JPS60112333U - 高品質水溶液調製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本考案に係る高品質水溶液調製装
置の一実施例を示すもので、第１図は本考案の装置に使
用する調製容器の縦断面図、第２図は第１図の■−■線
視固視図３図は第１図の■−ｍ線視固視図４図は装置の
フローを示す図である。 １・・・・・・容器、１　’ａ・・・・・・鍔、２・・
・・・・冷却筒部、２ａ・・・・・・有底小円筒体、２
ｂ・・・・・・板体部、３・・・・・・冷媒導入部、３
ａ・・・・・・管体、３ｂ・・・・・・板体部、４・・
・・・・下部スペーサ、５・・・・・・上部スペニサ、
６・・・・・・蓋部、７・・・・・・導出部、８・・・
・・・導入管、９・・・・・・均圧管、１０・・・・・
・超純水導入管、１１・・・・・・ガス導入管、１２・
・・・・・水溶液導出管、１３．　１４．　１５・・・
・・・ＬＩＣ１２１・・・・・・電磁調整弁、２２・・
・・・・流量計、２３・・・・・・逆止弁、２４・・・
・・・配管、２５．２６・・・・・・分岐管、２７・・
・・・・均圧電磁弁、２８・・・・・・管、２９・・・
・・・圧力制御電磁弁、３０・・・・・・電磁弁、３１
・・・・・・調圧管、３２・・・・・・超純水送配管、
３３・・・・・・電磁調整弁、３４・・・・・・流量計
、３５・・・・・・逆止弁、３６・・・・・・電磁弁、
３７・・・・・・抜出管、３８・・・・・・電磁弁、３
９・・・・・・弁、４０・・・・・・ＬＩＣ，４１・・
・・・・均圧管、Ａ・・・・・・水溶液調製容器（調製
容器）、Ｂ・・・・・・貯槽、ａ・・・・・・超純水、
ｂ・・・・・・気化ガス、Ｃ・・・・・・水溶液。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 有底筒状の容器と、この容器の開口部より容器内に挿入
   された多数の有底小筒状体の縁部が開口して板体部に固
   定され、この板体部が上記容器の上縁に液密に取付けら
   れた冷却筒部と、上記有底小筒状体にそれぞれ挿入され
   た管体の縁部が開口して板体部に固定され、この板体部
   が上記冷却筒部の板体部に間隔をおいて液密に取付けら
   れた冷媒導入部と、この冷媒導入部の板体部に間隔をお
   いて液密に取付けられた蓋部とよりなり、上記容器およ
   び冷却筒部の接液部の材質を、上記容器に充填された液
   に金属類が殆んど溶出されない材質によって構成した水
   溶液調製容器を具備してなる高品質水溶液調製装置。