JPS5993139U - 真空処理装置に於けるワ−ク搬送装置 - Google Patents

真空処理装置に於けるワ−ク搬送装置

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JPS5993139U
JPS5993139U JP18804082U JP18804082U JPS5993139U JP S5993139 U JPS5993139 U JP S5993139U JP 18804082 U JP18804082 U JP 18804082U JP 18804082 U JP18804082 U JP 18804082U JP S5993139 U JPS5993139 U JP S5993139U
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JP
Japan
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inner cylinder
vacuum processing
processing chamber
outer cylinder
output shaft
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JP18804082U
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JPS6317255Y2 (ja
Inventor
藤木　収
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日本真空技術株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来例の平面図及び側面図、第３図
は本考案の実施例の裁断側面図、第４図はその要部の平
面図、第５図はベローズ式の回転導入装置の拡大断面図
、第６図及び第７図は本考案の他の実施例の平面図及び
側面図である。 １・・・真空処理室、２・・・ワークホルダ、３・・・
ウェハ搬送装置、４・・・ワーク、５・・・内筒、６・
・・外筒、７ａ、　　８ａ・・・出力軸、７，８・・・
回転導入装置、９・・・ラック、ピニオン機構、１０・
・・開閉作動杆、１１・・・ストッパ、５ａ・・・前端
部。 第４図 第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空処理室１内の処理位置へ先端に開閉自在のワークホ
    ルダ２を備えたウェハ搬送装置３によりワーク４を搬送
    する式のものに於て、該処理室１内に内筒５と外筒６を
    重合させて設けると共に該処理室１の外部に出力軸７ａ
    、３ａを処理室１内に挿通したベローズ式の回転導入装
    置７．８を設け、一方の出力軸７ａに内筒５を連結して
    その軸方向に摺動自在とすると共に他方の出力軸８ａを
    ラック、ビニオン機構９を介して外筒６に連結してその
    軸方向に摺動自在とじた、該内筒５及び外筒６を挿通し
    て該外筒６の先端に取付けたワークホルダ２の開閉作動
    杆１０を設け、その後端部に該内筒５からストローク端
    まで抜は出たときに該内筒５の前端部５ａと係合するス
    トッパ１１を取付けて成る真空処理装置に於けるワーク
    搬送装置。
JP18804082U 1982-12-14 1982-12-14 真空処理装置に於けるワ−ク搬送装置 Granted JPS5993139U (ja)

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JPS5993139U true JPS5993139U (ja) 1984-06-25
JPS6317255Y2 JPS6317255Y2 (ja) 1988-05-16

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