JPS5974731U - 試料測定装置 - Google Patents

試料測定装置

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JPS5974731U
JPS5974731U JP17078782U JP17078782U JPS5974731U JP S5974731 U JPS5974731 U JP S5974731U JP 17078782 U JP17078782 U JP 17078782U JP 17078782 U JP17078782 U JP 17078782U JP S5974731 U JPS5974731 U JP S5974731U
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JP
Japan
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sample
measuring device
sample measuring
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Pending
Application number
JP17078782U
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English (en)
Inventor
元宏 河野
Original Assignee
クラリオン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施態様を説明するための試料測定
装置の要部拡大断面図である。 １−・・・試料台、２・・・熱電対、３・・・試料、４
・・田−クリポンプ、５・・・熱交換部、６・・・ガス
加熱部（器）、７・・・低温液体温、８，９．１１・・
・パイプ、１０・・・ガスコンデンサ、１２・・・シー
ルドキャップ、１３、　１５．　１６・・・開閉弁、１
７・・・高導電率層。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　熱伝導率が高く、導電率の低い材料で形成した試料
    台と、気体を加熱乃至冷却する手段と、上記試料台上の
    試料を所望の温度に制御する気体系とから成ることを特
    徴とする試料測定装置。 ２　試料が直接載置される試料台表面に薄い高導電率の
    層を設けたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の試料測定装置。
JP17078782U 1982-11-10 1982-11-10 試料測定装置 Pending JPS5974731U (ja)

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JPS5974731U true JPS5974731U (ja) 1984-05-21

Family

ID=30372741

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JP17078782U Pending JPS5974731U (ja) 1982-11-10 1982-11-10 試料測定装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63217634A (ja) * 1987-03-05 1988-09-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ウエフア上電子回路検査装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS526465A (en) * 1975-07-05 1977-01-18 Sankenshiya:Kk Manufacturing method of semi-conductor pellet slices for integrated ci rcuit
JPS53144682A (en) * 1977-05-23 1978-12-16 Fujitsu Ltd Testing method of semiconductor devices

Patent Citations (2)

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