JPS5967709A - 圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明Ｑ」：水晶撮動イなどの圧ｔｌｆ　＊　ｔｌｌ
＋子に関するものであるや 従来、厚みすぺ！ｌｌ＠動を行う水晶（λモ動子に両王
面の中央部に駆動電極が設けである、この水晶撮動子の
光振固波数を調整する方法として、駆卯１篭極上に真壁
蒸Ｎにより鋼などを付加したり、レーツ光勝に−より駆
動電極中央部の電極膜を除去したりしていた。しかしな
がら伺加實嵐効果による鳴合はその雰囲気を真壁としな
ければならず作業性が極めて悪く−またレーザ光線に３
【る場合は水晶片の中央部に熱衝撃を与えｆ′Ｎ度維持
が困難てあつ７ｔ。

不発明は弁部周波数の調整が空気中で行え、圧電素子の
中央部に熱細撃を与えずｒ元１辰周波叔の調整が行え、
精度が長期間安ボしている圧電擬動子を提供するもので
ある。

以下図面を参照し不発明の夾施世Ｊを説明する。

第１〜２図において、土は圧電柵１１１１子である厚み
すべり撮卵１ヶ行う水晶撮動子であり、ＦＩＥＵ素子で
ある水晶片２の両王血２　ａ　、　２１）にそれぞれ駆
１ｉ１１電極５．４かに窒蒸オイなどの十法により形成
しである。そして−万の工面２ａにＪヒｌｊ７をれた駆
動音ｆｉ、りは横方向σ〕スリットにより子ν数の小電
極６Δ。

３　Ｂ　　・・・５１ニ分割さノ１．ている。こノ１．
らの小１且極！ＩＡ、５１’３・・・３Ｉｉｄ：それぞ
れ石°気的に接続できろように水晶片２の外周端１で碑
かＪｌ、た引出し電極５　ａ　、　３１）・・中５１を
廟している。水晶片２の他方の主面２ｂに形成きれた躯
動軍極４は外周端１で導かれた引出し電極４８を有して
ｔ／″１６．。

引出し電極３ａ、５ｂ・・・３１丸・よひ引出し電極４
ａはそれぞれ反対方向に引出σれており、水晶片２１−
ｊ：Ｃれらの引出し電極の部分で保持部相（図示せず。

）により保持されるとともにこれらの保持部４４を介し
て電界が印加される。

」二Ｈ「″のような厚みすべり撮動を行う水晶撮動子１
の共１辰周波数は一般に で与えらり、る。上式に訃いてｔは水晶片の；Ｗ、嘔。

０６６は弾性定数、ρは密度である。いブ水晶片の厚−
１ｔ　ｆ　０．４２ｍｍ＝０．４２Ｘ１０　ｍとすると
一水晶片ノ密度ρ”　２．６４　Ｘ　１０３に９．／＋
ｙｉ’　でろり、引出し電極５　ａ　・、？ｂ　ｂ・・
・６１が全部接続嘔れ−た電界一定の場合の弾性定数０
６へは−ｃニア＝２ｑ、３２６×１ｏ９ｕ７蝋′に近い
埴をとり、これら全土式に代入するとｆ　８１　埃３．
９４３　ＭＨ２となる。

また引出し翔゛極！＋ａ　、　３　ｂ・・・６１　が全
部切断きれた透気変位−２ピの場合の弾性定数−６６は
。

０．１Ｄ６＝２８．９６７　Ｘ　１０’Ｎ／、ぜに近い
１直會とり、これ全上式に代入するとｆ日□＝３．９６
８ＭＨｚ　となる。

このように水晶撮動子１は−５，９６８ＭＨ２から３、
’９４３　ＭＨ２９での間で第３図示のように共（残層
波数の調整が可能でろる。

第４図は水晶撮動子１の共振周波数ｆｃ調整するため引
出し電極３ａ、５１を切断１〜た状ｊ甜を小す。

この場合４−１ｌ：第１図７３＜の引出し■極が全部接
続烙れた場合よシ共稠周波叔ｅｉ晶くなる６そして引出
し電極を１本切断した場合の共振層′ｅ、叔の変イＬ、
は実験的に測足され、引出し歯、極を）釣当に切断する
ことによｐ目（票の共１級ｊ古１１１１支裟Ｖに製ｔつ
けることができる。引出し？扛橙をレーーリ光勝に、Ｊ
：υリノ藺する。１騙け。

切断は柴気中で行うことができ、五たレーヤ光線による
熱衝撃は水晶片２の外周部に受けるため４ｈり動変位の
大きい中心部に影＃仁ｔなく、精度全維持することがで
きる。

第５図は不発明の仙の実施例を示し、水晶撮動子１−１
にｊ阜みすベシ振動を行う水晶片１２と、この水晶片の
両主面に形成した駆動量、極１５，１４とから構成でれ
る。そして−万の駆動電極１３ｖｉ水晶片１２の中央ｆ
ｓＢ　ｒｃ同心円状Ｖこ設置ｔ丁た小電極１３Ａ、１３
Ｂ＠拳−１３１’！ｌｉ　　工ｐ構Ｉｊ’ｉ、さオＬ、
こｈらの小電極工り外周部でそれぞれ引出しＴσ極１６
ａ。

１３ｂ・・・１３θ　が延出し′Ｃいる、他方の駆動■
゛極１４は円形電極−ｒ′あり、他方の外周−ｑ−ｒ引
出し、。

電（永１４ａ　　が延出（−でいる、 水晶振動子１−１　も引出しく資）＠ＪＬを切断するこ
とにより共振周波数調整を行うが、切断は引Ｌ６し電極
１３ｅ、１３ｄ、＋３ｃ、１３ｂとい’）Ｌ′）’ｌ順
序で行う。このように切断すると残った小電極が円形状
となるため他面の円形状の駆軸電極とともに効率よい励
振を行つことが−Ｃきる。この水晶儂即１子１１　も前
記実施例と同様σつ効果音用する。

な卦圧闇振動子としてｊマー・算すべり水、情４辰１υ
１−トσ〕例金示したが、他の振動モード、ｉｌ　Ｏ）
　１．、ｌＥ　？［＊　’了−ケ用いることも可能でめ
る。また両方σ）−＾ｌ！１．極全複数極小複数に分割
することも可能である。

以上運べた工９Ｖこ不発明によｉｔは、４（（辰）ｌｄ
波数の調整を空気中にて極めて容易に行え、し力・も１
」モミ素子の中央部に熱漬１筆などケ局、えないσ）−
ｒ　！＋’４１貌の安定した圧電（展動子ケ提供するこ
とカニ゛できる。

【図面の簡単な説明】

りも１図は不発明の一実施例（７）　１ｌ−ｉ７ｎ　ｌ
ン１、狗λ２図１［背面図、第６１シ１は共振周波数の
変化りドす特ｉシを図。 第４図は調整した状態の正面図、第５図に他り〕実施例
の正面図である、 １．１１・・・・・・水晶撮佃１〜ｊ−２，１２・・・
・・水晶片 ６゜１３・・・・・駆ｌ１ｒＩｌｉ［極　　　　　　　
　均　」−出願人　体式会仕　梢　　」−舎 代理入　リｒ浬士最−ヒ　　　務 第１図 １３Ａ　１３１＝＄１３（、ＩＪＬＩ　Ｔ、Ｉヒ第２図 ４５−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１圧ＴＩＩ累子と、この圧電素子に形成し介二つの
   駆ＩＩＩ＋＋　＠極とを設けてあり、十ｔτ：駆動市極
   の少なくとも一万は複数の小電極に分割−５ｔ＋−て卦
   り、こｈ−らの小電極ｔ／」：それぞれ■気的に接続σ
   ）１．で丸−り。 Ｌ市；小Ｔ［ｉ極のＴｌｐｌ内気続を断つことによりそ
   の光十辰周波数會ｉ”４整すること全特徴とする圧市伽
   すＵ１子。 （２）特許請・１この範囲第１項にふ・いて、圧Ｉ扛累
   子は）ヤみすべり撮４ｆ１１全行うものであり、小■ｂ
   極は圧電素子の中火部に回心円状に設けであることをｚ
   時機とする月１１局１０１−イ。