JPS60111036U - 温度測定用ホルダ - Google Patents
温度測定用ホルダInfo
- Publication number
- JPS60111036U JPS60111036U JP20084983U JP20084983U JPS60111036U JP S60111036 U JPS60111036 U JP S60111036U JP 20084983 U JP20084983 U JP 20084983U JP 20084983 U JP20084983 U JP 20084983U JP S60111036 U JPS60111036 U JP S60111036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature measurement
- furnace
- measurement holder
- temperature
- support stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による温度測定用ホルダを示す６斜視図
、′第２図は拡散装置を示す概略断面図である。 １・・・炉散炉、１０・・・円板、１１・・・切込み、
１２・・・支持台。
、′第２図は拡散装置を示す概略断面図である。 １・・・炉散炉、１０・・・円板、１１・・・切込み、
１２・・・支持台。
Claims (1)
- 拡散炉内の温度を測定する際に、炉内に配置せしめられ
る温度測定用ホルダであって、温度測定具が挿入される
切込みを形成した円板と、この円板を複数枚前記切込み
部分を一直線上に並べて取付ける支持台とを備え、前記
円板と支持台との熱容量を、炉内に挿入される半導体ウ
ェハとこのウェハを載置するボートとの熱容量に一致せ
しめたことを特徴とする温度測定用ホルタ′。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20084983U JPS60111036U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 温度測定用ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20084983U JPS60111036U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 温度測定用ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60111036U true JPS60111036U (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=30762080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20084983U Pending JPS60111036U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 温度測定用ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60111036U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011253986A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | 拡散炉用熱電対、温度測定方法、及び半導体装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54154376A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Hitachi Ltd | Jig for detecting internal temperature of horizontal type heat treatment furnace |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20084983U patent/JPS60111036U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54154376A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Hitachi Ltd | Jig for detecting internal temperature of horizontal type heat treatment furnace |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011253986A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | 拡散炉用熱電対、温度測定方法、及び半導体装置の製造方法 |
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