JPS5856074U - 真空蒸着装置の排気装置 - Google Patents
真空蒸着装置の排気装置Info
- Publication number
- JPS5856074U JPS5856074U JP14501981U JP14501981U JPS5856074U JP S5856074 U JPS5856074 U JP S5856074U JP 14501981 U JP14501981 U JP 14501981U JP 14501981 U JP14501981 U JP 14501981U JP S5856074 U JPS5856074 U JP S5856074U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- equipment
- exhaust
- vacuum evaporation
- vacuum
- base plate
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例斜視図である。
１・・・ベースプレート、２・・・蒸着物、５・・・真
空容−器、６・・・排気口、７・・・バッフル板、８・
・・スライドダクト、９・・・スライドスリーブ。
空容−器、６・・・排気口、７・・・バッフル板、８・
・・スライドダクト、９・・・スライドスリーブ。
Claims (1)
- 蒸着部材、を着脱自在に取り付は真空ポンプに連結され
たベースプレートと１．該ベースプレートに対して摺動
し得るようになっている真木容器とからなる真空蒸着装
置の真空容器所定位置にバッフル板を有する排気口を設
け、該排気口に連結した排気通路の一部に伸縮部を設は
排気装置に連結してなる真空蒸着装置の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14501981U JPS5856074U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 真空蒸着装置の排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14501981U JPS5856074U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 真空蒸着装置の排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856074U true JPS5856074U (ja) | 1983-04-15 |
Family
ID=29937963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14501981U Pending JPS5856074U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 真空蒸着装置の排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856074U (ja) |
-
1981
- 1981-10-01 JP JP14501981U patent/JPS5856074U/ja active Pending
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