JPS5977044U - ガス漏れ検出器 - Google Patents

ガス漏れ検出器

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Publication number
JPS5977044U
JPS5977044U JP17148182U JP17148182U JPS5977044U JP S5977044 U JPS5977044 U JP S5977044U JP 17148182 U JP17148182 U JP 17148182U JP 17148182 U JP17148182 U JP 17148182U JP S5977044 U JPS5977044 U JP S5977044U
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JP
Japan
Prior art keywords
gas leak
pressure sensor
leak detector
semiconductor pressure
container
Prior art date
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Pending
Application number
JP17148182U
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English (en)
Inventor
智恒 吉岡
茂 佐藤
早川　孝之
Original Assignee
株式会社日立メデイコ
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Publication date
Application filed by 株式会社日立メデイコ filed Critical 株式会社日立メデイコ
Priority to JP17148182U priority Critical patent/JPS5977044U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるガス漏れ検出器の一実施例を示す
回路図、第２図は密封容器内の温度と圧力の関係を例示
するグラフ、第３図は第１図中の半導体圧力センサの温
度と圧力感度の関係を例示するグラフ、第４図は密封容
器内の温度と第１図に示したブリッジ回路の出力電圧の
関係を例示するグラフである。 １１・・・直流電源、１２・・・ブリッジ回路、１２ａ
〜１２Ｃ・・・抵抗、１２ｄ・・・半導体圧力センサ、
１３．１４・・・ブリッジ回路出力端子、Ｖ。・・・ブ
リッジ回路出力電圧。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 正、負電源相互間に３つの抵抗と１つの半導体圧力セン
    サをブリッジ接続してなるブリッジ回路を設け、かつ前
    記半導体圧力センサを密封容器内に配置し、ブリッジ回
    路出力電圧により前記容器内の圧力を検出してその容器
    内のガス漏れを検出するガス漏れ検出器において、前記
    半導体圧力センサに、少なくとも検出器使用温度範囲内
    でその圧力感度が絶対温度に逆比例する温度特性をもつ
    半導体圧力センサを用いることを特徴とするガス漏れ検
    出器。
JP17148182U 1982-11-15 1982-11-15 ガス漏れ検出器 Pending JPS5977044U (ja)

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JP17148182U JPS5977044U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 ガス漏れ検出器

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JPS5977044U true JPS5977044U (ja) 1984-05-24

Family

ID=30374058

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