の通りである。
(1)化学鋼めっき液 Cu5OI・5H20・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・0.02〜0.072モ
ル/12価銅イオンの錯化剤・・・・・・・・・・・・
・・・0.04〜0.15モル/1NaOH・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・pHを11.7〜12.6とする量
37%ホルマリン・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・ 1−10 m1/lα、
α′−ジピリジル・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・3.5 X 10−” モJL/1ポリ
エチレングリコールステアリルアミン・・・・・・・・
・・・・−・・・・・・・・・1.I X 10−1′
”壬ル’/lメタケイ酸ナトリウム・・・・・・・・・
・・・・・・・・・3;5 X 10−5モl’/1(
C16H55N(Cl5 )5 ) Br−−−−−−
−−=・−==−1,4X iO−’ −el’/1(
2)めっき条件 めっき温度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・60〜70℃(3)その他は(実施例−2)と同じ 本実施例でFiZ価銅イオンの酸化剤とじてなどを用い
た。本実施例の結果は表として示すまでもなく、いずれ
の2価銅イオン錯化剤においても、2価銅イオン錯化剤
/2価銅イオンの濃度比が1.5以上であれば、連続1
0回めっき皮膜の強度として50 KW/、、2以上を
得た。上記化学銅めっき液の各成分0度、めっき温度の
下限値はめつき速度が0.5μm/h以下となるために
定めたもので、この下限値以下であっても実質上問題な
いことが判った。
一方、上限値はめつき皮膜の強度がめつき初回より50
像//l+□2以下となるが、めっきがめつき槽壁に析
出するなどの問題から定めることができた。
〔発明の効果〕
本発明によれば、2価銅イオン、2価銅イオン銘化削、
還元剤+PI(調節剤、1価銅イオンの錯化剤、ポリオ
キシエチレン系非イオン界面f占性斉1jを必須成分と
して含む化学銅めっき液にSl、GeもしくはVから選
ばれた元素を含有する化合物と1@イオン界面を占性剤
を添加することにより、極めて強度の大きいめっき皮膜
を長期にわたって得ることができるので、プリントri
、などの製造に際して高度な品質のプリント板を安定に
供胎できるようになり、経済的工業的価値は測り知れな
い。
代理人 弁理士 秋 本 正 実

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 2価銅イオン、2価銅イオンの錯化剤、還元剤、
    pH調節剤、1価銅イオンの錯化剤およびポリオキシエ
    チレン系非イオン界面活性剤を必須成分として含んで成
    る化学銅めっき液において、Sl。 GoもしくはVから選ばれた元素を含有する化合物と陽
    イオン界面活性剤を含むことを特徴とする化学銅めっき
    液。 2、該元素を含有する化合物が該元素の酸素化合物であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の化学銅
    めっき液。 3 該酸素化合物がケイ酸のアルカリ金属塩である特許
    請求の範囲第2項記載の化学銅めっき液。 4、該ケイ酸のアルカリ金机塩がケイ酸ナトリウムであ
    る特許請求の範囲第3項記載の化学銅めっき液。 5、該ケイ酸ナトリウムが81に換算して0.2〜10
    化学銅めっき液。 6、該陽イオン界面活性剤が窒素を含む陽イオン界面活
    性剤であることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至
    第5項のいずれかに記載の化学銅めっき液。 7、該窒素を含む陽イオン界面活性剤がアルキルアンモ
    ニウム塩である特許請求の範囲第6項記載の化学銅めっ
    き液。 8、該アルキルアンモニウム塩が第4級アンモニウム塩
    である特許請求の範囲第7項記載の化学銅めっき液。 9、第4級アンモニウム塩の濃度が0.02〜0.5ミ
    リモル/l である特許請求の範囲第8項記載の化学銅
    めっき液。 10、該化学銅めっき液が 2価銅イオ、・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
    ・・・・・0.02〜0.072モル/12価鋼イオン
    の錯化剤・・・・・・・・・・・・0.04〜0.15
    モル/1NaOH・・・・・・・・・・・・・・・・・
    ・・・・・・・・・・・・・・・・pHを11.7 =
     12.6とする量37%ホルマリン・・・・・・・・
    ・・・・・・・・・・l−1−1o/lα、α′−ジピ
    リジル・・・・・・・・・・・・・・・・・・0.03
    〜1ミリモル/Lポリエチレングリコールステアリルア
    ミン・・・・・・・・・・・・ 5 X 10’〜0.
    3ミリモ”/lケイ酸ナトリウム・・・・・・・・・・
    ・・0.2〜lOミリモル/1((4(、H33N(C
    R2)5 ]Br−−・0.02−0.5ミリモル/l
    の組成範囲にある特許請求の範囲第1項乃至第9項のい
    ずれかに記載の化学銅めっき液。
JP23359983A 1983-07-25 1983-12-13 化学銅めつき液 Pending JPS60125378A (ja)

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EP84107191A EP0132594B1 (en) 1983-07-25 1984-06-22 Electroless copper plating solution
US06/623,173 US4563217A (en) 1983-07-25 1984-06-22 Electroless copper plating solution
DE8484107191T DE3473890D1 (en) 1983-07-25 1984-06-22 Electroless copper plating solution
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04116176A (ja) * 1990-09-04 1992-04-16 Hideo Honma 無電解銅めっき液および無電解銅めっき方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH04116176A (ja) * 1990-09-04 1992-04-16 Hideo Honma 無電解銅めっき液および無電解銅めっき方法

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