JPS60120355A - Method and apparatus for forming high resolution phototransparent image using photosensitive resin - Google Patents

Method and apparatus for forming high resolution phototransparent image using photosensitive resin

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Publication number
JPS60120355A
JPS60120355A JP58225111A JP22511183A JPS60120355A JP S60120355 A JPS60120355 A JP S60120355A JP 58225111 A JP58225111 A JP 58225111A JP 22511183 A JP22511183 A JP 22511183A JP S60120355 A JPS60120355 A JP S60120355A
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JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
sheet
phototool
resin layer
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP58225111A
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Japanese (ja)
Inventor
ドナルド.フオート.サリバン
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Individual
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、高解像の画像を感光性樹脂からプリント配線
板のような基板上に製造する光画像処理方法および装置
に関し、更に詳しくは、感光性樹脂ランネートおよび光
画像のあるツールを用いて改良した低エネルギー高解像
感光性樹脂画像の製造技術に関する。
Detailed Description of the Invention (Technical Field) The present invention relates to an optical image processing method and apparatus for producing a high-resolution image from a photosensitive resin onto a substrate such as a printed wiring board. This invention relates to a technique for producing improved low energy, high resolution photopolymer images using resin runners and photoimageable tools.

(背景技術) 画像は、ペースト状軟度の紫外線(OV)硬化性感光性
樹脂のような感光性樹脂を使用して、基板上に製造され
る。これらのネガ型作用として知られている感光性樹脂
は、強力なUV光源に数秒間露光することによりペース
ト状軟度の可溶性湿潤フィルムから不溶性乾燥被覆に変
換する反応性樹脂の100%組成物であることを特徴と
する。更に、本発明開示の方法で使用する感光性樹脂は
画像形成特性であるか、または光画像パターンのある光
画像ツールマスター通過光によって選択的に硬化可能で
あることを特徴とする。これによって画像78問−6O
−120355(6) マスターにより感光性樹脂にUV光が当たる部位で基板
に竪固に付着した不溶性フィルムパターンが製造される
。これらの感光性樹脂は、例えばプリント配線板(PW
B )製造および画像形成用のメツキレシストおよびエ
ッチレジストとして商業的に入手することができる。こ
れらの樹脂は常法どおり画像のあるスクリーンステンシ
ルを通してスクリーンプリントで適用されて湿潤感光性
樹脂のような基板上に画像を形成し、次いでこの画像は
強力なUV光源に付すことによって硬化し、永久像に変
換される。
BACKGROUND OF THE INVENTION Images are fabricated on substrates using photosensitive resins, such as ultraviolet (OV) curable photosensitive resins of pasty consistency. These photopolymer resins, known as negative-acting, are 100% compositions of reactive resins that convert from a soluble wet film of pasty consistency to an insoluble dry coating by several seconds of exposure to an intense UV light source. characterized by something. Furthermore, the photosensitive resins used in the methods of the present disclosure are characterized as being imageable or selectively curable by light passing through a light imaging tool master with a light image pattern. This results in 78 images - 6O
-120355(6) A master produces an insoluble film pattern that is vertically and firmly adhered to the substrate at the portion where the photosensitive resin is exposed to UV light. These photosensitive resins are used, for example, in printed wiring boards (PW
B) Commercially available as metskiresists and etch resists for manufacturing and imaging. These resins are conventionally applied by screen printing through an imaged screen stencil to form an image on a substrate such as a wet photopolymer, and this image is then cured by exposure to a powerful UV light source to make it permanent. converted into an image.

ポジ型作用の乾燥フィルム感光性樹脂はホトツール画像
パターンの透明部を通過する照射によって可溶性状態に
変換されるまでは不溶性である。
Positive-working dry film photopolymer resins are insoluble until converted to a soluble state by radiation through the transparent portions of the phototool image pattern.

先行技術のスクリーンプリントした感光性樹脂画像は、
多大なエネルギー消費、加熱基板、不明瞭な境界線、忠
実性の滅失、不鮮明な画像および平行照射の必要なこと
が特徴である。
Prior art screen printed photopolymer images are
It is characterized by high energy consumption, heated substrates, blurred borders, loss of fidelity, blurred images and the need for parallel illumination.

上記問題を解決している本発明開示の方法および装置並
びに先行技術と同一の感光性樹脂を使用(第21頁) して達成し得る画像は、ネガ型感光性樹脂であっても鋭
い明瞭な境界線、0.002インチ(0,05wa )
までのフィルム厚さでの優れた忠実性および不鮮明でな
いことを特徴とする。例えば、スクリーンプリントしだ
PWBレジストIQターンは、実際上、最少0.010
インチ(0,254m )の導体中および間隔に制限さ
れるが、一方同一の感光性樹脂は本開示に従って0.0
0025イア チ(0,006tram ) (D 7
 イルム厚さで0.003インチ(0,076wrm 
)のライン巾および間隔を形成して画像化することがで
きる。スクリーンプリントしたハーフトーンの画像は加
〜80パーセントのドツトサイズを有する実用上の上限
105本のラインに制限される。本明細書記載の如く画
像化した同一の感光性樹脂は5〜95・・ξ−セントの
ドツトサイズを有する150本のラインのハーフトーン
画像を製造することができる。
The images that can be achieved using the method and apparatus of the present disclosure which solves the above problems and the same photopolymer as the prior art (page 21) are sharp and clear even with negative photopolymer. Border, 0.002 inch (0.05 wa)
It is characterized by excellent fidelity and unsmearing at film thicknesses up to. For example, screen printed PWB resist IQ turns are practically as low as 0.010.
inch (0,254 m ) conductor and spacing, while the same photopolymer is 0.0 mm in accordance with the present disclosure.
0025 iachi (0,006 tram) (D 7
Illum thickness is 0.003 inches (0,076 wrm
) line width and spacing can be formed and imaged. Screen printed halftone images are limited to a practical upper limit of 105 lines with a dot size of 80 percent. The same photopolymer imaged as described herein can produce 150 line halftone images with dot sizes from 5 to 95...ξ-cents.

光透明画像化で使用される感光性樹脂プリント板製造の
先行技術の例には、半自動化方法で感光性樹脂レリーフ
プリント板を製造する米国特許4.070,110があ
る。かくして、サンドイッチ状配(第22頁) 列は液状で適用される中間の感光性樹脂を用いてカバー
フィルムをラミネートし、シートを裏打ちして調製され
、次いで部分的に露光して硬化される。このサンドイン
チは、完全に形成した後に光透明体を通して露光し乍ら
圧力をかけて平らにする。類似のラミネート化および現
像仕上方法用の複雑な機械配列は米国特許4,087,
182にも示されている。これらは、米国特許4.05
2.603に記載されているような光画像化法と対比さ
れる接触プリント法である。また、米国特許3,837
.887は液状感光性樹脂用のサンドイッチ型プリント
板を提供している。これら全ては複雑で高価な機械を必
要とし、本願発明で可能な簡単で単一工程のラミネート
および露光走査をもたらすことはできなかった。
An example of the prior art for manufacturing photopolymer printed boards used in phototransparent imaging is US Pat. No. 4,070,110, which makes photopolymer relief printed boards in a semi-automated manner. Thus, a sandwich arrangement (page 22) is prepared by laminating the cover film and backing the sheet with an intermediate photosensitive resin applied in liquid form and then partially exposed and cured. After the sand inch is fully formed, it is flattened under pressure while being exposed to light through a phototransparent material. A complex mechanical arrangement for similar laminating and finishing methods is described in U.S. Pat. No. 4,087,
182 is also shown. These are U.S. Patent 4.05
2.603, as opposed to optical imaging methods such as those described in 2.603. Also, U.S. Patent No. 3,837
.. 887 provides a sandwich type printed board for liquid photosensitive resin. All of these required complex and expensive machinery and could not provide the simple, single step lamination and exposure scanning possible with the present invention.

全ての先行技術はまた、照射さるべき液状感光性樹脂お
よび乾燥感光性樹脂表面の双方と接触する比較的厚い離
脱フィルムL−を使用し、かくしてこの層は再生さるべ
き光透明体(または他の)画像と感光性樹脂表面との間
に挿入され解偉を実質(第23頁) 的に減少する。
All prior art also uses a relatively thick release film L- in contact with both the liquid photopolymer to be irradiated and the dry photopolymer surface, and thus this layer contains the phototransparency (or other material) to be regenerated. ) is inserted between the image and the photosensitive resin surface to substantially (page 23) reduce the amount of light emitted.

先行技術で提示または解決されていないもう1つの問題
は、感光性樹脂表面に接触する再使用可能な光透明画像
のある表向を用いて感光性樹脂表面の汚染お工び摩損を
防止することである。例えば、比較的厚いポリプロピレ
ン離脱フィルムが先行技術では挿入される。感光性樹脂
層に接触するホトツールはスクラッチ化、摩損および硬
化した感光性樹脂等の蓄積のため再使用可能寿命が非常
に短い。
Another problem not presented or solved in the prior art is the use of reusable light-transparent imaged surfaces in contact with the photopolymer surface to prevent contamination and abrasion of the photopolymer surface. It is. For example, relatively thick polypropylene release films are inserted in the prior art. Phototools that come into contact with the photopolymer layer have a very short reusable life due to scratching, abrasion, and accumulation of hardened photopolymer and the like.

本発明者の米国特許4 、260 、675号では、プ
リント回路板はんだマスクの製造に液状感光性樹脂を使
用しており、その際、蓄積したレリーフッ耐ターンが液
状感光性樹脂を物理的に押しのけた後介在する空気を通
過しての照射により露光して感光性樹脂を硬化させ、は
んだが回路板導体に接着すべき場所に未硬化感光性樹脂
を残す。
In my U.S. Pat. No. 4,260,675, a liquid photopolymer is used in the manufacture of a printed circuit board solder mask in which the accumulated relief resistant turn physically displaces the liquid photopolymer. The photopolymer is then exposed to radiation through the intervening air to cure the photopolymer, leaving uncured photopolymer at the locations where the solder is to adhere to the circuit board conductors.

ガラスホトツールアセンブリでは繰り返して使用すると
温度上昇が見られる。これは、はんだマスク感光性樹脂
厚さが0.005インチのオーダーで特開昭GO−12
0355(7) あり、ペースラミネートまで硬化させるために平方セン
ナメートル当り6ジユールのエネルギー密度が必要とな
るからである。ホトレジストは、例え水銀柱加インチの
真空を使用したとしても、成る程度空気で抑制される。
Glass phototool assemblies experience temperature increases with repeated use. This is a solder mask photosensitive resin with a thickness on the order of 0.005 inches.
0355(7), and an energy density of 6 joules per square centimeter is required to cure the paste laminate. Photoresist is largely air-suppressed, even if a vacuum of inches of mercury is used.

温度は200度Fまで典型的に上昇する。Temperatures typically rise to 200 degrees Fahrenheit.

液状感光性樹脂のホトノRターン化のもう1つの適用は
W、 R1GRACE社によって該社の[ACCTJT
RACBjシステムで実施されている。メツキレリスト
は、平行光源を用いて非接触露光によりPWB上にホト
ノ々ターン化される。0.00フインチのオーダーの非
接触分離距離によってホトツールの液状レリストとの接
触で生じる問題は回避されるが、その際、平行光源でさ
え光のアンダーカットが見られるので解像が犠牲となる
Another application of photo-R-turning of liquid photosensitive resins is by W. R1GRACE, Inc.
It is implemented in the RACBj system. The photolithographic pattern is formed on the PWB by non-contact exposure using a collimated light source. A non-contact separation distance on the order of 0.00 inches avoids the problems caused by contacting the phototool with the liquid resist, but at the cost of resolution as even collimated light sources exhibit light undercuts.

これはまた、空気および酸素の感光性樹脂表面との接触
を許容することおよびエネルギー消費を高め且つ温度上
昇を大きくすることによって硬化時間を増加させる。
This also increases curing time by allowing air and oxygen to contact the photopolymer surface and increasing energy consumption and temperature rise.

光硬化性樹脂に対する酸素抑制の影響を回避す(第25
頁) る既知の技術には感光性樹脂表面上を窒素または中性ガ
スを使って覆う方法がある。UNION CARBより
BのL工NDFi div1θion が露光容積中の
空気が窒素で置換されるUVIJアクタ−を製造してお
り、これは、硬化速度および硬化フィルム厚さを維持し
乍ら灯火力を顕著に減少させる文献記載の能力を生じる
Avoiding the effects of oxygen suppression on photocurable resins (No. 25)
Known techniques include coating the photosensitive resin surface with nitrogen or a neutral gas. UNION CARB's L Engineering ND Fi div 1θion manufactures UVIJ actors in which the air in the exposure volume is replaced with nitrogen, which significantly increases lighting power while maintaining cure speed and cured film thickness. This results in a decreased ability to be described in the literature.

しかし乍ら、窒素の使用は高価であり、損失部を常に補
充しなければならない。
However, the use of nitrogen is expensive and losses must be constantly replenished.

もう1つの公知の空気排除方法は、澄明な可塑性フィル
ムを用いて感光性樹脂被覆基板全体をラミネートするこ
とである。この方法は幾つかの理由でプリント配線板上
のはんだマスク画像形成に簡単には適用できない。第1
には、隆起したプリント配線導体により生じた粗い表面
トポグラフィ−のため、空気の捕集および液状感光性樹
脂なしには、狭い導体の上部表向から押出され不均一な
感光性樹脂厚さの領域を形成する薄い可塑性シート全体
をラミネートすることが困難になる。
Another known air exclusion method is to laminate the entire photopolymer coated substrate with a clear plastic film. This method is not easily applicable to solder mask imaging on printed wiring boards for several reasons. 1st
Due to the rough surface topography caused by the raised printed wiring conductors, air entrapment and liquid photopolymer will not be able to extrude from the upper surface of the conductor to narrow areas of non-uniform photopolymer thickness. It becomes difficult to laminate the entire thin plastic sheet that forms the .

更に、液状軟度の感光性樹脂は、回路図形上で薄くなり
若しくははと目へ浸透しまたは樹脂から(第26頁) 剥離可能な非湿間表面と接触して斑点を生起するためか
または一部粘看して隆起部を形成するために多くの場合
使用できなかった。
Additionally, liquid-soft photopolymer resins may thin or penetrate into eyelets on circuit features or cause spots on contact with non-wet surfaces that can be peeled away from the resin (page 26). In many cases, it could not be used because it was partly sticky and formed a bulge.

本発明の一般的寿目的としては、感光性樹脂を用いる高
解像プリントエレメントの製造用の先行技術の装置およ
び方法を単純化し改良することである。
The general purpose of the present invention is to simplify and improve upon prior art apparatus and methods for the manufacture of high resolution print elements using photopolymer resins.

本発明のもう1つの目的は、上記の簡単に論じた問題を
含む先行技術の多数の問題を解決することである。
Another object of the present invention is to solve numerous problems of the prior art, including those briefly discussed above.

感光性樹脂プリント化技術の先行技術水準では、軟化、
接着、現像等の種々の工程間で感光性樹脂の加熱および
冷却にかなりの時間と費用がかかる。
At the prior art level of photosensitive resin printing technology, softening,
Heating and cooling photosensitive resins between various steps such as adhesion and development requires considerable time and expense.

これらの問題は、露光中感光性樹脂表面の空気の排除に
要する熱およびエネルギーを減少させるため露光時間を
減少させ、そして更に工程、フィルム層等をより少なく
するように方法を簡素化することによって、本発明によ
り解決される。晟価な平行照射源が感光性樹脂の露光で
必要であった。
These problems can be addressed by reducing the exposure time to reduce the heat and energy required to exclude air from the photopolymer surface during exposure, and by further simplifying the method to include fewer steps, film layers, etc. , solved by the present invention. A powerful parallel radiation source was required for exposure of photopolymer resins.

楕々の光処理工程での感光性樹脂フィルムの選(第27
頁) 択的接着および非接着は困難な問題であった。例えば、
乾燥フィルムが全気泡等を有しないで基板に適当に接着
するには加熱することが必要である。
Selection of photosensitive resin film in various light treatment processes (No. 27)
Page) Selective adhesion and non-adhesion have been difficult problems. for example,
Heating is necessary for the dry film to properly adhere to the substrate without any bubbles or the like.

本発明は、基板表面上にペースト状軟度の液状感光性樹
脂を伸展することによってこの接着問題を解決すること
ができる。また、乾燥フィルム硬化剤を使用するときに
は現像段階での除去が困難である。液状樹脂を硬化する
ホトサイクルを用いると、未露光液体はけと目孔等から
容易に洗い出すことができ、現像工程が単純化される。
The present invention can solve this adhesion problem by spreading a liquid photosensitive resin of pasty consistency onto the substrate surface. Also, when dry film hardeners are used, they are difficult to remove during the development stage. When a photocycle is used to cure the liquid resin, the unexposed liquid can be easily washed out from the brush and the eye holes, and the development process is simplified.

また、溶媒は鮮明度を減少させる露光樹脂のアンダーカ
ットをする傾向がより少ない。より薄い液状感光性樹脂
フィルムは樹脂原価を下げ、より良い解像をもたらす。
Also, the solvent is less prone to undercutting the exposed resin which reduces sharpness. Thinner liquid photopolymer films lower resin cost and provide better resolution.

もう1つの目的は、より高価でない装置、より高価でな
い感光性樹脂の使用によってまた人の生産性の向上によ
って画像形成の総厚価を顕著に減少させる装置および感
光性樹脂を使用することである。
Another objective is to use less expensive equipment, equipment and photopolymer materials that significantly reduce the total thickness cost of imaging through the use of less expensive photopolymer materials and by increasing human productivity. .

本開示は本明a書で詳述する精密画像を得るた特開昭G
O−120355(8) めの湿潤感光性樹脂コーティング処理片の改良方法も教
示する。
The present disclosure is based on the patent application published by ShoG
O-120355(8) Methods for improving wet photopolymer coated strips are also taught.

1つの目的は感光性樹脂から空気を排除するように感光
性樹脂被覆のホトツールを基板と連接することである。
One purpose is to connect a photopolymer-coated phototool with a substrate so as to exclude air from the photopolymer.

もう1つの目的は露光時の真空低下からなる乾燥フィル
ムホトレジストの通常の露光サイクルを迅速化すること
である。
Another purpose is to speed up the normal exposure cycle of dry film photoresists, which consists of a vacuum drop during exposure.

もう1つの目的は、用いた感光性樹脂が斑点または空所
を発現しないような方法で非湿潤表面の被覆方法を提供
することである。
Another object is to provide a method for coating non-wetting surfaces in such a way that the photopolymer used does not develop spots or voids.

それ故、本発明は一般的目的として液状感光性樹脂を用
いて高解像プリントエレメントを製造するだめの従来技
術の装置および方法の単純化および改良を有し、そして
高解像画像の製造に特に適合する特別の光透切体画像化
ツールおよび技術を明白に提供することである。
The present invention therefore has as a general object a simplification and improvement of prior art apparatus and methods for producing high resolution print elements using liquid photopolymer resins, and for producing high resolution images. The objective is clearly to provide specialized optical transsection body imaging tools and techniques that are particularly suited.

(本発明の開示) ネガ型作用感光性樹脂は湿潤状態のl−として適用され
、感光性樹脂表面に直に接触した特別に形(第29頁) 成された光透明体の通過光に露出することにより重合し
硬化した画像状態に変換される。こうして、公知の画像
化処理に優る画像解像に関する有意の改良が達成される
DISCLOSURE OF THE INVENTION A negative-working photopolymer is applied as a wet l- and exposed to light passing through a specially shaped (page 29) optical transparency in direct contact with the photopolymer surface. By doing so, it is converted into a polymerized and hardened image state. Significant improvements in image resolution over known imaging processes are thus achieved.

2つの層(その1つに光透明画像がある)間の樹脂をサ
ンドイッチ状にすることによって露光工程中液状感光性
樹脂から空気を排除すると、露光時間が減少し、エネル
ギーが減少し、製造速度が高まり、温度が低下し、そし
て解像が改善される。
Excluding air from the liquid photopolymer during the exposure process by sandwiching the resin between two layers (one of which has a light-transparent image) reduces exposure time, reduces energy, and speeds up production. increases, temperature decreases, and resolution improves.

用意した装置で、PWB 、感光性樹脂およびホトツー
ルの1つの部分をガス(気泡)のない感光性樹脂表面を
有するサンドイッチ状配列に走査し、連接する。その間
に既に連接した部分が照射、露光されるので、単一の走
査で連接および露光が達成される。
With the prepared equipment, one section of the PWB, photopolymer and phototool is scanned and articulated into a sandwich-like arrangement with a gas (bubbles) free photopolymer surface. In the meantime, the already articulated parts are illuminated and exposed, so that articulation and exposure are achieved in a single scan.

本方法は、再生される画像を描写し、基板に面した表面
上に非粘着性物の澄明部分を有するホトツール(または
ホトマスク)の調製工程、感光性樹脂薄層によるホトツ
ールのコーチインク、非粘着性ホトツール領域上のデイ
ウェッティング化を(第30頁) 防止するための感光性樹脂の部分的な1合、画像化され
る基板上部で且つ接触しないホトツールの配置、ホトツ
ールの上側を横切って弾力性ブレードを下方向に使用し
て全ての空気を排除するようにホトツールを基板と連接
、弾力性ブレードの真後でホトツールを通過する管状水
銀灯によりホトツールを通しての感光性樹脂の選択的露
光からなる。かくして、1回の通過により、2秒当り1
フイー) (0,3M )の走査速度で画像が製造され
る。
The method includes the steps of preparing a phototool (or photomask) that depicts the image to be reproduced and has a clear area of non-adhesive material on the surface facing the substrate, coaching the phototool with a thin layer of photosensitive resin ink, non-adhesive Partial coating of photopolymer to prevent day-wetting on the phototool area (page 30), placement of the phototool on top of and not in contact with the substrate to be imaged, elasticity across the top of the phototool The method consists of connecting the phototool with the substrate using a flexible blade downward to exclude all air, and selectively exposing the photosensitive resin through the phototool with a tubular mercury lamp passing through the phototool just behind the resilient blade. Thus, with one pass, 1 per 2 seconds
Images are produced at a scanning speed of (0,3M).

露光に続いて、基板をホトツールからけがし、次いで未
硬化感光性樹脂を除去する溶媒噴霧に付し、所望の画像
を基板に堅く固定させる。
Following exposure, the substrate is scraped from the phototool and then subjected to a solvent spray that removes the uncured photopolymer and firmly fixes the desired image to the substrate.

上記方法および開示した装置は、一般にUV硬化性感光
性樹脂として説明されている多くの入手し得る感光性樹
脂を用いて、優れた解像の画像を生起させることができ
る。これらの感光性樹脂は現在スクリーンプリントで適
用されているものであり、UV照射によって画像プリン
ト配線板、プリント計を器表示板、名札およびスクリー
ンプリント4色画像用に硬化される。これらの感光性樹
脂を(第31頁) 本発明の開示に従って処理するときに生成した画像はホ
トツール細部を忠実に再生し、子分の3インチ(0,0
76fl )の巾および分離を有するラインを含んでい
る。更に、150本のライン、5%から95 %までの
ハーフトーンのドラトノ耐ターンからなる画像が忠実に
再現可能である。
The above method and disclosed apparatus can produce images of excellent resolution using many available photopolymer resins, commonly described as UV curable photopolymer resins. These photosensitive resins are currently applied in screen printing, and are cured by UV irradiation for image printed wiring boards, printed meter display boards, name tags, and screen printed four-color images. Images produced when these photopolymer resins are processed in accordance with the present disclosure (page 31) faithfully reproduce phototool detail and are as small as 3 inches (0,0
76fl ) width and separation. Furthermore, it is possible to faithfully reproduce an image consisting of 150 lines and 5% to 95% halftone doratono-resistance.

光透明画像を液状感光性樹脂表面と直接接触させること
によって、本発明方法および装置は子分の0.25イン
チ(0,006wx )から子分の2インチ(0,05
m)以上の間のフィルム厚さを用いて解像の向上した画
像を提供することができる。しかし乍ら、成るタイプの
透明画像が再使用さるべき場合、ひっかき傷または未除
去若しくは部分的に硬化した感光性樹脂の形態でのノイ
ズ蓄積によって解像を消失することがある。かくして、
画像再生光透明体からなるホトツールは、解像の改良、
より長い寿命および液状感光性樹脂層との相乗関係をも
たらすように本発明では特別に処理される。
By bringing a light-transparent image into direct contact with a liquid photopolymer surface, the method and apparatus of the present invention can be applied from 0.25 inches (0,006 wx ) of henchmen to 2 inches (0,05
Film thicknesses between m) and above can be used to provide images with improved resolution. However, if such types of transparent images are to be reused, resolution may be lost due to noise accumulation in the form of scratches or unremoved or partially cured photopolymer. Thus,
Phototools made of transparent image reproducing light can improve resolution,
It is specially treated in this invention to provide a longer life and synergistic relationship with the liquid photopolymer layer.

特に、本発明はポリプロピレンのような感光性樹脂離脱
表面接触フィルム上に画像を形成するの特開昭8O−1
20355(9) で、ひっかき傷、画像の損傷または硬化感光性樹脂の蓄
積によって解像能力を低下することなく、無光および硬
化抜液状樹脂表面から画像のあるホトツールを繰り返し
剥離し再使用することができる。画像のある表面を有す
るホトツールをひっがき傷耐性にするために、通常の光
画像パターンと比較して熱を減少する黄色着色剤として
ポリプロピレン離脱フィルム中に染め込む。薄いアルき
ニウムホトパターン画像もホトツール中の熱発生を減少
させる。
In particular, the present invention relates to the formation of images on photosensitive resin release surface contact films such as polypropylene, published in Japanese Patent Publication No.
20355(9) for repeated peeling and reuse of imaged phototools from non-light and cured drainable resin surfaces without reducing resolution capability due to scratches, image damage, or build-up of cured photopolymer. I can do it. To make the phototool with the imaged surface scratch resistant, it is impregnated into the polypropylene release film as a yellow colorant that reduces heat compared to the normal photoimaged pattern. Thin aluminium photopattern images also reduce heat generation in the phototool.

熱発散のだめに、冷却剤として液体を硬化表面およびホ
トツールと熱的に接触させる。1つの実施態様では、液
体は感光性樹脂層表面の空気および空気泡の排除層とし
ても作用する。
A liquid is brought into thermal contact with the hardening surface and the phototool as a coolant for heat dissipation. In one embodiment, the liquid also acts as an air and air bubble exclusion layer on the surface of the photopolymer layer.

かくして、ホトレジストコーティングは、感光性樹脂の
溶解性に影響を与えない液体相、好ましくは水溶叡中に
被覆PWBおよびホトツールを浸漬し、液体相にある間
にホトレジストを露光することによって生成基材上に高
速度および高精密度でPWBに適用される。
Thus, photoresist coatings are produced on substrates by dipping the coated PWB and phototool in a liquid phase that does not affect the solubility of the photosensitive resin, preferably an aqueous solution, and exposing the photoresist while in the liquid phase. applied to PWB with high speed and high precision.

(第33頁) 通常のガラス板光透明体は光硬化レジストを受けるべき
でないPWB部位に対応する不透明部を有するように調
製される。
(Page 33) Conventional glass plate phototransparencies are prepared with opaque areas corresponding to PWB areas that should not receive photocured resist.

UV硬化装置は単に水を入れたトレイを運搬するシャト
ルコンベヤーからなっており、PWBのような感光性樹
脂被覆物は水の下でUV灯を通過して運ばれる。PWB
は公知の感光性樹脂組成物で均一に被覆する。コーティ
ングは、端子部を含めてPWBの全表面に感光性樹脂を
位置させるように、ブランクスクリーンまたはステンシ
ルを有しないスクリーンを用いるスクリーンプリントに
よって達成される。被覆PWBを水の入ったトレイ中に
置き、直ちに感光性樹脂表面から全ての空気を置換する
A UV curing device simply consists of a shuttle conveyor carrying a tray containing water, and the photopolymer coating, such as PWB, is conveyed under the water and past a UV lamp. PWB
is uniformly coated with a known photosensitive resin composition. Coating is accomplished by screen printing using a blank screen or a screen without a stencil to place the photopolymer over the entire surface of the PWB, including the terminals. Place the coated PWB in a tray of water and immediately displace all air from the photopolymer surface.

水と液状感光性樹脂の間には有意の化学反応は全く生起
しない。
No significant chemical reaction occurs between the water and the liquid photopolymer.

次に、ガラス板光透明体を被徨板の上部に整合し接触さ
せて置き、毎分15フイートのオーダーの速度で管状水
銀灯を通過して移動させ、光照射領域を硬化させる。ア
センブリヲ除キ、ホトツールをPWBから分離し、次い
でPWBを未露光感光性樹(第34頁) 脂を洗い出すために溶媒噴霧塔に付す。
A glass plate optical transparency is then placed in alignment with and in contact with the top of the plate and moved past a tubular mercury lamp at a speed on the order of 15 feet per minute to cure the illuminated area. Remove the assembly, separate the phototool from the PWB, and then subject the PWB to a solvent spray tower to wash out the unexposed photosensitive resin (page 34).

本開示方法はまた、被覆され次いでUV光露光で硬化さ
れる、特にポリエステルフィルムのような温度感応性の
もろい基板上の感光性樹脂の硬化にも有用である。
The disclosed method is also useful for curing photosensitive resins, particularly on temperature sensitive fragile substrates such as polyester films, which are coated and then cured by exposure to UV light.

本開示方法はプリント配線板上の光画像化メッキおよび
エッチレジスト並びにはんだマスクに適うものである。
The disclosed method is suitable for photoimaging plating and etch resists and solder masks on printed wiring boards.

好ましい実施態様は、回路図形およびスルーホールを有
するプリント配線板の不整正表面上に感光性樹脂の2つ
の薄層をラミネートする。かくして、最初の液状ネガ型
作用樹脂層を配線板表面上に配置し、第2の液状感光性
樹脂層を第1層上部のスクリーン上に配置し、そして全
体のラミネート化の前に部分的に硬化する。第21Mが
ポジ型作用乾燥フィルム感光性樹脂である場合、場合に
よっては特別の利点が達成される。
A preferred embodiment laminates two thin layers of photopolymer onto the irregular surface of a printed wiring board having circuit features and through holes. Thus, a first layer of liquid negative-working resin is placed on the board surface, a second layer of liquid photosensitive resin is placed on the screen on top of the first layer, and a layer of liquid photosensitive resin is placed on the screen on top of the first layer, and then partially laminated before total lamination. harden. Particular advantages are sometimes achieved when the 21M is a positive working dry film photopolymer.

液状感光性1M脂層を用いてプリント配線板のスルホー
ルをテンティングするための改良方法は、上記ホールを
上張りするための配線板上へのラミ(第35頁) ネートの前に転写スクリーン上に液状層を配置すること
により提供される。液状感光性樹脂はラミネート化前に
空気中で照射するような方法で部分的に重合化すること
もできる。
An improved method for tenting through-holes in a printed wiring board using a liquid photosensitive 1M oil layer includes laminating onto the wiring board to overlay the holes (page 35). provided by placing a liquid layer on. The liquid photopolymer can also be partially polymerized prior to lamination, such as by irradiation in air.

(好ましい実施態様の説明) コンピューター等級のPWBは、鮮明に境界づけられた
縁を有し、傷および出っ張りのない0.010インチ巾
(0,025cm )のオーダーの導体ラインおよび間
隔を有する79!ネル形態で典型的に製造される。更に
、導体を形成する画像化レジストは、メッキまたはエツ
チング薬品、温度および浸漬時間に適合する一定の厚さ
を維持しカけれは々らない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Computer grade PWBs have conductor lines and spacing on the order of 0.010 inch wide (0.025 cm) with sharply defined edges and are free of scratches and bulges. Typically manufactured in flannel form. Additionally, the imaged resist forming the conductor must maintain a constant thickness compatible with the plating or etching chemicals, temperatures and soak times.

余りにも薄いレジストは破損および所望しない部位での
金属メッキを生じる。
Too thin a resist results in breakage and metal plating in undesired locations.

PWB製造に用いられるUV硬化性感光性樹脂は、銅表
面上にスクリーンプリントにより適用され、インチ轟り
200ワツトの水銀打丁毎分12フィート(3,66メ
ートル)の速さでの移動により硬化されている。基板は
平方インチ面積当り約200ワツト・秒のエネルギーを
受けるので、表面温度がかなり特開昭GO−12035
5(10) 上昇する。典型的には、300度Fを超える表向温度が
見られる。前述の平方インチ(6,45cm2)当りで
要する200ワツト・秒のエネルギーは表向が空気に露
出している感光性樹脂に対してのものである。しかし乍
ら、試験した大部分の感光性樹脂は、本発明記載の連接
法によって空気を完全に排除する場合、露光エネルギー
を平方インチ(6,45平方センチメートル)蟲り僅か
50ワツト・秒にまで減することができる程度に空気に
よる影響を受ける。
The UV-curable photopolymer used in PWB manufacturing is applied by screen printing onto a copper surface and cured by a 200-watt mercury knife moving at a speed of 12 feet per minute. has been done. Since the substrate receives approximately 200 watts/second of energy per square inch area, the surface temperature is quite high.
5 (10) rise. Surface temperatures in excess of 300 degrees Fahrenheit are typically seen. The energy requirement of 200 watts per square inch (6.45 cm@2) mentioned above is for a photopolymer resin with its surface exposed to air. However, most photopolymer resins tested reduce exposure energy to only 50 watts per square inch (6.45 square centimeters) when air is completely excluded by the articulation method described in this invention. affected by air to the extent that it can be

本発明で使用されるようなホトツールは、再生さるべき
画像に対応する照射不透明部を有する透明シートであっ
て、硬化されるべき感光性樹脂の表面領域を制御するた
め上記ホトツールをUV灯と感光性樹脂表面との間に置
く。光画像、ホトマスクおよびホトツールのJ+3飴は
相互に交換して用いることができる。
The phototool as used in the present invention is a transparent sheet with an irradiated opaque area corresponding to the image to be reproduced, and the phototool is exposed to a UV lamp and exposed to light in order to control the surface area of the photosensitive resin to be cured. between the plastic surface and the plastic surface. The J+3 candies of light images, photomasks, and phototools can be used interchangeably.

先行技術はコーティングしたPWBをホトツールと接触
させないで画像化するけれども、高価な平行光源を必要
とし、即ち他の光源は光をアンダーカットし、ライン巾
の減少およびライン忠実度の(第37頁) 損失をもたらすので、この方法は原価的に有効でない。
Although prior art images coated PWBs without contacting the phototool, they require expensive collimated light sources, i.e., other light sources may undercut the light and reduce line width and line fidelity (page 37). This method is not cost effective as it results in losses.

非平行光源紫使用しても鮮細なライン画像化を達成する
ために、本願で児成するように、ホトツールの画像を有
する表面が感光性樹脂層表面に隣接することが必要であ
る。
In order to achieve sharp line imaging even when using a non-collimated light source, it is necessary that the image-bearing surface of the phototool be adjacent to the surface of the photosensitive resin layer, as developed herein.

第1図は、PWB基板1および感光性樹脂層表面3に連
接しているホトツール4の断面を示す。
FIG. 1 shows a cross section of a phototool 4 connected to a PWB substrate 1 and a surface 3 of a photosensitive resin layer.

PWB lは感光性樹脂層3で予めざっとコーティング
されている。ホトツール4は、PWB l中のドリル孔
47に整合した不透明領域7を有し、PWB lおよび
その導体層52の上方で接触しないで位置する。
The PWB 1 is preliminarily coated with a photosensitive resin layer 3. The phototool 4 has an opaque region 7 aligned with the drill hole 47 in the PWB 1 and is located above the PWB 1 and its conductor layer 52 without contact.

矢印46の方向に動くアセンブリ6は硬度間ジュロメー
タ−のゴム製ブレードを有し、このブレードはホトツー
ル4の上部表面を通過する。ホトツール4上への方向8
の力F1はホトツールを感光性樹脂に接触させ、9方向
に動く力FQはブレード10をホトツールの上側を通過
させ、ホトツールを感光性樹脂と両次連接させる。この
技術は感光性樹脂からコーティングサイクル中捕捉し得
る空気泡を除き、更にエネルギーも節約し、感光性樹脂
表面(第38頁) 3に接触する空気を除去することによって処理時間を減
少させる。
Assembly 6, moving in the direction of arrow 46, has an interdurometer rubber blade which passes over the upper surface of phototool 4. Phototool 4 Up direction 8
The force F1 brings the phototool into contact with the photosensitive resin, and the force FQ moving in nine directions causes the blade 10 to pass over the phototool and bidirectionally connect the phototool with the photosensitive resin. This technique eliminates air bubbles that may be trapped during the coating cycle from the photopolymer, and also saves energy and reduces processing time by eliminating air contacting the photopolymer surface (page 38) 3.

この連接技術は、他の場合には容易に得られない幾つか
の非常に望ましいtF#eを有する。第1に、感光性樹
脂表面は、コーディングされるときまだらでも良く、ま
たはオレンジビール効果を有する。
This articulation technique has some highly desirable tF#e that is not easily obtained otherwise. First, the photopolymer surface may be mottled or have an orange beer effect when coated.

これら表面の不規則は平滑にされ、連接表面はホトツー
ル4並びにpw:s 1のような基板の平滑可塑性表面
トポロジーに適合する。PWBの場合には、基板は、例
えばホトツール4の画1家に適合し得る銅1@52の表
面を備えている。露光した感光性樹脂は第1図中で、表
面接層器材10、好ましくはゴム製ブレードをホトツー
ル4表面を横切って予め走査するため表面対表面で接触
している、感光性樹脂の交叉斜線部2で示される。
These surface irregularities are smoothed out and the articulating surface conforms to the smooth plastic surface topology of substrates such as Phototool 4 as well as pw:s 1. In the case of PWB, the substrate has a surface of Copper 1@52 which may be compatible with the contour of the phototool 4, for example. The exposed photopolymer is shown in FIG. 1 at cross-hatched areas of the photopolymer in which a surface coating device 10, preferably a rubber blade, is in surface-to-surface contact for pre-scanning across the surface of the phototool 4. 2.

(交叉斜線部の)感光性樹脂3と連接したホトツール4
0表面領域において、強力な保持力がホトツールとPW
B表面との間に維持される。それ故、大気圧11(第1
図)は、外部真空源なしで、ホトツールを感光性樹脂表
面と無限に密漕させる。ホ(第39頁) トツールの不透明部7(好ましくは表面が不整再でない
)は感光性樹脂表面3に密着しており、感光性樹脂は非
平行光源14等で露光することができ、ホトツール上の
画像をPWB感光性樹脂に諸解像再生させてメツキレシ
スト層として役立たせることができる。
Phototool 4 connected to photosensitive resin 3 (in the cross-hatched area)
0 surface area, strong holding force is achieved by phototool and PW.
It is maintained between the B surface and the B surface. Therefore, atmospheric pressure 11 (first
Figure) allows a phototool to be intimately coupled with a photopolymer surface indefinitely without an external vacuum source. (Page 39) The opaque part 7 of the photo tool (preferably the surface is not irregular) is in close contact with the photosensitive resin surface 3, and the photosensitive resin can be exposed with a non-parallel light source 14 etc. The image can be reproduced in various resolutions on a PWB photosensitive resin and used as a mesh resist layer.

第2図は感光性樹脂3を硬化する好ましい方法を示す。FIG. 2 shows a preferred method of curing photosensitive resin 3. FIG.

この目的のために、UV灯14および集光反射器13ヲ
ブレード10と同一可動性通過のアセンブリ21に装着
する。ブレードがホトツールを感光性樹脂と連接させた
後、光線12がホトツール透明部の直下にある感光性樹
脂層2を露光し、重合化する。光線12はブレード10
の前方にある上記透明部を露光することはできない。
For this purpose, the UV lamp 14 and the condensing reflector 13 are mounted on an assembly 21 of the same movable passage as the blade 10. After the blade connects the phototool with the photopolymer, the light beam 12 exposes and polymerizes the photopolymer layer 2 directly below the phototool transparency. Ray 12 is blade 10
The transparent portion in front of the lens cannot be exposed to light.

第2図は液体冷却剤供給装置を示す。貯蔵器15は冷却
剤17をスポンジ16に、次いでホトツール4および感
光性樹脂3と熱的に接触する小滴として示されるフィル
ム状でホトツール4に供給する。
FIG. 2 shows a liquid coolant supply system. The reservoir 15 supplies a coolant 17 to the sponge 16 and then to the phototool 4 in the form of a film shown as droplets in thermal contact with the phototool 4 and the photopolymer 3 .

アセンブリ21をホトツール4に接触するように下降さ
せると、回転シャッター19によって自動的に特開昭G
O−120355(11) 閉鎖される。光おおい幕加はホトツール4に接触し、集
光反射器13に溢って上方に滑動し、連接感光性樹脂を
露光するために開く回転シャッター19を動かす。矢印
53は静止から運転状態に動き、次いで感光性樹脂1i
3から離れた位置に戻る通過アセンブリの往復運動を示
す。
When the assembly 21 is lowered so as to come into contact with the phototool 4, the rotary shutter 19 automatically
O-120355(11) Closed. The light shroud contacts the phototool 4 and slides upwards over the condensing reflector 13, driving a rotating shutter 19 which opens to expose the continuous photopolymer. The arrow 53 moves from rest to operating state, and then the photosensitive resin 1i
3 shows the reciprocating movement of the passage assembly back to the position away from 3.

第2図は3つの明確な区分または感光性樹脂の状態を示
す。灯火14下の感光性樹脂2は交叉斜線によって示さ
れるように重合化され、一方スポンジ161の感光性樹
脂2は真空下ではあるが斜線により示されるようにまだ
露光されていない。感光性樹脂3は未だホトツール4に
接触しておらず、それ故点で示されるように空気と接触
する大、気圧状態である。本願方式は露光前のホトツー
ル全体の降下に数秒間を要するので、この漸進的な露光
方法は感光性樹脂を用いるプリント板製造技術において
進歩している。
FIG. 2 shows three distinct divisions or states of photopolymer. The photosensitive resin 2 under the lamp 14 is polymerized as shown by the cross-hatched lines, while the photosensitive resin 2 on the sponge 161 is under vacuum but not yet exposed as shown by the hatched lines. The photosensitive resin 3 has not yet come into contact with the phototool 4, and is therefore in a state of atmospheric pressure where it is in contact with air, as shown at the point. This gradual exposure method is an advance in the art of manufacturing printed circuit boards using photopolymer resins, since the present method requires several seconds to lower the entire phototool before exposure.

好ましい液状感光性樹脂はニューシャーシー州ローウェ
イ所在のMg、、 T Chemical Compa
ny テ製造された製品番号1075のUV硬化性感光
性樹脂であ(第41頁) る。このものは、光照射部で硬化し、不透明画像で印さ
れた非露光部で液状のまま残るネガ型作用樹脂である。
A preferred liquid photopolymer is manufactured by Mg.T Chemical Compa, Rahway, New Chassis.
This is a UV curable photosensitive resin manufactured by NY Te, product number 1075 (page 41). This is a negative-working resin that hardens in the exposed areas and remains liquid in the unexposed areas marked with an opaque image.

非露光液状感光性樹脂はインプロピルアルコールおよび
トリクロロエタンの50qb溶液で洗い出す。
The unexposed liquid photopolymer is washed out with a 50 qb solution of inpropyl alcohol and trichloroethane.

これらのホトレジストは更に、十分の1〜2インチ(0
,025wm 〜0.05mm )の厚さにスクリーン
プリントされ、各灯火がインチ(2,54z )当り2
00ワツトであり、コンベヤー速度が毎分12フイート
である2灯火アセンブリによって硬化される。開示した
装置では、ホトツールは灯火とPWBとの間に位置させ
、ホトツールを300度Fまでの範囲の温度に付す。ホ
トツール温度は異なる灯火源を使用し、露光時間を40
秒のオーダーまで増加させて、1009 F以下に減す
ることができる。1つの実施態様は、不透明部7の上部
に高温シリコンゴム剥離層を有するポリエステルシート
をホトツールシート4として使用する。これはホトツー
ルが硬化画像に接着するのを防ぎ、何回にも亘る再使用
を妨げるような、露光中液状感光性樹脂層と直接接(第
42頁) 触した画像のある表面を損傷させない。シリコン層は非
常に薄いため、得られる解像を極度には制限しない。
These photoresists also have a thickness of one to two tenths of an inch (0.
,025wm ~ 0.05mm) thickness, each light has a density of 2
00 watts and a conveyor speed of 12 feet per minute. In the disclosed apparatus, the phototool is positioned between the light and the PWB, and the phototool is subjected to temperatures ranging up to 300 degrees Fahrenheit. Phototool temperature uses different light sources and exposure time is 40
It can be increased to the order of seconds and reduced to below 1009 F. One embodiment uses a polyester sheet as the phototool sheet 4 with a high temperature silicone rubber release layer on top of the opaque portion 7 . This prevents the phototool from adhering to the cured image and does not damage the surface of the image that came into direct contact with the liquid photopolymer layer during exposure (page 42), which would prevent it from being reused many times. Since the silicon layer is very thin, it does not severely limit the resolution that can be obtained.

成る基板冷却技術はUV灯打丁ある間に基板上に(資)
度Fで冷窒気を強制通風する。この冷却技術は高価で、
エネルギーの浪費である。
The substrate cooling technology consists of
Forced ventilation with cold nitrogen at 0.5°F. This cooling technology is expensive;
It's a waste of energy.

過熱を防ぐためにプリント基板上に水を噴暢すると水が
熱い灯火表面に当る危険があって、悲劇的な損害をもた
らす。
If you squirt water onto a printed circuit board to prevent overheating, you run the risk of the water hitting the hot lamp surface, causing catastrophic damage.

本開示は、液体冷却剤を加熱ホトツール表面および感光
性樹脂層と熱的に接触させて導入する方法を教示する。
The present disclosure teaches a method of introducing a liquid coolant into thermal contact with a heated phototool surface and a photopolymer layer.

これは第2図中で連接ブレード10の端部でなされる。This is done at the end of the articulated blade 10 in FIG.

50係の水−アルコール溶液をスポンジによりホトツー
ル巾を横切って適用する。
Apply a 50 part water-alcohol solution across the width of the phototool with a sponge.

多数の液体が使用可能であるが、ホトツールを完全に湿
し、冷却剤のビーズ化を防ぐことが必要である。冷却剤
は蒸発してホトツールから熱を吸収するが、UV光エネ
ルギーの伝達を有意には減少Aせない。アルコール−水
溶液はホトツール温度を200度Fまたはそれ以下に保
つ。
Although a number of liquids can be used, it is necessary to completely wet the phototool and prevent beading of the coolant. Although the coolant evaporates and absorbs heat from the phototool, it does not significantly reduce the transmission of UV light energy. The alcohol-water solution maintains the phototool temperature at or below 200 degrees Fahrenheit.

(第43頁) 第2図で示されるように、貯蔵器15は冷却溶液を含有
し、冷却溶液はスポンジ16によってホトツール4に供
給される。2つの連続灯火を使用する場合、小滴18と
して示される冷却剤フィルムは最初の灯火14で部分的
に蒸発し、2番目のUV灯火下を通過するときに減少し
たtで残ってホトツール冷却をもたらす。
(Page 43) As shown in FIG. 2, the reservoir 15 contains a cooling solution, which is supplied to the phototool 4 by means of a sponge 16. When using two consecutive lights, the coolant film, shown as droplets 18, partially evaporates in the first light 14 and remains at reduced t to provide phototool cooling as it passes under the second UV light. bring.

第7図の実施態様では、PWB 33全体および上面被
覆した感光性樹脂層32は、水のような感光性樹脂の溶
解性を変化させない冷却剤液体43の下部に配置される
In the embodiment of FIG. 7, the entire PWB 33 and top coated photopolymer layer 32 are placed under a coolant liquid 43 that does not alter the solubility of the photopolymer, such as water.

かくして、コーティングしたプリント配線板33は、深
さ約1センチで、水性溶液を含有するトレイ42中に置
かれる。回路板部を水中に置くことによって、全ての空
気は直ちに感光性樹脂層32表面から排除され、感光性
樹脂コーティング、スルホールおよび刻み目中の小さい
でこほこからも排除される。ガラス板ホトツール3oを
水中に置き、 pwB上部に整合して位置させ、PWB
表面上へ降下させる。この位置で、ホトツールIの乳剤
31は回路板特開昭GO−120355(12) お図形上の湿潤感光性樹脂32と密着しており、一方ガ
ラス表面の他の場所は、ベースラミネートを覆っている
感光性樹脂から約0.004インチ(0,01crn)
離れていることができる。ベースラミネートあは金属導
体あおよび回路孔35を肩する。感光性樹脂層32はベ
ースラミネート33および金属導体討の上表面を均一に
被覆する。不透明乳剤部31を有するホトツール加は、
ホトツール(資)の乳剤31が感光性樹脂層32と接触
するようにPWB上に載っている。水43は、全ての空
気を置換するように、感光性樹脂表面とホトツール(9
)の下端との間の容積を満たす。
The coated printed wiring board 33 is thus placed in a tray 42 containing an aqueous solution, approximately 1 cm deep. By placing the circuit board section in water, all air is immediately expelled from the surface of the photopolymer layer 32, as well as from small bumps in the photopolymer coating, through-holes, and notches. Place the glass plate phototool 3o in the water, align it with the top of the PWB, and
lower onto the surface. In this position, the emulsion 31 of Phototool I is in close contact with the wet photosensitive resin 32 on the circuit board JP-A-120355 (12) figure, while elsewhere on the glass surface it is in close contact with the wet photosensitive resin 32 covering the base laminate. Approximately 0.004 inch (0.01 crn) from the photosensitive resin
I can stay away. The base laminate covers the metal conductor back and circuit holes 35. The photosensitive resin layer 32 uniformly covers the upper surface of the base laminate 33 and the metal conductor board. The phototool addition having the opaque emulsion portion 31 is
An emulsion 31 manufactured by Phototool Co., Ltd. is placed on the PWB so as to be in contact with the photosensitive resin layer 32. Water 43 is applied to the photosensitive resin surface and the phototool (9) so as to displace all the air.
) fills the volume between the bottom edge of the

管状水銀灯および集光反射器装置41で、UV光がホト
ツールの上部および下部の水の層を通過して感光性樹脂
32上へ注ぐ。トレイ42は、感光性樹脂32全体を運
ぶために艶の方向に相対的に移動する。
With a tubular mercury lamp and condensing reflector device 41, UV light passes through the water layers at the top and bottom of the phototool and onto the photopolymer 32. The tray 42 moves relatively in the direction of the gloss to convey the entire photosensitive resin 32.

露光後ホトツール(資)およびPWB 33をトレイか
ら除き分離する。硬化した感光性樹脂および非露光感光
性樹脂の双方の全部がPWB 33上に残り、何れもホ
トツール(資)に接着しない。
After exposure, the phototool and PWB 33 are removed from the tray and separated. All of the cured photoresin and unexposed photoresist remain on the PWB 33 and none adhere to the phototool.

(第46頁) はんだマスクコーティングは、非硬化感光性樹脂を洗い
出すためにPWB 33上に溶媒を噴霧して完了する。
(Page 46) Solder mask coating is completed by spraying a solvent onto the PWB 33 to wash out the uncured photopolymer.

適当な溶媒は、トリクロロエタン85容量部およびイソ
プロピルアルコール15答量部の混合物である。未硬化
感光性樹脂を現像するのに適当な噴霧装置は、加秒のオ
ーダーの周期時間を用いるDIIFONTの[AJ P
ROCII488ORである。
A suitable solvent is a mixture of 85 parts by volume trichloroethane and 15 parts by volume isopropyl alcohol. A suitable atomizer for developing uncured photopolymer is DIIFONT's [AJ P
It is ROCII488OR.

これまで、該方法は、硬化感光性樹脂をpWB 33の
表面上の層32から離すことによって、はんだマスク層
を調製している。初期画像化は、ペースラミネート上に
基体導体パターンを形成するメツキレシストまたはエッ
チレジストのどちらかのレジストのホトパターン化に関
する。開示した方法は、初期画像化にとって同様に有利
である。装置および方法は、感光性樹脂を除いてはんだ
法について前記詳述したのと同一である。ニューシャー
シー州ローウェイ所在のM&TCHBM工CAL工IC
,で製造した[TYPFi Cuff ll0Jは初期
画像化のメッキおよびエッチレジストの双方として使用
するのに好ましいホトレジストである。
To date, the method has prepared the solder mask layer by separating the cured photopolymer from layer 32 on the surface of pWB 33. Initial imaging involves photopatterning of a resist, either a peg resist or an etch resist, to form a substrate conductor pattern on the pace laminate. The disclosed method is equally advantageous for initial imaging. The equipment and method are the same as detailed above for the soldering process, except for the photopolymer. M & TCHBM Engineering CAL Engineering IC located in Rahway, New Chassis
TYPFi Cuff 110J, manufactured by , is a preferred photoresist for use as both a plating and etch resist for initial imaging.

(第46頁) 水性溶液43の組成物は、使用される特定のホトレジス
トおよび所望の結果に従って変えることができる。前述
したように、全てのホトレジストがプリント配線板上に
残ることおよび光透明体が硬化または液状ホトレジスト
のどちらかを有しないでいることが重要である。r3H
r、、vJ型のはんだマスク感光性樹脂では、水性溶液
に液体洗浄剤を添加するとオフセット化を妨げ、光透明
体がホトレジストを有さない。混合割合は水のガロン当
り洗浄剤1オンスのオーダーである。
(Page 46) The composition of aqueous solution 43 can vary depending on the particular photoresist used and the desired result. As previously mentioned, it is important that all of the photoresist remains on the printed wiring board and that the optical transparency is free of either hardened or liquid photoresist. r3H
In r,,vJ type solder mask photosensitive resins, adding a liquid detergent to the aqueous solution prevents offset, and the optically transparent body does not have photoresist. The mixing ratio is on the order of one ounce of cleaning agent per gallon of water.

ホトレジストのホトスピードは、感光性樹脂の表面から
酸素を単に置換して得られるより以上に改善される。更
に1水性溶液に少量の酢酸を添加すると、水だけで達成
される以上にホトスピードを上昇させることが観察され
ている。
The photospeed of the photoresist is improved beyond that obtained by simply displacing oxygen from the surface of the photosensitive resin. Additionally, it has been observed that adding a small amount of acetic acid to an aqueous solution increases photospeed over that achieved with water alone.

固定装置42中に置いた、最上位の感光性樹脂表面を有
するPWB 33のような物品を、灯火下で島根を動か
すだめのコンベアベルト36を備えUV灯41を有する
第4図の無光装置rのコンベアペル)36上に置くこと
ができる。明らかに、本発明教示の方(第47頁) 法によって露光中感光性樹脂を液体溶液下に配置するた
めには中に水を有する容器42シか必要でないので、本
発明はかかる露光器具を単純化している。
The lightless device of FIG. 4 has a UV light 41 and includes a conveyor belt 36 for moving an article such as a PWB 33 with an uppermost photopolymer surface placed in a fixing device 42 under light. r conveyor pel) 36. Clearly, the invention teaches that no container 42 with water therein is required to place the photopolymer under a liquid solution during exposure according to the method taught by the present invention (p. 47); It's simplified.

露光源として運搬型UV−硬化装置37を使用すると2
つの利点がある。第1は、多数の異なるタイプの画像を
UV硬化装置の変更なしに連続して露光し得るので、製
造速度を更に速くすることができる。これによってPW
Bをトレイ42中に入れた感光性樹脂で被蝋し、使用時
にホトツールを連接し、単一の高速硬化装置で露光する
多大な製造能力が与えられる。
When using a transport type UV-curing device 37 as an exposure source, 2
There are two advantages. First, manufacturing speeds can be further increased since many different types of images can be exposed in succession without changing the UV curing equipment. This allows PW
B is brazed with a photopolymer in a tray 42, and in use provides a great deal of manufacturing capability to connect the phototool and expose with a single high speed curing device.

UV硬化装置を使用する2番目の特徴は、格別長い基板
を連接し、露光することができ、特大の室が必要でない
ことである。
A second feature of using UV curing equipment is that extremely long substrates can be articulated and exposed, and oversized chambers are not required.

ホトツールを作るために、澄明なポリエステルシートお
よびアルミニウム箔薄シートを、両者をしつかり結合す
る澄明シリコンシム接着剤の#1−を用いて一緒にラミ
ネートする。箔は、その卑さを0.0001インチ(0
,0025m )のオーダーに減少さ特開昭(lie−
120355(13)せるために、苛性ソーダで予めエ
ツチングされる。
To make the phototool, a clear polyester sheet and a thin sheet of aluminum foil are laminated together using clear silicone shim adhesive #1 to securely bond them together. Foil reduces its meanness by 0.0001 inch (0.0001 inch)
,0025m).
120355(13), pre-etched with caustic soda.

次いで、箔を画像エッチレジストで被接し、露光し、洗
い出し、次いでエッチした箔中のホトツール画像を製造
するため再びエツチングする。
The foil is then coated with an image etch resist, exposed, washed out, and then etched again to produce a phototool image in the etched foil.

広い黒色乳剤部はホトツールをゆがめる大量の熱を吸収
するが、アルミニウム表面は熱を反射し、吸収される総
量を減少させるので、エッチしたアルミニウム箔は他の
蝋色乳剤系より好ましい。
Etched aluminum foil is preferred over other waxy emulsion systems because the wide black emulsion areas absorb a large amount of heat that distorts the phototool, while the aluminum surface reflects the heat and reduces the total amount absorbed.

本発明に使用するため、接合した箔を有するホトツール
を第3図のホトツール枠冴に伸ばし、被覆し、第4図の
装置中に挿入する。ホトツール/4ターンと製造中画像
化される基板との間の正確な整合は、製造基板を、例え
ば整合ピン釘の使用の様な方法で整合して基板装着板n
上へ置くことによって達成される。次に、主図版を正確
に整合している基板の上部の枠冴中に置く。装着板を第
3図のようなホトツール枠にちょうつがいで整合して固
定する。弾力性ブレード10を、図版マスターから予め
像を形成したポリエステルシート4および感光性樹脂被
援ポリエステルシートを横切って(第49頁) 引き、それによシ箔表面7の形態の図版を転写する。
For use in the present invention, a phototool with bonded foils is stretched into the phototool frame of FIG. 3, coated, and inserted into the apparatus of FIG. 4. Accurate alignment between the phototool/four-turn and the substrate being imaged during fabrication is achieved by aligning the fabrication substrate with a method such as the use of alignment pins and board mounting plates.
This is achieved by placing it on top. The main illustration is then placed in the frame on top of the board in precise alignment. Align and fix the mounting plate to the phototool frame as shown in Figure 3 using hinges. A resilient blade 10 is drawn (page 49) across the polyester sheet 4 preimaged from the illustration master and the photopolymer assisted polyester sheet to transfer the illustration in the form of the foil surface 7 thereto.

柔軟性ポリエステルシートのホトツール4はDow C
orningの製品番号734 RTVのシリコンゴム
接着剤を用いて箔表面を被検される。これは2つの重要
な機能に役立つ。第1に、弾力性ゴムがPWB表面の小
さい汚い粒子と一利し得ることである。連接サイクル中
、PWB表面のでこぼこはホトツールとPWB表面間を
分離させ、この分離はPWB自身のでこぼこよりも更に
広い領域上の画像を台欧しにする。弾力性であるシリコ
ンゴムは不整正に順応し、台なしになる領域を減少させ
る。第2に、シリコンゴム接着剤は、硬化感光性樹脂が
接着しない非粘着性表面をホトツール上に形成する。
Phototool 4 of flexible polyester sheet is Dow C
The foil surface was tested using Orning's Product No. 734 RTV silicone rubber adhesive. This serves two important functions. First, the resilient rubber can interact with small dirty particles on the PWB surface. During the articulation cycle, irregularities on the PWB surface cause separation between the phototool and the PWB surface, and this separation causes the image to blur over an even larger area than the irregularities on the PWB itself. The silicone rubber, which is resilient, conforms to irregularities and reduces ruined areas. Second, the silicone rubber adhesive forms a non-stick surface on the phototool to which the cured photopolymer will not adhere.

本開示で今まで、柔軟性ホトツールの使用を記載してき
た。ホトツールは全ての場合に柔軟性である必要はない
。例えば、柔軟性プリント配線回路の画像化時には、ホ
トツールはガラス板であることができ、柔軟性基板はブ
レードを柔軟性基板を横切って引くことによってホトツ
ールと連接さく第50頁) れる。かくして、第3図の構成物で基板とホトツールを
単に位置交換するだけである。次いで、光走査を反対側
に生じさせることが必要である。
So far in this disclosure, we have described the use of flexible phototools. Phototools do not need to be flexible in all cases. For example, when imaging flexible printed circuits, the phototool can be a glass plate and the flexible substrate is articulated with the phototool by drawing a blade across the flexible substrate. Thus, the arrangement of FIG. 3 simply swaps the substrate and phototool. It is then necessary to cause light scanning to occur on the opposite side.

第3図は、精密な整合が要求される場合、運搬型UV硬
化装置を露光光源として使用する場合または予め整合し
た固定器具を必要とする場合に使用するための、ホトツ
ールおよびPWBを、整合し接触しない状態で装着する
ための固定器具を示す。
Figure 3 shows an aligned phototool and PWB for use when precise alignment is required, when a portable UV curing device is used as the exposure source, or when a pre-aligned fixture is required. A fixation device for non-contact application is shown.

固定器具42で、PWBIは基板n上に装着はれ、ピン
舒によって整合される。ホトツール4は、ホトツールを
孔をあけたPWB 1と整合して維持する枠U上に装着
される。ちょうつがいるによってPWBの配置および除
去のために持ち上げたり下げたりすることができる。空
間用突起あはホトツール4とPWB 、1の上表面との
間を接触させないで維持する。
At fixture 42, the PWBI is mounted onto substrate n and aligned by pins. The phototool 4 is mounted on a frame U that maintains the phototool in alignment with the perforated PWB 1. The hinges allow the PWB to be raised and lowered for placement and removal. The space protrusion maintains contact between the phototool 4 and the upper surface of the PWB 1.

第3図で、装着基板22は下側に固着した金褐細片48
を一有しており、その目的は、露光アセンブリを連接ブ
レード10の位置決定用制御センター51で下げ機構作
動に寄与する感知器間を通過して49方(第51頁) 向に運ぶとき、電気信号を生起させることである。
In FIG. 3, the mounting board 22 has a gold-brown strip 48 fixed to its lower side.
Its purpose is to transport the exposure assembly in the 49 direction (page 51) through the sensors that contribute to the operation of the lowering mechanism at the control center 51 for position determination of the connecting blade 10. It is the generation of an electrical signal.

52での同様な電気信号は連接ブレードを交互に上昇さ
せる。かくして、画像部の先導端部でのホトツールとブ
レード10との接触は自動化される。感知器52での信
号もまた画像部の引き工程端部においてブレードを自動
的に上昇させる。
Similar electrical signals at 52 alternately raise the articulating blades. Thus, the contact between the phototool and the blade 10 at the leading edge of the image section is automated. A signal at sensor 52 also automatically raises the blade at the end of the image section pull stroke.

次のチャートはホールテンティングを要しない場合に行
われる本発明の製造工程を示す。
The following chart shows the manufacturing process of the present invention when hole tenting is not required.

a、ホトツールを製造し、固定6具に取り付ける。a. Manufacture the phototool and attach it to the 6 fixtures.

b、孔開けしたPWBまたはホトツールをペースト状感
光性樹脂で被接する。
b. Cover the perforated PWB or phototool with a paste-like photosensitive resin.

a、PWBを固定器具上に整合して取り付ける。a. Align and install the PWB on the fixture.

d、サンドイッチを形成するためにホトツールをPWB
と連接する。
d. PWB the phototool to form a sandwich
Concatenate with.

θ、ホトツールを通してPWBをUV光に露光する。θ, exposing the PWB to UV light through a phototool.

f、PWBからホトツールを分離し、硬化感光性樹脂を
PWB上に残す。
f. Separate the phototool from the PWB, leaving the cured photosensitive resin on the PWB.

g、PWB上の非露光ペースト状感光性樹脂を洗い出し
、所望ならば硬化#槓させる。
g. Wash out the unexposed pasty photosensitive resin on the PWB and harden if desired.

特開昭GO−120355(14) h、ホトツールに接着するどんな感光性樹脂も除去する
ためホトツールを拭い、サイクルを再び開始する。
JP-A-120355(14) h. Wipe the phototool to remove any photosensitive resin that adheres to the phototool and start the cycle again.

PWBを、工程すで、メッキ浴要件(温度、浸漬時間、
メッキ電流密度および化学的組成物)および沈積される
べきメッキ厚さで決定されるような所望の厚さ、通常子
分の0.5から2インチまで(0,013〜0.051
 wIllI)にスクリーンプリントして被覆する。感
光性樹脂厚さは主としてスクリーン織物地厚さおよび織
目の粗さのパーセントによって調節される。例えば、1
56メツシユのポリエステル織物地はPWBを約1ミル
の厚さに被覆し、230メツシユの織物地は0.3ミル
(0,076mm ) 厚さのコーティングを沈積する
。ホトツールは接触しないで維持されるが、第3図で示
されるように、固定装置により被覆し九PWBの上方に
正しく配置される。非接触距離は12 X 18インチ
(0,3x O,46m )のPWBに対して0.06
0インチ(0,15cIn)のオーダーである。被覆P
WBの一方の端にブレードを押しつけ、 PWBの長さ
を横切って引くことによってホ(第53頁) トツールを被覆FW’Bと連接し、その際ブレード長さ
のインチ(2,54crn)当り2ポンド(0,9ゆ)
の下向きの力を用いる。
During the PWB process, the plating bath requirements (temperature, immersion time,
the desired thickness as determined by the plating current density and chemical composition) and the plating thickness to be deposited, typically from 0.5 to 2 inches (0.013 to 0.051
screen print and cover. The photopolymer thickness is primarily controlled by the screen fabric thickness and the percentage of weave coarseness. For example, 1
A 56 mesh polyester fabric coats the PWB to a thickness of approximately 1 mil, and a 230 mesh fabric deposits a 0.3 mil (0,076 mm) thick coating. The phototool is kept out of contact, but properly positioned over the nine PWBs, covered by the fixation device, as shown in FIG. Non-contact distance is 0.06 for a 12 x 18 inch (0.3 x O, 46 m) PWB
It is on the order of 0 inch (0.15 cIn). Covering P
Connect the tool with the coating FW'B by pressing the blade against one end of the WB and pulling it across the length of the PWB, at a rate of 2 per inch (2,54 crn) of blade length. Pound (0,9 Yu)
Use the downward force of

工程fの非露光感光性樹脂の洗い出しは、10秒から側
枕まで続く、例えばトリクロロエタンの溶液噴霧塔を用
いて達成される。
Washing out the unexposed photosensitive resin in step f is accomplished using a solution spray tower of, for example, trichloroethane, lasting from 10 seconds to the sidewall.

ホトツールの下側を拭い取る工程りは、露光PWB除去
後ホトツール上に残っている非露光感光性樹脂を取り除
くために必要とされる。ホトツール上に残していると、
次の画像が、捕捉された空気の存在によって損われるこ
とがある。通常、PWB上の感光性樹脂コーティング厚
さに依り、第2番目または第3番目の露光サイクル毎の
後、ホトツールを拭うことが必要である。拭い取りは1
.eターンを除去し、残っている感光性樹脂を更に平ら
に分布させるためにゴムローラーを使用して達成される
The step of wiping the underside of the phototool is required to remove unexposed photoresist remaining on the phototool after removing the exposed PWB. If you leave it on the photo tool,
The subsequent image may be corrupted by the presence of trapped air. Typically, it is necessary to wipe the phototool after every second or third exposure cycle, depending on the photopolymer coating thickness on the PWB. Wipe 1
.. This is accomplished using a rubber roller to remove the e-turns and more evenly distribute the remaining photopolymer.

選択孔をホトイメージレリストによりテンティングすべ
きである場合、ホールテンティング法での主要な差違は
工程すであり、その際PWBよりも(第54頁) むしろホトツールが被覆される。
The main difference in the hole tenting method is the process, when selected holes are to be tented with a photoimage resist, in which the phototool rather than the PWB (page 54) is coated.

もう1つの差違は、ホトツールをコーティングする工程
すで残存する感光性樹脂/耐ターンが除去されるので、
テンティングのときにホトツールを拭う必要がないこと
である。
Another difference is that the process of coating the phototool removes any remaining photopolymer/turn resistance.
There is no need to wipe the phototool during tenting.

前に記載したように、ホトツールは下側に澄明なシリコ
ンシムの薄層を有する。感光性樹脂のコーチインフラシ
リコンゴム上へスクリーンプリント(または他の手段)
して適用するとき、感光性樹脂は時間とともに面積が拡
大する「斑点」まだは割れ目を発現する。これは、湿潤
感光性樹脂のシリコンゴム捕捉能力の欠除によって引き
起こされ、感光性樹脂の表面張力はワックス引き表面で
の水のビーズ化に類似したビーズを感光性樹脂に形成さ
せる。
As previously described, the phototool has a thin layer of clear silicon shim on the underside. Screen printing (or other means) onto photopolymer coach infrasilicone rubber
When applied, photopolymer resins develop "spots" or cracks that increase in area over time. This is caused by the wet photopolymer's lack of silicone rubber acquisition ability, and the surface tension of the photopolymer causes it to form beads similar to the beading of water on a waxed surface.

斑点または割れ目の形成を防ぐために、本願開示の装置
はコーティングが適用されているときにホトツールを通
して感光性樹脂を無光または閃光照射する。この閃光工
程はホトツールの澄明部上部の感光性樹脂を僅かに重合
化するのに十分な強(第55頁) さであるが、外部表面を硬化させる程ではない。
To prevent the formation of spots or cracks, the apparatus of the present disclosure blinds or flashes the photopolymer through a phototool as the coating is applied. This flashing step is strong enough to slightly polymerize the photopolymer on the top of the clear section of the phototool (page 55), but not strong enough to harden the exterior surface.

ホトツール不透明部上部の感光性樹脂を閃光する必要は
ない。
There is no need to flash the photosensitive resin above the opaque part of the phototool.

この閃光工程は灯火強度および露光時間に関して決定的
であるようであるが、実際にはそうではない。本発明開
示で示された感光性樹脂および試験した全ての感光性樹
脂は空気阻害性であり、これは該感光性樹脂が空気の存
在下で必要とされるよりもより少ないUVエネルギーで
空気の不存在下硬化することを意味する。かくして、ホ
トツールをスクリーンプリントにより感光性樹脂で被覆
しているとき、スクリーン織物地が接触していないので
感光性樹脂の細い線だけが圧搾下で直ちに空気を奪われ
、圧搾下の線に清ってだけホトツールに接触する。先に
積層した感光性樹脂は、露光されても、プリントさるべ
き基板に良好に接着する湿潤表面を維持する。
Although this flashing step appears to be critical in terms of lamp intensity and exposure time, this is not actually the case. The photopolymer shown in this invention disclosure and all photopolymer tested are air inhibiting, which means that the photopolymer can absorb air with less UV energy than is required in the presence of air. Means to cure in the absence of it. Thus, when a phototool is coated with photopolymer by screen printing, only the thin lines of photopolymer are immediately deaerated under squeezing, as the screen fabric is not in contact, and the lines under squeezing are cleansed. Only contact the phototool. The previously laminated photopolymer, when exposed to light, maintains a wet surface that adheres well to the substrate to be printed.

この閃光技術はpwBレジスト画1家化での孔のテンテ
ィングの重要な一面である。即ち、閃光しないと感光性
樹脂が孔の縁で薄くな如、洗い出しお特開昭GO−12
0355(15) よびメッキ溶液に浸漬中に−l@壊われ勝ちであるので
、閃光照射しないで得られるよりも厚いフィルムが閃光
によってテンティングした札止に確保されるからである
This flash technique is an important aspect of hole tenting in PWB resist painting. In other words, if there is no flash, the photosensitive resin will be thin at the edge of the hole, so it will be washed out.
0355 (15) and tend to break down during immersion in the plating solution, the flash ensures a thicker film on the tented tag than would be obtained without flash irradiation.

この閃光工程では、ホトツール側面で硬化するが外面で
湿潤している重合化画像が製造され、その結果ホトツー
ルを基板と連接する次の段階が画像転写技術であると考
えられる。
This flash step produces a polymerized image that is hardened on the sides of the phototool but wet on the outside, so that the next step in interfacing the phototool with the substrate is considered to be an image transfer technique.

UV硬化装置は、第4図で示されるような連接ブレード
アセンブリおよびホトツール冷却剤供給装置を加えた本
発明開示によって画像製造に使用することができ、第4
図ではコンベアベル)36がブレード10下のホトツー
ルアセンブリ42を運搬する。
A UV curing device can be used for image production according to the present disclosure with the addition of an articulated blade assembly and a phototool coolant supply device as shown in FIG.
A conveyor bell (as shown) 36 conveys a phototool assembly 42 below the blade 10.

ホトツールアセンブリ42の底部の金楓細片の先導端が
コンベアベル)36の下部に付けられた電気的接触に橋
渡しを開始中、ブレード10は真空シリンダー40で下
方向に引かれる。大部分のUV硬化装置上のコンベアベ
ルトは熱抵抗プラスチックに包まれたガラス繊維網目か
らできており、電気的接触からなるフィラメントが網目
を通過して伸び制御(第57頁) 細片との接触を可能にしている。この働きはブレードの
精密な制御を可能にし、ブレードがホトツール粋の先導
または引き工程端部に突き当るのを防ぐ。ブレード10
と共に装置されているのは貯蔵器15であって、これは
第4図には示されていないスポンジに供給されるホトツ
ール冷却剤を含有する。
The blade 10 is pulled downwardly in the vacuum cylinder 40 while the leading end of the gold maple strip on the bottom of the phototool assembly 42 begins to bridge the electrical contacts attached to the bottom of the conveyor bell (36). The conveyor belt on most UV curing equipment is made of fiberglass mesh wrapped in heat-resistant plastic, with filaments of electrical contact passing through the mesh to control elongation (page 57). is possible. This action allows precise control of the blade and prevents the blade from striking the leading or pulling edge of the phototool. blade 10
Also installed therein is a reservoir 15 which contains a phototool coolant which is supplied to a sponge not shown in FIG.

本発明でもたらされる方法の有利性は非常に多く、材料
の特徴が、より低い原料原価、より短い時間、より低い
エネルギー原価、より低い温度およびより弱い感度の光
源でより高い解像をもたらす光画像化方法に相乗的に関
係する。
The advantages of the method brought about by the present invention are numerous, and the characteristics of the material result in lower raw material cost, shorter time, lower energy cost, lower temperature and lower sensitivity of the light source resulting in higher resolution of the light. Synergistically related to imaging methods.

例えば、湿潤樹脂型の[]V硬化硬化リレジス主として
光硬化用画(Meプリントするスクリーンプリント技術
で使用されている。これらのレジストは光透明体を通し
て露光して高解像画像を製造できることが本発明で見い
出されている。
For example, wet resin type []V curing reregistration is mainly used in screen printing technology for printing photocurable images (Me).The main feature of these resists is that they can be exposed to light through a phototransparent material to produce high-resolution images. Found in invention.

ペースト状樹脂表面に接触する空気が光硬化を阻止する
ことが見い出されるので、光画像化法はよ如早い製造法
を提供する。かくして、表面を光(第68貞) 画像透明体で覆うことによって、光硬化のエネルギー密
度は空気露出表面に必要なエネルギー密度の加から50
/R−セントの間に減少する。
Photoimaging provides a faster manufacturing method since air in contact with the pasty resin surface has been found to inhibit photocuring. Thus, by covering the surface with a light image transparency, the energy density for photocuring is reduced by 50% from the energy density required for the air-exposed surface.
/R-cents.

この効果は、光透明体上の熱影蕃の故に、最も重要であ
る。銅被覆プリント配線板に対する効果も重要である。
This effect is most important because of the thermal shadow on the optical transparency. The effect on copper-clad printed wiring boards is also important.

次いで、エネルギー減少によっても最終製品がより一層
信頼できるものとなり、解像に影響を与える歪曲が防が
れる。例えば、光画像化のため管状水銀灯火に露光され
るとき、光硬化したPWBは75から25σFまでの温
度に上昇しよう。エネルギーが少なければ少ない程露光
時間は少なくて良い。
The energy reduction then also makes the final product more reliable and prevents distortions that affect resolution. For example, when exposed to a tubular mercury lamp for photoimaging, a photocured PWB will rise to a temperature of 75 to 25σF. The lower the energy, the shorter the exposure time.

一層有意な時間が現像で節約され、硬質感光性樹脂と比
較して軟質非露光ペースト状樹脂は現像工程で10秒で
洗い出すことができる。硬質樹脂は1分またはそれ以上
を要し、解像も影響を受ける。
More significant time is saved in development, and compared to hard photosensitive resins, soft unexposed pasty resins can be washed out in 10 seconds during the development process. Hard resins require a minute or more and resolution is also affected.

露光樹脂対非露光樹脂の硬さ対柔らかきの割合は乾燥フ
ィルム樹脂よりも元の樹脂がはるかに高い。
The hardness-to-softness ratio of exposed vs. unexposed resin is much higher for the original resin than for the dry film resin.

これは一部、より優れた境界縁およびより少ないアンダ
ーカットを与えるペースト状樹脂での0.001(第5
9貞) インチ(0,0025c1n)と比べて乾燥フィルムで
は0.005インチ(0,013cm )のライン巾の
解像能力になる。
This is due in part to the 0.001 (5th
The line width of the dry film is 0.005 inches (0,013 cm) compared to the line width of 0.005 inches (0,0025 c1n).

非平行光を、光透明体が直接接触しているペースト状樹
脂と一緒に使用する有利性はこれまでに説明した。
The advantages of using non-collimated light with a pasty resin in direct contact with the optical transparency have been explained above.

現像時間および熱等がそうであるのと同じく、解像はよ
り薄い層で増大する。乾燥フィルム樹脂は0.0007
5〜0.0015インチ(0,0019〜0.0038
1M)間で2,3逼択して利用可能であるか、一方ペー
スト状感光性樹脂は0.0002〜0.002インチ(
0,0005〜0.005 cm )間の任意の厚さで
スクリーンプリントすることかできる。
Resolution increases with thinner layers, as does development time, heat, etc. Dry film resin is 0.0007
5 to 0.0015 inch (0,0019 to 0.0038
Paste photopolymer resins are available in a few selections between 0.0002 and 0.002 inches (1M)
It can be screen printed to any thickness between 0.0005 and 0.005 cm).

乾燥フィルム光画像化で必要と芒れる他の処理工程は、
有意な時間およびエネルギーを節約して完全に削除する
ことができる。
Other processing steps required in dry film photoimaging include:
It can be completely removed, saving significant time and energy.

かくして、乾燥フィルムは200″Fでうiネート化す
るのに熱および圧力を要する。次いで、安定化させる露
光前に15分間維持しなければならない。
Thus, the dry film requires heat and pressure to cure at 200''F. It must then be held for 15 minutes before stabilizing exposure.

更に露光がフィルムを熱するので、現像前約15分特開
昭GO−120355(16) 間周囲温度で冷却し、維持しなければならない。
Furthermore, since exposure heats the film, it must be cooled and maintained at ambient temperature for about 15 minutes before development.

そうしなければ、澄明な現像を達成することはできない
。ペースト状樹脂では、コーティング、露光および現像
は待ち時間なしに1分以内で進行する。
Otherwise, clear development cannot be achieved. With pasty resins, coating, exposure and development proceed within 1 minute without any waiting time.

感光性樹脂を用いる高解像の光画像製造用に使用する特
別のホトツールは、画像のある透明体の光画像のある表
面を液状感光性樹脂の表面と直接結びつけて製造される
。これは、今まで必要でなかった特別の条件および要件
を、特に天童生産でホトツールを繰り返し使用したいと
きに、生じる。
Special phototools used for the production of high-resolution optical images using photopolymers are manufactured by directly bonding the photoimageable surface of an imaged transparency with the surface of a liquid photopolymer. This creates special conditions and requirements that were not necessary until now, especially when it is desired to use the phototool repeatedly in Tendo production.

それ故、液状感光性樹脂と接触する表面はビーズ化また
は空気泡を防ぐために湿っていなければならず、そして
それは、ホトツールの画像のある界面上で硬化した硬化
感光性樹脂画像への接着を防ぐ要件、即ちホトツールか
ら全ての硬化物質の除去および現像画像から剥離後のホ
トツール表面上の残留液状感光性樹脂の干渉のないこと
と一致しない。それ故本発明は、ポリエチレンおよびポ
リプロピレンからなる群の非常に薄い可塑性フイ(第6
1頁) シム中を染色することにより、画像のある表面を有して
上記要件に合致するホトツールを提供する。
Therefore, the surface in contact with the liquid photopolymer must be moist to prevent beading or air bubbles, which prevents adhesion to the cured photopolymer image that hardens on the imaged interface of the phototool. The requirements are not consistent with the removal of all cured material from the phototool and the absence of interference of residual liquid photopolymer on the phototool surface after peeling from the developed image. Therefore, the present invention provides a very thin plastic film of the group consisting of polyethylene and polypropylene.
Page 1) Dyeing in the shim provides a phototool with an imaged surface that meets the above requirements.

本処理はフィルムの多孔性を利用して、フィルムを永久
的に染色するために、蒸発し吸収によってフィルム孔に
浸透する染料および溶媒の溶液に、画像ハターンをフィ
ルム表面上のステンシル障害を通して露出する。次いで
、ホトツールが表面ひっかき傷または摩損によって損傷
を受けないようにステンシルを除去することができる。
This process takes advantage of the porosity of the film and exposes the image pattern through the stencil obstructions on the film surface to a solution of dye and solvent that evaporates and penetrates the film pores by absorption to permanently dye the film. . The stencil can then be removed so that the phototool is not damaged by surface scratches or abrasions.

染料は、ニュー シャーシー州ナトレー所在のAtl&
ntiQChamical Corp、により[At1
asol j Golaen Yellowとしてブチ
ルセルソルブ溶媒の溶液で販売されている製品であるこ
とができる。
The dye was supplied by Atl & Co., Nutley, New Chassis.
[At1
It can be a product sold in solution in butyl cellosolve solvent as asol j Golaen Yellow.

ステンシルは、透明画像のある表面全体をラミネートす
る薄いポリプロピレン等のフィルム層を通して透明体に
より画像形成したフィルムの接触表面上の薄いフィルム
の液状感光性樹脂上に光形成し、感圧の薄い接着剤層に
よって一定の場所に保持され得る。染色/Qターンはフ
ィルム中に広がシ、透明体上のそれらIQターンと実質
的に同一で(第62頁) あるので、露光中のアンダーカットは生起せず、染料が
フィルム厚さを通過して広がるのでひっかき傷耐性罠仕
上げられている。かくして、非平行光を解像損失するこ
となく露光に用いることができる。
Stencils are photoformed onto a thin film of liquid photopolymer on the contacting surface of the film imaged by the transparency through a thin film layer such as polypropylene that laminates the entire surface with the transparent image and a thin pressure-sensitive adhesive. It can be held in place by layers. The dye/Q-turns are spread throughout the film and are virtually identical to those IQ-turns on the transparency (page 62), so there is no undercutting during exposure and the dye passes through the film thickness. It has a scratch resistant trap finish so it spreads. Thus, non-collimated light can be used for exposure without loss of resolution.

前述のアルミニウム画像の場合のようなこの層は、ハロ
ゲン化銀の暗色表面が熱くなるようには熱くならないが
、UV硬化照射に対しては不透明である。ポリオレフィ
ンフィルム、特にポリプロピレンフィルムは澄明な多孔
性で所望の粘着特性を有するので、前述のシリコンコー
ティングよりむしろ好ましい離脱コーティングである。
This layer, as in the case of the aluminum image described above, does not get hot in the way that dark silver halide surfaces do, but it is opaque to UV curing radiation. Polyolefin films, particularly polypropylene films, are preferred release coatings rather than the aforementioned silicone coatings because of their clear porosity and desirable adhesive properties.

画像を有しない介在層としてのこの離脱型フィルムの使
用は解像を非常に害し、高価な平行光でのみ使用するこ
とが必要である。
The use of this breakaway film as an intervening layer without an image greatly impairs resolution and requires use only with expensive collimated light.

染色パターンを達成するもう1つの方法は好ましい「1
075J感光性樹脂、ブチルセロソルブおよび染料を組
合せて単一液体にするものである。この合成物を、f?
 IJプロピレンフィルムの表面に噴霧し、光透明体を
通しておよびプロピレンフイルム(第63頁) を通して選択的に露光する。光を照射した感光性樹脂は
染料粒子を固定し乍ら硬化する。光を照射しない感光性
樹脂は液状のままであり、溶媒が蒸発している間に染料
粒子はポリプロピレンの細孔中に吸収される。本開示方
法で使用することのできる別の多孔性フィルムはポリエ
チレンである。
Another method of achieving the dyeing pattern is the preferred “1
075J photosensitive resin, butyl cellosolve and dye are combined into a single liquid. This compound is f?
Spray the surface of the IJ propylene film and selectively expose through the optical transparency and through the propylene film (page 63). The photosensitive resin irradiated with light hardens while fixing the dye particles. The photosensitive resin that is not irradiated with light remains in a liquid state, and the dye particles are absorbed into the pores of the polypropylene while the solvent evaporates. Another porous film that can be used in the disclosed method is polyethylene.

しかし乍ら、ポリエチレンはポリプロピレンのような清
澄性も高温有用範囲も有しない。
However, polyethylene does not have the clarity or high temperature useful range of polypropylene.

この後者の有利なホトツール製品および方法は図面の第
5図および6図を参照してより良く理解される。見られ
るように、画像のある表面69上の不透明アルミニウム
画像7を有する光透明体フィルム4は薄いポリプロピレ
ンフィルムシート層70で全体をラミネートされており
、その際区分71がフィルム層70の全厚みに広がって
前述の方法で染色される。
This latter advantageous phototool product and method is better understood with reference to FIGS. 5 and 6 of the drawings. As can be seen, the optical transparency film 4 with the opaque aluminum image 7 on the imaged surface 69 is laminated entirely with a thin polypropylene film sheet layer 70, with sections 71 extending over the entire thickness of the film layer 70. Spread and stain as described above.

第6図では、表面72は液状感光性樹脂層73によって
湿されており、空気のない表面接触で前記したように前
記層中に溶は込まされている。更に表面72は、基板1
上の感光性樹脂フィルム層73の上特開昭GO−120
355(17) 部が露光し、硬化し、堅くなった光硬化した樹脂区分2
には接着しない。かくして、層4および70からなるホ
トツールは、最も高度な解像の、プリント配線板ノqタ
ーンまたははんだマスク等のよう々光画像化製品を提供
するため層73の液状未硬化部分を溶媒中で洗い出して
基板l上に光画像を発現するため剥離することができる
。次いで、好ましくは剥離ホトツールに粘着する全ての
未露光液状感光性樹脂層73を取り除くために剥離ホト
ツールを拭う。これは、液状感光性樹脂1#が既知厚さ
の非常に薄い層のシルクスクリーン化等による軟質ホト
ツールl−表面72上に位置している場合には必要でな
い。
In FIG. 6, surface 72 has been wetted with a liquid photopolymer layer 73 and infiltrated into said layer as described above in air-free surface contact. Furthermore, the surface 72 is
Above photosensitive resin film layer 73
355 (17) parts exposed to light, cured and hardened photocured resin section 2
Do not adhere to. Thus, the phototool consisting of layers 4 and 70 allows the liquid uncured portion of layer 73 to be removed in a solvent to provide the highest resolution, photoimaging products such as printed wiring board Q-turns or solder masks. It can be washed out and peeled off to reveal a light image on the substrate l. The release phototool is then preferably wiped to remove any unexposed liquid photopolymer layer 73 that sticks to the release phototool. This is not necessary if the liquid photopolymer 1# is placed on the soft phototool l-surface 72, such as by silkscreening in a very thin layer of known thickness.

特別に非常に良好な解像は、光線74のように平行して
いない光線75を妨害するポリプロピレン(等)のフィ
ルム層70中に染め込んだ区分71の故に平行光線を用
いないで得られることに注目されたい。
In particular, very good resolution is obtained without the use of parallel rays due to the sections 71 impregnated in the film layer 70 of polypropylene (or the like) which obstruct non-collimated rays 75 like rays 74. I want to be noticed.

平行光線74は、もし離脱フィルム層70を本発明の特
徴によって染色した光画像を用いないで介在させた場合
、高解偉を保つのに必要である。
Parallel light rays 74 are necessary to maintain high resolution if release film layer 70 is interposed without a dyed light image according to the features of the present invention.

(第65頁) 第8図で示されるように、金属導体113および金属で
榎ったスルーホールを有するプリント配線板111は表
面112上に載っている。スクリーン保持具110はス
クリーン118を、ブレード115が力116 、11
7によってスクリーン118を走査できるように基板1
11の上部で且つ平行に密接に張りつめて保持し、感光
性樹脂層114を基板111の表面上に直接配置した感
光性樹脂の第1の19119上にラミネートする。スク
リーン上の感光性樹脂層114はスクリーン118上に
接着して保持した乾燥フィルムポジ型作用感光性樹脂か
UV光源を用いた空気中閃光による転写前にスクリーン
上で部分的に硬化した液状フィルムネガ型作用感光性樹
脂かのいづれかであることができる。ラミネート後、プ
リント配線板樹脂層を光画像ツールを通してUV光源に
露光する。
(Page 65) As shown in FIG. 8, a printed wiring board 111 having a metal conductor 113 and a through hole hollowed out with metal rests on the surface 112. The screen holder 110 holds the screen 118, and the blade 115 holds the forces 116 and 11.
7 so that the screen 118 can be scanned by the substrate 1
The photosensitive resin layer 114 is laminated onto the first 19119 of photosensitive resin disposed directly on the surface of the substrate 111 , held tightly taut on top of and parallel to the substrate 111 . The photopolymer layer 114 on the screen can be either a dry film positive working photopolymer held adhesively on the screen 118 or a liquid film negative partially cured on the screen before transfer by air flash using a UV light source. It can be either a mold action photopolymer. After lamination, the printed wiring board resin layer is exposed to a UV light source through an optical imaging tool.

ポジ型作用乾燥フィルム上部層を用いる場合、層114
の硬化部分で榎われていない全ての液状感光性樹脂層1
19でなされるように、未硬化感光性樹脂層114をト
リクロロエタン噴霧中に洗い出す。
If a positive acting dry film top layer is used, layer 114
All of the liquid photosensitive resin layer 1 that is not covered by the cured part of
19, the uncured photopolymer layer 114 is washed out during trichloroethane spraying.

(第66頁) このフィルムはまた、一般的にポリエチレン防護シート
等によって覆われておシ、層の外部のラミネートは内部
層表面からの空気の排除に役立つ。
(Page 66) The film is also typically covered with a polyethylene barrier sheet or the like, with the laminate on the outside of the layer helping to exclude air from the inner layer surfaces.

外部層114の厚さ唸約0.0025cr11であ)、
部分的に硬化した場合、液状感光性樹脂はプリント配線
板上の導体113上を萎縮させたり、薄くしたりしない
。配線ノやターンと整合して適当なホトツールを通過し
て最終硬化をすると、はんだマスクコーティングが、所
望の回路導体ノ4ツド上に未硬化感光性樹脂を有する基
板上に残シ、未硬化感光性樹脂は溶媒によって除去され
る。
The thickness of the outer layer 114 is approximately 0.0025 cr);
When partially cured, the liquid photopolymer does not shrink or thin the conductors 113 on the printed wiring board. After final curing by passing through a suitable phototool in alignment with the traces and turns, the solder mask coating remains on the substrate with the uncured photopolymer over the desired circuit conductors and the uncured photopolymer. The resin is removed by a solvent.

2層の感光性樹脂のうきネートを特徴とするこの実施態
様は、より少量の感光性樹脂およびより高価でない感光
性樹脂を使用し、でこぼこ表面を覆うよシ厚い均一な層
を達成し、スルーホール上の斑点または残留した未除去
の樹脂を防ぐという利点をもたらし、高解偉を達成する
。本質的に、本発明は、更により長い処理時間および更
により大きいエネルギーを交互に必要とする更によシ高
価な厚い乾燥感光性樹脂を用いたものと類似の高(第6
マ頁) 解像結果をもたらす。基板のスルーホールは同様に清明
であるが、これは乾燥フィルムおよび少量の露光では実
現できない。導体に対するより良い接着も生じ、しわの
周囲を包み、でこぼこ表面は除去される。
This embodiment, which features two layers of photopolymer coating, uses a smaller amount of photopolymer and a less expensive photopolymer, achieves a thicker, more uniform layer over uneven surfaces, and allows for smoother through- It has the advantage of preventing spots or residual unremoved resin on the holes, achieving high resolution. Essentially, the present invention provides a high
page) yields resolution results. Through-holes in the substrate are similarly clear, but this cannot be achieved with dry film and small exposures. Better adhesion to the conductor also occurs, wrapping around wrinkles and uneven surfaces are eliminated.

前に論じたように、プリント配線板の孔をテンティング
する利点は感光性樹脂をスクリーン118から基板11
1上へ転写することによって生じる。
As previously discussed, the advantage of tenting the holes in a printed wiring board is to move the photopolymer from screen 118 to substrate 11.
1 by transferring it onto.

液状感光性樹脂層114を使用する場合、テンティング
特性を改善するため部分的重合用に空気中で閃光照射を
することができる。
If a liquid photopolymer layer 114 is used, it can be flashed in air for partial polymerization to improve tenting properties.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明で提供される弾力性ブレードの使用によ
る被覆基板と光画像の連接を示すための部分的断面の側
面概略図、第2図は露光工程中の連接を示す更に類似し
た略図であり、その際冷却剤供給器および管状灯火は、
過剰の熱から光画像を防護し、1回の走査で全ての感光
性樹脂を露光するために一緒に装着される図、第3図は
連接前に整合して光画像および基板を装着するための固
特開昭Go−120355(18)。 宝物の透視概略図、第4図は、本発明によるサンドイン
チ状配列を含む感光性樹脂をランネートし、露光するた
めの簡単な装置の透視部分図、第5図は本発明の、画像
のあるホトツール実施態様の側面概略図、第6図は本発
明の、液状感光性樹脂と易剥離的に接触した画像のある
表面であって、画像のある高解像ホトツール実施態様の
側面概略図、第7図は本発明の水中露光実施態様の横断
面の部分図、第8図は感光性樹脂の二層をラミネートす
るプリント配線板用の好ましい実施態様を示す部分断面
の立面図である。 1・・・PWB基板、2・・・感光性樹脂層、3・・・
感光性樹脂層、4・・・ホトツール、7・・・不透明部
、lO・・・ブレード、12・・・光線、13・・・集
光反射器、14・・・非平行光源、15・・・貯蔵器、
16・・・スポンジ、17・・・冷却剤、18・・・冷
却剤の小滴、19・・・回転シャッター、47・・・ド
リル孔、52・・・導体層
FIG. 1 is a partially cross-sectional side schematic diagram illustrating the articulation of a coated substrate and a light image through the use of a resilient blade provided by the present invention, and FIG. 2 is a more similar schematic diagram illustrating the articulation during the exposure process. , the coolant supply and the tube light are
Figure 3 is mounted together to protect the optical image from excessive heat and expose all the photopolymer in one scan; Figure 3 is for mounting the optical image and substrate in alignment before articulation. Japanese Patent Application Publication No. 120355 (18). FIG. 4 is a perspective partial view of a simple apparatus for running and exposing a photosensitive resin containing a sandwich-like array according to the invention; FIG. FIG. 6 is a side schematic view of a high resolution phototool embodiment of the present invention showing an imaged surface in releasable contact with a liquid photopolymer of the present invention; FIG. FIG. 7 is a partial cross-sectional view of an underwater exposure embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a partial cross-sectional elevational view of a preferred embodiment for a printed wiring board laminated with two layers of photosensitive resin. 1...PWB board, 2...photosensitive resin layer, 3...
Photosensitive resin layer, 4... Photo tool, 7... Opaque part, 1O... Blade, 12... Light ray, 13... Concentrating reflector, 14... Non-parallel light source, 15...・Storage vessel,
16... Sponge, 17... Coolant, 18... Coolant droplets, 19... Rotating shutter, 47... Drill hole, 52... Conductor layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前に、
溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂層表面を照射する
方法において、感光性樹脂表面と照射中に感光性樹脂の
溶解性を変化させない除去可能な透明の非ガス体との接
触手段による感光性樹脂硬化に要する照射量を減少させ
るために照射される感光性樹脂表面からガスおよび空気
を照射中に排除し、そして感光性樹脂層に高解儂画偉を
再生させるために、前記非ガス体からなり感光性樹脂に
隣接し受光面上に光画像パターンを有する透明のホトツ
ールシートを通して感光性樹脂を硬化させることを特徴
とする方法。 2)非平行照射源を用いて前記画像パターンおよび前記
非ガス体を通して感光性樹脂層を照射することを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の(第 2 貞) 方法。 3)透明シートが、硬化後感光性樹脂に固着せず、それ
Kよシホトツールの何回もの再使用を可能とする離脱表
面を用いて用意されることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の方法。 4)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前に、
溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂層表面を照射する
方法において、感光性樹脂表面と照射中に感光性樹脂の
溶解性を変化させない除去可能な透明の非ガス体との接
触手段による感光性樹脂硬化に要する照射量を減少させ
bために照射される感光性樹脂表面からガスおよび空気
を照射中に排除し、そして感光性樹脂層lfc高解像画
像を再生させる丸めに、前記非ガス体からなり感光性樹
脂に隣接し前記透明シート本体に染め込むこと罠よって
形成した光画像パターンを有する透明のホトツールシー
トを通して感光性樹脂を硬化させること全特徴とする方
法。 5)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前に、
溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂層(第 3 貞) 表面を照射する方法において、感光性樹脂表面と照射中
に感光性樹脂の溶解性を変化させない除去可能な透明の
非ガス体との接触手段による感光性樹脂硬化に要する照
射量を減少させるために感光性樹脂層をホトツールソー
トと接触させ乍らガスおよび空気を排除するため忙感光
性樹脂層を横切って引く弾性の走査具を用いて、感光性
樹脂層表面に隣接しているが離れて配置した前記ホトツ
ールシートの図形のない表面を横に通過させて感光性樹
脂表面にホトツールシートをラミネート化して照射され
る感光性樹脂表面からガスおよび空気を照射中に排除し
、そして感光性樹脂層に高解像画像を再生させるために
前記非ガス体からなり感光性樹脂に隣接し受光面上に光
1像パターンを有する透明のホトツールシートを通して
感光性樹脂を硬化させることを特徴とする方法。 6)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前圧、
溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂層表面を照射する
方法において、感光性樹脂表面と照射中に感光性樹脂の
溶解性を変化させない除去可能な透明の非ガス体との接
触手段による感光性樹脂硬化に要する照射量を減少させ
るために照射される感光性樹脂表面からガスおよび空気
を照射中に排除し、そして感光性樹脂11に高解像画像
を再生させるために前記非ガス体からなり感光性樹脂に
隣接し受光面上に光画像パターンを有する透明のホトツ
ールシートを通して感光性樹脂を硬化させ、その際感光
性樹脂層に接触し画像のある表面を通して照射する照射
源を有する走査具の通過と同時にホトツールを走査し、
その間に感光性樹脂を漸次硬化させることを特徴とする
方法。 7)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前に、
溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂1表面を照射する
方法において、感光性樹脂表面と照射中に感光性樹脂の
溶解性を変化させない除去可能な透明の非ガス体との接
触手段による感光性樹脂硬化に要する照射量を減少させ
るために照射される感光性樹脂表面からガスおよび空気
を照射中に排除し、その際感光性樹脂層を熱的に接触し
て液体を配置することによって硬化中放熱し、そ(第 
5 貞) して感光性樹脂層に高解像画像を再生させるために前記
非ガス体からなり感光性樹脂に隣接し受光面上に光画像
パターンを有する透明のホトツールシートを通して感光
性樹脂を硬化させることを特徴とする方法。 8)感光性樹脂表面に接触させるために液体下に感光性
樹脂IIを配置し且つ液体を前記ホトツールシートと置
換してガスおよび空気の排除並びに放熱を共に行うこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法。 9)液状感光性樹脂@を光画像パターンシート上に置き
、ホトツールまで照射露光することによって部分的に重
合化した後、スルーホールを有するプリント配線板から
なる硬化用の前記の1つの表面上にラミネート化し、そ
れによって有音に薄くすることなく前田己ホールをテン
ティングすることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の方法。 10) 感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前
に、溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂層表面を照射
する方法において、感光性樹脂表面と(第 6 口) 照射中に感光性樹脂の溶解性を変化させガい除去可能な
透明の非ガス体との接触手段による感光性樹脂硬化に要
する照射量を減少させるために照射される感光性樹脂表
面からガスおよび空気を照射中に排除し、そして感光性
樹脂層に高解像画像を再生させるために、前記非ガス体
からなり感光性樹脂に隣接し受光面上に光画像パターン
を有する透明のホトツールシートを通して感光性樹脂を
硬化させることを特徴とし、更に2枚のシート、その際
その第1のシートは透明で感光性樹脂層に隣接する内部
面上に光画像パターンを有する、の間にサンドイッチ状
感光性樹脂層を形成することを特徴とする方法。 11) もう一方のシートが、感光性樹脂11に接触し
て置いた導体表面IIを有するプリント配線板であり、
その際硬化壁感光性樹脂層の一部が導体表面層を覆った
tまであることを特徴とする特許請求の範囲第io項記
載の方法。 12) 液状感光性樹脂#を転写表面上に配置し、受光
面がスルーホールを有するプリント配線板で(第 7 
貞) あり、液状層を転写表面からプリント配線板までラミネ
ート化して前記ホールを上張りすることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の方法。 13)感光性樹脂層厚さを0.006 crrL(0,
002Rインチ)以下に制限し、それにより硬化感光性
樹脂層の中に0.01crlL(0,004インチ)程
の鮮m す解像全提供することを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の方法。 14)基板シート上に感光性樹脂層を配置し、前記非ガ
ス体および前記画像パターン双方からなる柔軟性薄シー
トを前記感光性樹脂層にラミネート化して該*i前記シ
ート間にサンドイッチ状にすることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の方法。 15)硬化性液状ネガ型感光性樹脂IIを前記非ガス体
および前記画1偉パターンの双方からなる柔軟性薄シー
ト上に硬化時に配置し、感光性樹脂層を部分的に重合さ
せ、それにより前記硬化工種前に感光性樹脂r@を薄シ
ートにより良く接着させるに十分なだけ前記薄シー)1
−通して感光性樹脂表面を露光することを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の方法。 16)スルーホールを有し液状ネガ型感光性樹脂層に接
した導体1iit−上部に有するプリント配線板からな
る基板表面を配置し、液状感光性樹脂を容易に除去でき
るように、照射を障害する画像を違して照射をホール中
に通過させて感光性樹脂を硬化させることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の方法。 17)間に感光性樹脂をサンドイッチ状に配置した2表
面の1表面上に既知厚みの感光性樹脂をメツシュスクリ
ーンを通してプリントすることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の方法。 18)感光性樹脂の溶解性の変化を生じさせる硬化前に
、溶媒可溶のネガ型作用液状感光性樹脂−表面を照射す
る方法において、感光性樹脂表面と照射中に感光性樹脂
の溶解性を変化させない除去可能な透明の非ガス体との
接触手段による感光性樹脂硬化に要する照射量を減少さ
せるため罠照射される感光性樹脂表面からガスおよび空
気を照射(第 9 負) 中に排除し、そして感光性樹脂層に高解像画像を再生さ
せるために前記非ガス体からなり感光性樹脂に隣接し受
光面上に光画像パターンを有する透明のホトツールシー
トを通して感光性樹脂を硬化させることを特徴とし、そ
の際2つのシート間に感光性樹脂層を配置してサンドイ
ッチ状フィルムパックを形成することを特徴とする方法
。 19)離脱表面として薄い透明シリコンゴムフィルムを
用いて前記画像を有するホトツールシート表面を覆うこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法。 20) 前記感光性樹脂上にラミネートした第2の感光
性樹脂層で空気を排除することを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の方法。 21)前記光画像パターンをコピーするポリプロピレン
フィルム表面の離脱表面を提供することを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の方法。 22)ポリプロピレンフィルム内部に広がる永久染料で
選択的に染色するため、画像形成ステンシル全通してポ
リプロピレンフィルム離脱表面に染(第10貞) 料および溶媒混合物を適用することにより、その表面が
僅かに傷つき摩耗し九ときに取り換えないで繰り返し使
用し得るように前記ホトツールシートおよび画像パター
ンを構成することを特徴とする特許請求の範囲第21項
記載の方法。 23)前記画像パターンを形成するためブチルセロソル
ブ溶媒に溶解した黄色染料を適用することを特徴とする
特許請求の範囲第22項記載の方法。 24)ガスおよび空気を排除するために透明ホトツール
シー)1−感光性樹脂層表面に適用すること全特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の方法。 25)照射により感光性樹脂の溶解性を変化させて少な
くとも1部分を硬化させるための、液状感光性樹脂層表
面の照射装置において、 照射を受ける感光性樹脂層表面に接する感光性樹脂の溶
解性を変化させない除去可能な透明非ガス体、および 感光性樹脂層に高解像画像再生を提供するための、照射
を受ける感光性樹脂表面に隣接する1つの表面に光画像
パターンを有するホトツールシー(第11貞) ト透明体 を特徴とする装置。 26)照射により感光性樹脂の溶解性を変化させて少な
くとも1部分を硬化させるための、液状感光性樹脂層表
面の照射装置において、 照射を受ける感光性樹脂1表面に接する感光性樹脂の溶
解性を変化させない除去可能な非透明ガス体、 感光性樹脂r@に高解像画像再生を提供するための、照
射を受ける感光性樹脂表面に隣接する1つの表面に光画
像パターンを有するホトツールシート透明体、および 前記光画像ノ々ターンを通して前記感光性樹脂層を露光
するために配置した非平行照射源を特徴とする装置。 27)硬化後座光性樹脂表面に粘着せず、それによりホ
トツールシートの何回もの使用を可能にする、光画像パ
ターンを被覆する薄い離脱表面を特徴とする特許請求の
範囲第5項記載の方法。 28)照射により感光性樹脂の溶解性を変化させ特開昭
GO−120355(4) て少なくとも1部分を硬化させるための、液状感光性樹
脂層表面の照射装置において、 照射を受ける感光性樹脂層表面に接する感光性樹脂の溶
解性を変化させない除去可能な透明非ガス体、および 感光性樹脂層に高解像画像再生を提供するための、照射
を受ける感光性樹脂表面に隣接する1つの表面に光画像
パターンを有するホトツールシート透明体であって、そ
の際前記透明シート休に染め込んだ光画像パターンから
なる前記ホトツールシート透明体の1表面上の前記光画
像パターンを特徴とする装置。 29)ホトツールシートを感光性樹脂表面と接触させ乍
らガスおよび空気全排除するために感光性樹脂層を横切
って引く弾性の走査器を用いて、感光性樹脂層表面に隣
接しているが離して配置した前記ホトツールシートの非
画像表面を横に通過させるうiネート化手段を特徴とす
る特許請求の範囲第5項記載の装置。 30)シー)1横に通過し、通過中画像のある表(第1
3頁) 面に接する前記感光性樹脂層を漸次硬化させるう電ネー
ト化手段を有する可動性照射源を特徴とする特許請求の
範囲第5項記載の装置。 31) 前記感光性樹脂層と熱的に接触して液体を配置
して硬化中放熱する手段を特徴とする特許請求の範囲第
5項記載の装置。 32)ガスおよび空気の排除および硬化中の放熱を共に
行うために1前記ホトツールシートにより代替可能な液
体下に感光性樹脂層を配置する手段を特徴とする特許請
求Ω範囲第5項記載の装置。 33)感光性樹脂層に接触した画像のある表面の硬化稜
の離脱促進およびホトツールシートの使用回数の増進に
寄与する液体洗浄剤溶液を特徴とする特許請求の範囲第
32項記載の装置。 34)前記ホトツールシート、前記感光性樹脂層および
龜う1つのサンドイッチ形成シートを特徴とする特許請
求の範囲第5項記載の装置。 35)前記ホトツールを通しての照射による硬化後光画
像パターンに対応するパターンで感光性樹脂層を導体表
面に付着させるための、感光性樹脂(第14負) 層表面に接触して配置した導体表面層を有するプリント
配線板からなる前記もう1つのシートを特徴とする特許
請求の範囲第あ項記載の装置。 36)前記非ガス体を通過した照射の存在下硬化の前に
溶媒可溶であるネガ型作用感光性樹脂層を特徴とする特
許請求の範囲第5項記載の装!。 37)ホトツールシート上にラミネート化し、感光性樹
脂層がホトツールパターンを通して完全に硬化する前に
該層をその薄シートにより良く接着させるため部分的に
硬化した感光性樹脂層を特徴とする特許請求の範囲第側
項記載の装置。 38)感光性樹脂層が予め孔をあけたプリント配線板の
導体表面上にうきネート化されていることを特徴とする
特許請求の範囲第37項記載の装置。 39)2つのシート間に配置した感光性樹脂層を有する
サンドイッチ状フィルムパックを特徴とする特許請求の
範囲第5項記載の装置。 40)光画像パターンおよび感光性樹脂層表面間に配置
した薄い透明シリコンゴム離脱表面を特徴とする特許請
求の範囲第39項記載の装置。 (第15貞) 41)前記透明シート上に薄アルハニウムラミネートヲ
構成する光画像パターンを特徴とする特許請求の範囲第
5項記載の装置。 42)ポリプロピレンフィルムシートで保持されている
光画像パターンを特徴とする特許請求の範囲第5項記載
の装置。 43)ポリプロピレンフィルムシート中の染色パターン
からなる光画像バタ、−ンを特徴とする特許請求の範囲
第42項記載の装置。 44)照射源を通過して感光性樹脂層および光画像パタ
ーンを移動させる手段を特徴とする特許請求の範囲第5
項君己載の装置。 45)2枚のシート、その際その第1のシートが感光性
樹脂層に隣接した内側表面に光画像を有し透明である、
の間にサンドイッチ状にした感光性樹脂層を特徴とする
感光性樹脂フィルムパックアセンブリ。 46)第2のシートが感光性樹脂層表面に接触した導体
表面を有するプリント配線板であることを特徴とする特
許請求の範囲第45項記載のフィルム特開昭GO−12
0355(5) パックアセンブリ。 47)2枚のシート、その際その第1のシートが感光性
樹脂層に隣接した内側表面に光画像を有し透明である、
の間にサンドイッチ状にした感光性樹脂層であって、前
記透明シートを通過した照射の存在下硬化の前に溶媒可
溶であるネガ型作用感光性樹脂層を特徴とする感光性樹
脂フィルムパックアセンブリ。 48)感光性樹脂層の厚さを0.006 cm以下に制
限し、それKより硬化感光性樹脂層中に0.01crr
L穆の鮮鋭な解像を生成することを特徴とする特許請求
の範囲第47項記載のフィルムパック。 49)感光性樹脂層が光画像のある表面を通過する照射
により完全に硬化する前K、第1シート上へのラミネー
ト化後感光性樹脂層を第1シートによシ良く接着させる
ため部分的に硬化させていることを特徴とする特許請求
の範囲第47項記載のフィルムパック。 50) 第2のシートが、感光性樹脂層が−F部に接触
する導体層を有する予め孔をあけたプリント配(第17
貞) 線板であることを特徴とする特許請求の範囲第45項記
載のフィルムパック。 51)光画像パターンと感光性樹脂層表面との間の薄り
透明シリコンゴムフィルム離脱表面を特徴とする特許請
求の範囲第45項記載のフィルム19ツク。 52)前記透明シートの薄いアルミニウムラミネートを
構成する前記光画像パターンを特徴とする特許請求の範
囲第45項記載のフィルムパック。 53)ポリプロピレンフィルムシートで保持されている
前記光画像パターンを特徴とする特許請求の範囲第45
項記載のフィルムパック。 54)ポリプロピレンフィルムシート中の染色パターン
からなる前記光画像パターンを特徴とする特許請求の範
囲第45項記載のフィルムパック。 55)プリント配線板の不整正表面上に液状ネガ型作用
感光性樹脂の第1層をラミネートした後、その上に感光
性樹脂の第2層をラミネートすることを特徴とする方法
。 56)感光性樹脂の第2層のラミネート工程におφてポ
ジ型作用乾燥フィルム感光性樹脂層である(第18貞) ことを特徴とする特許請求の範囲第55項記載の方法。 57)ラミネートにおいてプリント配線板に平行して配
冒したスクリーンから柔軟性器具を用いてスクリーンを
横切って走査することにより@2層を転写することt−
特徴とする特許請求の範囲第5項記載の方法。 (第19頁)
[Claims] 1) Before curing, which causes a change in the solubility of the photosensitive resin,
In a method of irradiating the surface of a solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin layer, the photosensitive resin surface is exposed to light by means of contact with a removable transparent non-gaseous material that does not change the solubility of the photosensitive resin during irradiation. Gas and air are removed from the irradiated photosensitive resin surface during irradiation in order to reduce the irradiation dose required for curing the photosensitive resin, and from the non-gaseous body in order to regenerate high resolution images in the photosensitive resin layer. A method characterized in that the photosensitive resin is cured through a transparent phototool sheet adjacent to the photosensitive resin and having a light image pattern on the light-receiving surface. 2) A method according to claim 1, characterized in that the photosensitive resin layer is irradiated through the image pattern and the non-gaseous body using a non-collimated irradiation source. 3) The transparent sheet is prepared with a release surface that does not stick to the photopolymer after curing and allows the phototool to be reused many times. Method described. 4) Before curing, which causes a change in the solubility of the photosensitive resin,
In a method of irradiating the surface of a solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin layer, the photosensitive resin surface is exposed to light by means of contact with a removable transparent non-gaseous material that does not change the solubility of the photosensitive resin during irradiation. In order to reduce the irradiation dose required for curing the photosensitive resin, gas and air are excluded from the irradiated photosensitive resin surface during irradiation, and the non-gas A method comprising: curing a photosensitive resin through a transparent phototool sheet having a photoimage pattern formed by dyeing the body of the transparent sheet adjacent to the photosensitive resin; 5) Before curing, which causes a change in the solubility of the photosensitive resin,
Solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin layer (3rd grade) In the surface irradiation method, a removable transparent non-gaseous material that does not change the solubility of the photosensitive resin and the photosensitive resin surface during irradiation is used. An elastic scanning tool that is pulled across the photopolymer layer to exclude gas and air while bringing the photopolymer layer into contact with the phototool sort to reduce the radiation dose required for curing the photopolymer by contact means. The photosensitive resin layer surface is laminated with the phototool sheet and the photosensitive resin layer is laminated with the photosensitive resin layer. In order to eliminate gas and air from the photosensitive resin surface during irradiation and reproduce a high-resolution image on the photosensitive resin layer, the non-gaseous material is adjacent to the photosensitive resin and forms a single image pattern of light on the light receiving surface. A method characterized in that a photosensitive resin is cured through a transparent phototool sheet comprising: 6) pre-curing pressure that causes a change in the solubility of the photosensitive resin;
In a method of irradiating the surface of a solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin layer, the photosensitive resin surface is exposed to light by means of contact with a removable transparent non-gaseous material that does not change the solubility of the photosensitive resin during irradiation. During irradiation, gas and air are removed from the irradiated photosensitive resin surface in order to reduce the amount of irradiation required for curing the photosensitive resin 11, and from the non-gaseous material in order to reproduce a high-resolution image on the photosensitive resin 11. Scanning that cures the photosensitive resin through a transparent phototool sheet adjacent to the photosensitive resin and having a light image pattern on the light-receiving surface, with an irradiation source in contact with the photosensitive resin layer and shining through the imaged surface. Scan the phototool at the same time as the material passes,
A method characterized by gradually curing the photosensitive resin during that time. 7) Before curing, which causes a change in the solubility of the photosensitive resin,
In a method of irradiating the surface of a solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin 1, the photosensitive resin surface is exposed to light by means of contact with a removable transparent non-gaseous material that does not change the solubility of the photosensitive resin during irradiation. In order to reduce the amount of radiation required for curing the photosensitive resin, gas and air are removed from the surface of the photosensitive resin being irradiated during irradiation, and the photosensitive resin layer is then cured by placing the liquid in thermal contact with the photosensitive resin layer. Heat dissipates inside,
5) In order to reproduce a high-resolution image on the photosensitive resin layer, the photosensitive resin is passed through a transparent phototool sheet made of the non-gaseous material and having a light image pattern on the light receiving surface adjacent to the photosensitive resin. A method characterized by curing. 8) The photosensitive resin II is placed under the liquid so as to be in contact with the surface of the photosensitive resin, and the liquid is replaced with the phototool sheet to eliminate gas and air as well as radiate heat. The method described in Scope 1. 9) Liquid photosensitive resin@ is placed on a photoimage patterned sheet and partially polymerized by irradiation exposure up to the phototool and then placed on said one surface for curing consisting of a printed wiring board with through holes. 2. A method according to claim 1, characterized in that the Maeda self-hole is tented by laminating and thereby without being noticeably thinned. 10) In a method of irradiating the surface of a solvent-soluble negative-working liquid photosensitive resin layer before curing that causes a change in the solubility of the photosensitive resin, the surface of the photosensitive resin (6th opening) is exposed to light during the irradiation. During irradiation of gas and air from the surface of the photosensitive resin that is irradiated to change the solubility of the photosensitive resin and reduce the amount of radiation required for curing the photosensitive resin by means of contact with a transparent non-gaseous material that can remove moths. The photosensitive resin is passed through a transparent phototool sheet made of the non-gaseous material and having a light image pattern on the light-receiving surface adjacent to the photosensitive resin in order to eliminate the photosensitive resin and reproduce a high-resolution image on the photosensitive resin layer. further comprising a sandwich-like photopolymer layer between two sheets, the first sheet being transparent and having a photoimage pattern on its interior surface adjacent to the photopolymer layer; A method characterized by forming. 11) the other sheet is a printed wiring board having a conductor surface II placed in contact with the photosensitive resin 11;
2. A method according to claim 1, characterized in that a portion of the hardened wall photosensitive resin layer extends up to t covering the conductor surface layer. 12) Liquid photosensitive resin # is placed on the transfer surface, and the light-receiving surface is a printed wiring board with through holes (No. 7).
2. The method according to claim 1, wherein the holes are covered by laminating the liquid layer from the transfer surface to the printed wiring board. 13) Set the photosensitive resin layer thickness to 0.006 crrL (0,
0.002 R inches), thereby providing a total resolution of as much as 0.01 crL (0.004 inches) within the cured photosensitive resin layer. the method of. 14) Arranging a photosensitive resin layer on a substrate sheet, and laminating a flexible thin sheet consisting of both the non-gaseous material and the image pattern onto the photosensitive resin layer to form a sandwich between the *i sheets. A method according to claim 1, characterized in that: 15) A curable liquid negative photosensitive resin II is placed on a flexible thin sheet consisting of both the non-gaseous material and the curable pattern, and the photosensitive resin layer is partially polymerized, thereby Before the curing process, add enough of the thin sheet to better adhere the photosensitive resin to the thin sheet.
The method according to claim 1, characterized in that the surface of the photosensitive resin is exposed to light through -. 16) Arrange a substrate surface consisting of a printed wiring board on top of a conductor 1iit that has through holes and is in contact with the liquid negative photosensitive resin layer, and impede irradiation so that the liquid photosensitive resin can be easily removed. 2. A method as claimed in claim 1, characterized in that the photosensitive resin is cured by passing the radiation through the holes in different images. 17) The method according to claim 1, characterized in that a photosensitive resin of a known thickness is printed through a mesh screen on one of the two surfaces between which the photosensitive resin is arranged in a sandwich manner. 18) In the method of irradiating a solvent-soluble negative-working liquid photopolymer before curing, which causes a change in the solubility of the photopolymer, the solubility of the photopolymer on the photopolymer surface and during irradiation is In order to reduce the radiation dose required for curing the photosensitive resin by means of contact with a removable transparent non-gaseous material that does not change the irradiation, gas and air are removed from the irradiated photosensitive resin surface during the irradiation (Ninth Negative). Then, in order to reproduce a high-resolution image on the photosensitive resin layer, the photosensitive resin is cured through a transparent phototool sheet made of the non-gaseous material and having a light image pattern on the light receiving surface adjacent to the photosensitive resin. A method characterized in that a photosensitive resin layer is arranged between two sheets to form a sandwich-like film pack. 19) A method according to claim 1, characterized in that a thin transparent silicone rubber film is used as a release surface to cover the surface of the phototool sheet bearing the image. 20) The method according to claim 1, characterized in that air is excluded by a second photosensitive resin layer laminated on the photosensitive resin. 21) The method of claim 1, further comprising providing a release surface of a polypropylene film surface onto which the optical image pattern is copied. 22) To selectively dye with a permanent dye that spreads inside the polypropylene film, the dye and solvent mixture is applied all the way through the imaging stencil to the release surface of the polypropylene film, thereby slightly scratching the surface. 22. The method of claim 21, wherein the phototool sheet and image pattern are constructed so that they can be used repeatedly without being replaced when worn. 23) A method according to claim 22, characterized in that a yellow dye dissolved in a butyl cellosolve solvent is applied to form the image pattern. 24) A method according to claim 1, characterized in that: 1) a transparent phototool sheet is applied to the surface of the photosensitive resin layer to exclude gas and air; 25) In an irradiation device for the surface of a liquid photosensitive resin layer for changing the solubility of the photosensitive resin by irradiation and curing at least a portion thereof, the solubility of the photosensitive resin in contact with the surface of the photosensitive resin layer to be irradiated. a removable transparent non-gaseous material that does not alter the photopolymer layer, and a phototool sheet having a photoimage pattern on one surface adjacent to the irradiated photopolymer surface to provide high resolution image reproduction in the photopolymer layer. 11) A device characterized by a transparent body. 26) In an irradiation device for the surface of a liquid photosensitive resin layer for changing the solubility of the photosensitive resin by irradiation and curing at least a portion thereof, the solubility of the photosensitive resin in contact with the surface of the photosensitive resin 1 to be irradiated is a removable non-transparent gaseous body that does not change the phototool sheet with a photoimage pattern on one surface adjacent to the photosensitive resin surface to be irradiated for providing high resolution image reproduction to the photosensitive resin r@ An apparatus characterized by a transparent body and a non-collimated radiation source arranged to expose the photosensitive resin layer through the light image turns. 27) Claim 5 characterized by a thin release surface covering the photoimage pattern that does not stick to the photoresin surface after curing, thereby allowing multiple uses of the phototool sheet. the method of. 28) In an irradiation device for the surface of a liquid photosensitive resin layer for changing the solubility of the photosensitive resin by irradiation and curing at least a portion of the photosensitive resin layer, the photosensitive resin layer receives irradiation. a removable transparent non-gaseous material that does not alter the solubility of the photopolymer adjacent to the surface, and one surface adjacent to the irradiated photopolymer surface to provide high resolution image reproduction to the photopolymer layer; a phototool sheet transparency having a light image pattern on one surface of the phototool sheet transparency, wherein the light image pattern on one surface of the phototool sheet transparency comprises a light image pattern impregnated into the transparent sheet. . 29) While the phototool sheet is in contact with the photopolymer surface, the photopolymer sheet is placed adjacent to the photopolymer layer surface using an elastic scanner that is pulled across the photopolymer layer to exclude any gas and air. 6. Apparatus according to claim 5, characterized by incorporation means for passing laterally across the non-image surface of said phototool sheet spaced apart. 30) Sea) 1 pass sideways, table with image while passing (1st
3) Apparatus according to claim 5, characterized by a movable irradiation source having electrifying means for gradually curing the photosensitive resin layer in contact with the surface. 31) The apparatus according to claim 5, characterized by means for placing a liquid in thermal contact with the photosensitive resin layer to dissipate heat during curing. 32) The method according to claim 5, characterized by means for arranging a photosensitive resin layer under a liquid that can be replaced by the phototool sheet in order to both exclude gas and air and dissipate heat during curing. Device. 33) The apparatus according to claim 32, characterized by a liquid cleaning solution that contributes to promoting the separation of the hardened edges of the imaged surface in contact with the photosensitive resin layer and to increasing the number of uses of the phototool sheet. 34) The apparatus of claim 5, characterized in that the phototool sheet, the photopolymer layer and one sandwich-forming sheet are included. 35) A conductor surface layer disposed in contact with the surface of the photosensitive resin (14th negative) layer for adhering the photosensitive resin layer to the conductor surface in a pattern corresponding to the photoimage pattern after curing by irradiation through the phototool. The apparatus according to claim 1, characterized in that said another sheet is made of a printed wiring board having a. 36) A device according to claim 5 characterized by a negative-working photopolymer layer which is solvent soluble before curing in the presence of radiation passed through the non-gaseous body! . 37) A patent featuring a photosensitive resin layer laminated onto a phototool sheet and partially cured to better adhere the layer to the thin sheet before the photosensitive resin layer is fully cured through the phototool pattern. Apparatus according to claim 1. 38) The device according to claim 37, characterized in that the photosensitive resin layer is coated on the conductor surface of a printed wiring board in which holes are pre-drilled. 39) Device according to claim 5, characterized by a sandwich-like film pack having a photosensitive resin layer arranged between two sheets. 40) The device of claim 39, characterized by a thin transparent silicone rubber release surface disposed between the photoimage pattern and the surface of the photopolymer layer. 41) The apparatus of claim 5, further comprising a light image pattern comprising a thin aluminium laminate on the transparent sheet. 42) The apparatus of claim 5 characterized by a light image pattern carried by a sheet of polypropylene film. 43) The apparatus of claim 42, characterized by an optical image pattern consisting of a dyed pattern in a polypropylene film sheet. 44) Claim 5 characterized by means for moving the photosensitive resin layer and the light image pattern past the radiation source.
Xiangjun's own equipment. 45) two sheets, the first of which is transparent with a light image on its inner surface adjacent to the photosensitive resin layer;
A photosensitive resin film pack assembly featuring a photosensitive resin layer sandwiched between layers. 46) The film according to claim 45, wherein the second sheet is a printed wiring board having a conductive surface in contact with the surface of the photosensitive resin layer.
0355(5) Pack assembly. 47) two sheets, the first of which is transparent with a light image on its inner surface adjacent to the photosensitive resin layer;
A photosensitive resin film pack characterized by a negative-working photosensitive resin layer sandwiched between the photosensitive resin layers and which is solvent soluble prior to curing in the presence of radiation passed through said transparent sheet. assembly. 48) Limit the thickness of the photosensitive resin layer to 0.006 cm or less, and 0.01 crr in the cured photosensitive resin layer.
48. A film pack according to claim 47, characterized in that it produces a sharp resolution of L. 49) Before the photosensitive resin layer is completely cured by irradiation passing through the surface with the optical image, after lamination onto the first sheet, the photosensitive resin layer is partially cured in order to better adhere the photosensitive resin layer to the first sheet. 48. The film pack according to claim 47, wherein the film pack is cured to 50) The second sheet has a pre-perforated printed arrangement (17th
46. The film pack according to claim 45, which is a wire plate. 51) The film 19 according to claim 45, characterized by a thin transparent silicone rubber film release surface between the optical image pattern and the surface of the photosensitive resin layer. 52) A film pack according to claim 45, characterized in that said light image pattern constitutes a thin aluminum laminate of said transparent sheet. 53) Claim 45, characterized in that the light image pattern is carried on a polypropylene film sheet.
Film pack described in section. 54) A film pack according to claim 45, characterized in that said optical image pattern consists of a dyeing pattern in a polypropylene film sheet. 55) A method comprising laminating a first layer of liquid negative-working photopolymer onto the irregular surface of a printed wiring board, followed by laminating thereon a second layer of photopolymer. 56) The method according to claim 55, characterized in that in the laminating step of the second layer of photosensitive resin, the second layer is a positive working dry film photosensitive resin layer (No. 18). 57) Transferring the @2 layer from a screen placed parallel to the printed wiring board in the laminate by scanning across the screen using a flexible instrument.
6. The method of claim 5, characterized in: (Page 19)
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