JPS6011778U - 多自由度ステ−ジ - Google Patents

多自由度ステ−ジ

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Publication number
JPS6011778U
JPS6011778U JP10346383U JP10346383U JPS6011778U JP S6011778 U JPS6011778 U JP S6011778U JP 10346383 U JP10346383 U JP 10346383U JP 10346383 U JP10346383 U JP 10346383U JP S6011778 U JPS6011778 U JP S6011778U
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JP
Japan
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degree
vertical shaft
freedom stage
movable table
driving
Prior art date
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JP10346383U
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JPH018301Y2 (ja
Inventor
勉 中台
Original Assignee
日立電子エンジニアリング株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の多自由度ステージの１実蝉例の垂直断
面図である。 １・・・・・・ワークテーブル、２・・・・・・ベース
部分、３・・・・・・Ｘテーブル、４・・・・・・レー
ル、５・・・・・・Ｙテーブル、６・・・・・・レール
、７・・・・・・Ｚ軸、８・・・・・・ハウジング、９
・・・・・・スライドガイド、１０・・・・・・ベアリ
ング、１１・・・・・・ベアリングリテーナ、１２・・
・・・・微動θテーブル、１３・・・・・・微動θ駆動
手段、１４・・・・・・粗動モータ、１５・・・・・・
ベルト、１６・・・・・・受動プーリ、１７・・・・・
・割出盤、１８・・・・・・ノックピン手段、１９・・
・・・・パルス−モータ、２０・・・・・・ポールネジ
、２１・・・・・・駆動クサビ部材、２２・・・・・・
ベアリング、２３・・・・・・受動クサビ部材、２４・
・・・・・スライドガイド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 水平面内で駆動される移動テーブルを貫通せしめて垂直
    軸を設け、この垂直軸の上端付近にワークテーブルを固
    着すると共に、上記の垂直軸を水平移動テーブルに対し
    て上下に駆動する手段、及び、水平移動テーブルに対し
    て回転駆動する手段を設けたことを特徴とする多自由度
    ステージ。
JP10346383U 1983-07-05 1983-07-05 多自由度ステ−ジ Granted JPS6011778U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10346383U JPS6011778U (ja) 1983-07-05 1983-07-05 多自由度ステ−ジ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10346383U JPS6011778U (ja) 1983-07-05 1983-07-05 多自由度ステ−ジ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6011778U true JPS6011778U (ja) 1985-01-26
JPH018301Y2 JPH018301Y2 (ja) 1989-03-06

Family

ID=30243390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10346383U Granted JPS6011778U (ja) 1983-07-05 1983-07-05 多自由度ステ−ジ

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JP (1) JPS6011778U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8511530B2 (en) 2007-05-10 2013-08-20 Canon Finetech Inc. Stapler and staple

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5452793U (ja) * 1977-09-20 1979-04-12
JPS57202690U (ja) * 1981-06-16 1982-12-23

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5452793U (ja) * 1977-09-20 1979-04-12
JPS57202690U (ja) * 1981-06-16 1982-12-23

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8511530B2 (en) 2007-05-10 2013-08-20 Canon Finetech Inc. Stapler and staple

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Publication number Publication date
JPH018301Y2 (ja) 1989-03-06

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