JPS5969226A - スパ−ク浸食工程でのア−ク発生防止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスパーク浸食工程でのアーク発生防止方法に関
するものであって、このスパーク浸食工程ではパルス形
状の電圧を電極と被加工物へ印加するが、この電圧はプ
ロセス・パラメータによって定まる可変の点火遅延時間
中に一定の第１値を有しており、且つ上記点火遅延時間
終了時に上記の電極と被加工物との間で放電が生スるの
で、これによりパルス形状の電流を流ハ、させると共に
上記プロセス・パラメータにより定貫る第２値への電圧
降下を生じ宮せる（注：第２値は＃：１．１値よりも絶
対時が小ざい）。スパーク浸食工程ではパルス形状の′
＾〒１圧を導電性電極と４雷性祈加工物へ印加する。ま
た、非導電付液体（誘電体）を上記の電極と被加工物と
の間に位置疫ぜておぐ。パルス形状６）１１圧が第１ｎ
Ｋに到達した饅で暫くしてから、放電が上記の電極上被
加工物とのＩＥｒ′１で生じる。この放雷が生ずる迄１
（経、ｉｂする時間は４に−ヒら己の電極と被加工物と
の間のスペース、同電唸と仮加工物の各凹部分（ｌζ訃
ける１１工解密度、さらにｉた上記誘電体の汚染度によ
って定まり、点火遅延時間と呼ばれてＡる。

上記放電の電気エネルギは被加工物材料内で消費さすＬ
る結果、放電個所に生じる著しし）高温度が被加工物材
料を其の放電１個所で溶解させ目つ蒸発させるので、ク
レータが生じる。電極材料も放電により加熱されるが、
こｉＩＣ伴なう好ましくなめ電極消耗は例えば適当な電
イ；返材料の選択により最小に抑えられる。除去すべき
材料部分は環流する誘電体により流出させられる。

電極と被加工物への電圧印加を反復する場合、放電が前
回の放電個所と異なる個所で通常生じる結果、浸食作用
による新たなりレータが生じる。従って、パルス形状の
電圧を印加することにより被加工物材料は前記の如き処
理を受けるので、電極の形状と相補な形状のパターンを
被加工物材料に形成することができるようになる。

スパーク浸食工程を適正に実施するためには、Ｍ、％と
被加工物との間のスペース（即ち、スパーク・ギャップ
）内の誘電体を連続的に更新して相続く各放電が其の都
度夫々異なった個所で生ずるようにする必要がある。し
かしながら、前回と同じ個所で放電が生じる場合もある
。このような場合というのは該浸食工程において電極内
の中央ダクト（いわゆる「中央洗浄路」）を通しての洗
浄液流通が行なわれない場合である。電極の熱放射は不
充分な冷却に起因して生じるものと考えられるが、前回
の場合と同じ個所での放電を開始させる。前回と同じ個
所でのこのような言わば２次放電は、各後続放電の総て
が同じ放電路で生じる持続状態を開始させるため、被加
工物と電極に夫々著しい損傷を与える。この現象を「ア
ーク発生」（アーキング）と呼ばれる。

このようなアーク発生の持続状態が一度生じると、スパ
ーク・ギヤツブ巾の調節用に通常使用する手段によって
発生アークを消去することが困難である。処理加工中で
の上記スパーク・ギャップの巾は通常α０１〜０．１鴫
であるが、アークを消去するには、このギヤツブ巾を１
０゜位まで大きくする必要がある。

さらに有機性誘電体を使用する場合には、スパーク・ギ
ャップの元の巾を回復することに応答して直ちに新たな
アークが形成される危険がある。この原因は前回のアー
クがカーボを被加工物と電極上の各放電個所に堆積させ
て、この放電個所間に新たなアークが直接に形成される
からである。

従って本発明の目的は電極と被加工物間のアーク発明を
防止する方法を提供することであって、このために本発
明に基づく方法では電圧パルスが一定の基準を満たすか
否かを決定する措置をも付加的に含んでいる（不連続の
電圧パルスは上記基準を満たさない）。

本発明の有利な実施例Ｃて依れば、電圧パルスの満たす
べき一定基準は点火遅延時間の継続時間である。この」
ハ合、著し７〈短い点火遅延時間のパルスは不連糸介で
ある。

本発明は下記の着ｆｉｌ’（Ｋ基づいている；新たな放
電路に沿っての放電発生が適正なスパーク浸食工程で必
要であるが、この放電発生を開始させる電圧パルスは前
回の放電の場合と同じ放電路に沿った放電発生開始用の
電圧パルスとは異なる。夫々の場合での各電圧パルス間
の差異は、例えば各電圧パルスの点火遅延時間の差異に
ある。電圧パルスの値は先ず第ルベルに上昇し、且つ放
電発生までの時間中、このレベルに留まシ、次いで、ス
パーク浸食工程によって定まる第２レベルに降下する。

この第２レベルは絶対値が第ルベルよりも小さい。点火
遅延時間は可変であって、夫々のプロセス・パラメータ
に依存する。このプロセス・パラメータにより定まる時
間よりも短（へ点火遅延時間がアーク発生に必ず先行す
る。前者の時間（プロセス・パラメータ依存時間）自体
も平均の点火遅延時間よりも短ｂ０それゆえ各パルスの
点火遅延時間の継続時間を測定することにより、前設定
可能のプロセス・パラメータ依存時間よりも短い点火遅
延時間のパルスを検出して除去できるので前回の放電路
に沿った放電が生ぜず、これによりアーク発生を完全に
防止するようにすることができる。

さらに、スパーク浸食工程に丸・いてパルス間隔中に電
極と被加工物間でショートを生じることが度々ある。こ
のようなショートは次の後続パルスにより消去される。

しかし、この後続パルスはショートに基因してゼロの点
火遅延時間を有するので、本発明の方法に依りこの後続
パルスが確実に除去できる。パルス間隔中の無害なショ
ー）・は消去さｆｌ、ない場合に、かな）持続的なショ
ートに変わる。このパルスは有害であってスパーク・ギ
ャップを大きくすることによってだけ中断できる。従っ
て本発明に基づく方法の有利な実力缶例では電極と被加
工物間のショートが生じるか否かを各パルス間隔中に決
定可能とし、且つショ一トが生じる場合には次の後続パ
ルスをこのパルスの点火遅延時間に関係なく完全に生じ
させて通常の放電が生じれるようにすることができる。

本発明に基づく方法はスパーク浸食工程で特に有用であ
って、この工程では平均の点火遅延時間が前設定の点火
遅延時間よりも可成り長いが、前者の点火遅延時間のパ
ルスや短めの点火遅延時間は除去する必要がある。この
場合のパルスの損失は無視できる。長めの点火遅延時間
は、可成り大きいスパーク・ギャップを有するスパーク
浸食工程で生じるが、このような工程では銹電体（液）
による電極内中央通路洗浄を許さず、従って前述した如
くアーク発生の危険性が多Ａ。

以下、添付図面を参照して本発明の１実施列を説明する
。

第１図（ａｌと第１図（１））は夫々電圧パルス１〜８
、対応の電１流パルス１〜８のタイムチャートである。

電圧パルスはパルス間隔Ａｏで生じる。パルスは公知の
パルス発生器圧より発生させられるが、この発生器によ
り放電の継続時間と出力を設定できる。精密加工処理過
程では放電の継続時間が約１０μ（８）、粗加工処理過
程では約５００μ渡である。第１図に示すパルス形状は
あくまで説明用であって本発明では短形パルスに限定さ
れず、例えば台形パルス又は細形状の電流パルス又は電
圧パルスを使用することもできる。

第１図＋ａｌと第１図（ｂｌとの各１は従来のスパーク
浸食過程での電圧と電流の各パルスを示す。

第１図ｆａ）の１で可５圧Ｕけパルス発生器の設定によ
って定まる値Ｕｌへ先ず上昇し、且つスパークギャップ
内のプ覧セス・パラメータによって定まる可変の点火遅
延時間ｔｄ中に上記値Ｕ１　　を維持する。この時間ｔ
ｄ中に電界がスパーク・ギャップ内に生じて、放電がこ
の時開ｔｄの終りに生じることができる。次いで、上記
値Ｕｌ　　は上記スパーク浸食工程によって定まる値Ｕ
２　　に降下し、且つ値ｉの電流パルスが上記放電の継
続時間中に生じる電圧パルスの全継続時間はｔＩ。

電流パルスの全継続時間けｔ６＝ｔｉ−ｔｄである。

第１図（ａ）の２は従来のスパーク浸食工程での電圧パ
ルスを示すが、このパルスの点火遅延時間ｔ（１は前記
電圧パルス１の場合よ−りも短い。このようなパルスは
前回の放電の場合と同じ放電路で放電を開始させること
ができる。仮に本発明の方法を適用しなければ、第１図
ｆａｔのパルス２も値ｉｏの電流パルスと継続時間ｔｅ
（第１ｂ図の２参照）を生じさせ、且つ次の後続パルス
も第１図ｆａ）の２に示す如きパルス２の形状を呈して
前回と同一の放電路で放電を開始させ、持続的なアーク
を生じさせることになる。

本発明に依れば、前設定の場合よシも短い点火遅延時間
の電圧パルス（第１図（ａｌの２）が抑制されて前回と
同じ放電路での放電発生の危険を除去し、これによりア
ーク発生を防止する。

電圧パルスの点火遅延時間を測定するために、時間ｔｄ
の継続時間を測定する電子回路を設ける。

ここでは一定値を超える測定継続時間に応答して信号を
生じさせて電圧と電流の各パルスが通常の形式で生じる
ようにする。電流パルスが形成されて放電が生じようと
する瞬間にたけ、時間ｔｄ（７）継続時間が知れること
は言うまでもない。

この継続時間を測定する場合に必要な短時間中に放電を
介してのアーク発生状態を電流パルスにより開始づせる
のを防ぐだめ、本発明の実施例では電流ｉを二つの段階
に分けるようにする。

第１段階中では、アークを開始させるのに不充分な可成
り低い値１１の開始電流が流れ、且つこの直後に通常の
動作状態下でｉｌよりも可成り大きい値１２だけ増加す
る。この結果化じる電流、パルスを第１図（ｂ）の６に
示しである。

時間ｔ（１の継続時間を測定する回路によって時間ｔｄ
が一定値よりも頬いと決定された場合には、Ｗ、ＥＥＥ
ハルパル不連続なので電流ｔ２への切替ハ禁止される。

この結果、電流＋２は著しく短い時間後に消失する。通
常のスパーク放電の場合、値ｉ１の電流パルスの継続時
間は、例えば１μ就以下、不連続パルスの場合は２μ就
以下。後者の継続時間が長めなわけは可成り大きい電圧
と電流をＯＦＦにした場合に生じる遅延現象に由来する
。

第１図での電圧と電流の各パルス３〜８は本発明の方法
で生じるパルスである。第１図（ａ）の電圧パルス３は
充分に長い点火遅延時間ｔｄを有し、且つ電流１ｘ＋ｊ
２　　で放電を開始させる。電圧パルス４は著しく短い
点火遅延時間ｔｄを有し、且つ不連続であるだめ、アー
ク開始には不充分な低い値ｉ１　　の短時間電流パルス
４だけを生じさせる。第１ａ図の電圧パルス５と６も充
分に長い点火遅延時間を有し、且つ電流パルス５と６に
よって放電を開始させる。電圧パルス７は電極と被加工
物間でのショートの場合に生じるパルスである。このよ
うなパルスは点火遅延時間を全く有しないので、除去き
れる。この種のショート・パルスの特性に関しては後述
する。

電圧パルス８は充分に長い点火遅延時間ｔ（１を有し、
電流パルス８を介して通常の放電を開始させる。

スパーク浸食工程においては電極と被加工物間のショー
トがパルス間隔１ｏ中に生じる。このようなショートの
直後に生じるパルスがこのンヨートを消去する。ショー
トを生じさせるパルス間隔の後で生じるパルスがゼロ電
圧値のショート・パルスとなるのは極〈稀である。この
ようなショート・パルスは電極と被加工物間で持続的な
／ヨード状態を開始させるが、この状態を消去するには
スパーク・ギヤツブ巾を大きくすることによってだけ可
能で、６る。パルス間隔中にだけ生じる前記ショートに
はショート・パルスと異なるパルスが後続する。このパ
ルスは例えば其の継続時間の最初の数３５代中にショー
トを消去する。しかし、この種の消去用パルス（クリー
ンアップ・パルス）は電極と被加工物間だショートが存
在する場合にスタートするので、点火遅延時間ｔ（１が
ゼロである。万一このようなパルス間隔中に生じる不可
視ショートが可成り持続的なショートに変るが、このシ
ョートを消去するにはスパーク・ギャップを大きくする
ことによってだけ可能である。従って、一定の継続時間
よりも短い点火遅延時間のパルスを総て除去するスパー
ク浸食工程は持続的なショート状態を生じ易い工程であ
ると言える。それゆえ、本発明の有利な実施例では前設
定の継続時間よりも短い点火遅延時間のパルス（但しパ
ルス間隔中にショートが生じた後で生じる最初のパルス
は除く）は総て除去される。スパーク・ギャップの抵抗
を測定することにより、パルス間隔中のショート発生情
報を得、且つこれに基づいてパルス間隔後の最初のパル
スの除去を防ぐようにすることが可能である。

第２図（ａ）と第２図（ｂ）は本発明の画質形方法で夫
々生じる電圧と電流の各パルスの各タイムチャートを各
変形方法毎に示す。高い直列抵抗の直流電圧源をパルス
間隔１Ｇ中に電極と被加工物間に接続することにより、
ショートの発生を検出することができるが、ショートの
場合にＮ１圧降下が上記抵抗に生じるので、これを次の
後続パルスの除去防止用に使用することができる。

第２図（ａｌにお込て電圧パルス１は充分に長い点火遅
延時間ｔ（Ｈのパルスであるから、通常の電流パルス１
が生じる。ショートが無い場合には、電圧パルス１に続
くパルス間隔１Ｇ中に電圧Ｕａが電極と被加工物間に存
在するので、後述する検出回路は応答しな（八。電圧パ
ルス２　ｉ、を短い点火遅延時間ｔｄを有し、且つ第１
図ｆａｔの電圧パルス４の場合と同様に除去されるので
、著しく短時間の電流パルス２（低値１１）が生じる。

第２ａ図の電圧パルス３と４も充分に長い点火遅延時間
ｔｄを有するため、通常の電流パルス３と４が放電用に
生じる。電圧パルス４に続くパルス間隔中にショートが
電極と被加工物間圧体じるので、検出回路は其の抵抗で
の電圧を検出しない。上記ショートに続く電圧パルス５
はゼロの点火遅延時間ｔｄを有するが、既述の理由で除
去されない。従って、電流パルス５を介しての通常の放
電が生じる。第２ａ図において、パルス５に基因する放
電が上記シーａｈを消去し、且ツ同パルス５後のパルス
間隔中に検出回路が電圧ｕａを検出するので、充分に長
い点火遅延時間ｔｄの後続電圧パルス６が電流パルス６
を介して放電を開始される。

第２図ｆｂｌは第２図（ａ）のパルス１〜３に対応した
パルス１〜３の場合の電圧と電流の各パルスのタイムチ
ャートを示す。電極と被加工物間のショートが、電圧パ
ルス３に続くパルス間隔で生じるため検出回路は上記の
電極と被加工物間の電圧を検出しない。しかし第２図（
ａ）の電圧パルス４の場合と同様に、電流パルス４が生
じる。

この電流パルス４はショートを消去できなｈので、電極
と被加工物間の電圧はゼロである。後続の各電圧パルス
は総てゼロ値であり且つ点火遅延時間もゼロであること
は明らかなので、継続時間の著しく短い且つ電流値の低
い短時間電流パルス５〜７だけが生じる。この場合、シ
ョート状態を消去するにはスパーク・ギャップを機械的
手段で大きくすることだけによって可能である。

上記に沿って安定な過程を得るだめには、パルス間隔中
に生じるショートが１回の放電により消去されるように
する。実際にショート後の単一電圧パルス（この点火遅
延時間は著しく短い）により消去される。１回だけの放
電によりショートを消去することが不可能な場合だけ、
本発明に基づく措置を講じて後続の各電圧パルスを除く
ようにする。

第３図は本発明に従って行う方法のだめのブロック回路
図である。

点火電圧ｕ１を生ずるように適合された第１電圧源１０
は、その正端子がＰＮＰ　）ランジスタ１１のエミッタ
に接続され、該ＰＮＰ　）ランジスタ１１は、そのコレ
クタが電極１４に接続されている。

電圧源１０は、その負端子が接地されると共に被加工物
１５に接続されている。電圧源１０は、比較的低す電流
ｉ！を電極１４にトランジスタ１１を介して供給する。

同様に、点火電圧ｕ１を生ずるように適合された第２電
圧源１２は、その負端子が接地されると共に、その正端
子がＰＮＰ　）ランジスタ１６のエミッタに接続されて
おり、該ＰＮＰ　）ランジスタ１３のコレクタは電極１
４に接続されている。トランジスタ１１は、そのベース
が単安定マルチバイブレータ６２の出力端子３３に接続
されており、該単安定マルチバイブレータ３２ば、その
入力端子５１でスタート信号を受信するに応じて時間ｔ
ｏのパルスを生じさせる。時間ｔｏのパルスはトランジ
スタ１１を非導通にする極性を有している。時間１Ｇの
パルスがなめときは、トランジスタ１１が導通して電圧
源１０から電圧ｕ１が電極と被加工物とへ印加され、そ
の間、同時に、比較的低い電流ｉｌがトランジスタ１１
を介して流れることができ、電極と被加工物との間の放
電が起きることができる。

点火電圧は、また、比較器２８の第１入力端子に印加さ
れており、該比Ｖ器２８ば、その第２入力端子が電圧Ｕ
ｃ　を生ずるように適合されたＤＣ電圧源２９に接続さ
れて層る。電圧Ｕｃは、点火電圧ｕ２より高く且つ点火
電圧Ｕｌより低く選択されている。比較器２８は、この
ように、放電の発生の際に点火電圧ｕ１から点火電圧ｕ
２に落ちる点火電圧に応じて該比較器２８の出力端子に
信号を生ずる。この出力信号１ｄその第１出力端子に時
間ｔｅのパルスを生ずるように適合された第２単安定マ
ルチバイブレータ２５のスタート入力端子２６に加えら
れる。この単安定マルチバイブレータ２５の出力端子は
トランジスタ１５のベースに接続されている。単安定マ
ルチバイブレータ２５は、時間ｔｅのパルスが生シさせ
られるときのみ、トランジスタ１３を導通させ、それに
よって、比較的高い電流ｉ！はトランジスタ１３を介し
て電極１４に流れることができ、完全な放電が起きるこ
とができる。単安定マルチバイブレータ２５は第２出力
端子を包含しており、その第２出力端子に、時間ｔｅの
パルスを最後に、単安定マルチバイブレータ３２のスタ
ート入力端子に加えられるパルスが生じ、そのパルスに
応じマルチバイブレータ３２はトランジスタ１１を非導
通にするために時開１．のパルスを生ずる。

上述した回路構成によって、電圧と電流とは、第１図ｆ
ａ）、第１図（ｂ）に示すように、パルス化されるが、
非常に短かい点火遅延時間ｔｄであるパルスを抑制する
には他の構成要素が必要となる。

コンパレータ２０は、点火電圧Ｕ２よりも大きく、点火
電圧ｕ１よりも小さいプリセット電圧ｕｂを生ずるＤＣ
電圧源２１に、第１の入力端子を接続させてｂる。一方
、コンパレータ２ｏの第２の入力端子には点火軍１圧Ｕ
が供給されている。出力電圧は点火電圧Ｕがｕｂ値を越
えるとコンパレータ２０の出力部に発生する。この出力
電圧は可変抵抗２２を介して、第２の端子を接地するコ
ンデンサ２３の第１の端子に供給される。抵抗をセット
することによシ、ある時間層、コンデンサ２３は、該コ
ンデンサ２３と第１の入力端子で結ばれるＮＯＲゲート
２４を働かせるに十分な電圧レベルまで充電される。こ
れにより、ＮＯＲゲートの出力端子には、先に抵抗２２
によってセットされた点火遅延時間が過剰になったこと
を示す信号が発生する。点火電圧が最初の値ｕｌから所
定のｕ２まで下がると、コンパレータ２０はもはや出力
電圧を発生しないようになり、これによりコンデンサ２
５への充電が抑制される。

点火遅延時間が非常に短かくなると、コンデンサ２３は
ＮＯＲゲート２４の作動に必要な電圧レベル寸で充電さ
れなくなる。このため、このゲートの出力端子には、電
圧パルスのこれ以上の発達を許容しかつ放電の発生を許
容するのに必要々出力信号は表われ々くなる。

非常に短かい時間ｔｄで示されるパルスを抑制するため
に、ＮＯＲゲート２４は、その出力端子を単安定マルチ
バイブレータ２５のす七ノド入力端子２７に結んでいる
。ＮＯＲゲート２４の入力端子に信号が無い時は、出力
電圧はこのゲ−トの出力部に存在する。この出力電圧は
ターミナル２７を介して継続時間ｔｅのパルスの発生を
抑制する。ＮＯＲゲート２４の入力端子の１つに十分に
高い入力信号が存在するときにのみ、出力電圧はＳｌ　
Ｏ／／まで下がって、単安定マルチバイブレータ２５は
、入力端子２７を介して継続時間ｔｅのパルスの発生を
自由圧する。点火遅延時間ｔｄが抵抗２２によってセッ
トされた値よりも小さい場合には、上述した回路は、単
安定マルチバイブレータ２５がパルスを発生するのを妨
げるものとなり、比較的高電流ｌ！が流れることとなる
。単安定マルチバイブレータ３２の制御によす、トラン
ジスタ１１のみが継続時間１゜に対して非導通となり、
残りの時間に対して導通となる。それ故、電圧源１０か
らの点火電圧は電極１４と被加工物１５閣に供給され、
電流ｉｌが流れることができる。

スタートパルスが単安定マルチバイブレータ２５の入力
端子２６に供給され、マルチバイブレータ２５の入力２
７がそこへのリセット信号の適用によって解放されてい
ないとき、マルチバイブし・−夕２５はマルチバイブ１
／−夕５２のスタート入力５１に出力信号を与える。そ
れに応答して、マルチパイプレーク、５２はトランジス
タ１１を非導通状態にするために継続時間ｔ。

のパルスを生ずる。継続時ｊ…ｔｏの前記パルスの終了
によって、トランジスタ１１は再び導通状態となり、ソ
ース１０からの点火電圧ｕｌが電極と被加工物に印加さ
れ、再び点火遅延時間の測定が可能となる。パルスｔ。

は、マルチバイブレータ２５からの継続時間ｔｅのパル
スの受領に応答する十分なる放電の終了により、あるい
は非常に短かＡ点火遅延時間ｔｄの検出により直接的に
、電圧パルスの中断によるロスタイムが最小限にされる
。そのような状態において、タームイソエナジテイクシ
ステムは適用可能である。

パルス間隔中のショートの生じた後に直接に十分なる放
電の実現を許容すべく、抵抗３４、ＤＣ電圧源５５およ
びダイオード３６の一連の配列が備えられている。その
配列中のダイオード５６は接地さｈたアノードを有し、
被加工物１５に接続されている。また抵抗３４は電極１
４に接続された端子を有している。パルス間隔中に電極
、被加工物間に短絡が生ずると、ＤＣ電圧源３５からの
電流は抵抗３４、電極１４、被加工物１５およびダイオ
ード３６を流れ、電極１４に接続された抵抗３４の端子
における電位は零となるであろう。仮りにショートが生
じなければ、抵抗３４の夫々の端子における電位は、Ｄ
ＣＣ電圧源３５電圧［Ｊａ　　と等しくなるであろう。

抵抗３４の前記端子は回路６７に接続されている。回路
５７は完全なる放電パルスに正確に追従してパルス間隔
の間、当該端子においてゼロ電位が生じるに応じて、単
一の出力パルスを生ずるようにされている。単一の出力
パルスはＮＯＲゲート２４の第２の入力端子に与えられ
、また継続時間ｔｄとは無関係に、ＮＯＲゲート２４が
単安定マルチバイブレータ２５の解放を可能にする出力
信号を生ずることを確実にしている。

したがって完全な放電が可能とされる。

上記説明においては、電圧パルスが完全な放電を開始さ
せるか否かを決定する基準として点火遅延時間を取り扱
って来／こ）〉：、電圧パルスが不連続か否かを決定す
る基準として選することもできる。

上述から明らかなように本発明に従ってその方法を遂行
する回路配置の一例を本質を説明し、１だブロック図に
示しだ。また、当業者であるならば、実際の電気回路図
には、該回路が完全に作用することを確実とするために
、多くの付加的設備が必要であることは自明である。さ
らに本発明に係る方法を達成することのできる回路装置
には、種々のものがある、ということが明らかになるで
あろう。本発明において必須とするところは次の点にあ
る。即ち、点火遅延時間ｔｄが測定されかつ前設定さノ
ｔだ時間と比較される。そして点火遅延時間が前設定さ
れた時間よりも短い場合、点火電圧パルスの発生が妨げ
られることになり、従ってともかくも完全な放電の発生
が阻止されることになる。パルス間に生じるショートの
場合にのみ、点火遅延時間と無関係に、次の連続する放
電が完全に行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌは公知のスパーク浸食工程と本発明方法と
において夫々生じる電圧パルスのタイムチャート、第１
図（ｂ）はその電流パルスのタイムチャート、第２図ｔ
ａ＋は本発明の画質形方法で夫々生じる電圧パルスを各
変形方法毎に示すタイムチャート、第２図（ｂ）は電流
パルスを各変形方法毎に示寸タイム千ヤード、′Ｐ、３
図は本発明方法１でよねスパーク浸食工程を制御する回
路装置の一夾施例のブロック図、である。 １１．１３・・・ＰＮＰ　）ランジスタ１４・・・電極 １５・・・被加工物 ２０．２８・・・コンパレーク ２２・・・可変抵抗 ２４・・・ＮＯＲゲート ２５．５２・・・単安定マルチバイブレータ３６・・・
ダイオード ３７・・・単一出力パルスの発生回路 特許出願人 シュティピティング　７ユトインノオンズラボラトリウ
ム　フォール ヴエルクプラノンテヒニーク　エン オルガニサティー　ファン　デ　テヒニソシェホーゲシ
ュール　テルフト （ほか１名） 手続補正書 昭和５８ｕ月１２　　日 特許庁長官・１月寸受殿 １事件の表示昭和５８年特許顧第１３４２３７号２、発
明の名称 事イ′（−との関係　％軒出鵬人 ４、代　理　人 ５、補正命令のＩｊ付 Ｌｌｌ　　門雅誉の浄曹（内軟ｌこ支ｉｒ、ｒＬ）手続
補正書 １事件の表示昭和５８年特許−願第１３４２３７号２、
発明の名称 スパーク浸食工程でのアーク発生防止方法３、補正する
者 事件との関係　特許出顧入 名称　　　シュテイヒテイング　シュトインフオンズラ
ボラトリウム　フォール　グエルクプラツツテヒニーク
　エン　オルガニナテイー　ファン　デテヒニツシエ　
ホーゲシュール　デルフト４、代　理　人 （ほか　１　　名） ５、補正命令のＨ付 ”　　　　　（自発） ６、補正の対象 ７、補正の内容 （１）　　明＃ＩＩｌ書第２４頁第１５行から同頁ｇ１
６行にかけて［ターム・・・・・・であるっＪとあるの
を以下の様に補正するっ ［タームアイソエナジツクシステム（等エネルギ装置）
は適用可能なものである。 すなわち、等エネルギ装置とは、その内部において電極
と被加工物との間にスパークを供給するパルス電圧の単
位時間あたシ（例えば単位秒あたり［／５ｅｅ））のエ
ネルギが実質不変のものである。第１図を参照しつつま
ずパルス１．２．３について説明すると、そのパルスの
継続及びインターバルの時間はｔ□十ｔ。 であって、このｔ□＋ｔｏ中のｔ。は不変であり。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　スパーク浸食工程でのアーク発生を防止する
   に当り、前記スパーク浸食工程においてパルス電圧を電
   極上被加工物へ印加し、この際プロセスパラメータによ
   って定まる可変の点火遅延時間中に一定の第１値を前記
   パルス電圧の電圧値を維持させ、さらに前記点火遅延時
   間の終了時に、放電を電極、被加工物間で生じさせてパ
   ルス形状の電流を流すとともに、プロセスパラメータに
   より定まる第２値への電圧降下を生じさせるようにした
   スパーク浸食工程でのアーク発生防止方法において、不
   連続ｒｆｔ圧パルスは一定基準に満たないようにするた
   めに電圧パルスが前記一定基準に達したかどうかという
   ことを測定するよう処したことを特徴とするスパーク浸
   食工程でのアーク発生防止方法。
2. （２）前記電圧パルスが満たすべき一定基準を点火遅延
   時間の継続時間とし、かつ一定の継続時間よりも短い７
   直火遅延時間の電圧パルスを第２値への電圧降下に直接
   応答して不連続とするようにした特許請求の範囲第１項
   に記載のスパーク浸食工程でのアーク発生防止方法。
3. （３）　　ショートが電極と被加工物との間で生じるか
   否かということを各パルス間隔中に検測し、このような
   ショートの検出時には次の後続電圧パルスを、不連続と
   々らないように、かつ、該電圧パルスの点火遅延時間の
   継続時間に無関係に完全に生じさせるようにした特許請
   求の範囲第１項に記載のスパーク浸食工程でのアーク発
   生防止方法。
4. （４）点火遅延時間の終了時に、可成り低い値の第１電
   流を可成り短い第１時間中に流れさせるようにする一方
   、前記＠１１．流よりも可成り高い値の第２′？！！流
   を一定継続時間以上の点火遅延時間に応答して前記第１
   電流に加えるようにした特許請求の範囲第２項または第
   ５項に記載のスパーク浸食工程でのアーク発生防止方法
   。
5. （５）相次ぐ電圧パルス間の間隔に一定の継続時間を持
   たせると共に、成る電圧パルスの著しく短い点火遅延時
   間に基因して同常圧パルスが不連続の場合に同電圧パル
   スの不連続瞬間と、次の後続′屯圧パルスの開始との間
   の時間を前記一定の継続時間に等しくするようにした特
   許請求の範囲第１項〜第４環のうちいずれか１項に記載
   のスパーク浸食工程でのアーク発生防止力法。