JPS60124038A - Optical recording medium and its production - Google Patents

Optical recording medium and its production

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Publication number
JPS60124038A
JPS60124038A JP58232435A JP23243583A JPS60124038A JP S60124038 A JPS60124038 A JP S60124038A JP 58232435 A JP58232435 A JP 58232435A JP 23243583 A JP23243583 A JP 23243583A JP S60124038 A JPS60124038 A JP S60124038A
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JP
Japan
Prior art keywords
resin
low melting
recording medium
optical recording
heat
Prior art date
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Pending
Application number
JP58232435A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Susumu Fujimori
進 藤森
Yoshihiro Asano
浅野 義曠
Hironori Yamazaki
裕基 山崎
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/251Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials dispersed in an organic matrix

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PURPOSE:To assure a practically usable and rewritable medium by depositing a thin film of heat-resistant plastic consisting of any among a polyimide resin, polyamide resin, etc. contg. >= a kind of low melting metal such as tellurium, bismuth, etc. CONSTITUTION:A recording medium which performs optical recording by mak- ing use of the phase transition to crystalline and amorphous states consists of a recording material which causes a structural change by absorbing laser light and a dispersant which supports and holds said material. The former is a low melting metal and the latter is metallic oxide or hydrocarbon. The sputtered film of the heat-resistant plastic contg. the low melting metal is formed on a base plate by sputtering >=1 kind of the low melting metal such as tellurium, bismuth and antimony and one kind of the heat-resistant plastic selected from the group of a polyimide resin, polyamide resin, polyamide imide resin and polyphenylene sulfide resin. A practically usable and rewritable medium is obtd. by using the heat-resistant plastic.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光記録用媒体およびその製造方法に関するもの
であり、さらに詳しくは、基板上の薄膜をレーザ加熱し
、薄膜の光学的性質に変化を生じしめることにより、情
報を記録する光学的常法記録に用いられ、特に多数回の
情報の書き換えに際してレーザ照射による急熱、急冷の
繰り返しに耐えろる耐熱性に優れた光記録用媒体および
その製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an optical recording medium and a method for manufacturing the same, and more specifically, the present invention relates to an optical recording medium and a method for manufacturing the same. The present invention relates to an optical recording medium with excellent heat resistance that can withstand repeated rapid heating and cooling caused by laser irradiation, particularly when rewriting information many times, and a method for producing the same.

上述のようなレーザ記録は、光ディスク等の大容量ファ
イルメモリとしての用途が検討されている。従来、この
ような記録は、レーザ加熱による薄膜の穿孔もしくは変
形あるいは構造変化を利用していたが、追記型情報記録
ばかりでなく、書き換え情報記録に対する要望が高まる
につれ、原理的に情報の書き換えが可能な構造変化を利
用した記録媒体に対する関心が高まってきている。ここ
で構造変化を利用した記録とは、レーザ加熱による薄膜
の結晶化ないしは非晶質化を指すのが最も一般的である
Laser recording as described above is being considered for use as a large-capacity file memory for optical discs and the like. Conventionally, such recording has utilized perforation, deformation, or structural changes in thin films caused by laser heating, but as the demand for not only write-once information recording but also rewritable information recording has increased, it has become possible in principle to rewrite information. There is increasing interest in recording media that take advantage of possible structural changes. Here, recording using structural changes most commonly refers to crystallization or amorphization of a thin film by laser heating.

たとえば、Teなどの低融点金属を含有したポリフルオ
ロカーボンの膜(特願昭57−198978、特願昭5
7−198979)は、作製されたままの状態では膜中
のTeは非晶質であるが、レーザ加熱すると結晶化する
。それに伴い、膜の光学反射率が変化するため、これを
利用して、記録を行うのである。
For example, a film of polyfluorocarbon containing a low melting point metal such as Te (Japanese Patent Application No. 57-198978;
No. 7-198979), Te in the film is amorphous in the as-prepared state, but crystallizes when heated by laser. Along with this, the optical reflectance of the film changes, and this is used to perform recording.

このような記録媒体では、さらにレーザ加熱を加え、低
融点金属の非晶質化を生じしめることで情報の書き換え
が可能となる。すなわち、低融点金属の結晶化と非晶質
化を繰り返すことにより、情報の記録と消去がなされる
。ここで多数回の情報の記録と消失を行いうるためには
、記録媒体の耐熱性が問題となる。すなわち、レーザ加
熱によって急熱急冷を繰り返したとき、高品質の記録、
消去をなすには、レーザ加熱時に媒体の変形が生じない
ように媒体に強い耐熱性が要求されるのである。
In such a recording medium, information can be rewritten by further applying laser heating to cause the low melting point metal to become amorphous. That is, information is recorded and erased by repeating crystallization and amorphization of the low melting point metal. Here, in order to be able to record and erase information many times, the heat resistance of the recording medium becomes a problem. In other words, when rapid heating and cooling are repeated by laser heating, high quality records,
In order to erase the data, the medium must have strong heat resistance so that it will not be deformed during laser heating.

したがって、現在、書き換え可能型記録媒体の充足せね
ばならない第1の条件は、急熱急冷のようなヒートサイ
クルに対し充分安定であることと言っても過言ではない
。しかしながら、上記のTeを含有したポリフルオロカ
ーボン膜においては、作製条件によっては、熱的安定性
に不充分な場合があり、これが実用に供しえる書き換え
可能な光記録用媒体を提供する上で問題となっていた。
Therefore, it is no exaggeration to say that the first condition that a rewritable recording medium must currently meet is sufficient stability against heat cycles such as rapid heating and cooling. However, depending on the manufacturing conditions, the polyfluorocarbon film containing Te may have insufficient thermal stability, which poses a problem in providing a practically usable rewritable optical recording medium. It had become.

本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、記録媒体
の耐熱性を改良することにより実用に供しえる書き換え
可能な媒体およびその製造方法を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a rewritable medium that can be put to practical use by improving the heat resistance of the recording medium, and a method for manufacturing the same.

本発明を概説すれば、本発明による光記録用媒体は、テ
ルル、ビスマス、アンチモンの一種以上の低融点金属を
含有させた、ポリイミド樹脂またはポリアミド樹脂また
はポリアミドイミド樹脂またはポリフェニレンサルファ
イド樹脂からなる耐熱性プラスティックの薄膜を基板上
に被着したことを特徴とするものでる。
To summarize the present invention, the optical recording medium according to the present invention is a heat-resistant material made of polyimide resin, polyamide resin, polyamide-imide resin, or polyphenylene sulfide resin containing one or more low-melting point metals such as tellurium, bismuth, and antimony. It is characterized by a thin plastic film deposited on a substrate.

また本発明による光記録用媒体の製造方法は、テルル、
ビスマス、アンチモンの一種以上の低融点金属と;ポリ
イミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂お
よびポリフェニレンサルファイド樹脂からなる群より選
択された一種の耐熱性プラスティック;とをスパッタす
ることにより低融点金属を含有した耐熱性プラスティッ
クのスパッタ膜を基板上に形成することを特徴とするも
のである。
Further, the method for producing an optical recording medium according to the present invention includes tellurium, tellurium,
A low melting point metal is contained by sputtering one or more low melting point metals such as bismuth and antimony; and a kind of heat resistant plastic selected from the group consisting of polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin and polyphenylene sulfide resin. This method is characterized by forming a sputtered film of heat-resistant plastic on a substrate.

本発明による光記録用媒体によれば、記録媒体中で低融
点金属を含有させる物質として耐熱性プラスティックを
用いることにより、実用に供しえる書き換え可能媒体と
して用いることができるという利点がある。さらに、本
発明による光記録用媒体の製造方法は、スパッタリング
という簡便容易で制御性のよい方法によっているため、
光記録用媒体を量産するうえで、低コスト化が期待でき
るという利点がある。
The optical recording medium according to the present invention has the advantage that it can be used as a practically usable rewritable medium by using a heat-resistant plastic as a substance containing a low melting point metal in the recording medium. Furthermore, since the method for producing an optical recording medium according to the present invention uses a simple, easy, and easily controllable method called sputtering,
It has the advantage that it can be expected to reduce costs when mass producing optical recording media.

本発明を更に詳しく説明する。The present invention will be explained in more detail.

一般に結晶化、非晶質化を利用して光記録を行う記録媒
体は、レーザ光を吸収して構造変化を起こす記録物質と
、それを支え、保持する分散媒とからなると考えられる
。前者は通常低融点金属であり、後者としては、透明で
耐候性の良い材料、たとえば金属酸化物や炭化水素など
が用いられている。
In general, a recording medium that performs optical recording using crystallization or amorphization is considered to consist of a recording material that absorbs laser light and undergoes a structural change, and a dispersion medium that supports and retains the recording material. The former is usually a low melting point metal, and the latter is a transparent and weather resistant material such as a metal oxide or hydrocarbon.

本発明において用いられる前記記録物質としては、従来
この種の記録媒体に用いられているテルル、ビスマス、
アンチモンを単独あるいは二種以上組み合わせて用いる
ことができる。
The recording material used in the present invention includes tellurium, bismuth, which has been conventionally used in this type of recording medium,
Antimony can be used alone or in combination of two or more.

また、本発明において用いられる分散媒としては、耐熱
性の良好なプラスチインクであるポリイミド樹脂、ポリ
アミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂およびポリフェニレ
ンサルファイド樹脂からなる群より選択された一種を用
いる。すなわち、媒体に書き換え可能性を付与するため
には、記録媒体がレーザ光照射による多数階の急熱急冷
の繰り返しに耐えるだけの熱的安定性が必要であり、こ
のため記録物質を保持する分散媒の耐熱性を向上させる
ため、分散媒として上述のポリイミド樹脂、ポリアミド
樹脂、ポリアミドイミド樹脂あるいはポリフェニレンサ
ルファイド樹脂のいずれかを用いるのである。
Further, as the dispersion medium used in the present invention, one selected from the group consisting of polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, and polyphenylene sulfide resin, which are plastic inks with good heat resistance, is used. In other words, in order to provide rewritability to a medium, it is necessary for the recording medium to have sufficient thermal stability to withstand repeated rapid heating and cooling over multiple stages by laser beam irradiation. In order to improve the heat resistance of the medium, one of the above-mentioned polyimide resins, polyamide resins, polyamideimide resins, or polyphenylene sulfide resins is used as the dispersion medium.

次ぎに、本発明による光記録用媒体の製造方法について
説明する。
Next, a method for manufacturing an optical recording medium according to the present invention will be explained.

本発明による光記録用媒体の製造方法は、テルル、ビス
マス、アンチモンの一種以上の低融点金属と;ポリイミ
ド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂および
ポリフェニレンザルファイド樹脂からなる群より選択さ
れた一種の耐熱性プラスティック;とをスパッタするこ
とにより、低融点金属を含有した耐熱性プラスティック
のスパッタ膜を基板上に形成するものである。
The method for producing an optical recording medium according to the present invention includes at least one low melting point metal of tellurium, bismuth, and antimony; By sputtering a heat-resistant plastic, a sputtered film of a heat-resistant plastic containing a low-melting point metal is formed on a substrate.

本発明において、スパッタリングのターゲットは低融点
金属を含むポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポ
リアミド樹脂またはポリフェニレンサルファイド樹脂膜
を形成するものであれば基本的に限定されるものではな
い。たとえば、形成される低融点金属含有樹脂膜と同様
の樹脂粉末および金属粉末を複合したものを用いること
ができる。たとえば、ポリイミド樹脂とTeの薄膜を形
成する場合、ターゲットはポリイミド樹脂粉末とTe粉
末を複合したものを用いることができる。
In the present invention, the sputtering target is basically not limited as long as it forms a film of polyimide resin, polyamideimide resin, polyamide resin, or polyphenylene sulfide resin containing a low melting point metal. For example, a composite of the same resin powder and metal powder as the low melting point metal-containing resin film to be formed can be used. For example, when forming a thin film of polyimide resin and Te, the target may be a composite of polyimide resin powder and Te powder.

上述のような比較的複雑な構造を有するプラスティック
を母材としてスパック膜を作製するときには、得られた
膜が母材と同様に耐熱性に優れていることは、−見奇異
に思われる。この原因は完全には解明されていないが、
一応下記に理由によるものと考えられる。すなわち、ス
パッタリングでは、ターゲット材料は原子状あるいはモ
ノマの状態で蒸発する。しかしこれらの蒸発物質は、放
電プラズマ中を通過するときに再重合して、基板上にタ
ーゲット物質に似た構造を有する薄膜が形成されると考
えられるからである。
It seems strange that when a spuck film is produced using a plastic having a relatively complicated structure as described above as a base material, the resulting film has excellent heat resistance just like the base material. The cause of this is not completely understood, but
This is probably due to the following reasons. That is, in sputtering, the target material is evaporated in an atomic or monomeric state. However, this is because these evaporated substances are considered to repolymerize when passing through the discharge plasma, forming a thin film having a structure similar to the target material on the substrate.

スパッタ系のガス圧は、好ましくはI Xl0−2〜5
 xiO−” Torrであるのが好ましい。I Xl
0−” Torr未満であると放電が不安定になり、膜
ができにくくなり、また5 xxo−” Torrを超
えると、膜質が劣化するからである。
The sputtering gas pressure is preferably I
Preferably, xiO-” Torr.
If it is less than 0-'' Torr, the discharge will become unstable and it will be difficult to form a film, and if it exceeds 5 xxo-'' Torr, the film quality will deteriorate.

また、RFパワーは、好ましくは30〜200Wである
のがよい。200弱を超えると、ターゲットが汚染され
る虞を生じ、また30切より小さいと、膜の堆積速度が
小さくなりすぎて、実用的ではなくなるからである。
Further, the RF power is preferably 30 to 200W. If it exceeds a little less than 200, there is a risk that the target will be contaminated, and if it is less than 30, the film deposition rate becomes too low to be practical.

以下、本発明の詳細な説明する。The present invention will be explained in detail below.

実施例1 低融点金属としてTe、その分散媒としてポリイミド樹
脂を用いて、スパッタリングによりTeを含有したポリ
イミド樹脂の膜を作製し、光記録用媒体とした。スパッ
タリングのターゲットとしてはTeとポリイミド樹脂の
粉末を複合したものを使用した。ポリイミド樹脂は優れ
た耐熱性のプラスティックとして知られ、非延焼性かつ
非融解性を示し、400℃以上まで充分使用に耐えうる
物質である。スパッタリングガスにはArsそのガス圧
は2xto−2Torrとし、RFパワー約100にで
、7分間スパッタし、アクリル樹脂基板上に膜厚 約1
0OnIIlのTe含有ポリイミド薄膜を作製した。こ
れを光記録用媒体として、半導体レーザでレーザ記録特
性を測定した。
Example 1 Using Te as a low melting point metal and polyimide resin as its dispersion medium, a film of polyimide resin containing Te was produced by sputtering and used as an optical recording medium. A composite of Te and polyimide resin powder was used as a sputtering target. Polyimide resin is known as a plastic with excellent heat resistance, exhibits non-spreading and non-melting properties, and is a substance that can be used satisfactorily up to temperatures of 400° C. or higher. Ars was used as the sputtering gas, the gas pressure was 2xto-2 Torr, and the RF power was about 100, sputtering was carried out for 7 minutes to form a film with a thickness of about 1 on the acrylic resin substrate.
A Te-containing polyimide thin film of 0OnIIl was produced. Using this as an optical recording medium, the laser recording characteristics were measured using a semiconductor laser.

この媒体中のTeは作製したままの状態で非晶質である
が、レーザ加熱により結晶化するため、反射率が変化し
、光記録がなされる。ここではパルス幅、レーザパワー
を変えて結晶化の生しる条件および一旦結晶化した部分
にさらにレーザ照射を加えることにより非晶質化する条
件を検討した。
Although Te in this medium is amorphous as produced, it is crystallized by laser heating, resulting in a change in reflectance and optical recording. Here, we investigated the conditions for crystallization by changing the pulse width and laser power, and the conditions for making the crystallized part amorphous by further applying laser irradiation.

また媒体の変形または穴あきの生じるレーザ照射条件を
検討した。
We also investigated the laser irradiation conditions that would cause deformation or holes in the medium.

結果を第1図として示す。比較のため従来の↑e含有ポ
リフルオロカーボン膜の場合についての結果を第2図と
して示す。
The results are shown in Figure 1. For comparison, the results for a conventional ↑e-containing polyfluorocarbon film are shown in FIG. 2.

書き換え可能な記録媒体として用いるためには媒体に変
形を生じることなく結晶化ないし非晶質化することが望
ましい。第1図および第2図において、斜線部はこのよ
うな媒体の変形なしに結晶化、非晶質化する条件を示し
たもので、図中、Aは非晶質化部分、Bは結晶化部分、
Cは変化なしの部分、Dは媒体の変形、穿孔を生じる部
分を示している。なお、結晶化または非晶質化が生じた
か否かは反射光の信号レベルの変化により判断した。ま
た、変形、穴あきの有無についてはレーザパルス照射後
、照射部分の顕微鏡観察により判定した。
In order to use the medium as a rewritable recording medium, it is desirable to crystallize or amorphize the medium without causing deformation. In Figures 1 and 2, the shaded areas indicate conditions for crystallization and amorphization without deformation of the medium; in the figures, A is the amorphous area, and B is the crystallized area. part,
C indicates a portion with no change, and D indicates a portion where the medium is deformed or perforated. Note that whether crystallization or amorphization occurred was determined based on a change in the signal level of the reflected light. Further, the presence or absence of deformation and holes was determined by microscopic observation of the irradiated area after laser pulse irradiation.

前述のような斜線部A、Bが大きい程、書き換え可能特
性が優れていることは明らかである。この実施例によれ
ば、充分に大きな面積を占め、実用に供しえる充分な書
き換え可能マージンを有していることがわかった。
It is clear that the larger the diagonal areas A and B as described above are, the better the rewritability characteristics are. It has been found that this example occupies a sufficiently large area and has a sufficient rewritable margin for practical use.

次ぎにこの実施例の媒体の一定の部分に繰り返しレーザ
パルスを照射し、多数回の記録消去を行った。ここでは
、レーザパワー8m−、パルス幅50nsecによる非
晶質化を繰り返した。その結果、多数回のレーザ照射に
よっても、この記録媒体には変形が生じることなく、高
い信号コントラストを伴った記録と、その完全な消去が
行いうろことが確認された。
Next, a certain portion of the medium of this example was repeatedly irradiated with laser pulses to perform recording and erasing many times. Here, amorphization was repeated using a laser power of 8 m and a pulse width of 50 nsec. As a result, it was confirmed that even after multiple laser irradiations, this recording medium was able to record with high signal contrast and completely erase the recording without causing any deformation.

実施例2 次ぎに、媒体中の低融点金属として、TeにかえてBi
を選択し、分散媒としてポリイミド樹脂を用いて、スパ
ッタリングによりアクリル樹脂基板上しWi膜を作製し
た。スパッタリングのターゲットにはatとポリイミド
樹脂の粉末を複合したものを用い、他の条件は実施例1
と同様であった。
Example 2 Next, as a low melting point metal in the medium, Bi was used instead of Te.
was selected, and a Wi film was fabricated on an acrylic resin substrate by sputtering using polyimide resin as a dispersion medium. A composite of AT and polyimide resin powder was used as the sputtering target, and the other conditions were as in Example 1.
It was the same.

これを光記録用媒体としてレーザ記録特性を測定した。This was used as an optical recording medium to measure laser recording characteristics.

結果は第1図に示したものと、はぼ同様で、媒体に変化
を生じることなく、膜中の旧の結晶化、非晶質化を行い
うるレーザ条件のあることがわかった。
The results were almost the same as those shown in FIG. 1, and it was found that there were laser conditions that allowed the film to be crystallized and amorphized without causing any change in the medium.

また低融点金属として、sbを選択し、sbを含有した
ポリイミド樹脂のスパッタ膜について検討し良好な光記
録特性を示すことが確認できた。
Further, sb was selected as the low melting point metal, and a sputtered film of polyimide resin containing sb was examined, and it was confirmed that it exhibited good optical recording characteristics.

実施例3 媒体中の低融点金属をTeとし、分散媒としてポリイミ
ド樹脂の代わりに、ポリアミドイミドを選んでスパッタ
膜をアクリル樹脂基板上に形成した。ポリアミドイミド
樹脂はポリイミド樹脂はどではないが耐熱性に優れ、ま
た可撓性を示す。スパッタリングのターゲットにはTe
とポリアミドイミド樹脂の粉末を複合したものを使用し
た。スパッタリングの条件は、計ガス圧4X10” ”
 Torr、 RFパワー7叶で、10分間スパンタし
、膜厚約100 nmの薄膜を作製した。これを光記録
用媒体として、レーザ記録特性を測定すると、第1図の
特性が若干、低パワー、短パルス幅側にシフトした特性
かえられた。すなわち、作製したままの状態で非晶質の
Teが結晶化するための闇値が第1図で左側にシフトし
た一方で記録媒体が変形を生じる闇値も若干左側にシフ
トした。したがって、変形防止という意味では実施例1
に劣るが、レーザ記録の闇値という意味では向上したこ
とになる。
Example 3 A sputtered film was formed on an acrylic resin substrate by using Te as the low melting point metal in the medium and selecting polyamideimide instead of polyimide resin as the dispersion medium. Although polyamide-imide resin is not like polyimide resin, it has excellent heat resistance and flexibility. Te is used as a sputtering target.
A composite of powder and polyamide-imide resin was used. The sputtering conditions are: gas pressure 4X10"
A thin film with a thickness of about 100 nm was produced by spuntering at Torr and RF power of 7 for 10 minutes. When the laser recording characteristics were measured using this as an optical recording medium, the characteristics shown in FIG. 1 were slightly shifted toward lower power and shorter pulse width. That is, while the darkness value at which amorphous Te crystallizes in the as-prepared state shifted to the left in FIG. 1, the darkness value at which the recording medium deforms also shifted slightly to the left. Therefore, in terms of preventing deformation, Example 1
Although it is inferior to , it is an improvement in terms of the darkness value of laser recording.

また、ポリイミド樹脂やポリフェニルサルファイド樹脂
を分散媒として、低融点金属を含有させたスパッタ膜に
ついても光記録特性を検討した。
We also investigated the optical recording properties of sputtered films containing low-melting point metals using polyimide resin or polyphenyl sulfide resin as a dispersion medium.

そして、程度の差はあるが、レーザ照射条件により、媒
体に結晶化および非晶質化領域が存在することが確認さ
れ、レーザビームによる情報の書込みと消去が可能であ
ることがわかった。
It was also confirmed that crystallized and amorphous regions existed in the medium depending on the laser irradiation conditions, although there were differences in degree, and it was found that writing and erasing of information using a laser beam was possible.

上述のような比較的複雑な構造を有するプラスティック
を母材としてスパッタ膜を製造するとき得られた膜が母
材と同じよに耐熱性に優れていることは、−見奇異に思
われる。この原因は明らか(13) (12) ではないが、次のように推定することができる。
It seems strange that when a sputtered film is produced using a plastic having a relatively complex structure as described above as a base material, the film obtained has excellent heat resistance just like the base material. Although the cause of this is not clear (13) (12), it can be estimated as follows.

一般に、スパッタリングではターゲット材料は原子状あ
るいはモノマ状態で蒸発すると言われる。
It is generally said that in sputtering, the target material is evaporated in an atomic or monomeric state.

しかし、これらの蒸発物質は、放電プラズマ中を通過す
るときに再重合し、基板上にターゲット物質に似通った
構造を持つ薄膜が形成される可能性がある。したがって
、本発明によるプラスティック薄膜の場合もターゲット
物質と同一でないにしろ、類似の構造を有し、その結果
優れた耐熱性を有するようになると推測される。
However, these evaporated substances may repolymerize when passing through the discharge plasma, and a thin film having a structure similar to the target material may be formed on the substrate. Therefore, it is presumed that the plastic thin film according to the present invention has a structure similar to, if not the same as, that of the target material, and as a result, it has excellent heat resistance.

以上説明したように、本発明による光記録用媒体は耐熱
性に優れたプラスティックを含有することから、実用に
供しえる書き換え可能媒体として用いることができる。
As explained above, since the optical recording medium according to the present invention contains plastic with excellent heat resistance, it can be used as a practically usable rewritable medium.

さらに、本発明による光記録用媒体の製造方法は、スパ
ッタリングという簡便容易で制御性の良い方法によって
いるため、光記録用媒体を量産する上でその工程が簡便
で低コスト化が期待できるという利点がある。
Furthermore, since the method for producing an optical recording medium according to the present invention uses sputtering, which is a simple and easy method with good controllability, the process is simple and can be expected to reduce costs when mass producing optical recording media. There is.

したがって、本発明による光記録用媒体とその製造方法
は、大容量ファイルメモリを提供する技(14) 術として、有効に適用することができる。
Therefore, the optical recording medium and its manufacturing method according to the present invention can be effectively applied as a technique (14) for providing a large-capacity file memory.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明によるTe含有スパッタ膜を光記録用媒
体としてレーザパワー、パルス幅を変えて光記録を行っ
た結果を示す図であり、第2図は従来の光記録用媒体の
レーザパワー、パルス幅を変えて光記録を行った結果を
示す図である。 出願人代理人 雨 宮 正 季 (15) 第1図 101001000 ハ6ノしス愉 (n5ec )
Fig. 1 shows the results of optical recording using the Te-containing sputtered film according to the present invention as an optical recording medium by changing the laser power and pulse width, and Fig. 2 shows the laser power of a conventional optical recording medium. , is a diagram showing the results of optical recording with varying pulse widths. Applicant's agent Masaki Amemiya (15) Figure 1 101001000 HA6NOSUYU (n5ec)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) テルル、ビスマス、アンチモンの一種以上の低
融点金属を含有させた、ポリイミド樹脂またはポリアミ
ド樹脂またはポリアミドイミド樹脂またはポリフェニレ
ンサルファイド樹脂からなる耐熱性プラスティックの薄
膜を基板上に被着したことを特徴とする光記録用媒体。 (21テルル、ビスマス、アンチモンの一種以上の低融
点金属と;ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミ
ドイミド樹脂およびポリフェニレンサルファイド樹脂か
らなる群より選択された一種の耐熱性プラスティック;
とをスパツクすることにより、低融点金属を含有した耐
熱性プラスティックのスパッタ膜を基板上に形成するこ
とを特徴とする光記録用媒体の製造方法。
(1) A thin film of heat-resistant plastic made of polyimide resin, polyamide resin, polyamide-imide resin, or polyphenylene sulfide resin containing one or more low-melting point metals such as tellurium, bismuth, and antimony is deposited on the substrate. optical recording medium. (21) one or more low melting point metals such as tellurium, bismuth, and antimony; a type of heat-resistant plastic selected from the group consisting of polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, and polyphenylene sulfide resin;
1. A method for producing an optical recording medium, which comprises forming a sputtered film of a heat-resistant plastic containing a low melting point metal on a substrate by sputtering.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007069483A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Ricoh Co Ltd Rerecording type optical recording medium

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