JPS5996590A - Formation of stripe domain minor loop - Google Patents
Formation of stripe domain minor loopInfo
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- JPS5996590A JPS5996590A JP57205738A JP20573882A JPS5996590A JP S5996590 A JPS5996590 A JP S5996590A JP 57205738 A JP57205738 A JP 57205738A JP 20573882 A JP20573882 A JP 20573882A JP S5996590 A JPS5996590 A JP S5996590A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、膜面に垂直な方向を磁化容易方向とする強磁
性体膜に存在するストライプドメインの境界のブロッホ
磁壁の中に作った相隣る垂直プロッホライン対を記憶情
報単位として用い、該磁壁内で転送する手段を有するこ
とを特徴とする磁気記憶素子(プロッホラインメモリ素
子)において、各マイナーループ部にストライブドメイ
ンを形成する方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention stores a pair of vertical Proch lines formed in Bloch domain walls at the boundaries of striped domains existing in a ferromagnetic film whose easy magnetization direction is perpendicular to the film surface. The present invention relates to a method of forming a stripe domain in each minor loop portion in a magnetic memory element (Plochline memory element) which is used as an information unit and is characterized by having means for transferring within the domain wall.
磁気バブル素子の開発は高密度化を同相して各所でパー
マロイデバイス、イオン注入コンティギーアスディスク
デバイス、電流駆動デバイスおよびこれらを組合せたい
わゆる混成型デバイスについて盛んに行われている。こ
れらのデバイスの高密度化の限界は、バブル転送路を形
成するためのフォトリソグラフィー技術にあるといわれ
てきた。The development of magnetic bubble elements is actively being carried out in various places with the aim of increasing density, including permalloy devices, ion-implanted contiguous disk devices, current-driven devices, and so-called hybrid devices that combine these devices. It has been said that the limit to the high density of these devices lies in the photolithography technology used to form the bubble transfer path.
しかし、近年、その技術が長足に進歩してきた。However, in recent years, the technology has advanced rapidly.
その結果、高密度化のだめの材料すなわち、バブル径を
どこまで小さくできるかが問題視されるようになってき
た。現在使用されているガーネット材料では、到達可能
な最小バブル径は0.3μmといわれている。しだがっ
て、0.3μm径以下のバブルを保持するバブル材料は
ガーネット材料以外に求めなければならない。これは容
易ではなく、ここがバブル高密度化の限界であるとさえ
考えられている。As a result, the question of how small the bubble diameter, that is, the material needed to increase the density, has become a problem. With the garnet materials currently in use, the minimum attainable bubble diameter is said to be 0.3 μm. Therefore, a bubble material that retains bubbles with a diameter of 0.3 μm or less must be found in a material other than garnet material. This is not easy and is even considered to be the limit of bubble density.
一方、このようなバブル保持層の特性に基く高密度化限
界を大幅に改善し、かつ、情報読出し時間は従来の素子
と同程度に保つことができる、新らたな記憶素子が提案
されている。この磁気記憶素子は情報読出し手段と情報
書込み手段と情報蓄積手段を備え、膜面に垂直な方向を
磁化容易方向とする強磁性体膜(フェリ磁性体膜を含む
)に存在するストライブドメインの周辺のブロッホ磁壁
の中に作った相隣合う垂直プロッホライン対を記憶情報
単位として用い、該垂直プロッホラインをブロッホ磁壁
内で転送する手段を有することを特徴とする。この素子
構成をメジャーマイナー構成とする場合、メジャーライ
ンでは従来通りバブルドメインを情報単位とし、マイナ
ーループをストライプドメインで構成し、その周辺のブ
ロッホ磁壁内に存在する垂直プロッホライン(以下VB
Lという。)を情報単位とする。全体の情報の流れを示
すと、まず、発生器で書込まれた情報(バブルの有無)
は書込みメジャーラインを移動する。この情報をマイナ
ーループへ記憶させるために、バブルの有無で示された
メジャーライン上の情報をマイナーループへVBLO形
でトランスファーできるように、マイナーループをV]
3Lを保持できるブロッホ磁壁で構成することが本発明
の特徴であQ1記憶容量の飛躍的向上の重要なカギにな
っている。會込みライントランスファーゲートにょシ、
マイナーループにトランスファーされた情報(VBL)
Uマイナーループを構成するストライプドメイン磁壁土
を移動さぜることかできる。マイナーループから読出し
メジャーラインへの情報トランスファーはVBLからバ
ブルへの変換を伴う。なお、この読出しトランスファー
ゲートはブロックレプリケータ機能も合せ持っている。On the other hand, a new memory element has been proposed that can significantly improve the density limit based on the characteristics of the bubble retention layer and keep the information read time at the same level as conventional elements. There is. This magnetic memory element is equipped with an information reading means, an information writing means, and an information storage means, and has a stripe domain existing in a ferromagnetic film (including a ferrimagnetic film) whose easy magnetization direction is perpendicular to the film surface. It is characterized by using a pair of adjacent vertical Proch lines formed in the surrounding Bloch domain wall as a storage information unit, and having means for transferring the vertical Proch line within the Bloch domain wall. When this element configuration is made into a major-minor configuration, the major line uses a bubble domain as an information unit as before, the minor loop consists of a stripe domain, and the vertical Bloch line (hereinafter referred to as VB
It's called L. ) is the information unit. To show the overall information flow, first, the information written by the generator (presence or absence of bubbles)
moves the write major line. In order to store this information in the minor loop, change the minor loop to V] so that the information on the major line indicated by the presence or absence of bubbles can be transferred to the minor loop in VBLO form.
The feature of the present invention is that it is constructed with a Bloch domain wall that can hold 3L, and is an important key to dramatically improving the Q1 storage capacity. Line transfer gate including meeting,
Information transferred to minor loop (VBL)
It is possible to move the striped domain domain wall that makes up the U minor loop. Information transfer from the minor loop to the read major line involves conversion from VBL to bubble. Note that this read transfer gate also has a block replicator function.
この素子の構成例について説明する。メジャーラインは
書込み、読出しともに電流駆動方式を採用している。4
本の平行コンダクタ−からなる書込みトランスファーゲ
ートはメジャーライン上のバブルとマイナーループを構
成するストライブドメインヘッドとの相互作用を用いて
いる。メジャーラインテイブ上にバブルドメインがある
と、それにつながるマイナーループを構成しているスト
ライプドメインのヘッドはバブルとストライプドメイン
との反発相互作用のため、バブルから遠ざかることを利
用している。書込みメジャーラインにバブルがないとき
、マイナーループのストライブドメイン磁壁にVBLを
書込む。VBLをストライプドメインヘッドに作る手段
として、ストライプドメインヘッドをそれに接するコン
ダクタ−パターンにパルス電流を与えることにより、ダ
イナミックに移動させ、ヘッド部磁壁をダイナミックコ
ンバージョンさせることを利用した。この方法で、VB
Lが2つできるが、これらは互いに性質が異なり、再結
合しやすい。そこで、情報を安定化できるようにストラ
イプドメインの長手方向に面内磁界を加え、ストライブ
ドメイン側の2本のコンダクタ−によってストライプド
メインヘッドを切離すことによってストライブドメイン
中に2つの同じ性質のVBLを作る。同じ性質のVBL
は互いに近づいても安定に存在する。メジャーライン(
Cバブルが存在しているところに対応するマイナールー
プのストライプドメインヘッドはバブルとの反発作用の
ため、上記コンダクタ−パターンから離れているため、
VBLは形成されない。An example of the structure of this element will be explained. The major line uses a current drive method for both writing and reading. 4
The write transfer gate, which consists of book parallel conductors, uses the interaction between a bubble on the major line and a striped domain head that constitutes a minor loop. When there is a bubble domain on the major line, the heads of the stripe domains forming the minor loop connected to it take advantage of the fact that they move away from the bubble due to the repulsive interaction between the bubble and the stripe domain. When there is no bubble on the write major line, write VBL on the strike domain domain wall of the minor loop. As a means of forming a VBL into a striped domain head, a pulse current is applied to a conductor pattern in contact with the striped domain head to dynamically move the striped domain head, thereby dynamically converting the head domain wall. In this way, VB
Two L's are formed, but these have different properties and are easy to recombine. Therefore, in order to stabilize the information, an in-plane magnetic field is applied in the longitudinal direction of the stripe domain, and the stripe domain head is separated by two conductors on the stripe domain side. Create VBL. VBL with the same properties
remain stable even when they get close to each other. Major line (
The stripe domain head of the minor loop corresponding to the location where the C bubble exists is separated from the above conductor pattern due to the repulsion with the bubble.
VBL is not formed.
結果的にメジャーラインの情報”1”′をマイナールー
プ内にVBL対がない状態としてトランスファーしたこ
とになる。マイナーループ内では性質が同じVBLの対
を1ビツトとして一1i7報が記憶される。レプリケー
タ−作用の安定性を考えてevBL対を使っている。マ
イナーループ内のビット周期つま’) 、V B L
rIIJ隔を一定に保つように、1ビツトずつ逐次転送
できるように転送パターンをつける。−例として、上記
マイナールーブヲ構成するストライプドメイン上にスト
ライプドメインの長手方向に直角方向にVBL間の安定
間[S。As a result, the information "1" on the major line is transferred with no VBL pair in the minor loop. Within the minor loop, 11i7 information is stored with each pair of VBLs having the same properties as one bit. The evBL pair is used in consideration of the stability of the replicator action. The bit period in the minor loop is '), V B L
A transfer pattern is provided so that one bit can be transferred sequentially to keep the rIIJ interval constant. - As an example, on the striped domain constituting the minor rubo, there is a stable interval [S] between VBL in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the striped domain.
の2倍の周期で、幅S。のパーマロイ薄膜で作った平行
細線パターンを形成し、平行細線の両側に誘起される゛
磁極とVBLとの相互作用を利用した。The period is twice that of the width S. A parallel thin wire pattern was formed using a Permalloy thin film, and the interaction between the magnetic poles and VBL induced on both sides of the parallel thin wire was utilized.
VBLのマイナーループに沿っての転送は一つの方法と
して、ストライプドメインにパルスバイアス磁界を加え
てダイナミックに行なった。3本の平行コンダクタ−か
らなる読出しトランスファーゲートはマイナーループを
形成しているストライプドメイン磁壁にVBLとして記
憶されている情報をバブルに変換してメジャーラインに
トランスファーアウトし、かつ、マイナーループ上の情
報が破壊されないようにするレプリケータ−の働きも兼
備えている。動作原理を説明する。VBL対で形成され
る1ピツトの片割れを例えば、面内磁界を加えてストラ
イプドメインヘッドに固定する。As one method, transfer along the VBL minor loop was performed dynamically by applying a pulsed bias magnetic field to the stripe domain. A readout transfer gate consisting of three parallel conductors converts the information stored as VBL in the stripe domain domain wall forming the minor loop into a bubble and transfers it to the major line, and also transfers the information on the minor loop. It also functions as a replicator to prevent destruction. The operating principle will be explained. One pit formed by a VBL pair is fixed to a stripe domain head by applying an in-plane magnetic field, for example.
その後コンダクタ−パターンを用いて、このストライプ
ドメインヘッドを切シとり、バブルにする。The striped domain head is then cut into bubbles using a conductor pattern.
そうすると、バブルを切りとった後のストライプドメイ
ンヘッドには切シとったVBLと同じVBLが構成され
る。このようなVB、Lのレプリケート作用はマイナス
符号のVBLに対してのみ生じる。Then, the same VBL as the VBL that was cut out is configured in the striped domain head after the bubble is cut out. Such a replication effect of VB and L occurs only for VBL with a minus sign.
マイナーループのストライプトメ・fンヘノドから切シ
とられたバブルはメジャーライン上を検出器に向けて転
送される。ここではストライプドメインヘッドにVBL
がある場合とない場合とでストライプドメインヘッドを
切りとる、パルス電流値が異なることを利用している。The bubble cut from the striped tome of the minor loop is transferred toward the detector on the major line. Here, VBL is applied to the striped domain head.
It takes advantage of the fact that the pulse current value that cuts out the stripe domain head is different depending on whether it is present or not.
ストライプドメインヘッドにVBLがない場合は切れに
くい。したがって、ストライプドメインヘッドに置があ
る場合はメジャーラインにバブルを送り込めるが、VB
Lがない場合はバブルはない。つまり、マイナーループ
上のVBLの有無(1,0)は読出しメジャーライン上
ではバブルの有無に変換されている。VBL対の消去法
について述べる。消去したいVBL対を書込みメジャー
ライン側のマイナールーズのストライプドメインヘッド
の最近接位置におく。次に面内磁界■ipを加えて、消
去しだいVBL対と、そのとなシのVBL対の片割れを
ストライプドメインヘッドにもってきて、情報書込みの
際、プラスのVBLを切シとるために用いた平行コンダ
クタ−を使ってストライプドメインヘッドを切りとる。If there is no VBL on the striped domain head, it will be difficult to cut. Therefore, if there is a position on the striped domain head, you can send a bubble to the major line, but VB
If there is no L, there is no bubble. In other words, the presence or absence (1, 0) of VBL on the minor loop is converted to the presence or absence of a bubble on the read major line. The elimination method for VBL pairs will be described. Place the VBL pair to be erased at the position closest to the minor loose stripe domain head on the writing major line side. Next, an in-plane magnetic field ■ip is applied to bring the VBL pair and one half of its neighboring VBL pair to the stripe domain head, which is used to cut off the positive VBL when writing information. Cut out the striped domain head using the parallel conductor.
バブルドメインを切ジとったあとのストライプドメイン
ヘッドには、消去したいVBL対と共にもってきた置が
レプリケートされる。結局、消去したい置対のみが消去
されることになる。なお、マイナーループ全体をクリア
する場合は予め、バイアス磁界を上げて全部のストライ
プドメインを一旦消去したあと、S=1バブルからマイ
ナーループスドライブドメインを形成することにより、
VBLが全熱ない全ピット零の状態を作ることができる
。After the bubble domain is removed, the striped domain head is replicated with the VBL pair to be deleted. In the end, only the placement pair that you want to delete will be deleted. In addition, when clearing the entire minor loop, first raise the bias magnetic field to erase all the stripe domains, and then form the minor loop drive domain from the S = 1 bubble.
It is possible to create a state in which the VBL has no heat and all pits are zero.
このようにマイナーループをバブル材料に存在するスト
ライプドメインで構成し、マイナーループ上での情報単
位としてバブルドメインの代りにVBLを用いることに
より、従来のバブルドメインを用いた素子に比較して約
2桁の記憶密度向上を達成できる。In this way, by configuring the minor loop with striped domains existing in the bubble material and using VBL instead of the bubble domain as the information unit on the minor loop, it is possible to increase the An order of magnitude increase in storage density can be achieved.
このようガブロッホラインを情報単位として用いる磁気
記憶素子(プロッホラインメモリ素子)にストライプド
メイン・マイナーループヲ形成する方法としてはS=1
バブルからストライプドメインを形成する方法が知られ
ているが、この場合にはストライプドメインを形成する
のにバブルの発生、S=1バブルの弁別、S=1バブル
の転送、S=1バブルの転送路からマイナーループ部へ
のトランスファーという複雑な手順が必要とされる。A method for forming a stripe domain minor loop in a magnetic memory element (Ploch line memory element) that uses Gabloch lines as information units is S=1.
A method of forming a striped domain from bubbles is known, but in this case, forming a striped domain involves generation of bubbles, discrimination of S=1 bubbles, transfer of S=1 bubbles, and transfer of S=1 bubbles. A complex procedure is required to transfer the material from the main loop to the minor loop.
本発明の目的は、前記垂直プロンポラインを情報単位と
して用いる磁気記憶素子においてより簡単なストライプ
ドメイン・マイナーループの形成方法を提供するもので
ある。すなわち本発明は情報読み出し手段、情報書き込
み手段及び情報蓄精手段を有し、かつ膜面に垂直な方向
を破化容易方向とする強磁性体(フェリ磁性体を含む)
膜に存在するストライプドメインの境界のプロツボ磁壁
中につくった相隣る2つの垂直プロノボラインからなる
垂直プロッホライン対を記憶情報単位として用い、該垂
直プロッホラインをプロノボ磁壁内で転送する手段を有
する磁器記憶素子の前記強磁性体膜(以下垂直磁化膜I
という。)にストライブドメインのマイナーループを形
成する方法において、垂直磁化膜■上に直接又は非磁性
層を介して、垂直磁化膜■と同一方向を磁化容易方向と
する、ストライブ状の強磁性体膜(以下垂直磁化膜■と
いう。)を形成し、該垂直磁化膜■の浮遊磁界を垂直磁
化膜Iに複写することを特徴とするストライプドメイン
・マイナーループ形成方法である。An object of the present invention is to provide a simpler method for forming stripe domains and minor loops in a magnetic memory element that uses the vertical prompt line as an information unit. That is, the present invention provides a ferromagnetic material (including a ferrimagnetic material) which has an information reading means, an information writing means, and an information storage means, and whose easy-to-destruct direction is perpendicular to the film surface.
A porcelain device that uses a vertical Ploch line pair consisting of two adjacent vertical Pronovo lines formed in a Pronovo domain wall at the boundary of a stripe domain existing in a film as a storage information unit, and has means for transferring the vertical Ploch line within the Pronovo domain wall. The ferromagnetic film (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film I) of the memory element
That's what it means. ), a striped ferromagnetic material whose easy magnetization direction is the same direction as the perpendicular magnetization film ■, directly or through a nonmagnetic layer on the perpendicular magnetization film ■. This is a striped domain minor loop forming method characterized by forming a film (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film (2)) and copying the floating magnetic field of the perpendicular magnetization film (2) to perpendicular magnetization film (I).
以上、実施例によって本発明を説明する。The present invention will be described above with reference to Examples.
第1図は本発明の実施例の1例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of an embodiment of the present invention.
11は垂直磁化膜■でストライプ状に加工されている。Reference numeral 11 is a perpendicularly magnetized film (2) processed into a stripe shape.
12は垂直磁化膜■である。13は11の下に形成され
たストライブドメインを示している。12 is a perpendicular magnetization film (2). 13 indicates a stripe domain formed below 11.
(磁化の方向は通常第1図の矢印に示しだような向きと
欧るが、膜11と12の境界における交換結合が大きい
場合には、膜12の磁化の向きは第1図と逆向きになる
場合もある。)垂直磁化膜■のキーリ一温度TcI!は
、垂直磁化膜Iのキーリ一温度Tc1よりも高温である
。ストライプドメインを形成する手順としては、最初に
バイアス磁界を加え垂直磁化膜■を飽和させる。次に、
本メモリ素子チップの温度をT C+よりも高温でかつ
Te1Iよりも低温である温度に保持すると、垂直磁化
膜Iは常磁性となり、すべての磁区は完全に消去される
。しかるのち本メモリ素子チップの温度をTc1よりも
低温まで低下させれば、垂直磁化膜lは強磁性体となり
磁区が形成されるのであるが、このとき、垂直磁化膜■
の作る磁界をうけるので、ストライブ状に加工された垂
直磁化膜■の下にストライブが複写される形でストライ
ブドメイン・マイナーループが形成される。(The direction of magnetization is usually the direction shown by the arrow in Figure 1, but if the exchange coupling at the boundary between films 11 and 12 is large, the direction of magnetization of film 12 is opposite to that shown in Figure 1. ) The temperature TcI of the perpendicularly magnetized film ■! is higher than the temperature Tc1 of the perpendicularly magnetized film I. As a procedure for forming striped domains, first a bias magnetic field is applied to saturate the perpendicularly magnetized film (1). next,
When the temperature of this memory element chip is maintained at a temperature higher than T C+ and lower than Te1I, the perpendicularly magnetized film I becomes paramagnetic and all magnetic domains are completely erased. If the temperature of this memory element chip is then lowered to a temperature lower than Tc1, the perpendicularly magnetized film l becomes a ferromagnetic material and a magnetic domain is formed.
As a result, a stripe domain minor loop is formed by copying the stripes under the perpendicularly magnetized film (2), which has been processed into a stripe shape.
垂直磁化膜■として、硬磁性膜を用いた場合にはバイア
ス磁界を与え硬磁性膜を飽和したのぢに上にのべた手順
を行なう。垂直磁化膜■として、軟磁性膜を用いた場合
にはバイアス磁界を与えながら上にのべた手順を行なう
。If a hard magnetic film is used as the perpendicularly magnetized film (2), apply a bias magnetic field to saturate the hard magnetic film and then perform the procedure described above. When a soft magnetic film is used as the perpendicularly magnetized film (2), the above procedure is carried out while applying a bias magnetic field.
第1図のように、垂直磁化膜Iと■の間にスペーサーを
もうけない場合には、垂直磁化膜Iと■の境界部に磁壁
が形成され、との磁壁の効果により、形成されるストラ
イブドメインにはプロッホラインが形成されにくいため
、マイナーループの全プロッホラインを消去した状態を
つくるという長所がある。しかしながら、プロッホライ
ンの形成、保持、転送の上からは不利となるので、マイ
ナーループ形成後、垂直磁化膜■はと9さるか、又は金
属膜の場合には酸化させ磁性を失わせることが望ましい
。As shown in Figure 1, if no spacer is provided between the perpendicularly magnetized films I and , a domain wall is formed at the boundary between the perpendicularly magnetized films I and . Since Ploch lines are difficult to form in the live domain, it has the advantage of creating a state in which all Ploch lines in the minor loop are erased. However, since this is disadvantageous in terms of the formation, retention, and transfer of Ploch lines, it is desirable that after the formation of the minor loop, the perpendicularly magnetized film is oxidized or, in the case of a metal film, oxidized to lose its magnetism.
また第2図に示すごとく、垂直磁化1i122と[21
の間に非磁性のスペーサー24を設けた場合には、垂直
磁化膜1121はとシさる必要はないが、形成されたス
トライブドメイン・マイナーループ23にはプロッホラ
インが含まれているので、プロッホライン消去を行って
初期化をはかる必要がある。Also, as shown in Figure 2, perpendicular magnetization 1i122 and [21
If a non-magnetic spacer 24 is provided between them, there is no need to remove the perpendicular magnetization film 1121, but since the formed strike domain minor loop 23 includes a Ploch line, the Ploch line can be erased. You need to initialize it by doing this.
プロッホラインメモリ素子を常温にだもったまま、単に
バイアス磁界を上げ、垂直磁化膜I、■を飽和させたの
ち、バイアス磁界を下げていっても、ストライブドメイ
ンパマイナーループを形成することができる。これは反
磁場が低下する形で、垂直磁化膜Hの磁界が垂直磁化膜
Iのストライブドメインに複写されるからである。Even if the bias magnetic field is simply increased to saturate the perpendicularly magnetized film I and ■ while the Ploch line memory element is kept at room temperature, and the bias magnetic field is then lowered, a striated domain power minor loop cannot be formed. can. This is because the magnetic field of the perpendicularly magnetized film H is copied to the stripe domain of the perpendicularly magnetized film I in a manner that the demagnetizing field is reduced.
ストライプドメインが複数に分割し、マイナーループが
分割されることを防ぐためには、ストライブドメイン形
成時に、同時に、ストライブ方向の面内磁界を与えるこ
とが効果的である。In order to prevent the stripe domain from splitting into a plurality of parts and the minor loop from splitting, it is effective to simultaneously apply an in-plane magnetic field in the stripe direction when forming the stripe domain.
以上、プロッホラインメモリにおけるストライプドメイ
ン・マイナーループの形成方法に関する本発明の詳細な
説明した。以下に実施例をあげる。The present invention has been described above in detail regarding a method for forming a striped domain minor loop in a Plochline memory. Examples are given below.
実施例1゜
GdgGasO+2基板上に、Y2.O5tT1o、I
TJ IJ o、+ Ca o、8Fe4,2Ge(
、,80,2組成のガーネット膜を4μm、LPE成長
した。その上に非晶質GdCo膜をスパッタ法によ、!
1l12000X形成した。しかるのち、Gd0o膜を
4μmのラインアンドスペースでストライブ状に加工し
た。ガーネット膜のキュリ一温度は195℃であり、G
cl−Co膜は補償温度が300℃であった。外観図を
第1図に示す7、
この構成のプロッホラインメモリ素子用チンプに100
00eのバイアス磁場をかけながら200゛″Cに昇温
したのち、バイアス磁場を零としてからチップ温度を室
温までもどした。偏光顕微鏡の観察により良好なストラ
イプドメイン・マイナーループが形成されていることを
確認後、GdC0膜は熱希硝酸によりとりさった。Example 1 On a GdgGasO+2 substrate, Y2. O5tT1o,I
TJ IJ o, + Ca o, 8Fe4,2Ge(
A 4 μm thick garnet film with a composition of ,,80,2 was grown by LPE. On top of that, an amorphous GdCo film is sputtered!
1l12000X was formed. Thereafter, the Gd0o film was processed into stripes with lines and spaces of 4 μm. The Curie temperature of the garnet film is 195°C, and the G
The compensation temperature of the cl-Co film was 300°C. The external view is shown in Figure 1.
After raising the temperature to 200°C while applying a bias magnetic field of 00e, the bias magnetic field was reduced to zero and the chip temperature was returned to room temperature. Observation with a polarizing microscope showed that good striped domains and minor loops were formed. After confirmation, the GdC0 film was removed using hot dilute nitric acid.
実施例2゜
Gd5Ga50+2基板上に(Y Eu Trn )3
(FeGa )5012組成のガーネット膜を3μm
LPEμm上た。Example 2゜(Y Eu Trn )3 on Gd5Ga50+2 substrate
Garnet film with (FeGa)5012 composition is 3 μm thick.
LPEμm exceeded.
そのうえに7oooXuffを蒸着し、しかるのちに無
電解メッキ法により、CO□2 Ni 24 Mn H
P 3組成の垂直磁化膜を3μm形成し、3μm巾のス
トライブ状に加工した。ガーネット膜のキュリ一温度は
170°Cであり、Co 72 Ni 24 Mn l
P s膜のキュリ一温度は400’C以上の十分高い温
度である。外観図を第2図に示す。この構成のブロンホ
ラインメモリ素子用チップに20000eのバイアス磁
場をかけて飽和させたのちチップ温度を175°Cまで
昇温させ、再び室温丑でもどした。すでによく知られて
いるように、Gd0o以外にもGd −Fe 、 Ho
−Feなどの多くのBE−’I’M系では、スバ7タ
法又は蒸着法で垂直磁化膜が形成されることが知られて
おり、これらを用いても同様にストライブドメイン・マ
イナーループ形成できる。才たR E −T hr系以
外でも、co −OrのごときT r、q−Tアシ1系
でも同様である。On top of that, 7oooXuff was vapor-deposited, and then CO□2 Ni 24 Mn H was deposited by electroless plating.
A perpendicularly magnetized film having a P 3 composition was formed to a thickness of 3 μm and processed into a stripe shape with a width of 3 μm. The Curie temperature of the garnet film is 170°C, and Co 72 Ni 24 Mn l
The Curie temperature of the Ps film is a sufficiently high temperature of 400'C or higher. An external view is shown in Figure 2. A bias magnetic field of 20,000 e was applied to the Bronholline memory element chip having this configuration to saturate it, and then the chip temperature was raised to 175° C. and then returned to room temperature. As is already well known, in addition to Gd0o, there are also Gd -Fe, Ho
It is known that in many BE-'I'M systems such as -Fe, a perpendicular magnetization film is formed by the svart method or vapor deposition method, and even if these methods are used, striped domains and minor loops can also be formed. Can be formed. The same is true for Tr, q-T 1 systems such as co-Or, as well as the R E -T hr system.
実施例3゜
実施例1と同一の構成のプロッホラインメモリ素子チッ
プを室温(又は室温以上、ガーネット膜のキュリ一温度
未満の温度)にだもった才ま単にバイアス磁場を1.0
OOOe まで上昇させたのち、零磁場までもどしても
ストライプドメイン・マイナーループを形成さ也ること
ができた。この場合にはドメインが複数に分割されるな
どして欠陥ループが生ずる確率が高いので、バイアス磁
場の上下をくりかえし欠陥ループが少い男合をえらぶ必
要があった。またこのとき、JO〜500e のストラ
イブ方向の面内磁界、及び1〜100eの振巾の交流バ
イアス磁界を重畳さゼると、欠陥ループを減少させると
とができた。Example 3 A Plochline memory element chip having the same configuration as Example 1 was kept at room temperature (or at a temperature higher than room temperature and lower than the Curie temperature of the garnet film), and the bias magnetic field was simply set to 1.0.
After increasing the magnetic field to OOOe, striped domain minor loops were still able to be formed even when the magnetic field was returned to zero. In this case, there is a high probability that defective loops will occur due to the domain being divided into multiple parts, so it was necessary to repeatedly raise and lower the bias magnetic field to select a pair with fewer defective loops. Furthermore, at this time, when an in-plane magnetic field in the stripe direction of JO~500e and an AC bias magnetic field with an amplitude of 1~100e were superimposed, defective loops were reduced.
以上のべたように、本発明によシ、プロッホラインメモ
リ素子におけるストライプドメイン・マイナーループ形
成のために、バブルの発生、S=1バブルの弁別、バブ
ルステートを変更させない転送及びトランスファーの手
順を用いることなく、t’t’ij 便にストライプド
メイン・マイナールーブヲ形成することができる。As described above, the present invention uses bubble generation, S=1 bubble discrimination, transfer without changing the bubble state, and transfer procedures to form a striped domain minor loop in a Plochline memory device. It is possible to form a striped domain minor rubo without any problems.
第1図は本発明の実施例の構成を示す外観図である。1
1は垂直磁化膜■、12はマイナーループを保持する垂
直磁化膜I、13は複写されたストライプドメインを示
す。第2図は本発明の他の実施例の構成を示す外観図で
ある。21は垂直磁化膜■、22はマイナーループを保
持する垂直磁化膜I、23は複写されたストライプドメ
イン、24はスペーサーを示す。
代Fi1人弁理士 内 原 晋
囁 I 図
f
第2回
手続補正書(自発)
桝9.22.1
昭和 月 日
特許庁長官 殿
1、事件の表示 昭和57年特 許願第20573
8号2、発明の名称 ストライプドメイン・マイナー
ループ形成方法3、補正をする者
事件との関係 出 願 人東京都港区芝五
丁目33番1号
(423) 日本電気株式会社
代表者 関本忠弘
4、代理人
〒108 東京都港区芝五丁目37番8号 住友三田
ビル(連絡先 日本電気株式会社特許部)
5 補正の対象
明細書の特許請求の範囲の欄
明細−赴の発明の詳細な説明の欄
6、補正の内容
1)%許請求の範囲を別紙のとお9補正する。
2)明細書第11頁第1行目に「器」とあるのを「気」
と補正する。
別 紙
特許請求の範囲
情報読み出し手段、情報書き込み手段及び情報蓄積手段
を有し、かつ膜面に垂直な方向を磁化容易方向とする強
磁性体(フェリ磁性体を含む)膜に存仕するストライプ
ドメインの境界のブロッホ磁壁中につくった相隣る2つ
の垂直プロッホラインからなる垂直プロッホライン対を
記憶情報単位として用い、該垂直プロッホラインをブロ
ッホ磁壁内で転送する手段を有する磁気記憶素子の前記
強磁性体膜(以下垂直磁化膜Iという。)にストライプ
ドメインのマイナーループを形成する方法において、垂
面磁化膜I上に面接又は非磁性層を介して、垂直磁化膜
工と同一方向を磁化容易方向とする、ストライプ状の強
磁性体膜(以下垂直磁化膜■という。)を形成し、該垂
直磁化膜■の浮遊磁界を垂@磁化膜工に複写することを
特徴とするストライプドメイン・マイナーループ形成方
法。FIG. 1 is an external view showing the configuration of an embodiment of the present invention. 1
1 is a perpendicular magnetization film (1), 12 is a perpendicular magnetization film I holding a minor loop, and 13 is a copied stripe domain. FIG. 2 is an external view showing the configuration of another embodiment of the present invention. Reference numeral 21 indicates a perpendicular magnetization film (1), 22 a perpendicular magnetization film I holding a minor loop, 23 a copied stripe domain, and 24 a spacer. Representative Fi 1 Patent Attorney Susumu Uchihara I Figure f 2nd Procedural Amendment (Spontaneous) 9.22.1 Showa Date Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of Case 1988 Patent Application No. 20573
No. 8 No. 2, Title of the invention: Striped domain/minor loop formation method 3, Relationship with the amended case Applicant: 5-33-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo (423) NEC Corporation Representative: Tadahiro Sekimoto 4 , Agent Address: Sumitomo Sanda Building, 37-8 Shiba 5-chome, Minato-ku, Tokyo 108 (Contact address: NEC Corporation Patent Department) 5. Claims column specification of the specification to be amended - Detailed description of the invention Explanation column 6, Contents of amendment 1) 9 amendments are made to the scope of claims as per the attached sheet. 2) In the first line of page 11 of the specification, the word “vessel” is replaced with “ki”.
and correct it. Attachment Scope of Claims A stripe existing in a ferromagnetic material (including ferrimagnetic material) film having an information reading means, an information writing means, and an information storage means, and whose easy magnetization direction is perpendicular to the film surface. The ferromagnetic material of the magnetic storage element uses a vertical Proch line pair consisting of two adjacent vertical Proch lines formed in a Bloch domain wall at the boundary of a domain as a storage information unit, and has means for transferring the vertical Proch lines within the Bloch domain wall. In the method of forming a striped domain minor loop in a film (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film I), the same direction as the perpendicular magnetization film is set as the direction of easy magnetization on the perpendicular magnetization film I through a surface or a nonmagnetic layer. Striped domain minor loop formation characterized by forming a striped ferromagnetic film (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film ■), and copying the stray magnetic field of the perpendicular magnetization film to the perpendicular magnetization film. Method.
Claims (1)
を有し、かつ膜面に垂直な方向を磁化容易方向とする強
磁性体(7工リ磁性体を含む)膜に存在するストライブ
ドメインの境界のブロッホ磁壁中につくった相隣る2つ
の垂直プロッホラインからなる垂直プロッホライン対を
記憶情報単位として用い、該垂直プロッホラインをブロ
ッホ磁壁内で転送する手段を有する磁器記憶素子の前記
強磁性体膜(以下垂直磁化膜■という。)にストライプ
ドメインのマイナーループを形成する方法において、垂
直磁化膜I上に直接又は非磁性層を介しで、垂直磁化膜
Iと同一方向を磁化容易方向とする、ストライブ状の強
磁性体膜(以下垂直磁化膜■という。)を形成し、該垂
直磁化膜■の浮遊磁界を垂直磁化膜Iに複写することを
特徴とするストライブドメイン・マイナーループ形成方
法。Boundary of a stripe domain existing in a ferromagnetic material (including a ferromagnetic material) having an information reading means, an information writing means, and an information storage means and whose easy magnetization direction is perpendicular to the film surface. The ferromagnetic film (hereinafter referred to as vertical In the method of forming a striped domain minor loop in a magnetized film (referred to as "magnetic film"), a striped domain minor loop is formed on the perpendicularly magnetized film I, either directly or through a nonmagnetic layer, with the direction of easy magnetization being the same as that of the perpendicularly magnetized film I. 1. A method for forming a striated domain minor loop, which comprises forming a ferromagnetic film (hereinafter referred to as perpendicular magnetization film (2)), and copying the stray magnetic field of the perpendicular magnetization film (2) to a perpendicular magnetization film (I).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57205738A JPS5996590A (en) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | Formation of stripe domain minor loop |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57205738A JPS5996590A (en) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | Formation of stripe domain minor loop |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5996590A true JPS5996590A (en) | 1984-06-04 |
Family
ID=16511842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57205738A Pending JPS5996590A (en) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | Formation of stripe domain minor loop |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5996590A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5086409A (en) * | 1984-11-30 | 1992-02-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording and/or reproducing method of bloch line memory |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP57205738A patent/JPS5996590A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5086409A (en) * | 1984-11-30 | 1992-02-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording and/or reproducing method of bloch line memory |
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