JPS5961534U - 搬送用ボ−ト - Google Patents

搬送用ボ−ト

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Publication number
JPS5961534U
JPS5961534U JP15585082U JP15585082U JPS5961534U JP S5961534 U JPS5961534 U JP S5961534U JP 15585082 U JP15585082 U JP 15585082U JP 15585082 U JP15585082 U JP 15585082U JP S5961534 U JPS5961534 U JP S5961534U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
boat
hook
transport boat
transport
view
Prior art date
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Pending
Application number
JP15585082U
Other languages
English (en)
Inventor
陽二郎 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS5961534U publication Critical patent/JPS5961534U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　　ｂは従来の搬送用ボートを示す平面図お
よび側面図、第２図ａ、　　ｂは従来の他の搬送用ボー
トを示す平面図および側面図、第３図ａ。 ｂは本考案の一実施例の搬送用ボートを示す平面図およ
び側面図、第４図ａ、　　ｂは本考案の他の実施例の搬
送用ボートを示す平面図および側面図である。 １１．１１’・・・・・・搬送用ボート、１２，１２’
・・・・・・溝、１３，１３’・・・・・・引掛部、１
４，１４’・・・・・・シリコン基板、１５・・・・・
・ガス流、１６，１６’・・・・・・連結部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 出入れのための引掛部を具備した、加熱炉内へ′の搬送
    用ボートにおいて、前記引掛に対向した位置に、別なる
    搬送用ボートの前記引掛部と同様な構造をした引掛部に
    連結可能な構造にした連結部を具備して成る搬送用ボー
    ト。
JP15585082U 1982-10-15 1982-10-15 搬送用ボ−ト Pending JPS5961534U (ja)

Priority Applications (1)

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JP15585082U JPS5961534U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 搬送用ボ−ト

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15585082U JPS5961534U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 搬送用ボ−ト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5961534U true JPS5961534U (ja) 1984-04-23

Family

ID=30344074

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15585082U Pending JPS5961534U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 搬送用ボ−ト

Country Status (1)

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JP (1) JPS5961534U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5475985A (en) * 1977-11-29 1979-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Heat treatment method of semiconductor substrate and its unit

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5475985A (en) * 1977-11-29 1979-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Heat treatment method of semiconductor substrate and its unit

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