JPS5981784U - クライオポンプ - Google Patents

クライオポンプ

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Publication number
JPS5981784U
JPS5981784U JP17755082U JP17755082U JPS5981784U JP S5981784 U JPS5981784 U JP S5981784U JP 17755082 U JP17755082 U JP 17755082U JP 17755082 U JP17755082 U JP 17755082U JP S5981784 U JPS5981784 U JP S5981784U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooled
cryopump
cooling panel
panel
water receiver
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17755082U
Other languages
English (en)
Inventor
恭治 木ノ切
恩田　十一
嘉規 伊藤
道藤　久裕
Original Assignee
株式会社徳田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社徳田製作所 filed Critical 株式会社徳田製作所
Priority to JP17755082U priority Critical patent/JPS5981784U/ja
Publication of JPS5981784U publication Critical patent/JPS5981784U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図はそれぞれ本考案の一実施例を
示す正面断面図である。 １・・・ケーシング、２・・・冷凍機駆動部、３・・・
７００にのクライオヘッド、４・・・２０°にのクライ
オヘッド、５・・・バッキング、６・・・２０６にの冷
却パネル、７・・・７０°にの冷却パネル、８・・・排
水孔、９・・・排水管、１０・・・バルブ、１１・・・
水受部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一　ケーシング内部に２０°Ｋに冷却される冷却パネル
    と、７０°Ｋに冷却され上記２０°にの冷却パネルを囲
    むように設けられた冷却パネルとを有するクライオポン
    プにおいて、上記７０°にの冷却パネルの下方に水受部
    を設けるとともに、この水受部の底部にポンプ外部へ水
    を排出する排出管を接続したことを特徴とするクライオ
    ポンプ。
JP17755082U 1982-11-24 1982-11-24 クライオポンプ Pending JPS5981784U (ja)

Priority Applications (1)

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JP17755082U JPS5981784U (ja) 1982-11-24 1982-11-24 クライオポンプ

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JP17755082U JPS5981784U (ja) 1982-11-24 1982-11-24 クライオポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5981784U true JPS5981784U (ja) 1984-06-02

Family

ID=30385707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17755082U Pending JPS5981784U (ja) 1982-11-24 1982-11-24 クライオポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5981784U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008101576A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Toppan Printing Co Ltd クライオポンプ及びそれを用いた真空装置
WO2009013807A1 (ja) * 2007-07-23 2009-01-29 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. クライオポンプ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008101576A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Toppan Printing Co Ltd クライオポンプ及びそれを用いた真空装置
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