JPS5970336U - エツチング装置 - Google Patents

エツチング装置

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JPS5970336U
JPS5970336U JP16537982U JP16537982U JPS5970336U JP S5970336 U JPS5970336 U JP S5970336U JP 16537982 U JP16537982 U JP 16537982U JP 16537982 U JP16537982 U JP 16537982U JP S5970336 U JPS5970336 U JP S5970336U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
etching solution
wafer mounting
etching
etching device
Prior art date
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Application number
JP16537982U
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English (en)
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JPH0129784Y2 (ja
Inventor
大久保　高志
関本　美佐雄
Original Assignee
日本電信電話株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のエツチング装置を示す路線的。 断面図である。第２図は、本考案によるエツチング装置
の一例を示す路線的断面図である。 ３０・・・・・・ウェファ、３１・・・・・・ウェファ
載置用部、３２・・・・・・円環状部、３３・・・・・
・円環状鍔、３４・・・・・・封止用Ｏリング、３５・
・・・・・０リング受は用溝、−３６・・・・・・環状
溝、３７・・・・・・液溝出口、３８・・・・・・めね
じ４．３９・・・・・・位置決め用ピン、４１・・・・
・・エツチング液、４２・・・・・・エツチング液収容
部、４３・・・・・・ウェファ抑え月並エツチング液収
容部、４５・・・・・・筒状部、４６・・・・・・円環
状鍔、４ｉ−１・・・・円環状鍔、４８・・・・・・液
導入口、４９・・・・・・液溝出口、５０・・・・・・
封止用Ｏリング、５１・・・・・・０リング受は用溝、
５２・・・・・・ボルト貫通孔、５３・・・・・・位置
決め用孔、５４・・・・・・スペーサ、５５・・・・・
・ボルト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 エツチングされるべきウェファを載置させるウェファ載
    置用部と、 上記ウェファ載置用部上に載置されている上記ウェファ
    を、その上面外周部において、液密に１、　上記ウェフ
    ァ載置用部側に抑え、且つ上記ウェファ載置用部上に載
    置されているウェファと共働して、そのウェファの上面
    に接触させるエツチング、液を、収容させるエツチング
    液収容部を構成する、筒状体でなるウェファ抑え月並エ
    ツチング液収容用部とを有するエツチング装置。
JP16537982U 1982-10-30 1982-10-30 エツチング装置 Granted JPS5970336U (ja)

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JP16537982U JPS5970336U (ja) 1982-10-30 1982-10-30 エツチング装置

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JP16537982U JPS5970336U (ja) 1982-10-30 1982-10-30 エツチング装置

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Publication Number Publication Date
JPS5970336U true JPS5970336U (ja) 1984-05-12
JPH0129784Y2 JPH0129784Y2 (ja) 1989-09-11

Family

ID=30362338

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05283394A (ja) * 1992-04-02 1993-10-29 Nippondenso Co Ltd エッチングポット

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5887336U (ja) * 1981-12-09 1983-06-14 日本電気株式会社 蝕刻装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5887336U (ja) * 1981-12-09 1983-06-14 日本電気株式会社 蝕刻装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05283394A (ja) * 1992-04-02 1993-10-29 Nippondenso Co Ltd エッチングポット

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JPH0129784Y2 (ja) 1989-09-11

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