JPS5991651A - 四重極分析管 - Google Patents
四重極分析管Info
- Publication number
- JPS5991651A JPS5991651A JP57200773A JP20077382A JPS5991651A JP S5991651 A JPS5991651 A JP S5991651A JP 57200773 A JP57200773 A JP 57200773A JP 20077382 A JP20077382 A JP 20077382A JP S5991651 A JPS5991651 A JP S5991651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- tetrode
- analysis tube
- metal
- quartz glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/4255—Device types with particular constructional features
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電極基材として絶縁材を用い、四重極電極を設
置するためヨーク材として導電材を用いた四重糖分析管
に関するものである。
置するためヨーク材として導電材を用いた四重糖分析管
に関するものである。
分析技術の進歩に伴って四重糖分析管も高分解能、高感
度のものが要求されてきている。
度のものが要求されてきている。
一方、真空装置の材料として、その放射能化が低い点や
、放出ガスが少い、軽量性等種々の利点が認めらｎ１了
ルミ合金が用いら牡つつある。アルミ合金は前記特徴が
ある一方熱膨張率が大きいために温度変化により、高分
解能、ｌｌ！’；感度化に問題があった。
、放出ガスが少い、軽量性等種々の利点が認めらｎ１了
ルミ合金が用いら牡つつある。アルミ合金は前記特徴が
ある一方熱膨張率が大きいために温度変化により、高分
解能、ｌｌ！’；感度化に問題があった。
本発明の目的は、電極基材として熱膨張率の小さい絶縁
材料を用い、この電極基材に金属薄膜を設け、目−り材
として加工精度の高い導電材を用いることにより、小型
、高分解能、高感度の四重糖分析管を提供することにあ
る。
材料を用い、この電極基材に金属薄膜を設け、目−り材
として加工精度の高い導電材を用いることにより、小型
、高分解能、高感度の四重糖分析管を提供することにあ
る。
以下図面に基いて発明の詳細について説明する＠：１図
は本発明による四重糖分析管のイオン源側から見た四重
極電極部分の正面図である。四重極電極の電極基材１上
に電極薄膜を設けて電極２とすることができる。＃記電
極基材１はその材料として、セラミックス、石英ガラス
、サファイヤ等絶縁材を用いることができる。こｎらの
材料を双曲状あるいは真円状に加工することによって、
必要な加工精度の電極基材とすることができる。
は本発明による四重糖分析管のイオン源側から見た四重
極電極部分の正面図である。四重極電極の電極基材１上
に電極薄膜を設けて電極２とすることができる。＃記電
極基材１はその材料として、セラミックス、石英ガラス
、サファイヤ等絶縁材を用いることができる。こｎらの
材料を双曲状あるいは真円状に加工することによって、
必要な加工精度の電極基材とすることができる。
前記絶縁基材のうちで石英ガラスが熱膨張率が小さくて
基材として望ましい。四重極電極を保持するヨーク材３
も従来社セラミックスなどの絶縁材が用いられていたが
、四重極電極基材を絶縁材として用いることＸＫよシ、
金属等の導電材料を用いることができる。ヨーク材とし
て用いる金属材料は、放出ガスが少く、熱膨張率が少な
い材料がＷましく、タングステン、タンタル、モリブデ
ン等がこれらの要求を満足することができる。このよう
な材料ではα＝３．７〜６＊６Ｘ１０−’ と線膨張率
は小さい。四重極電極の電極間隔の精度は、四重極分析
管の分解能、感度に影響することは周知の事実である。
基材として望ましい。四重極電極を保持するヨーク材３
も従来社セラミックスなどの絶縁材が用いられていたが
、四重極電極基材を絶縁材として用いることＸＫよシ、
金属等の導電材料を用いることができる。ヨーク材とし
て用いる金属材料は、放出ガスが少く、熱膨張率が少な
い材料がＷましく、タングステン、タンタル、モリブデ
ン等がこれらの要求を満足することができる。このよう
な材料ではα＝３．７〜６＊６Ｘ１０−’ と線膨張率
は小さい。四重極電極の電極間隔の精度は、四重極分析
管の分解能、感度に影響することは周知の事実である。
このために温度による影響も当然考えられる。す壜わち
温度変化がｉｏｏ℃ある場合、１α当り αＸＩＯ’
ｐｍ （α＝線膨張係数）の変化が考えられる。すな
わち直径ｌｏ−のモリブデン円筒を四重極電極とした場
合、４〜５μの膨張がある。測定管の質量数、分解能に
もよるが、ＩＷｉ感度の測定管では重要な変化量である
。本発明に示したように石英ガラスなどのα＝０．４Ｘ
１０− ’の低膨張材料を電極基材とし、゛これにモ
リブデン等の金属薄膜で電極を構成した場合、電極の血
糖方向の熱膨張社基材の量が極めて大きいために基材の
膨張係数に依存する。すなわち電極材としてモリブデン
薄膜を用いても熱膨張は石英ガラスの膨張で極めて小さ
くすることができる。
温度変化がｉｏｏ℃ある場合、１α当り αＸＩＯ’
ｐｍ （α＝線膨張係数）の変化が考えられる。すな
わち直径ｌｏ−のモリブデン円筒を四重極電極とした場
合、４〜５μの膨張がある。測定管の質量数、分解能に
もよるが、ＩＷｉ感度の測定管では重要な変化量である
。本発明に示したように石英ガラスなどのα＝０．４Ｘ
１０− ’の低膨張材料を電極基材とし、゛これにモ
リブデン等の金属薄膜で電極を構成した場合、電極の血
糖方向の熱膨張社基材の量が極めて大きいために基材の
膨張係数に依存する。すなわち電極材としてモリブデン
薄膜を用いても熱膨張は石英ガラスの膨張で極めて小さ
くすることができる。
すなわち１００℃の温度変化で直径が１′ｃｒ１１の場
合０．４Ｐでモリブデン金属棒を用いたものに比べて１
０分の１とすることができる。
合０．４Ｐでモリブデン金属棒を用いたものに比べて１
０分の１とすることができる。
電極材料として熱膨張係数の小さ−４％ ＋３プデン材
を用いた例を示したが、電極材料を薄膜とした場合、了
ルミ合金等、比較的熱膨張係数の大きな金属材料を用い
ることができる。アルミ合金などの放射化の小さな材料
は、放射線の極めて強度な肩速器等の真空計にも充分使
用することができる。その他、熱膨張係数については重
要と考えることなく、例えば、放出ガスの少い金属材料
、前述のような放射化の少い金属材料等、用途に応じた
材料を選ぶことのできる四重極分析管を得ることができ
る。第２図に本発明による四重極電極のイオン源側から
見た正面図および側面図を示す。本発明に示すように１
電極２を電極２１、電極ｎに絶縁キャップ４を設けた構
造にすることができる。
を用いた例を示したが、電極材料を薄膜とした場合、了
ルミ合金等、比較的熱膨張係数の大きな金属材料を用い
ることができる。アルミ合金などの放射化の小さな材料
は、放射線の極めて強度な肩速器等の真空計にも充分使
用することができる。その他、熱膨張係数については重
要と考えることなく、例えば、放出ガスの少い金属材料
、前述のような放射化の少い金属材料等、用途に応じた
材料を選ぶことのできる四重極分析管を得ることができ
る。第２図に本発明による四重極電極のイオン源側から
見た正面図および側面図を示す。本発明に示すように１
電極２を電極２１、電極ｎに絶縁キャップ４を設けた構
造にすることができる。
電極２１に電極ｎとは異った電位を印加することによっ
て、分解能、−感度を高めることができる。第３図に本
発明による他の実施例を示す。１ｉｌＥ３図で祉イオン
源側での四重極電極の正面５には電極を設けず、電極基
材側面のほぼ半分圧金属薄属を設けることができる。電
極基材側面に電極３．２４を設けることができる。電極
田の電極幅は０．１〜１■が適当である。第２図の場合
と同様、電極る、２４に異った電位を印加することによ
って、分解能、感度を同上することができる。
て、分解能、−感度を高めることができる。第３図に本
発明による他の実施例を示す。１ｉｌＥ３図で祉イオン
源側での四重極電極の正面５には電極を設けず、電極基
材側面のほぼ半分圧金属薄属を設けることができる。電
極基材側面に電極３．２４を設けることができる。電極
田の電極幅は０．１〜１■が適当である。第２図の場合
と同様、電極る、２４に異った電位を印加することによ
って、分解能、感度を同上することができる。
本発明に示すようにヨーク材に金属材を用いることによ
って、従来のようにヨーク材の外使の空間イオンを消去
するための電極材を用いることなく、小型化、薄型化に
有利である。
って、従来のようにヨーク材の外使の空間イオンを消去
するための電極材を用いることなく、小型化、薄型化に
有利である。
以上述べたように、電極基材として熱膨張率の小さな絶
縁材を用いることにより、熱膨張に無関係に種々の用途
に応じて金属材料を選択することができ、小型、高分解
能、高感度の四重極分析管を提供することができる。
縁材を用いることにより、熱膨張に無関係に種々の用途
に応じて金属材料を選択することができ、小型、高分解
能、高感度の四重極分析管を提供することができる。
第１因は本発明による四重極分析管のイオン源側から見
た四重極電極部分の正面図、第２図は他の実施例を示す
イオン源側かつ見た正面図および側面図、第３図はさら
に他の実施例を示すイオン源側から見た正面図および側
面図である。 １０．電極基材 ２，２１〜２４０．電極３０．ヨー
ク材 ４１．ギャップ５０．四重極電極正面 以上 第１図 第２図 第３図
た四重極電極部分の正面図、第２図は他の実施例を示す
イオン源側かつ見た正面図および側面図、第３図はさら
に他の実施例を示すイオン源側から見た正面図および側
面図である。 １０．電極基材 ２，２１〜２４０．電極３０．ヨー
ク材 ４１．ギャップ５０．四重極電極正面 以上 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）石英ガラス、μセラミックス等の絶縁材を電極基
板とし、少くともこの基板の半分程度に金属の電極薄膜
を設けて四重極電極を形成し、前記四重極電極を設置す
るためのヨーク材として金属等の導電材を用いた四重糖
分析管。 - （２）四重極電極の一方の端部に帯状の空間を設は四重
極電極と別電位を設定することによって、端電界効果を
少くしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
四重糖分析管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57200773A JPS5991651A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 四重極分析管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57200773A JPS5991651A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 四重極分析管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5991651A true JPS5991651A (ja) | 1984-05-26 |
Family
ID=16429934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57200773A Pending JPS5991651A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 四重極分析管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5991651A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4885500A (en) * | 1986-11-19 | 1989-12-05 | Hewlett-Packard Company | Quartz quadrupole for mass filter |
| JPH0574411A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Japan Atom Energy Res Inst | 四重極電極 |
| US5644131A (en) * | 1996-05-22 | 1997-07-01 | Hewlett-Packard Co. | Hyperbolic ion trap and associated methods of manufacture |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517069A (ja) * | 1974-06-26 | 1976-01-21 | Showa Electric Wire & Cable Co |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP57200773A patent/JPS5991651A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517069A (ja) * | 1974-06-26 | 1976-01-21 | Showa Electric Wire & Cable Co |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4885500A (en) * | 1986-11-19 | 1989-12-05 | Hewlett-Packard Company | Quartz quadrupole for mass filter |
| JPH0574411A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Japan Atom Energy Res Inst | 四重極電極 |
| US5644131A (en) * | 1996-05-22 | 1997-07-01 | Hewlett-Packard Co. | Hyperbolic ion trap and associated methods of manufacture |
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