JPS5991632A - 周波数可変マグネトロンのための改良された高度補償 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は同調可能な共振空胴装置に関するものであり、
特に、大気圧のための新規な補償がもたらされる同調可
能な共振空胴装置に関するものである。

周波数可変マグネトロン（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　Ａｇｉ
ｌｅＭａｇｎｅｔｒｏｎ）　Ｂ特定の周波数範囲に亘っ
て急速に同調可能であって、通例レーダシステムでのり
２ツタリダクシヨンのために用いられ、また敵の電波妨
害行為に対する電子工学的対応策として用いられる。こ
のような周波数可変マグネトロンは、代表的に可動同調
プランジャー及び同調アクチュエータを含む。可動同調
プランジャーは共振空胴内の真空エンベロープの中に位
置づけられ、同調アクチュエータはマグネトロン管の真
空エンベローブの外側に位置づけられている。アクチュ
エータの運動は、マグネ）Ｅ＝ｌン管内の真空状態を破
らずに同調プランジャーに連結される。ベローズが、代
表的に７クチユエータの動きを同調グラ／ジャーに連結
するために用いられている。

単一のベローズを、マグネトロン管内の同調プランジャ
ーの運動を外部から制御するために用いることができる
。ベローズは、一端でマグネトロン管の真空エンベロー
プの開口のまわりにクール（ｓｅａｌ）され、他端で同
調グジンジャーに連結される可動要素にシールされてｈ
る。この形状に伴う重大な問題は、大気圧が可動要素を
真空エンベロープ内に押し進めることである。同調アク
チュエータは、補償する圧力を加えて所望の同調プラン
ジャー運動をもたらさなければならない。さらに、周波
数可変マグネトロンは、しばしば空輸で適用するのに用
いられる。可動部材に対する圧力は高度に伴って変化し
、そのため大気の圧力のための補償を困難にする。

１９７１年２月１６日にバール（ｎａｈｒ）に発行され
た米国特許第５．５６　ｋｌ、　５１００号は、手動同
調マグネトロンでの単一のベローズの使用を開示する。

摩擦トルク荷重がポールネジアクチュエータに加えられ
て、機構に対する大気の圧力によるボールネジの不注意
な回転を防止する。

従来技術に従って、複式ベローズ配列が、マグネトロン
同調組立体に対する大気圧を補償するのに利用されてい
る。ベローズは、可動部材の両側に連結されている。同
調組立体が移動されるとき、一方のべ四−ズは伸張し、
他方のベローズ線圧縮される。真空エンベロープ内に含
まれる容量は一定のままであるので、同調機構を移動さ
せる大気圧に打ち勝つ必要はない。例えば、１９７１ｉ
年１２月５日にストーク（８ｊｏｋｅ）に発行された米
国特許第１８５２，６５８号及び１９７１年６月２９日
にストークに発行された米国特許第Ａ３９０，３１３号
を参照されたい。

複式ベローズ配列は大気圧のためのはは十分な補償をも
たらすが、成る不利な点を有する。高出力マグネトロン
の動作中に、同調グラ／ジャーのかなシの加熱が生じる
。マグネトロン管は真空装置であるので、熱は伝導によ
って同調プランジャーからプランジャー支持部材を通っ
てベローズと結合した可動部材へ移送され、次に同調シ
ャフトを通ってハウジング部材に移送される。同調機構
の急速な運動を容易にするために、可動部材の質量はで
きる限り減少される。しかしながら、このことは、可動
部材が比較的高い熱抵抗を有する結果をもたらす。複式
ベローズの存在は同調プランジャーと可動部材との間に
より長い支持部材を必要とし、それによって熱抵抗を増
加させる。さらに、これらのよシ長い支持部材は真空エ
ンベロープ内に設置され、こうして対流によるすべての
冷却を妨げる。実際上、複式ベローズ配列は、同調プラ
ンジャーからの熱を移送することで困難が生じている。

複式ベローズ配列の他の不利な点が、２つのベローズが
マグネ）０ン管の真空エンベローブの一部であって、マ
グネトロン管の生産高の問題に左右されるという事実か
ら生じる。マグネトロン管が製造中又は操作中に欠陥を
生じるならば、２つの比較的費用の高いベローズはマグ
ネトロン管とともに廃物にされる。加えて、べ四−ズ組
立体のすべての欠陥がマグネトロン管全体を廃物にして
しまう。さらに他の不利な点が、複式ベローズの形状が
用いられるときのマグネトロン管の長さの増加に関する
。空輸で適用する場合、マグネトロンの長さを最小にす
ることがしはしば要求される。

複式ベローズの形状で、２つのベローズは、同軸に取り
付けられてマグネトロン管の長さを直接に増加する。

本発明の目的は、熱移送特性を高めた高度補償装置を有
する同調可能な共振空胴装置を提供することである。

本発明の他の目的は、長さの縮小した高度補償装置を有
する同調可能な共振空胴装置を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、同調可能な交差電磁界放電
装置の真空エンベロープと結合した高度補償装置の複雑
さが減少される放電装置用高度補償装置を提供すること
である。

発明の概要 本発明に従って、これらのまた他の目的及び利点は、同
調可能な共振９胴装置で達成される。その装置は、気密
された真空チャンバを包囲する装置真空エンベロープ、
装置真空エンベロープ内に設置された共振空胴及び空胴
の共振周波数を変えるための同調手段から成る。同調手
段は、第１変形可能組立体及び同調プランジャ一手段か
ら成る。

第１変形可能組立体は装置真空エンベロープを通して動
きを伝達し、同調プランジャ一手段は装置真空エンベ胃
−ブ内に位置づけられて第１変形可能組立体に連結され
る。作動手段が、装置真空エンベロープの外側に位置づ
けられて同調プランジャ一手段を運動させる。同調シャ
フト手段が、作動手段と第１変形可能組立体との間に連
結されている。さらに、同調手段は、装置真空エンベロ
ープの外側に位置づけられて同調シャフト手段に対し圧
力を加えるように動作する補償手段から成る。

補償手段は、第１変形可能組立体に対する大気圧から生
じる、同調シャフト手段に対する力に対抗する。補償手
段は、補償真空エンベロープ及び第２に形可能組立体を
含む。第２変形可能組立体は、補償真空エンベロープと
同調シャフト手段との間に連結されている。こうして、
補償手段は、同調シャフトの運動に応答して補償真空エ
ンベロープの容量を変化させる。第１及び第２変形可能
組立体は、各々代表的に可動部材及びそれぞれの真空エ
ンベロープにシールされたベローズを含む。同調可能な
共振空胴装置は、マグネトロンのような交差電磁界放電
装置となることが可能である。

本発明に従う同調可能な共振空胴装置を、第１図で概略
的に図示する。装置真空エンベロープ１０が、気密され
た真空チャンバ１２を包囲している。

環状形状の共振空胴１１ｉが、装置真空エンベロープ１
０内に設置されている。共振を胴五４は随伴共振周波数
（ａｓｓｏｃｉＲｔｅｄ　ｒｅｓｏｎａｎｔ　ｆｒｅｑ
ｕｅｒｉｃｙ）を有し、その周波数は１６で全体的に示
される同調手段によって変えることができる。

同調手段１６は、第１可動部材２２及び第１ベローズ２
ＡＩから成る変形可能組立体２０を含む。

ベローズ２１１の−ｆｍは、Ｘ空エンベロープ１０の開
口２６の内側端部のまわりにシールされている。

ベローズ２４の他端は、可動部材２２の既定領域のまわ
シにシールされている。可動部材２２及びベローズ２１
１は、結合して開口２６を気密する。

同調プランジャー２８が共振空胴１１１の中に位置づけ
られて、可動部材２２に支持ビン５０によって連結され
ている。実施・例で、同調プランジャー２Ｂは、＃１は
環状形状である。さらに、同調手段１６は、同調シャフ
ト５２を含む。同調シャフト５２は、ベローズ２ヰによ
シ囲まれる領域で一端が可動部材２２に連結されている
。同調シャフト３２は作動手段５４に連結されて、他端
が補償手段４０に連結されている。補償手段ヰ０は、補
償真空エンベロープ４２及び第２変形可能組立体Ｕｔｔ
を含む。第２変形可能組立体４４は、第２可動部材４６
及び第２ベローズｕｇを含む。第２ベローズ１４ｇは、
一端が真空エンベロープ１１２の開口５０の内側端部の
まわりにシールされている。ベローズｌ１８の他端は、
可動部材ＬＩ６の既定領域のまわりにシールされている
。従って、変形可能組立体Ｉｎは、真壁エンベロープ＋
４２の開口５０ｆ！：気密する。同調シャフト５２は、
ベローズＩＩｇによシ囲まれた領域で第２可動部材１１
６に連結されている。

動作上、作動手段３錦はＩＪ’　＝アモータであって、
同調シャフト３２の直線状軸方向の運動を引き起こす。

同調シャフト５２の運動は、さらに共振空胴１唖内の同
調プランジャー２８の運動を引き起こす。Ｍａｌプラン
ジャー２８の運動は、空胴１４の共振周波数の変化を引
き起こす。同調シャフト５２及び第１可動部材２２が上
方又は下方に動くとき、ベローズ２４は収縮又社伸張し
、それによって真空エンベロープ１０に対する気密状態
を維持する。

大気圧が第１図の矢印により指示される方向で可動部材
２２に対して圧力５２を加えて、真空チャンバ１２内に
同一の圧力を強制的に加える傾向がある。圧力５２は、
同調シャフト５２へ伝達される。大気圧は、さらに第１
図の矢印により指示される方向で可動部材４６に対して
圧力５４を加える。圧力５４はさらに同調シャフト５２
へ伝達されて圧力５２に対抗し、可動部材２２に対する
大気圧を強償する傾向がある。圧力５２及び５４の大き
さが等しいとき、同調シャフト５２は平衡状態にあって
作動手段５４により容易に運動可能である。同調プラン
ジャー２８が下方に移動するとき、ベローズ２４は伸張
されて、それによりぺ党−ズ４８を収縮させながら真空
チャンバ１２の容量を減少し、それによって真空エンベ
ロープ４２により包囲された容量を増加する。同様に、
同調プランジャー２８が上方に移動するとき、ベローズ
２４は収縮されて、それによシベローズ４８を伸張し表
から真空チャンバ１２の容量を増加し、それによって真
空エンベロープ４２によシ包囲された容量を減少する。

好適実施例で、ベローズ２４により囲まれた可動部材２
２０面積は、ベローズ４８により囲まれた可動部材４６
の面積に等しい・さらに好適に、ベローズ２４及びｑｇ
は、同−設計である。すなわち、ベローズ２４及びＩＩ
ｇは、直径、長さ及びスプリング速度が同一である。こ
れらの条件が満足されるとき、圧力５２及び５３１はす
べての大気圧について等しくて、補償が達成される。補
償手段ｑｏは必ずしも同調シャフト５２に直接的に接続
されないがすべての適切な機械的連動によって同調シャ
フト３２に接続され得ることが、当業者に理解されるで
おろう。

同軸周波数可変マグネトロンの断面図を、第２図で示す
。マグネトロンは、アルミン酸バリウムで含侵されたタ
ングステンのような円筒状陰極エミッタ６０を有する。

エミッタ６０の各端部には、ハフニウムのような５非放
出物質（ｎｏｎ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ＋ｎａｔｅｒｉａｌ
）　　の突出する陰極端ハツト（ｃａｔｈｏｄｅｅｎｄ
　ｈａｔ）　６２がある。陰極社、一端が陰極シュテム
構造（ｃａｔｈｏｄｅ　ｓｔｅｍ　５ｔｒｕｃｔｕｒｅ
）　（図示せず）上に支持されている。陰極エミッタ６
０は、タングステンワイヤのコイルのような輻射加熱器
６４によって加熱される。

陽極シェル６ｇから内方に延在する同軸円形配列の陽極
羽根６６が、エミッタ６０を囲んでいる。

羽根６６の内側端部は、トロイド状干渉空間７０の外壁
を画成するシリンダ上にある。羽根６６は規則的に周回
的に離間配置されて、隣接する羽根の間にほぼ所望の振
動周波数で共振する空胴を画成する。

交互に現われる空胴の外壁上には、軸方向スμット７２
が陽極シェル６８を通って切られて、第１図の空胴１４
に相当する同軸トロイド状安定化空胴７４とつながって
いる。空胴７４は、壁７６．７７を含む。壁７６．７７
は、好適に陽極羽根６６を伝導によシ冷却しまた周波数
安定化のために高いＱを与える銅から成る。空胴７１１
は、環状同調プシンジャー７８によって同調される。同
調プランジャー７８は複数の押棒ｇｏによって軸方向に
移動可能でＩｔ）シ、押棒８０は以下で詳細に説明する
同調組立体８２によって調和して駆動される。

同調プシンジャー７８は第１図の同調プランジャー２８
に相当し、一方、同調組立体８２は第１図の同調手段１
６にほぼ相当する。空胴７４は絞シ８３によって出力導
波管８４に連結され、出力導波管８４は誘電体窓８６に
よって真空緊密に気密されている。

エミッタ６０及び陽極羽根６６の両側には軸方向にずれ
た同軸の強磁性磁極片８８．８９がおる。

磁極片８Ｂ、８９は！グネトロン管本体にシールされて
、永久磁石９０に連結されている。永久磁石９０及び磁
極片８８．８９は干渉空間７００両端に両極を与えるよ
うに形状づけられて、はぼ一様でほぼ軸方向の磁界を干
渉空間了０内に生じる。

プレート９２はマグネトロンの一端を気密して、同調組
立体８２のための取付プレートとして役立つ。こうして
、マクネトロンの真空エンベロープは、檄７６、Ｔ７、
磁極片８８．８９、誘電体窓Ｂ６及びプレート９２によ
って形成される。同調組立体８２は、以下に説明するよ
うにプレート９２の開口を通して同調プランジャー７１
１へ運動を伝達する。

第２図で示すマグネトロンの動作上、加熱器交流電流が
陰極加熱器６４に供給されて、陰極はアースしたマグネ
トロン管本体及び陽極羽根６６に関して負にパルスされ
る。電子が陰極ニオツタ６０から羽根６６に向かって引
きつけられ、交差磁界によりトロイド状干渉空間７０の
まわりを回る経路へ方向づけられる。干渉空間７０で電
子は、内側羽根空胴の周辺マイクロ波電界と干渉してマ
イクロ波エネルギーを生じる。マイクロ波エネルギーは
内側羽根空胴から軸方向スロット７２を通って安定化空
胴７４へ連結される。空胴７１１の円形電気モードは、
励起陽極羽根６６のパイそ一ド周波数を空胴７４の共振
周波数にロック（ｌｏｃｋ）する。こうして、−安定化
斐胴７ヰの共振周波数が同調プランジャー７ｇの運動に
よって変えられるとき、マグネトロンの動作の周波数は
同様に変えられる。

再び第２図を参照すると、同調組立体８２はプレート９
２に取り付けられたノ・ウジング１０２　＠含み、マグ
ネトロン真空エンベロープに関して同軸的に位置づけら
れる。同調組立体８２は所望されるように同調プランジ
ャー７８ｔ−急速に移動すべく動作し、それによって安
定化空胴７＋４の共振周波数を変える。同調プランジャ
ーＴ８は、押棒８０によって磁極片ｇｆ１の開口を通っ
て８１図の可動部材２２に相当する＃ユぼ円形の第１可
動部材ｉｏｑに連結される。第１べ四−ズ１０６は第１
図のベローズ２嶋に相当し、その一端はプレート９２の
開口の内側端部のまわりにシールされる。ベローズ１０
６の他端は、可動部材１０１Ｉの周囲にシールされる。

可動部材１ＯＩＩ及びベローズ１０６は結合してマグネ
トロン真空エンベロープの開口を気密し、一方、その開
口を通して運動を伝達する能力をもたらす。可動部月１
０４の中心には伸長した同調シャフト１０ｇが、連結さ
れている。同調シャフト１０Ｆ１は、リニアベアリング
１１０．１１２によって同軸直線運動に束縛される。同
調シャフト１０ｇ３は、第１図の同調シャフト）２に相
当する。同調シャフト１０８は、線速度トランスジュー
サ１１１↓及びリニアモータをｊｌ遇する。トランスジ
ューサ１１１１は、同調シャフト１０ｇの速度を感知す
べく動作する。リニアモータは第１図の作動手段５錦に
相当し、同調シャツ）　ｔｏｇの同一直線運動を作動す
る。す＝アモータは磁気回路を完成する固定位置の強磁
性磁甑片１１８．１２０．１２２及び固定位１１の同軸
モータ磁石１１Ｇを含む。リニアモータは、さらに巻型
１２６に巻かれたコイル１２１１を含む。巻型１２６は
同調シャフト１０８と同軸であって、同調シャフト１０
８に取伺けられている。

可動部材１０Ｉ８と反対側の同調シャフト１０８の端部
は、磁気素子１２８の一端に軸方向で取９付けられてい
る。磁気素子１２８は、線形可変差動変圧器１５０の核
を形成する。変圧器１３０は、同調シャツ）　１０ｇの
位置を感知すべく動作する。磁気素子１２８の他端は第
２可動部材１５２の中心に連結され、可動部材１５２は
補償真空エンベロープ１３ＩＩ内に位置づけられている
。第２ベローズ１５６が、一端で真空エンベロープ１３
１１の開口１５ｇの周囲を気密する。

ベローズ１５もの他端は、可動部材１３２の周囲で気密
される。可動部材１５２、補償真空エンベロープ１５１
１及び第２ベローズ１５６は、それぞれ第１図の可動部
材４６、真空エンベロープ１４２及びベローズＡＩ８に
対応する。可動部材１５２及びベローズ１３Ｇは、結合
して真空エンベロープ１５１Ｉを気密し且つ同調シャフ
ト１０８の運動が真空エンベロープ１３４により包囲さ
れた容量を変化するのを可能にする。

動作上、既定周波数同調信号が、リニアモータの入力に
印加される。同調信号は、例えば正弦曲線状であっても
よい。リニアモータによって同調シャフト１０８及び同
調プランジャー７ｇは、入力同調信号に応答して軸方向
に移動する。こうしてマグネトロンの周波数は、入力同
調信号に従って変化する。線形可変差動変圧器１５０は
同調シャフト１０ｇの位置を感知し、一方、線速度トラ
ンスジューサ１１４は同調シャツ）　１０ｇの速度を感
知する。

同調シャツ）　１０ｇの位置及び速度からそれぞれマグ
ネトロンの周波数及び周波数の変化速度が得られる。こ
れらのパラメータは、外部の処理装置で利用される。

真空エンベロープ１５４、可動部材１３２及びベローズ
１５６は、可動部材１０稀に対する大気圧を補償する補
償手段を構成する。大気圧は可動部材１５２に対して圧
力を加え、可動部材１５２は可動部材１０４に対する圧
力に対抗する。好適に、ベローズ１０６によって囲まれ
た可動部材１０４の面積は、ベローズ１５６によって囲
まれた可動部材１５２の面積に等しく、ベローズ１０６
及び１５６は等しい直径、等しい長さ及び等しいスプリ
ング速度を有する。これらの条件が満足されるとき、同
調シャツ）　Ｌｏｇに対して加えられた大気圧は、すべ
ての大気圧について等しく且つ対抗する。さらに、真空
エンベロープ１３１＋により包囲された容量にマグネト
ロンの真空エンベロープ内の容量を加えた容量は、同調
プランジャー７−８が移動されるとき一定のままである
。

第２図の形状は、同調プランジャー７８からマグネトロ
ン管の外の外部熱だめ部材へのすぐれた熱移送経路をも
たらす。熱は、同調プランジャー７８からか表シ短い押
棒８ｏを通って直接可動部材１０１１及び同調シャツ）
　１０＆へ移送される。熱は、これらの部材からかなり
大きなハウジング部材へ容易に移送される。さらに、可
動部材１０４及び同調シャ７　）　１０８は共に大気に
さらされ、それによって伝導熱移送を高める。従来技術
の複式ベローズ装置は、相尚曲がりくねった熱移送経路
を使用している。マグネトロンの過度の加熱は、装置の
動作に周波数ドリフト及び誤差を生じ６せ得る。

第２図の形状は、マグネトロンの真空エンベロープと結
合した１個のベローズ１０６のみを使用する。

従って、製造中又は動作中にマグネ）ｏンが故障した場
合に、簡単で経済的な単一のベローズ組立体が廃物にさ
れる。

第２図で図示された補償手段において、可動部材１５２
及びベローズ１５６は、真空エンベロープ１３４内に反
転（Ｉｎｖｅｒｔ）される。真空エンベ四−プ１３４の
深さは、同調プランジャー１０８の最大行程でエンベロ
ープ１３Ｉ＋と可動部材１５２との間の接触を回避する
のに十分であることを要求されるだけである。従って、
補償手段によるマグネトロン管組立体の全体の長さへの
寄与は、最小である。従来技術の複式ベローズの形状で
は、第２ベローズの長さが、直接マグネトロン管の長さ
に加わった。さらに、第２図の形状では、等しく且つ反
対の力が同調シャ７　）　１０８の両端に加えられるこ
とが、注目される。従って、同調シャツ）　ｌｏｔ！と
関連して貫かれたすべての連結部は、同調シャツ）　１
０ｇの位置に関係なく一定の張力下で配置される。一定
の張力は、急速な運動中に同調機構の種々の要素がゆる
むのを防止するのに有利である。

現在考えられる本発明の好適実施例を示し且つ説明して
いるが、特許請求の範囲によって限定される本発明の範
囲を外れることなく、種々の変形及び修正がなされ得る
ことは、当業者により明白となろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従う高度補償を図示する概略図であ
る。 第２図は、本発明に従う周波数可変マグネトロンの断面
図である。 〔主賛符号の説明〕 １０−一装置真空エンベロープ　１２−一真空チャンバ
１４−−共振空胴　　　　　１６一一同調手段２０−−
変形可能組立体　　２２．１０１１−一第１可動部材２
１１、１０６−−第１へｏ　−／１１’　２６．５０．
１５８−一開口２８．７８−一同調プランジャー　５０
−一支持ピン５２．１０ｇ−一同調シャフト　　５１＋
−一作動手段４０−−補償手段　　１１２．１３４−一
補償真空エンペロープ４トー第２変形可能組立体　　４
６．１３２−一第２可動部材ｌＩＢ、１５Ｇ−−第２ベ
ローズ　５２．！ｌ−−圧力６０−−陰極エミッタ　　
　６２−一陰極端ハットＧＩＩ−−輻射加熱器　　　　
６６−−陽極羽根６８−一陽極シエル　　　　ＴＯ−−
）ロイド°状干渉空間７２−−軸方向スロッ）　　　７
ＩＩ−一同軸トロイド°状安定化空胴８２−一同調朝立
２体　　　　ＳＵ−一出力導波管８Ｂ、　８９．１１１
！、　１２０．１２２−一強磁性磁極片９０−−永久磁
石　　　　　１１４−一線速度トランスジューサ１１６
−−同軸モータ磁石　　１５０−Ｊ形可変差動変圧器Ｆ
ＩＧ、＋ ２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　同調可能な共振空胴装置であって：ａ）気密された
   真空チャンバを包囲する装置真空エンベロープ； ｂ）前記装置真空エンベロープ内に設けられた共振空胴
   ；並びに Ｃ）前記空胴の共振周波数を変えるための同調手段であ
   って； １）前記装置真空エンベロープを通して運動を伝達する
   ための第１変形可能組立体；−）前記装置真空エンペ四
   −プ内に位置づけられて前記第１変形可能組立体に連結
   された同調プシンジャ一手段； １１１）　前記装置真空エンベロープの外側に位置づけ
   られて前記同調プランジャーを運動させるための作動手
   段； ｌｖ）前記作動手段と前記第１変形可能組立体との間で
   連結された同調シャフト手段；並びに ■）前記装置真空エンベロープの外側に位置づけられて
   前記同調シャフト手段に対して圧力を加えるべく動作す
   る補償手段であって、前記圧力は前記第１変形可能組立
   体に対する大気圧から生じる前記同調シャフト手段に対
   する圧力に対抗し、前記補償手段は補償真空エンベロー
   プ及び該補償真空エンベロープと前記同調シャフト手段
   との間で連結されたｍ２変形可能組立体から成って、前
   記同調シャフト手段の運動に応答して前記補償真空エン
   ベロープの容量を変化させると仁ろの補償手段； から成るところの同調手段； から成ると仁ろの装置。 −特許請求の範囲第１項に記載された装置であって： 前記第１変形可能組立体が第１可動部材及び第１ベロー
   ズを含み、該第１ベローズは一端が前記装置真空エンベ
   四−プの開口のまわ９でシールされ、他端が前記第２可
   動部材の既定領域のまわシでシールされているところの
   装置。 ）　特許請求の範囲第２項に記載された装置であって： 前記第２変形可能組立体が第２可動部材及び第２ベロー
   ズを含み、該第２ベローズは一端が前記補償真空エンベ
   田−グの開口のまわシでシールされ、他端が前記第２可
   動部材の既定領域のまわシでシールされているところの
   装置。 狐　特許請求の範囲第１項に記載された装置であって： 前記補償手段によシ前記同調シャフト手段に加えられた
   圧力は前記第１変形可能組立体に対する大気圧から生じ
   る前記同調シャフト手段に対する圧力に大きさが等しく
   且つ方向が反対であるところの装置。 １　特許請求の範囲第５項に記載された装置であって： 前記第１可動部材の前記既定領域が前記第２可動部材の
   前記既定領域に実質的に等しいところの装置。 ６　特許請求の範囲第５項に記載された装置であって： 前記第１ベローズ及び前記第２ベローズは／Ｉｔ　？’
   ！’円筒形であって実質的に直径及びスプリング速度が
   等しいところの装置。 Ｌ　特許請求の範囲第６項に記載された装置であって： 前記第１ベローズ及び前記第２ベローズは前記同調シャ
   フト手段の両端に同軸的に位置づけられて、前記同調手
   段の動作中に前記ベローズの一方が伸張して他方が収縮
   されるところの装置。 ｇ、同調可能な交差電磁界電子放電装置であって： ａ）電子流を発生させるための陰極を含む陰極手段； ｂ）前記電子流のまわりに真空を維持するための装置真
   空エンベロープ； Ｃ）前記電子流と干渉関係で電磁界を維持するためのマ
   イク四波回路手段： ｄ）前記回路手段からの電磁波エネルギを連結するため
   の手段； ｅ）前記陰極手段と前記回路手段との間に電界を印加す
   るための手段； ｆ）前記電子流の領域内の前記電界に直角の磁界を印加
   するための手段；並びに ｇ）前記装置の共振周波数を変えるための同調手段であ
   って： １）前記鋏置真空エンベ買−プを通して運動を伝達する
   ための第１ぺ田−ズ組立体；鳴）前記装置真空エフ４− けられて前記第１ベローズ組立体に連結された同調プラ
   ンジャ一手段： ＩＩｌ．）前記装置真空エンペ胃−ブの外側に位置づけ
   られて前記同訓プランジャーを運動させるための作動手
   段； ＩＶ）前記作動手段と前記第１ベローズ組立体との間で
   連結された同調シャフト手段；並びに Ｖ）前記装置真空エンベロープの外側に位置づけられて
   前記同調シャフト手段に対して圧力を加えるべく動作す
   る補償手段であって、前記圧力は前記第１ベローズ組立
   体に対する大気圧から生じる前記同調シャフト手段に対
   する圧力に対抗し、前記補償手段は補償真空エンベロー
   プ及び該補償真空エンベロープにシールされて前記同調
   シャフト手段に連結された第２ベローズ組立体から成っ
   て、前記同調シャフト手段の運動に応答して前記補償真
   窒工／ぺ四−プの容量を変化させるところの補償手段； から成るところの補償手段； シ、Ｌ虚ス　シ？−　ス〃）状偏り ９　　＠ＦＦ請求の範囲第８項に記載された装置であっ
   て： 前記第１べｐ−ズ組立体が第１可動部材及び第１ベロー
   ズを含み、該第１ベローズは一端が前記装置真空エンベ
   目−プの開口のまわりでシールされ、他端が前記第２可
   動部材の既定領域のまわシでシールされているところの
   装置。 １（ｌ　　特許請求の範囲第９項に記載された装置であ
   って： 前記第２ベローズ組立体が第２可動部材及び第２べ四−
   ズを含み、該第２ベローズは一端が前記補償真空エンベ
   ロープの開口のまゎυでシールされ、他端が前記第２可
   動部材の既定領域のまわりでシールされているところの
   装置。 ＩＬ　　特許請求の範囲第８項に記載された装置であっ
   て： 前記補償手段により前記同調シャフト手段に加えられた
   圧力は前記第１ベローズ組立体に対する大気圧から止じ
   る前記同調シャフト手段に対する圧力に大きさが等しく
   且つ方向が反対であるところの装置。 １２、特許請求の範囲第１０項に記載された装置であっ
   て： 前記第１可動部材の前記既定領域が前記第２可動部材の
   前記既定領域に実質的に等しいところの装置。 込　特許請求の範囲第１２項に記載された装置であって
   ： 前記第１ベローズ及び前記第２ベローズはｔ１ホ円筒形
   であって実質的に直径及びスプリング速度が等しいとこ
   ろの装置。 １娠　特許請求の範囲第１５項に記載された装置であっ
   て： 前記第１ベローズ及び前記第２ベローズは前記同調シャ
   フト手段の両端に同軸的に位置づけられているところの
   装置。 １へ　特許請求の範囲第１４項に記載された装置であっ
   て： 前記第１ベローズの一端は前記装置真空エンベロープの
   前記開口の内側端部のまわりでシールされ、前記第２ベ
   ローズの一端は前記補償真空エンベロープの内側端部の
   まわシでシールされて、前記同調手段の動作中に前記ベ
   ローズの一方が伸張して他方が収縮されるところの装置
   。 １６、　　特許請求の範囲第８項に記載された装置であ
   って： 前記装置は同軸マグネトロンであって、前記マイクロ波
   回路手段は環状安定化空胴を含み、前記同調１ランジヤ
   一手段は前記安定化空胴内に位置づけられた環状部分を
   含むところの装置。 ｌ′Ｆ、　　％許請求の範囲第１６項に記載された装置
   であって： 前記作動手段は前記同調シャフトに関連したコイル及び
   前記同調手段を電磁的に作動すべく動作する固定位置リ
   ニアモータを含むところの装置。 １ａ　　特許請求の範囲第１０項に記載された装置であ
   って： 前記同調手段はさらに線形可変差動変圧器を含み、該変
   圧器は前記同調シャフト手段に関して同軸的に位置づけ
   られて、前記装置の厨時共振周波数を表す出力信号をも
   たらすべく動作するところの装置。 １３　　特許請求の範囲第１Ｏ項に記載された装置であ
   って： 前記同調手段はさらに線形可変差動変圧器を含み、該変
   圧器は前記同調シャフト手段に関して同軸的に位置づけ
   られて、前記装置の共振周波数の変化の速度を表す出力
   をもたらすべく動作するところの装置。