JPS5958751A - イオン電流制御電極付きエクストラクタ−型電離真空計 - Google Patents
イオン電流制御電極付きエクストラクタ−型電離真空計Info
- Publication number
- JPS5958751A JPS5958751A JP8367383A JP8367383A JPS5958751A JP S5958751 A JPS5958751 A JP S5958751A JP 8367383 A JP8367383 A JP 8367383A JP 8367383 A JP8367383 A JP 8367383A JP S5958751 A JPS5958751 A JP S5958751A
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- JP
- Japan
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- ion
- electrode
- ionic
- extractor
- pressure
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はイオン電流制御電極付きエクストラクター型’
ＦＭ、 ＊ｉＩ真空計に関するものであって、その目的
とするところは、イオン引出し電極の中央部にイオン引
出し口を設け、該イオン引出し口の下方に集イオン電極
を配設すると共に、上記イオン引出し口と集イオン電極
間にイオン電流制御電極を介装せしめてエクストラクタ
ー型電離真空計を構成したことによシ圧力に起因する真
のイオン電流を読みとることができる極めて高感度なエ
クストラクター型電離真空計を提供しようとするもので
ある。
ＦＭ、 ＊ｉＩ真空計に関するものであって、その目的
とするところは、イオン引出し電極の中央部にイオン引
出し口を設け、該イオン引出し口の下方に集イオン電極
を配設すると共に、上記イオン引出し口と集イオン電極
間にイオン電流制御電極を介装せしめてエクストラクタ
ー型電離真空計を構成したことによシ圧力に起因する真
のイオン電流を読みとることができる極めて高感度なエ
クストラクター型電離真空計を提供しようとするもので
ある。
本発明の構成を図面に示された一実施例について説明す
れば、１は陽極であって、該陽極１はメツシュ材（例え
ば線径０．１ ｍｍでＱ Ｑ ｍｅｓｈのモリブデン網
）を半球面状にプレスして形成したものである。２は熱
貼極（フィラメント）であって、該陰極２はタングステ
ン線等の熱電子放出用線材を上記半球面状陽極１の開放
端寄シ外周に沿って環状に配設してなるものである。３
はイオン引出し電極であって、該イオン引出し電極３は
下方から上方に行くに従い順次拡開するラッパ状に形成
されておシ、上記半球面状陽極１の開放端縁に対し僅か
の間隔を存して対設されている。４はイオン引出し電極
３の下端中央部を開口して設けたイオン引出し口である
。５は針状の集イオン電極であって、該集イオン電極５
はラッパ状イオン引出し電極３の下方に、イオンを集め
易くするだめのイオン反射電極６で囲まれた状態で配設
されている。
れば、１は陽極であって、該陽極１はメツシュ材（例え
ば線径０．１ ｍｍでＱ Ｑ ｍｅｓｈのモリブデン網
）を半球面状にプレスして形成したものである。２は熱
貼極（フィラメント）であって、該陰極２はタングステ
ン線等の熱電子放出用線材を上記半球面状陽極１の開放
端寄シ外周に沿って環状に配設してなるものである。３
はイオン引出し電極であって、該イオン引出し電極３は
下方から上方に行くに従い順次拡開するラッパ状に形成
されておシ、上記半球面状陽極１の開放端縁に対し僅か
の間隔を存して対設されている。４はイオン引出し電極
３の下端中央部を開口して設けたイオン引出し口である
。５は針状の集イオン電極であって、該集イオン電極５
はラッパ状イオン引出し電極３の下方に、イオンを集め
易くするだめのイオン反射電極６で囲まれた状態で配設
されている。
ここで上記集イオン電極（コレクター）５は針状のもの
に限定されるものではなく、例えば円盤状その細円環状
のものなどイオン収集が可能なものであれば如伺なる形
状のものでもよく、また前記イオン反射電極６も円筒状
のものに限られるものではなく、例えば半球状のものや
円錐状のものなどイオンを集イオン電極５に収集し易く
するだめの構造を肩するものであればその形状の如伺を
問わない。
に限定されるものではなく、例えば円盤状その細円環状
のものなどイオン収集が可能なものであれば如伺なる形
状のものでもよく、また前記イオン反射電極６も円筒状
のものに限られるものではなく、例えば半球状のものや
円錐状のものなどイオンを集イオン電極５に収集し易く
するだめの構造を肩するものであればその形状の如伺を
問わない。
７は例えば格子状に形成されたイオン電流制御電極であ
って、このイオン電流制御電極７はイオン引出し口４と
集イオン霜、＆５間に介装されている。
って、このイオン電流制御電極７はイオン引出し口４と
集イオン霜、＆５間に介装されている。
ここでイオン電流制御電極７は格子状のものに限定され
るものではなく、イオン電流を圧力に起因する真のイオ
ン電流に制御できるものであれば如伺なる形状のもので
もよく例えば第２図に示す如くリング状のものであって
もよい。
るものではなく、イオン電流を圧力に起因する真のイオ
ン電流に制御できるものであれば如伺なる形状のもので
もよく例えば第２図に示す如くリング状のものであって
もよい。
なお、イオン電流制御電＆７として変調電極を用いるこ
ともできる。
ともできる。
次に本発明の作用について説明する。いま熱陰極２から
放出された熱電子は、陽＆１の内外で振動を繰返して陽
極１とイオン引出し電極３とで形成される空間内でイオ
ンを生成し、ついには陽極１に衝突することになる。こ
の衝突によって陽極１から軟Ｘ線が放射されるので、該
軟Ｘ線の一部はイオン引出し電＆３のイオン引出し口４
を通して集イオン電極５を照射し該集イオン箪極５から
光電子を放出させる。この光電子放出による光電流と圧
力に起因するイオン電流とは同一方向の電流となるので
真の圧力測定には限界が生じ旧来のエクストラクター型
電離真空計では１０−１２’ｌ’ｏｒｒ程度であった。
放出された熱電子は、陽＆１の内外で振動を繰返して陽
極１とイオン引出し電極３とで形成される空間内でイオ
ンを生成し、ついには陽極１に衝突することになる。こ
の衝突によって陽極１から軟Ｘ線が放射されるので、該
軟Ｘ線の一部はイオン引出し電＆３のイオン引出し口４
を通して集イオン電極５を照射し該集イオン箪極５から
光電子を放出させる。この光電子放出による光電流と圧
力に起因するイオン電流とは同一方向の電流となるので
真の圧力測定には限界が生じ旧来のエクストラクター型
電離真空計では１０−１２’ｌ’ｏｒｒ程度であった。
一方、電子が陽極１を電子衝撃すると、陽極１に吸着し
ていた酸素や一酸化炭素などの活性な原子や分子は、こ
の電子衝撃によって表面電離を起し、陽イオンとなって
陽極１から放出される。そしてこの陽イオンがイオン引
出し口４を通って集イオン電極５に入ると、圧力に起因
する真正なイオン電流と区別できなくなシ真の圧力より
も異常に高い見掛上の圧力を示す（所謂電子＠重税離と
呼ばれる現象）。この軟Ｘ線による光電流と電子＊重税
ＲＷによる異常効果が真空の圧力測定の限界を決めてい
る主な要因である。本発明においては、集イオン電極５
がイオン生成空間外に配設されているエクストラクター
型であるため、旧来の三極型やＢ−Ａ型の真空計に比較
し、遥かにその影響を覚りにくいといえるが、その限界
は旧来のエクストラクター型のものと同程度で１０−”
Ｔｏｒｒ 代であった。そこで本発明では、イオン
引出し霜、極３と集イオン電極５との間に例えばメツシ
ュ材などで形成した格子状のイオン電流制御電極７を介
装して適娼な電位金与え、圧力に起因する真のイオン電
流を耽みとるようにしたものである。その結果イオン電
流の１００％変調によって前記測定限界の２要因を完全
に取除くことが可能となり、１０ 〜１０ Ｔｏｒｒ
ｉでの圧力を測定できるに至った。
ていた酸素や一酸化炭素などの活性な原子や分子は、こ
の電子衝撃によって表面電離を起し、陽イオンとなって
陽極１から放出される。そしてこの陽イオンがイオン引
出し口４を通って集イオン電極５に入ると、圧力に起因
する真正なイオン電流と区別できなくなシ真の圧力より
も異常に高い見掛上の圧力を示す（所謂電子＠重税離と
呼ばれる現象）。この軟Ｘ線による光電流と電子＊重税
ＲＷによる異常効果が真空の圧力測定の限界を決めてい
る主な要因である。本発明においては、集イオン電極５
がイオン生成空間外に配設されているエクストラクター
型であるため、旧来の三極型やＢ−Ａ型の真空計に比較
し、遥かにその影響を覚りにくいといえるが、その限界
は旧来のエクストラクター型のものと同程度で１０−”
Ｔｏｒｒ 代であった。そこで本発明では、イオン
引出し霜、極３と集イオン電極５との間に例えばメツシ
ュ材などで形成した格子状のイオン電流制御電極７を介
装して適娼な電位金与え、圧力に起因する真のイオン電
流を耽みとるようにしたものである。その結果イオン電
流の１００％変調によって前記測定限界の２要因を完全
に取除くことが可能となり、１０ 〜１０ Ｔｏｒｒ
ｉでの圧力を測定できるに至った。
第３図は本発明に係るイオン電流制御電極付きエクスト
ラクター型電離真空計を使用して行なった実験例から得
られた代表的イオン電流変調特性である。
ラクター型電離真空計を使用して行なった実験例から得
られた代表的イオン電流変調特性である。
上記したように本発明は、イオン引出し電極の中央部に
イオン引出し口を設け、該イオン引出し口の下方に集イ
オン電極を配設すると共に、上記イオン引出し口と東イ
オン電極間にイオン電流制御電極を介装せしめてエクス
トラクター型電離真空計を構成したから、構造簡単で安
価に製造し得るものであシながら、従来真空の圧力測定
の限界を決めていた主な要因、即ち軟Ｘ線による光電流
と霜、子衝撃脱離による異常効果という２要囚を略完全
に取除くことができ、もって圧力に起因する真正なイオ
ン電流を読みとることができる極めて高感度なエクスト
ラクター型電１４１ｊ、 Ａ突針を提供することができ
るに至ったものである。
イオン引出し口を設け、該イオン引出し口の下方に集イ
オン電極を配設すると共に、上記イオン引出し口と東イ
オン電極間にイオン電流制御電極を介装せしめてエクス
トラクター型電離真空計を構成したから、構造簡単で安
価に製造し得るものであシながら、従来真空の圧力測定
の限界を決めていた主な要因、即ち軟Ｘ線による光電流
と霜、子衝撃脱離による異常効果という２要囚を略完全
に取除くことができ、もって圧力に起因する真正なイオ
ン電流を読みとることができる極めて高感度なエクスト
ラクター型電１４１ｊ、 Ａ突針を提供することができ
るに至ったものである。
図面は本発明の一実施例を示すものであって、８１図は
格子状のイオン電流制御電極を介装した状態を示す縦断
面図、第２図はリング状のイオン電流制御電極全装着し
た状態を示す斜視図、第３図は本発明を使用した実験例
から得られた代表的イオン電流変調特性を示す図である
。 図中、１は陽極、２は熱陰極、３はイオン引出し電極、
４はイオン引出し口、５は集イオン電極、６はイオン反
射電極、７はイオン電流制御電極。
格子状のイオン電流制御電極を介装した状態を示す縦断
面図、第２図はリング状のイオン電流制御電極全装着し
た状態を示す斜視図、第３図は本発明を使用した実験例
から得られた代表的イオン電流変調特性を示す図である
。 図中、１は陽極、２は熱陰極、３はイオン引出し電極、
４はイオン引出し口、５は集イオン電極、６はイオン反
射電極、７はイオン電流制御電極。
Claims (2)
- （１） イオン引出し電極の中央部にイオン引出し口
を設け、該イオン引出し口の下方に集イオン電極を配設
すると共に、上記イオン引出し口と集イオン電極間にイ
オン電流制御電極を介装せしめてエクストラクター型′
Ｆ！Ｌｌｆｌｆｌｉ真空計を構成したことを特徴とする
イオン電流制御電極付きエクストラクター型電離真空計
。 - （２） イオン電流ｆＩｉ制御電極を変調電極にした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のイオン電
流制御電極付きエクストラクター型電＾１ｆ真空計１．
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8367383A JPS5958751A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | イオン電流制御電極付きエクストラクタ−型電離真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8367383A JPS5958751A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | イオン電流制御電極付きエクストラクタ−型電離真空計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958751A true JPS5958751A (ja) | 1984-04-04 |
| JPS6120110B2 JPS6120110B2 (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=13808995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8367383A Granted JPS5958751A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | イオン電流制御電極付きエクストラクタ−型電離真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5958751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009210587A (ja) * | 2004-07-30 | 2009-09-17 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 真空計 |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP8367383A patent/JPS5958751A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009210587A (ja) * | 2004-07-30 | 2009-09-17 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 真空計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6120110B2 (ja) | 1986-05-20 |
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