JPS5953890U - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPS5953890U JPS5953890U JP14945082U JP14945082U JPS5953890U JP S5953890 U JPS5953890 U JP S5953890U JP 14945082 U JP14945082 U JP 14945082U JP 14945082 U JP14945082 U JP 14945082U JP S5953890 U JPS5953890 U JP S5953890U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- steam
- cleaning
- cleaning liquid
- storage body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示す断面図である゛。
5・・・移送路、6・・・洗浄液、9!・・蒸気洗浄相
、10・・・蒸気発生相、1−3・・・冷却相、16・
・・浄化洗浄液、17・・・収納体、18・・・オーバ
ーフローノズル、20・・・凝縮付着液。 補正 昭58. 3− 1 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第5頁第14行の「−面は−・・である。」を「
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図 、は断
面図、第2図は収納体の拡大斜視図である。
、10・・・蒸気発生相、1−3・・・冷却相、16・
・・浄化洗浄液、17・・・収納体、18・・・オーバ
ーフローノズル、20・・・凝縮付着液。 補正 昭58. 3− 1 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第5頁第14行の「−面は−・・である。」を「
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図 、は断
面図、第2図は収納体の拡大斜視図である。
Claims (1)
- 洗浄液を加熱して洗浄蒸気を発生させる蒸気発生相を設
けるとともにこの蒸気発生相から発生した蒸気を冷却凝
縮する冷却相を蒸気洗浄相の上部に設け、この蒸気洗浄
相内の被洗浄物移送路上面に位置して冷却相て凝縮され
た浄化洗浄液を導入収納する収納体を設け、収納した浄
化洗浄液の冷気により収納体の外周に蒸気詐浄相の蒸気
を凝縮付着し、この凝縮付着液を落下散布させるととも
に収納体の上部に設けたオーバーフローノズルから浄化
洗浄液を被洗浄物に散布することを特徴とする洗浄装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14945082U JPS5953890U (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14945082U JPS5953890U (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5953890U true JPS5953890U (ja) | 1984-04-09 |
JPH0131347Y2 JPH0131347Y2 (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=30331753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14945082U Granted JPS5953890U (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5953890U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04290433A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体集積回路装置の洗浄装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53161574U (ja) * | 1977-05-24 | 1978-12-18 | ||
JPS5739687U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-03 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5333564A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | Waveform sampling system |
-
1982
- 1982-10-01 JP JP14945082U patent/JPS5953890U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53161574U (ja) * | 1977-05-24 | 1978-12-18 | ||
JPS5739687U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-03 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04290433A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体集積回路装置の洗浄装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0131347Y2 (ja) | 1989-09-26 |
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