JPS5981784U - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS5981784U JPS5981784U JP17755082U JP17755082U JPS5981784U JP S5981784 U JPS5981784 U JP S5981784U JP 17755082 U JP17755082 U JP 17755082U JP 17755082 U JP17755082 U JP 17755082U JP S5981784 U JPS5981784 U JP S5981784U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooled
- cryopump
- cooling panel
- panel
- water receiver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図、第2図、第3図はそれぞれ本考案の一実施例を
示す正面断面図である。 1・・・ケーシング、2・・・冷凍機駆動部、3・・・
700にのクライオヘッド、4・・・20°にのクライ
オヘッド、5・・・バッキング、6・・・206にの冷
却パネル、7・・・70°にの冷却パネル、8・・・排
水孔、9・・・排水管、10・・・バルブ、11・・・
水受部材。
示す正面断面図である。 1・・・ケーシング、2・・・冷凍機駆動部、3・・・
700にのクライオヘッド、4・・・20°にのクライ
オヘッド、5・・・バッキング、6・・・206にの冷
却パネル、7・・・70°にの冷却パネル、8・・・排
水孔、9・・・排水管、10・・・バルブ、11・・・
水受部材。
Claims (1)
- 一 ケーシング内部に20°Kに冷却される冷却パネル
と、70°Kに冷却され上記20°にの冷却パネルを囲
むように設けられた冷却パネルとを有するクライオポン
プにおいて、上記70°にの冷却パネルの下方に水受部
を設けるとともに、この水受部の底部にポンプ外部へ水
を排出する排出管を接続したことを特徴とするクライオ
ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17755082U JPS5981784U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17755082U JPS5981784U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クライオポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5981784U true JPS5981784U (ja) | 1984-06-02 |
Family
ID=30385707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17755082U Pending JPS5981784U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | クライオポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5981784U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
WO2009013807A1 (ja) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | クライオポンプ |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17755082U patent/JPS5981784U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008101576A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Toppan Printing Co Ltd | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
WO2009013807A1 (ja) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | クライオポンプ |
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