JPS5984446U - 真空度測定装置 - Google Patents
真空度測定装置Info
- Publication number
- JPS5984446U JPS5984446U JP16683483U JP16683483U JPS5984446U JP S5984446 U JPS5984446 U JP S5984446U JP 16683483 U JP16683483 U JP 16683483U JP 16683483 U JP16683483 U JP 16683483U JP S5984446 U JPS5984446 U JP S5984446U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- high voltage
- pulse
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例のブロック的構成説明図、第
２図は同実施例における要部の具体的回路図、第３図ａ
＝ ｆは同実施例における各部の波形図である。 １・・・検出素子、２・・・高電圧印加装置、３・・・
電圧安定化装置、４・・・電流検出装置。
２図は同実施例における要部の具体的回路図、第３図ａ
＝ ｆは同実施例における各部の波形図である。 １・・・検出素子、２・・・高電圧印加装置、３・・・
電圧安定化装置、４・・・電流検出装置。
Claims (1)
- 真空雰囲気内に離間して設置された陽極および陰極と、
この陽極および陰極が存在する空間に磁界を作用させる
磁場発生装置と、パルス幅およびパルス周期の一定なパ
ルス列入力を昇圧し整流して得た直流高電圧を前記陽極
と陰極との間にパルス的に印加する高電圧印加装置と、
前記陽極と陰極との間に印加された電圧を検出し検出信
号を負、 帰還させて前記高電圧印加装置の前記パル
ス列入° 力のパルス振幅を測御し上記印加電圧を一
定化させる電圧安定化手段と、前記陽極と陰極との間に
流れる電流を検出する手段とを具備したことを特徴とす
る真空度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16683483U JPS5984446U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 真空度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16683483U JPS5984446U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 真空度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984446U true JPS5984446U (ja) | 1984-06-07 |
| JPS6118433Y2 JPS6118433Y2 (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=30365157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16683483U Granted JPS5984446U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 真空度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984446U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102519670A (zh) * | 2012-01-05 | 2012-06-27 | 北京东方计量测试研究所 | 真空计电参数检定装置 |
| JP2020052013A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 株式会社島津製作所 | 真空度検出装置、及び電子線照射システム |
-
1983
- 1983-10-27 JP JP16683483U patent/JPS5984446U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102519670A (zh) * | 2012-01-05 | 2012-06-27 | 北京东方计量测试研究所 | 真空计电参数检定装置 |
| JP2020052013A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 株式会社島津製作所 | 真空度検出装置、及び電子線照射システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6118433Y2 (ja) | 1986-06-04 |
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