JPS5961977A - Laser irradiating device - Google Patents
Laser irradiating deviceInfo
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- JPS5961977A JPS5961977A JP57172927A JP17292782A JPS5961977A JP S5961977 A JPS5961977 A JP S5961977A JP 57172927 A JP57172927 A JP 57172927A JP 17292782 A JP17292782 A JP 17292782A JP S5961977 A JPS5961977 A JP S5961977A
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- laser
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0613—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams having a common axis
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- Lasers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はし、 −ＩＪ照射装置に関し、特に、波長の
！Ｉ１１なる複数のレーザ光を同軸に照射するレーザ照
射装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an IJ irradiation device, in particular a wavelength of ! The present invention relates to a laser irradiation device that irradiates a plurality of laser beams called I11 coaxially.
周知のように、波長の異なる複数のレーザ光を同軸に重
信する技術が種々の産業分野で必要とされている。例え
ば、医用レーザの分野では、Ｃ０２レーザないしはＹＡ
Ｇレーザ等の赤外レーザ光にＨｅ−Ｎｅレーザ等の可視
レーザ光を重畳し、前記レーザ光のｉｉＪ視化を画るこ
とか行われている。同様に、ＣＯ２レーザ光にＹＡＧレ
ーザ光を同軸に重畳し、生体患部に照射することも行わ
れている。As is well known, technology for coaxially transmitting multiple laser beams having different wavelengths is required in various industrial fields. For example, in the field of medical lasers, C02 laser or YA laser
Visible laser light such as He-Ne laser is superimposed on infrared laser light such as G laser to create iiJ visualization of the laser light. Similarly, YAG laser light is coaxially superimposed on CO2 laser light and irradiated onto the affected part of the living body.
第１図は、従来のレーザ照射装置を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a conventional laser irradiation device.
図示されるように、第２レーザ尤源２より発生される第
２レーザ光４は、反射ミラー５によって光路を直角に折
り曲げられ、ダイクロイックミラー６へ入射する。また
、第２レーザ尤源２より発生される第２レーザ光４は、
ダイクロイックミラー６へ入射され該ミラーを透過する
。As shown in the figure, the second laser beam 4 generated by the second laser source 2 has its optical path bent at a right angle by a reflecting mirror 5 and enters a dichroic mirror 6 . Further, the second laser beam 4 generated from the second laser source 2 is
The light enters the dichroic mirror 6 and is transmitted through the mirror.
言うまでもなく、ダイクロインクミラー６Ｉｉ第ル−
り光：３ Ｖ（二月してしｊ、反射性をイ１し、第２レ
ーリ尤４ Ｉｆ（：１．ｊ してに［ｒ秀過１牛を有す
る。」た、８亥ミラー６に反射さ７ｊる第ル−゛り光３
と、該ミラー６４・透Ｉ尚する第２レーリ゛光４とが間
中１１１になるようミラー５．６の位置お」：び角度が
調整されている。Needless to say, the dichroic ink mirror 6Ii rule
Light: 3 V (February, reflectivity 1, 2nd Ray 4 If (: 1. The 7jth round light reflected by 3
The position and angle of the mirror 5.6 are adjusted so that the second radiation beam 4 passing through the mirror 64 is 111 throughout.
前記両し−リ゛尤３，４を重畳した光束１０は、反射ミ
ラー数、８によって直角に２度光路を折り曲げられ、関
節型マニピュレータ等の導光路９へ導入される。ここで
、該ミラー７．８の位１６−および角度を調節すること
で、光束１０を垂直に立ち上がらせ導光路９の軸芯へ位
置合わぜが行われる。The light beam 10 obtained by superimposing the two beams 3 and 4 has its optical path bent twice at right angles by the number of reflecting mirrors 8, and is introduced into a light guide path 9 of an articulated manipulator or the like. Here, by adjusting the position 16- and angle of the mirror 7.8, the light beam 10 is raised vertically and aligned with the axis of the light guide path 9.
ところで、反射ミラーによって光が反射される際、ある
いはダイクロイックミラーを光が透過する際、一般に数
饅の減衰が生じることが知られている。前記装置におい
て、第ル−ザ光３は光ミキ／ングの過程でミラー５〜８
によって４回も反射きれており、該レーザ光の減衰は無
視できない程大きくなるものであった。特に、導光路９
に関節型マニピュレータを使用する場合、該マニピュレ
ータには一般に８枚程度の反射ミラーが用いられており
、レーザ光の減衰は伝達１１４４程で相乗的に大きくな
り不都合なものであった。By the way, it is known that when light is reflected by a reflecting mirror or when light is transmitted through a dichroic mirror, several degrees of attenuation generally occurs. In the device, the first loser light 3 passes through the mirrors 5 to 8 during the light mixing process.
The laser beam was reflected four times, and the attenuation of the laser beam was so large that it could not be ignored. In particular, the light guide path 9
When an articulated manipulator is used, the manipulator generally uses about eight reflecting mirrors, and the attenuation of the laser beam becomes synergistically large at about 1144 times the transmission, which is inconvenient.
本発明は前記従来装置の欠点に鑑みて成されたもので、
波長の異なる複数のレーザ）′Ｃを所望の位置へ同軸に
照射するレーザ照射装置において、光ζキ／／グの過程
で生ずるレーザ光の減衰を低減するレーザ照射装置の提
供を目的とするものである。The present invention was made in view of the drawbacks of the conventional device, and
The object of the present invention is to provide a laser irradiation device that reduces the attenuation of laser light that occurs during the optical ζ keying process in a laser irradiation device that coaxially irradiates multiple laser beams with different wavelengths to a desired position. It is.
以下では本発明について、添イＸｊの図面を参照して詳
細に説明する。In the following, the present invention will be explained in detail with reference to the accompanying drawings A.Xj.
第２図は、本発明の一実施例を示す説明図である。図示
されるように、第２レーザ光源１より発生される第ル−
ザ光３は、反射ミラー５並びにターイクロイノクミラ−
６によって光路を直角に折り曲げられ、関節型マニピュ
レータ等の導光路９へ導入される。ここで、第２レーザ
光３として、例えばＹＡＧレーザが使用きれる。また、
ダイクロイックミラー６は、第ル−ザ光３を全反射する
。FIG. 2 is an explanatory diagram showing one embodiment of the present invention. As shown in the figure, the second laser light source 1 generates a second laser beam.
The light 3 is transmitted to the reflecting mirror 5 and the tertiary mirror 5.
6 bends the optical path at right angles and introduces it into a light guide path 9 of an articulated manipulator or the like. Here, as the second laser beam 3, for example, a YAG laser can be used. Also,
The dichroic mirror 6 totally reflects the first loser light 3.
前記ダイクロイックミラー６に反射された第ル−ザ光３
は、反射ミラＴ５並びにダイクロイックミラー６の位置
及び角度を調節することにより垂直に立上がらされ、導
光路９のクリ１１芯に位置合わせされる。The first loser light 3 reflected by the dichroic mirror 6
is vertically raised by adjusting the positions and angles of the reflection mirror T5 and the dichroic mirror 6, and is aligned with the center 11 of the light guide path 9.
まだ、第２レーザ光源２より発生される第２レーザ光４
け、反射ミラー８並びに反射ミラー７によって光路を直
角に２度折り曲げられ、前記ダイクロイックミラー６へ
入射される。該第２レーザ光源４には、例えばＣＯ２レ
ーザが使用される。The second laser light 4 generated from the second laser light source 2 is still
Then, the optical path is bent twice at right angles by the reflecting mirror 8 and the reflecting mirror 7, and is incident on the dichroic mirror 6. For example, a CO2 laser is used as the second laser light source 4.
ここで、ダイクロイックミラー６は第２レーザ光４に対
して透過特性を有するよう調整されており、透過光は反
射ミラー７．８の位置並びに角度を調整することにより
垂直に立上がらされ、第ル−ザ光３に重畳される。従っ
て、前記導光路９には第１並びに第２レーザ光３，４を
重畳した光束１０が導入され、該光束を所望の位置へ照
射する。Here, the dichroic mirror 6 is adjusted to have a transmission characteristic for the second laser beam 4, and the transmitted light is caused to rise vertically by adjusting the position and angle of the reflection mirror 7.8. - Superimposed on the light 3. Therefore, a light beam 10 in which the first and second laser beams 3 and 4 are superimposed is introduced into the light guide path 9, and the light beam is irradiated to a desired position.
以十の構成において、使用ミラー数並びに第２レーザ光
４が通過するミラー数は従来装置と同じであるが、■ル
−ザ光３が通過するミラー数は２枚に減少している。従
って、゛・第２レーザ光３の減衰ｄ太りいに緩和きれ、
出力の低下が軽減される。In the above ten configurations, the number of mirrors used and the number of mirrors through which the second laser beam 4 passes are the same as in the conventional device, but (1) the number of mirrors through which the loser beam 3 passes is reduced to two. Therefore, ゛・Attenuation d of the second laser beam 3 can be greatly relaxed,
Decrease in output is reduced.
特に、導光路に関節型マニピュレータを使用する場合、
この差は顕著なものとなって現われる。Especially when using an articulated manipulator in the light guide,
This difference appears to be significant.
尚、図示はしてないが、第ル−ザ光３をダイクロイック
ミラー６に入射きせる際、２枚の反射ミラーによって反
射された光束を入射させるよう構成することも可能でち
る。この場合は、ダイクロイックミラー６を固定し、２
枚の反射ミラーの位置及び角度を調整することで導光路
９への軸合わせが達成きれる。Although not shown, when the first loser light 3 is made to enter the dichroic mirror 6, it is also possible to make the light beam reflected by two reflecting mirrors enter the dichroic mirror 6. In this case, fix the dichroic mirror 6 and
By adjusting the position and angle of the reflective mirrors, alignment to the light guide path 9 can be achieved.
このように構成すると、第ル−ザ光３が通過する反射ミ
ラー数は３枚となるが、従来装置に比較するとレーザ光
の減衰は緩和されている。言うまでもなく、前記従来装
置において、２光束の重畳に１枚のダイクロイックミラ
ーと２枚の反射ミラーを用いたものと比較すれば、その
差は歴然と現われる。With this configuration, the number of reflecting mirrors through which the first loser light 3 passes is three, but the attenuation of the laser light is moderated compared to the conventional device. Needless to say, when compared with the conventional device using one dichroic mirror and two reflecting mirrors for superimposing two beams, the difference becomes obvious.
前記したように、使用ミラー数が少いほどレーザ光の減
衰を小さく抑えることができる。従って、第２図に示し
た方式が望ましいことは言うまでもない。As described above, the smaller the number of mirrors used, the smaller the attenuation of the laser beam can be suppressed. Therefore, it goes without saying that the method shown in FIG. 2 is desirable.
４だ、波長の異なる３本以上のレーザ光を同軸に重・１
″イする際ｄ１、これらレーザ光を予じめ２本の光束に
一、Ｉ′Ｉ、ｉｔ、＋、 しておき、本発明を適応すれ
ばよい。4. Three or more laser beams with different wavelengths are coaxially overlapped.
The present invention can be applied by dividing these laser beams into two beams in advance as follows.
以十詳述Ｌ７だように、本発明にＬ波長の異なる複数の
光束を同軸に重畳し所望のイ装置へ１！６射するレーザ
１１「′Ｘ躬装置において、１枚のダイクロイックミラ
ーと多くとも２枚の反射ミラーによって第ル−ザ光と導
光路との軸合わせを行い、２枚の反射ミラーによって第
２レーザ光を前記の軸合ぜした第ル−リ′光に重畳する
ことを特徴とするものである。従って、レーザ光が通過
する反射ミラーの枚数が低減さＪｌ、出力の減少を大き
く緩和できるものである。As described in detail in L7 below, the present invention uses a single dichroic mirror and a laser beam device that coaxially superimposes a plurality of light beams with different L wavelengths and irradiates them to a desired device. In both cases, the axes of the first laser beam and the light guiding path are aligned using two reflecting mirrors, and the second laser beam is superimposed on the aligned first Lurie' beam using the two reflecting mirrors. Therefore, the number of reflecting mirrors through which the laser beam passes is reduced, and the decrease in output can be greatly alleviated.
第１図は従来のレーザ照射装置の説明図、第２図は本発
明の一実施例の説明図である。
図中にイτ１しだ記号は、
１・・第２レーザ光源、２・１〜第２レーザ尤源、３
第ル−ザ光、４・第２レーザ光、
５．７．８・・反射ミラー、６ ・ダイクロイックミラ
ー、９・・導光路、
を示す。
特許出願人
１１本赤外線工業株式会社
代表者 末 永 徳 博
第１回
箪２目FIG. 1 is an explanatory diagram of a conventional laser irradiation device, and FIG. 2 is an explanatory diagram of an embodiment of the present invention. The symbols τ1 in the diagram are: 1. Second laser light source, 2. 1 to second laser source, 3
4. Second laser beam; 5.7.8. Reflection mirror; 6. Dichroic mirror; 9. Light guide path. Patent applicant: 11 Infrared Industry Co., Ltd. Representative: Norihiro Suenaga 1st Koto 2nd round
Claims (1)
同軸に市４′１シ導アｒ、路より所望の部位へ照射する
レーザ照射装置において、第１光束に対しては反射性を
イ〕し７第２光束に対しては透過性を有するダイクロイ
ックミラーと、第１光束を反射し光路を折り曲げ該光束
を前記ダイクロイックミラー如指向する多くとも２枚の
反射ミラーと、第２光束を反射し光路を折り曲げ該光束
を前記ダイクロイックミラーに指向する２枚の反射ミラ
ーとを具備し、前記ダイクロイックミラーによ！ｌＪ
ｎｉｌ記両九束が同軸に重畳され、かつ前記の同軸に重
畳された光束が前記導光路にｉ１１＋合わせされている
ことを特徴とする°レーザ照射装置。(1) In a laser irradiation device that irradiates first and second beams with different wavelengths coaxially to a desired area from a direction, the first beam is a dichroic mirror that has reflective properties and is transparent to the second light beam; at most two reflective mirrors that reflect the first light beam, bend the optical path, and direct the light beam like the dichroic mirror; and two reflective mirrors that reflect two light beams, bend the optical path, and direct the light beams toward the dichroic mirror. lJ
A laser irradiation device characterized in that both nine beams of nil are coaxially superimposed, and the coaxially superimposed beams are aligned with the light guide path.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172927A JPS5961977A (en) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Laser irradiating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172927A JPS5961977A (en) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Laser irradiating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961977A true JPS5961977A (en) | 1984-04-09 |
Family
ID=15950927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172927A Pending JPS5961977A (en) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Laser irradiating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961977A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016503348A (en) * | 2012-11-30 | 2016-02-04 | ディレクトフォトニクス インダストリーズ ゲーエムベーハーＤｉｒｅｃｔｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｇｍｂｈ | Laser processing apparatus and laser processing method |
-
1982
- 1982-10-01 JP JP57172927A patent/JPS5961977A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016503348A (en) * | 2012-11-30 | 2016-02-04 | ディレクトフォトニクス インダストリーズ ゲーエムベーハーＤｉｒｅｃｔｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｇｍｂｈ | Laser processing apparatus and laser processing method |
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