JPS5950170A - Plasma arc device for coating painting - Google Patents
Plasma arc device for coating paintingInfo
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- JPS5950170A JPS5950170A JP16155882A JP16155882A JPS5950170A JP S5950170 A JPS5950170 A JP S5950170A JP 16155882 A JP16155882 A JP 16155882A JP 16155882 A JP16155882 A JP 16155882A JP S5950170 A JPS5950170 A JP S5950170A
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- anode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、プラズマスゾレーノ0TJセスに係す、特に
、種々の形状の液加エノキ勃に細長い被加圧片に主とし
て金属の被膜を塗布するだめのプラズマアーク装置に係
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a plasma arc apparatus for applying a metal coating mainly to a long and thin pressurized piece on liquid-added enoki mushrooms of various shapes. Pertains to.
本発明は、工具製造工業や、医薬品や、宝石や、その他
の分野において、強化被膜、装置Mji被膜及びその他
の被膜を塗布するのに最も便利に第1」川される。The present invention is most conveniently used to apply toughening coatings, equipment Mji coatings and other coatings in the tool making industry, pharmaceuticals, jewelry and other fields.
被膜塗布用のプラズマアーク装置を開発する際に当業者
が直面する重大な問題は、スプレーゾロセスを施し7た
部品に所要の物理的及び機株的特性を確保1−るように
この部品の表面の質を良くすることである。この問題の
解決を妨げる主な原因しjl、電気的に中性の巨大粒子
が存在することであり、1211 チカノー!・の蒸発
物質によって形成さf−17’こプラズマ流の中にこの
物質の小/l*+や固体片が育在−することである。こ
れらの巨人かン子は液加上部品の表面のT↓を低下さ−
ぜる。こtlを防ぐ/こめ姓二、イjμ気(lこよる分
nIF作用を用いて、プラズマ流を中性粒子と荷電粒子
とに分け、荷電粒子のみによって部品を処理することが
できる。A significant problem faced by those skilled in the art when developing plasma arc equipment for coating coatings is to ensure that the spray coated part has the required physical and mechanical properties. The goal is to improve the quality of the surface. The main reason that prevents the solution of this problem is the existence of giant electrically neutral particles.・F-17' is formed by the evaporated material, and small /l*+ and solid pieces of this material grow in the plasma flow. These giant forceps reduce the T↓ on the surface of liquid-added parts.
Zeru. By using the IF action, the plasma flow can be divided into neutral particles and charged particles, and parts can be processed using only the charged particles.
磁気系が設けられた曲ったプラズマカイト内をプラズマ
流が進む時にプラズマ流を分離するようなプラズマアー
ク装置が知られている(1973年、” Pr 1bo
ry i tekhnika eksper imeu
ta ″第S号、第、231.−.23〕頁に掲載客れ
た1、1.八ksenov sV、八、 Belous
氏雪のUstroystvo dly ochistk
iplasmy vakuumnoi dugi ot
makrochastitsを参照されたいり。この
装置を用いた時には、中性の粒子はノ0ラズマカイドの
壁に付着するが、荷電粒子(止イメン少は磁気系VCJ
:つて向きが変えられ、プラズマカイトを辿して被加工
片へと向けられる。A plasma arc device is known that separates the plasma flow as it moves through a curved plasma kite equipped with a magnetic system (1973, "Pr 1bo").
ry i tekhnika eksper imeu
Published in ta'' No. S, No. 231.-.23]
Ustroystvo dly ochistk
iplasmy vakuumnoi dugi ot
See makrochastits. When this device is used, neutral particles adhere to the walls of the plasma plasmacid, but charged particles (or small particles adhere to the walls of the magnetic VCJ).
: The direction is changed and the plasma kite is directed towards the workpiece, following the plasma kite.
この装置の人質的な欠点は、プラズマガイドのJ(さが
IQ <然も荷電粒子のエネルギ損失があるためVC1
荷電朴ン子が〕°ラズマカイドの壁に付着してイ::i
電オ\ン仔が相当yc失なわれることである。The hostage drawback of this device is that the plasma guide J (Saga IQ <However, due to the energy loss of charged particles,
The charged particles are attached to the wall of the razma-cide.
It means that a lot of electrical power is lost.
又、゛ノ′ノードを構成する訓磁件金属の加工室と、こ
の室内に配置さJして、勢発面がアノードに向けられた
消耗性カソードと、このカソードに接触したアーク開始
電極と、アーク庖−糺持する直流電源と、アークを開始
さ#る・ぐルス電源と、アノードに取9例けられ/ζ磁
気系とを備え/こ被膜塗布用の別のプラズマアーク装置
も知られている( / 9 ’、’ g年、”Pr1b
ory i tekhnika eksperim
enta″ 第乙号、第1’73−/’73頁に掲載さ
れたVん○5ipov。Furthermore, there is a processing chamber for the magnetically trained metal constituting the 'no' node, a consumable cathode disposed in this chamber with its firing surface facing the anode, and an arc starting electrode in contact with this cathode. Another plasma arc device for coating coatings is also known, which is equipped with a DC power source to sustain the arc, a gas power source to start the arc, and a magnetic system attached to the anode. ( / 9 ', ' g year, "Pr1b
ory i tekhnika eksperim
Vn○5ipov published in enta'' No. 2, page 1'73-/'73.
V、 CI″、Padalka氏等の1Jstanov
ka dly naneseniapokryty
osazhdeniem 1onov 、
izvlekavemykhiz plazmy va
kuumnoi dugiを参照されたいり。1 Jstanov of V, CI'', Padalka et al.
ka dly nanesenia pokryty
osazhdeniem 1onov,
izvlekavemykhiz plazmy va
Kuumnoi dugi is referred to.
この装置では、アークを維持する直流電源が力ノード及
びアノードに接続され、そしてアークを開始させる)氾
ルス電源がカソード及びアークlji]始電極に接続さ
れる。」こ記の磁気系にJl、荷電プラズマ粒子をアノ
ードの面から被加工片の方向へと向きを変える。カソー
ドの当接端:而は蒸発面である。In this device, a DC power source that maintains the arc is connected to the force node and the anode, and a flood power source that starts the arc is connected to the cathode and the arc lji] starting electrode. In this magnetic system, the charged plasma particles are redirected from the surface of the anode toward the workpiece. Cathode contact end: This is the evaporation surface.
この装置には、カソードスポットをカソードの尚接端面
に維持する更に別の磁気系が設けられている(この磁気
系は/ q’79年のソ連発明者証第3θ7.乙乙乙−
弓Vこ詳しく5苑明されている)。 この装置の゛アノ
ードを構成する加工室は円釦形にされ、その当接☆:!
1iには蓋が設けられている。この蓋の内向に破卵エバ
が設置される。蓋の中心部の付近にt、1、カップも配
置されている。このカップ内には、比較的ケtノい円筒
の形態に作られたカソードがロッドとノ(に配置される
。カソードの当接端は蓋の内向と人際り一平i?+iに
なるように配置される。The device is equipped with a further magnetic system which maintains the cathode spot on the still contact end surface of the cathode (this magnetic system is /Q'79 USSR Inventor's Certificate No.
(5 bows are explained in detail). The processing chamber that constitutes the anode of this device is shaped like a round button, and its contact☆:!
1i is provided with a lid. A broken egg evaporator is placed inward of this lid. A t,1,cup is also placed near the center of the lid. Inside this cup, a cathode made in the form of a relatively small cylinder is placed between the rod and the end. Placed.
この装置1°′1゛の作動中には、カソード物質の蒸気
を包゛むプラズマ流がアノードに向けられる。この装置
てt;1、)0シズマ流に含まれた正のイソンが、アノ
ードの円釦面の領域内の磁界の作用下で、プラス−1中
の電界によって向きが変えられて、蓋の方向へ向けられ
るように、装置の作動条件が選択さJする。上記の11
−イオンは抜力11工片に付着するが、中ゼLの巨人オ
)′/子はアノードの内jTrjにイー1着1−る。During operation of the device 1°'1', a plasma stream containing vapor of cathode material is directed toward the anode. In this device, the positive isons contained in the t;1,)0 sism flow are redirected by the electric field in the positive-1 under the action of the magnetic field in the region of the circular button surface of the anode, and The operating conditions of the device are selected such that it is oriented in the direction J. 11 above
- The ions adhere to the extraction force 11 piece, but the giant O)'/child of the medium ze L is attached to the anode jTrj.
この装置の角動中には幾つかの問題が生じ、この装置の
広範な第1j川を妨げている。従って、この装置に、)
、つて′夫l1IH丁きれるプラズマスル−プロセス&
J−被加工j1のJi「ftiの処理にしか使用できな
い。Several problems arise during the angular motion of this device, which impede the extensive 1j river of this device. Therefore, in this device)
, Plasma through process &
J-Ji of workpiece j1 Can only be used for processing fti.
被力11上片の他<lii f処?11する71こめに
は、装置をオフにシ2、手又は特殊な用具の助けによっ
て被加工片をひつくり返すことが必要である。このため
、回転体形態の被加工片の処理が困難である。In addition to the upper piece of force 11 <lii f place? At the end of the process, it is necessary to turn off the device and turn the workpiece over by hand or with the aid of special tools. For this reason, it is difficult to process a workpiece in the form of a rotating body.
更に、蓋の作用面の面積が小さい/むめに、ロッドやス
トリップやコアやバンドといつ/こ細長い被加工片全処
理できない。Furthermore, the area of the working surface of the lid is so small that it is not possible to completely process a long and slender workpiece such as a rod, strip, core or band.
又、この装置では、カソードの蒸発面がぞの当接端であ
ってその面積は通常2 Q Q cni以下であるから
、装置の効率が実質的に低く、従って、′fL気エネル
ギの消費量を増加することが必要となることにも注意さ
れたい。これは当然カソード物質の蒸発プロセスに悪影
響を及ぼし、ひいては、カソードの急速な消耗1、カソ
ードの頻繁な交換、史には、プラズマスプレー70ロセ
スを受けた面のIffjの低下を招く。Also, in this device, the evaporation surface of the cathode is the contact end, and its area is usually less than 2 Q Q cni, so the efficiency of the device is substantially low, and therefore the energy consumption Note also that it may be necessary to increase This naturally has a negative effect on the evaporation process of the cathode material, which in turn leads to rapid wear of the cathode, frequent replacement of the cathode, and eventually a reduction in the Iffj of the surface subjected to the plasma spray process.
本発明の目的は、以上の欠点を解消することである。The purpose of the invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks.
本発明の目的は、カソード及びアノードの形状並びにそ
の相互の配置構成を変えることに、しり、被加工片をめ
ぐるようにゾラズー/流を回転1甘るζ、とができ、こ
れにより、被加工片の全ての面に対する連続的な処理を
確保すると共に、スプレーノ0ロセスによって得られる
被加工片の面の質を高くし、更には、細長い被加工片も
処理できるようにするような被膜塗布用のプラズマアー
ク装置を提供することである。An object of the present invention is to change the shape of the cathode and anode and their mutual arrangement, thereby making it possible to rotate the flow around the workpiece. Coating application that ensures continuous processing on all sides of the piece, improves the quality of the surface of the work piece obtained by the spray no process, and also allows processing of long and narrow work pieces. The purpose of the present invention is to provide a plasma arc device for.
これらの目的は、アノードを構成する非磁性金属の加工
室と、この室内に配置され、蒸発面がアノードに回けら
れた消耗性カソードと、このカソードに接触するアーク
開始電極と、アノード及びカソードに接続されていてア
ークを維持する直流電源と、カソード及びアーク開始電
極に接続されていてアークを開始させるパルス電源と、
アノードに取り付けられていて、荷電プラズマ粒子をア
ノードの面から被加工片へと向きを変える磁気系とを備
え/こ被膜塗布用のプラズマアーク装置において、アノ
ードを構成する加工室は均一断面のパイプの形状をイボ
し、その外面に上記の磁気系が取りイー]けられ、カソ
ードの断面形状はパイプの断面形状と実1プ↓的しこ一
致し、カソードには、被加工片を加工位置に設置するた
めの開口が設けられ、ツノノードL1その側面が蒸発面
を形成するように」二足パイゾと軸方向に整列され、上
記1ul1面の[1Jはアノードの長さより短いような
プラズマアーク装置を41供することによって達成され
る。These purposes are: a processing chamber for non-magnetic metal constituting the anode, a consumable cathode placed in this chamber and with its evaporation surface turned around the anode, an arc starting electrode in contact with this cathode, and an anode and cathode. a DC power source connected to the DC power source to maintain the arc; a pulse power source connected to the cathode and the arc starting electrode to start the arc;
A magnetic system is attached to the anode and directs the charged plasma particles from the surface of the anode to the workpiece. The above-mentioned magnetic system is removed on its outer surface, and the cross-sectional shape of the cathode exactly matches the cross-sectional shape of the pipe. An opening is provided for installing the horn node L1 in the plasma arc apparatus such that the horn node L1 is axially aligned with the two-legged pyzo so that its side surface forms the evaporation surface, and the above 1ul1 surface [1J is shorter than the length of the anode. This is achieved by providing 41.
ゝゝ均〜断面のパイプというmlは、全長にわたって同
じ断面積を有するパイプを表現1−るための一般的な幾
何学上の語として用いられる。・やイゾの断面形状は円
であるだけでなく、橢円、四角、多角形等々であっても
よい。The term "pipe of uniform cross section" is used as a general geometric term to describe a pipe that has the same cross-sectional area over its entire length.・The cross-sectional shape of the Izo is not only circular, but may also be an ellipse, a square, a polygon, etc.
プラズマアーク装置のこのような構成では、包囲体(管
プ形態のアノードによりプラズマ流が磁界の作用を受け
て被加工片の軸に垂直な平面内で被加工片をめぐるよう
に回転1″るので、被加工片をカソードの開口に設置し
て被加工片の全ての面をプラズマ流(プラズマ雲]て処
理することができる。この場合は、カソードの側面が蒸
発面であるから、カソード物質の蒸発条件及びゾラズー
2分割プロセスの条件が改善され、これはプラズマスプ
レープロセスを受け/ζ被加工片の而の質に良好な作用
を及ぼす。In this configuration of the plasma arc device, the plasma flow is rotated 1" around the workpiece in a plane perpendicular to the axis of the workpiece under the action of a magnetic field by an anode in the form of a tube (an enclosure). Therefore, by placing the workpiece in the opening of the cathode, all surfaces of the workpiece can be treated with plasma flow (plasma cloud).In this case, since the side of the cathode is the evaporation surface, the cathode material The evaporation conditions and the conditions of the Zolazu two-parting process are improved, which has a positive effect on the quality of the workpiece subjected to the plasma spray process.
ここにB−案1″るプラズマアーク装置を製造する上で
最も簡単な装置の態様は、アノードを構成する加工室が
円f1カバイブの形状を有1゛るものである。The simplest form of apparatus for manufacturing the plasma arc apparatus shown in B-Plan 1'' is one in which the processing chamber constituting the anode has the shape of a circle f1.
この装置の態様に用いた時には、アークが非常に安定で
、プラズマスプレープロセスも良好である。When used in this embodiment of the device, the arc is very stable and the plasma spray process is good.
ここV(提案する装置では、カソードの側面の巾がアノ
ードの長さのo、oshいし0,5であるのが灯ましい
。これは被加工片を処理する最良の条件を確保する。カ
ソードの側面の巾がアノードの長さの0.0汐より短い
と、一連の製品を製造するという条件においては、プラ
ズマスプレープロセスに所要の効率を確保することがで
きない。一方、カソードのf1111面の「IJがアノ
ードの長さの0.5より太きいと、ここに提案する装置
の加工ゾーンを有効に第1」用できず、蒸発される物質
の損失が太き°なものとなる。Here V (in the proposed device, it is preferable that the width of the side of the cathode is o, osh or 0,5 of the length of the anode. This ensures the best conditions for processing the workpiece. If the width of the side surface of the cathode is less than 0.0 of the length of the anode, the required efficiency of the plasma spray process cannot be ensured under the condition of manufacturing a series of products. If IJ is larger than 0.5 of the length of the anode, the processing zone of the device proposed here cannot be used effectively and the loss of evaporated material will be large.
ここに提案する装置の円筒形アノードの態様を用い/こ
時には、カソードの側面が円筒形又は多角形であるのが
好ましい。技術的な見地からみれば、円筒形のカソード
が最も適当であるが、成る長さのストリソゾ物質からカ
ソードを形成するには別の形状が適当である。When using/using the cylindrical anode embodiment of the device proposed here, it is preferred that the sides of the cathode are cylindrical or polygonal. Although from a technical standpoint a cylindrical cathode is most suitable, other shapes are suitable for forming the cathode from a length of strisozo material.
カソードの蒸発面以外の全ての面はスクリーンで覆われ
るのが好ましい。これは、装置のイ、)頼性を高めると
共に、プラズマスプレーゾ【1セスを受けた被加工片の
品質も高める。Preferably, all surfaces of the cathode other than the evaporation surface are covered with a screen. This not only improves the reliability of the equipment, but also improves the quality of the work piece that has undergone the plasma spray process.
アノードを構成する加工室内に、上記のカソードと同様
の、アーク開始電極(−jきのカソードがもう1つ配置
されていて、これらの両力ノードが上記室の周囲に対し
て軸方向に整列されそして互いに電気的に絶縁されるよ
うな装置の態様が史に有用であると分っている。最初に
述べた装置の態様(カソードが1つ〕と比へると、この
後者の態様においては、更に短い時間内に更に均一な被
膜を得ることができる。Another arc-initiating electrode (-j), similar to the cathode described above, is located within the processing chamber constituting the anode, and these two-force nodes are aligned axially with respect to the circumference of the chamber. It has been found useful in history to have an embodiment of the device in which the A more uniform coating can be obtained in a shorter time.
アーク開始電極を有する多数(3個以上)の+r:J様
のカソードが加工室内に軸方向に整列され−C8共通の
電流ロッドによってそれら自体の間が′11元気的に接
続され、そして更に、これらのカッ−ドを順次にメン及
びオフに切換える制御ユニットが各カソードのアーク開
始電極に接続されるような別の態様も考えられる。この
装置の態様は、細長い被加工片の処J11に特に適して
いる。A large number (3 or more) of +r:J-like cathodes with arc-initiating electrodes are axially aligned within the processing chamber and connected between themselves by means of a common current rod, and further, Alternative embodiments are also conceivable in which a control unit is connected to the arc initiation electrode of each cathode for switching these quads on and off sequentially. This embodiment of the device is particularly suitable for processing J11 of elongated workpieces.
細長い被加工片を処理する時には、アノードを構成する
加工室が互いに電気絶縁された個々のアノード区分に分
割されていて、上記のカソードと同様の、アーク開始電
極付きのカソードが、上記アノード区分の個数と同数だ
け設けられ、これらのカソードは共通の電流ロッドによ
ってそれら自体の間が電気的に接続されていて、各カソ
ードが各アノード区分において軸方向に整列されている
ような更に別の装置の態様を用いることもできる。When processing elongated workpieces, the processing chamber constituting the anode is divided into individual anode sections that are electrically insulated from each other, and a cathode with an arc-initiating electrode, similar to the cathode described above, is connected to the anode section. of a further device, the cathodes being electrically connected between themselves by a common current rod, each cathode being axially aligned in each anode section. Aspects can also be used.
この装置の態様では、細長い被加工片を処理する場合、
″アノード区分−カソード”の全ての電気的な群を同時
に作動することにより最も高い効率をイ!Iることがで
きる。各々の群ごとに、回転するプラズマ雲が形成され
る。In this aspect of the apparatus, when processing an elongated workpiece,
Achieve the highest efficiency by operating all electrical groups of the ``Anode Section - Cathode'' simultaneously! I can. Each group forms a rotating plasma cloud.
以下、添イJ図面を参照して本発明の実施例を詳細に説
明する。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
本発明による被膜塗布用のプラズマアーク装置は、第1
図を参照すれば、アノードを構成する非磁性金属の室1
と、消耗性力ノード2と、アーク開始電極3と、カソー
ド2とアノード1との間にアークを維持する直流電源4
と、カソード2とアノード1との間にアークを開始させ
るパルス電i1j;j5とを備えている。The plasma arc device for film application according to the present invention comprises a first
Referring to the figure, a non-magnetic metal chamber 1 constituting the anode is shown.
, a consumable force node 2 , an arc initiating electrode 3 , and a DC power source 4 for maintaining the arc between the cathode 2 and the anode 1
and a pulsed electric current i1j;j5 for starting an arc between the cathode 2 and the anode 1.
アノードを41t1成する加工¥1は、均一断面の・母
イブの形状、特に円筒形状を有している。このノやイブ
は、その邑接端が蓋6及び7で閉ざされており、これら
の蓋は絶縁パツキン8によって室1から絶縁される。蓋
6は処理されるへき被加工片10を室1内へ装填するた
めの人口9を有し、蓋7は室1が真空形成装置(簡略化
のためス示してないが、室1からのガスの抽気は矢印で
示しであるpに連通するところの・ξイブ連結部を有し
ている。The processing for forming the anode 41t1 has the shape of a mother eve with a uniform cross section, especially a cylindrical shape. This nozzle is closed at its front end with lids 6 and 7, and these lids are insulated from the chamber 1 by an insulating packing 8. The lid 6 has a port 9 for loading the cut workpiece 10 to be processed into the chamber 1, and the lid 7 has a port 9 for loading the cut workpiece 10 to be processed into the chamber 1, and the lid 7 has a port 9 for loading the cut workpiece 10 to be processed into the chamber 1. The gas bleed has a .xi.b connection which communicates with p, indicated by the arrow.
カソード2は、蓋6に同定された絶縁プノン/グ13に
取り付けられた電流ロッド12の助けにより室1内に設
置される。1α流電源4はアノード1とロッド12の片
方とに接続され、・Sルス′llj:源5は他方のロッ
ド12とアーク開始電極3とに接続される。アーク開始
電極3はセラミックで作られ、カソード2に接触され、
蓋Iに固定さ′rLだ絶縁プンシング14に通される。The cathode 2 is installed in the chamber 1 with the help of a current rod 12 attached to an insulating plug 13 located on the lid 6. A 1α current power source 4 is connected to the anode 1 and one of the rods 12, and a source 5 is connected to the other rod 12 and the arc starting electrode 3. The arc starting electrode 3 is made of ceramic and is in contact with the cathode 2;
It is fixed to the lid I and is passed through an insulating punching 14.
カソード2の断面形状はアノードを構成する室1の断面
形状に実質的に一致し、カソード2には第1図に示さ才
またように被加工片10を加工位置に設置するた゛めの
開口2aが設けられている。カソード2はその[111
而2bが蒸発面となるようにアノード1と軸方向に整列
される。この側面2bの11]ゝゝ t“はアノードを
構成する室1の長さゝゝt“よりも小さい。SS t
/7がアノード1の長さゝゝL“の0.0ダないし0.
汐であれば最良の結果が得られることが実験で分った。The cross-sectional shape of the cathode 2 substantially corresponds to the cross-sectional shape of the chamber 1 constituting the anode, and the cathode 2 has an opening 2a for placing the workpiece 10 in the processing position as shown in FIG. It is provided. Cathode 2 is the [111
The anode 2b is axially aligned with the anode 1 such that it becomes the evaporation surface. 11]ゝゝt'' of this side surface 2b is smaller than the length ゝゝt'' of the chamber 1 constituting the anode. SS t
/7 is the length of the anode 1 "L" from 0.0 da to 0.
Experiments have shown that the best results can be obtained with tide.
アノードと、カソード2の他のI+iとの間に偶発的に
アークが確立されるのを1υノ止する/Cめ、カソード
2はスクリー715で覆われている。To prevent an accidental arc from being established between the anode and the other I+i of cathode 2, cathode 2 is covered with a scree 715.
装置には、アノードを構成する室1の外面に取りイ・j
けられて直1)fC,電源(図示せず)VC接続された
ソレノイド16である磁気系も設けられている。The device includes an i.j.
A magnetic system is also provided, which is a solenoid 16 connected to a power source (not shown) and VC.
この磁気系は1.アノードを・構成する室1内に磁界を
形成するためのものであり、この磁界L1、ノ°ラズマ
の荷電粒子をアノード1の面から破卵I Jl、、 1
0の方向へと向きを変えるように働く。この磁気系は例
えば永久磁石(図示せず)の形態で構成されてもよいこ
とを理角了されたい。This magnetic system is 1. The purpose is to form a magnetic field in the chamber 1 that constitutes the anode, and this magnetic field L1 causes the charged particles of the plasma to flow from the surface of the anode 1.
It works to change the direction towards 0. It should be appreciated that this magnetic system may be constructed, for example, in the form of permanent magnets (not shown).
カソード2の作動状態を良く1−るために←J1、例え
ば電流ロッド12を介してカソードを水で冷却するのが
好ましく、このため電流口/ドは中空にされる(水の供
給及び回収は矢印で示1−)。In order to obtain a good working condition of the cathode 2, it is preferable to cool the cathode with water, e.g. Indicated by arrow 1-).
アノードを構成する室1が上記したように円筒状・やイ
ゾの形状を有する場合には、カソード2の側面2bが円
部形(第2図)又は多角形(第3図)のいずれかである
のが好ましい。多角形の場合、カソード2は、永久的な
枠組2Cと、/l′iIL性物T↓で作られてこの枠組
に固定された消耗性ストリップ2dとの形態で構成され
る。When the chamber 1 constituting the anode has a cylindrical or cylindrical shape as described above, the side surface 2b of the cathode 2 is either circular (Fig. 2) or polygonal (Fig. 3). It is preferable to have one. In the polygonal case, the cathode 2 is constructed in the form of a permanent framework 2C and a consumable strip 2d made of /l'iIL material T↓ and fixed to this framework.
円筒形のカソード2は最も簡単なものであり、一方、多
m形のカソード2はそのコストを実質的に低減するよう
にストリップ物質の1わ「月からカソードを形成する場
合に適している。アノード1及成する宇1(第7図つが
橢円又d、四角形の、l、う4別のjh状の・Pイゾで
ある場合には、カソード2 kj:それと回し形状に1
−へきであることを理1竹されたい。A cylindrical cathode 2 is the simplest one, while a polygonal cathode 2 is suitable if the cathode is formed from a piece of strip material, so as to substantially reduce its cost. Anode 1 and U1 (Fig. 7) If one is an oval or d, square, L, U4, another jh-shaped, P iso, the cathode 2 kj: and 1 in a circular shape.
-I want to be taught the truth about being weak.
この装置は次のように作動づ−る。This device operates as follows.
破卵」ニハ10(第1図9をホルダ10aに固定し、人
l−19を・辿して室1内に入れ、図示されたようにカ
ソード2の開口2aに通し、この時にホルダ10 a
’、L人[」9に固定する。次いで、アノードを構成1
−る室1内に所要の真空を形成した後−直流′「シシ源
からアノード1及O・カソード2へ作動電圧を供給し、
この際にル/イド16をメンにする。Fix the broken egg 10 (FIG. 1) to the holder 10a, follow the person 1-19 into the chamber 1, pass it through the opening 2a of the cathode 2 as shown, and at this time remove the holder 10a.
', L people [' is fixed at 9. Then, configure the anode 1
- After forming the required vacuum in the chamber 1, - supply the working voltage from the direct current source to the anode 1 and the cathode 2,
At this time, make Ru/id 16 a member.
次いて、・ゼルス電源5からカソード2及びアーク開始
電極3−\アーク開始電圧を供給する。この場合、カソ
ード2とアノード1との間に電気アークが形成さJl、
そのカソードス、J?ットはソレノイド16の磁界の作
用下てカソード2の側面2b上を回転する。このカソー
ドスポントによりカソード2の物質が蒸発されると共に
、実線の矢印で概略的に示された」:うに室1の軸に垂
直な才面内で回転1−るプラズマ雲17が形成される(
第7図9゜Qの場合、プラズマ流1γの中性の巨人おシ
子乞」、アノードを構成する室1の内面にf=Jメ゛j
J−るが、正のイオンは磁界の作用を受けて、ゾシズマ
中の電界により形成された電位障壁からそら、Σれ、第
7図に点線で示したように被加工j110の面にf・]
着する。プラズマ雲の回転により、液加]−片10←1
、その全周にわたって処理される。力/′−ド2のπp
i it’112bからアノードを構成づ−る室1の内
面までの距離ゝゝδ“(第1図9は、被加工片10をそ
の全長ゝt、//にわたって処理するように選択される
。Next, the cathode 2 and arc starting electrode 3-\arc starting voltage is supplied from the ZELS power supply 5. In this case, an electric arc is formed between cathode 2 and anode 1 Jl,
That cathode, J? The cathode 2 rotates on the side surface 2b of the cathode 2 under the action of the magnetic field of the solenoid 16. This cathode spont vaporizes the material at the cathode 2 and forms a plasma cloud 17 which rotates in a plane perpendicular to the axis of the chamber 1, as indicated schematically by the solid arrow. (
In the case of Fig. 7 9゜Q, a neutral giant shiba with a plasma flow of 1γ is applied to the inner surface of the chamber 1 constituting the anode, f = J.
However, due to the action of the magnetic field, the positive ions are deflected away from the potential barrier formed by the electric field in Zoshizuma, and as shown by the dotted line in FIG. ]
wear it. Due to the rotation of the plasma cloud, liquid addition] - Piece 10←1
, processed all around it. Force/'-do2's πp
The distance "δ" from i it' 112b to the inner surface of the chamber 1 constituting the anode (FIG. 1, 9) is chosen in such a way that the workpiece 10 is treated over its entire length t, //.
第S図は本発明の装置の別の態様を示している。FIG. S shows another embodiment of the device of the invention.
この態様においては、上記カソードと同様の一個のカソ
ード2がアノード室1の両端に配置される。In this embodiment, one cathode 2 similar to the cathode described above is arranged at both ends of the anode chamber 1.
これらカソード2の各々は互いに電気絶縁され/ζアー
ク開始電楼3を有していると共に、電源4及び5を含む
それ自体の電源ユニン!・をイ]している。Each of these cathodes 2 is electrically insulated from each other and has an arc initiating tower 3 and its own power supply unit containing power supplies 4 and 5!・I am doing
この装置の作動は前記し/ζものと本Tf的に回しであ
る。この別の態様においては、扱方1j工!1の処月1
がその両端から同時に行なわれるので、すばやく然イ均
一に被加工片10に被膜を塗布することができる。更に
、この場合は、処理ノーンが広くなつ/ζことにより、
第1図の態様の作動に比べて、装置の大きさを実際上増
加しなくても、7.5ないし2倍の長さの抜力I]工片
10を処理てきる。The operation of this device is basically the same as that described above. In this other aspect, how to handle 1j! 1 of 1
Since this is done simultaneously from both ends, the coating can be quickly and uniformly applied to the work piece 10. Furthermore, in this case, as the processing noon becomes wider/ζ,
Compared to the mode of operation of FIG. 1, 7.5 to 2 times the length of the extraction force I] piece 10 can be processed with no practical increase in the size of the device.
第11ネ1及び第S図に示された装置の態様を用い/こ
時にに上、ノラズマ流に対してロッド12の影にならな
いような被加工片10の部分に最も均一な被膜が形成さ
れることに注意されたい。7′ラズマのイオンの7部分
はこれらのロッドに付着する。By using the embodiment of the apparatus shown in Figures 11 and 1, the most uniform coating is formed on the part of the workpiece 10 that is not in the shadow of the rod 12 against the nolasma flow. Please note that Seven parts of the ions of the 7' plasma attach to these rods.
これは、第1に、ロッド12の下の被加工片10上の被
膜の厚みを薄くシ、そして第aに、カソード2の物質の
41着の比率を成る程度下げる。カン−1’ 2の個数
を増加すべき場合には(これは例えば比較的長い被加工
片の処理効率を高く1−る必要性によって生じる〕、ロ
ッド12の本数も増加すべきであるが、このようにする
と、波力ロエ片10に付着さるへき物質の損失が更に大
きくなると共に、被膜の均一性も悪くなることを理解さ
れたい。This firstly reduces the thickness of the coating on the workpiece 10 below the rod 12, and a) considerably reduces the proportion of material in the cathode 2. If the number of cans 1' 2 should be increased (this is caused, for example, by the need to increase the processing efficiency of relatively long workpieces), the number of rods 12 should also be increased; It should be understood that this will result in a greater loss of material adhering to the wave loe strip 10 and will also result in poor coating uniformity.
特に色々な断面をもつ長い(、/m以上)被加工片を効
率よく処理することが必要である場合にこれらの損失を
減少するためには、第4図及び第7図に示された装置の
利点を取り入れるのが望ましい。第4図は、アノードを
構成する室1内で多数(この場合は7個)の同様のカソ
ードが’I’ll:流[Jノド18に対して1Iq11
方向に整列されそしてこれらのカソードにアーク開始電
極3が設けられたようなプラズマアーク装置の更に別の
態様を示している。In order to reduce these losses, especially when it is necessary to efficiently process long (>/m) workpieces with various cross sections, the apparatus shown in Figs. 4 and 7 is used. It is desirable to incorporate the advantages of FIG. 4 shows that in the chamber 1 constituting the anode, a large number (in this case seven) of similar cathodes
3 shows a further embodiment of a plasma arc device in which the cathodes are aligned in the direction and provided with arc starting electrodes 3;
この場合には、電流ロッド18の本数がカソード2の個
数の増加と共に増えないので、カソード物質の損失はあ
まり多くはなく、被膜の均一性は更に良くなる。In this case, since the number of current rods 18 does not increase with the increase in the number of cathodes 2, the loss of cathode material is not so great and the uniformity of the coating is even better.
第4図に示された装置の作動中には、制御ユニット19
の助けによりアークが成るカソード2から別のカソード
へと連続的に移行され、従って被加工片10はその全J
更にわたり区分ごとに連続的に処理される。制作1ユニ
ットの構造は当業者に明らかであり、具体的な条件に基
い壬だの神の多数の制御ユニットから選択さ扛る。During operation of the device shown in FIG.
With the help of
Furthermore, each section is processed continuously. The structure of a production unit will be obvious to those skilled in the art and may be selected from a number of control units based on specific requirements.
第7図1に示された装置の態様は第4図に示されたもの
と実質的に同様であるが、両者の相違点は、第7図1の
場合には制御ユニツ[・19がなく、そして史にアノー
ドを構成する室1が個々のアノード区分1a・−1dに
分割されていて、これら区分が絶縁パツキン8によって
互いに電気的に絶縁されていることである。これらアノ
ード区分の各々には、GB気系16と、アークを組付す
る直流電源4とが設けられている。アークを開始させる
パルス電W++i 5が7つだけ設けられているが、ア
ノード区分の数に尾(してこのような電源を多数設けて
もよいことかり]らかであろう。カソード2の全個数は
アノード区分1a ・・−1dの個数に雪しく、各々の
カソードはアノード区分1a・・・・・−1dの各々に
おいて1tl+方向に整列される。電源4及び5の働き
は第7図から明らかであり、詳細な説明は不要であろう
。The aspect of the apparatus shown in FIG. 71 is substantially similar to that shown in FIG. 4, but the difference between the two is that in the case of FIG. , and that the chamber 1 constituting the anode is divided into individual anode sections 1a and -1d, and these sections are electrically insulated from each other by insulating packings 8. Each of these anode sections is provided with a GB gas system 16 and a DC power source 4 for assembling an arc. Although only seven pulsed electric currents W++i 5 are provided to start the arc, this may be due to the number of anode sections (so that a large number of such power sources may be provided). The number of anode sections 1a...-1d is similar to the number of anode sections 1a...-1d, and each cathode is aligned in the 1tl+ direction in each of the anode sections 1a...-1d.The functions of the power sources 4 and 5 are shown in FIG. It is obvious and no detailed explanation is necessary.
この1、う′fr、朝様において被加工片10を処理す
るl’t、’1には、多数のアークがゝゝアノード区分
−カノード″、)?−電′シ(的な7j[に同時に発生
される。従つて、被加工片10は多数(この場合に1.
7個)のゾシズマ流によって処理され、これはノ0シズ
マスゾレープロセスを相当強力なものにづ−ると共Vこ
、’l”Jに細長い被加工片を処理する11;l、には
ゾシズマスプレー7″ロセスを受け/ζζ方力1丁ノ1
の面のt′↓を向上させる。In this 1, u'fr, l't, '1 which processes the workpiece 10 in the morning, a large number of arcs are connected to the are generated simultaneously.Therefore, a large number of workpieces 10 (in this case, 1.
7), which makes the No. 0 Shismas Sollet process considerably more powerful, as well as the processing of long and narrow workpieces. Zoshizuma Spray 7″ Receive process / ζζ direction power 1-cho no 1
Improve t'↓ of the surface.
第ろ図及び第7図に示された装置の態様において全ての
カソード2に電流を供給するよう(lこ働く電流ロッド
18は、例えは第4図に示されたように一体的なロッド
であってもよいし、第’7 ill L’こ示されたよ
うに個々の区分18 a−18eて構成されてもよいこ
とに注意され/こい。第7図の態様のカソード電極の方
が製造し易いことが明らかであろう。In the embodiment of the device shown in FIGS. Note that the cathode electrode of the embodiment of FIG. It is obvious that it is easy to do.
カソード2及びロッド18の影Q″Cなるところの被加
工片10の表面(tこ形成される被膜の非」テフーさを
少なくする/こめには、処理中に液加二1−片をカソー
ド2の巾より小さな程度て蜘1方向に動かすとJ(にそ
の刺lのまわりで周期的に回1llJ、させるのか望ま
しい。The shadow of the cathode 2 and the rod 18 on the surface of the workpiece 10 (Q''C) is to reduce the non-toughness of the formed coating. If you move the spider in one direction by a width smaller than 2, it is desirable to have J(J) periodically rotate 1llJ around its spine.
被加工片10がその全長にわたって均一な断面をイ]シ
ぞしてその全長が相当に長い場合には(長い一/ヤフト
、ストリンプ、ワイヤ、バンド等)、第3図に示された
本発明の装置の更に別の態様を用いるのかがJ’、 L
< 、この装置は寸法は比較的小へいが7月常Vこ効
率の良い連続作動型の装置である。When the workpiece 10 has a uniform cross section over its entire length and is considerably long (long shaft, strip, wire, band, etc.), the present invention shown in FIG. J', L
Although this device is relatively small in size, it is a highly efficient continuous operating device.
この91に別の態様ににれば、アノードを構成する′−
1’、 1に人[二19a及び出Jl 9 bが設けら
れ、これらの入11及び出D VCはパツキン部月20
が設けられる。この装置の作]の中Vこは、抜力[[エ
バ10が矢印で示されたlQi方向に室1f:通して移
動され、連につ0的な、・ゾラズマスブレーン0ロセス
を受ける。In another embodiment, this 91 constitutes an anode.
1', 1 has a person [2 19a and an output Jl 9 b, and these input 11 and output D VC are Patsukin Department Month 20
is provided. The middle V of this device is moved through the chamber 1f in the lQi direction indicated by the arrow, and subjected to a continuous Zolazmus brane process. .
不発11)Jの装置の」1記態様のいずれにおいても、
1つ又C1、多数の被加工片10を同時に処理できる(
二とにll−、<;′!烙れ/こい。多数の被加工片を
処理する場合に011、被加工)1が互いに311−行
関係に配置され、ぞし−C処理中Q寸波力11土片を動
かないように1−ることもてきるし、或いは例え―°遊
星ギヤのような一般の駆動装置(tこ」−ってQ)hの
まわりで回転させることもでき、り1、
本発明の喘定の実施例について説明し/こが、色々な変
更が当業者に明らかてあろうから、本発明はここに開示
した実施例又はその細部に限定されるものではなく、特
許請求の範囲に限定されlC本発明の精神及び範囲内で
、本発明を別のやり力で実施することもできる。Misfire 11) In any of the embodiments described in 1. of the device of J,
It is possible to process one or more work pieces 10 at the same time (
Two ll-, <;'! Heat/Koi. When processing a large number of workpieces, the workpieces may be arranged in a 311-row relationship with each other, and the wave force 11 may be applied to keep the pieces of soil from moving during processing. Alternatively, it can be rotated around a general drive device (Q), such as a planetary gear. However, since various modifications will be apparent to those skilled in the art, the present invention is not limited to the embodiments disclosed herein or to the details thereof, but rather to the scope of the appended claims, which reflect the spirit and scope of the invention. The invention can also be implemented in other ways within the scope of the invention.
第1図はカソードが1つの」場合の本発明による被膜塗
布用のプラズマアーク装置を示づ一縦断面図、第2図及
び第3図はアノードを構成1−る室が円筒パイプの形状
を有1−る場合Vこ本発明装置に使用J ルーty :
/ −ト(D形状を示シft−カニ/ −l’)Eii
illir178Is第q図は第1図の■−IXI線に
沿った1l)−+ i+’i’i図であって、不発1す
1装置の作動を示づ一概略図、第512は、カソードが
aつの場合の本発明装置の別の態様を示1″縦断面図、
第4図は11つのカソードをイ)fる本発明装置の更に
別の態様であって一体的なアノードをイ1−1−る装置
を示1″断面図、
第7図はグつのカソード庖・イー」−′1−る本発明装
置の更に別の態様であって区分化されたアノードを有す
る装置を示す断面図、そして
第gシI k:J、第S図と同様の図であるが、本発明
のノ°ラズマアーク装置が連続作業に用いられるような
更に別の態様を示す図である。
ドアノート
18−・・ 1d アノード区分
2・カソード
2a・カソードの開10
21)・カソードの(111面
3 ・アーク開始電極
4、5・・電源
10 被加工片
16 ・磁気系
18 −電流ロンド
19 ・:li制御ユニノト
第1頁の続き
ク
ソヴイエト連邦ハルコフ・ウリ
ツサ・グルテラ12ケーヴイ32
■出 願 人 ヴアレンチン・グレボヴイツチ・パドル
力
ソヴイエト連邦ハルコフ・ウリ
ツサ°ダニレフスコゴ10ケーヴ
イ122
■出 願 人 レオニド・パフロヴイッチ・サブレフ
ソヴイエト連邦ハルコフ・ウリ
ツサ・ペー・モロゾヴア3ケー
ヴイ3
■出 願 人 リムマ・イワノフナ・ステユパク
ソヴイエト連邦ハルコフ・ウリ
ツサ・グルテラ12ケーヴイ32
特許庁長官 若 杉 和 夫 殿
1、事件の表示
昭和57年 特許側 第161558号2、発明の名称
被膜塗布用のプラズマアーク装置3、補正をす
る考
事件との関係 出願人
氏 名 ゲンナデイ ヴアシリエヴイ・ノチ クリj、
−チコ(外3名)
4、代理人
5、 ?1i正命令の日付 自 発6、?di正
の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄7、補
正の内容
(1)本願明細書14頁16行の“パイプ連結91げを
1パイプ連結部11」と訂正する。
(2)同書18頁11行の“δ”をrsJと訂正する。
(3)同書同頁16〜18行の′°これら・・・・・て
いる。゛を次のように訂正する。
1゛これらカソード2の各々には、アーク開始電極3が
設けられており、これらカソード2の各々は互いに電気
絶縁されており、また、これらカソード2の各々は、電
tA4及び5を含むそれ自体の電源ユニノI〜を有して
いる。」(4)同書20頁1〜5行の“特に色・・・・
・ましい。”を次のように訂正する。
[比較的に長い(1mより長い)被加工片、特に、断面
の変化するような液加]二片を効率良く処理する場合に
おいてこれらの損失を減少させるためには、第6図及び
第7図に示された変形例を利用するのが望ましい。電流
ロッド18は、前述のロッド12(第1図、第5図参照
)と原理的には異ならないが、すべてのカソード2に対
して共通なものとされている。その結果、カソード2は
、−緒に結合されている。この装置には、カソード2も
連続的にオン、オフするための制御ユニット■9も設け
られている。この制御ユニット19は、1つのアーク開
始電極3のみについて点線で示されたように、各カソー
ド2のアーク開始電極3に接続される。」
(5)同書22頁18行の“小さな°゛を「小さくない
」と訂正する。FIG. 1 shows a plasma arc apparatus for coating coatings according to the invention in the case of one cathode; FIGS. If there is one, this is used in the device of the present invention.
/ -t (showing D shape ft-crab/-l') Eii
illir178Is Figure q is a 1l)-+i+'i'i diagram taken along the line ■-IXI in Figure 1, and is a schematic diagram showing the operation of the unexploded 1/1 device. FIG. 4 shows a further embodiment of the device according to the invention in which there are 11 cathodes, and FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a further embodiment of the device of the present invention having a segmented anode; FIG. , and g-th Ik:J, which are similar to FIG. Door note 18-... 1d Anode division 2, cathode 2a, cathode opening 10 21), cathode (111 surface 3), arc starting electrodes 4, 5...power supply 10, work piece 16, magnetic system 18 - current rond 19 Continuing from page 1 of li control uninote Kusovyet Federation Kharkov Ulitsa Gultera 12 Cavy 32 ■Applicant Valentin Glebovitsch Paddle Power Soviet Union Kharkiv Ulitsa ° Danilevskogo 10 Cavi 122 ■Applicant Leonid Pavlovych Savlevso Vyet Federation Kharkov-Ulitsa Pe Morozova 3Kevy 3 ■Applicant Rimma Ivanovna Steyupaksovyet Federation Kharkov-Ulitsa-Gultera 12Kevy 32 Commissioner of the Patent Office Kazuo Wakasugi 1, Display of the case 1982 Year: Patent No. 161558 2, Title of the invention: Plasma arc device for coating coatings 3, Relationship with the amending case: Name of applicant: Gennaday Vasilyevy Noci Kurij,
- Chico (3 others) 4, agent 5, ? Date of 1i positive order Voluntary 6,? Di Correct Object Column 7 of the Detailed Description of the Invention in the Specification, Contents of Amendment (1) The specification of the present application, page 14, line 16, is corrected to read "pipe connection 91 to 1 pipe connection part 11." (2) "δ" on page 18, line 11 of the same book is corrected to rsJ. (3) In the same book, same page, lines 16-18, these are... Correct ゛ as follows. 1. Each of these cathodes 2 is provided with an arc-initiating electrode 3, each of these cathodes 2 is electrically insulated from each other, and each of these cathodes 2 has its own electrical current containing an electric current tA4 and 5. It has a power supply unit I~. (4) In the same book, p. 20, lines 1 to 5, “Especially the colors...
・Delicious. ” is corrected as follows: [Relatively long workpieces (longer than 1 m), especially when applying liquid to a workpiece whose cross section changes] To reduce these losses when processing two pieces efficiently. It is desirable to use the modification shown in FIGS. 6 and 7.The current rod 18 is not different in principle from the aforementioned rod 12 (see FIGS. 1 and 5). , are common to all cathodes 2.As a result, the cathodes 2 are coupled together.The device also includes a control unit for turning the cathodes 2 on and off continuously. (1) 9 is also provided. This control unit 19 is connected to the arc starting electrode 3 of each cathode 2, as indicated by the dotted line for only one arc starting electrode 3." (5) Ibid., p. 22 Correct “small °゛” in line 18 to “not small”.
Claims (1)
と、この室1内に配置されていて、蒸発1mがアノード
1に向けられた消耗性カソード2と、このカソード2に
接触したアーク開始電極3と、上記アノード1及0・カ
ソード2に接続されていてアークを維持する直流電源4
と、上記カソード2及びアーク開始型4@ 3に接続さ
れていてアークを開始さセるパルス電源5と、上記アノ
ード1に取シ付けられていて、アノード1の面から被加
工片10へと荷電プラズマ粒子の向きを変える磁気系1
6とを備えた被膜塗布用のプラズマアーク装置において
、アノードを構成する加工室1は均一断面のパイプであ
って、その外面に上記磁気系16が取り付けられ、カソ
ード2の断面形状は上記パイプの断面形状と実質的に一
致し、カソード2には被加工片10を加工位置に設置1
−るための開口2aが設けられており、カソード2は上
記パイプと軸方向に整列されて、カソードの側面2bが
蒸発面となり、この側面2bの巾はアノード1の長さよ
り短いことを特徴とするプラズマアーク装置。 @ カソード2の側面2bの11]はアノード1の長を
の0.03!いし0.Sである舶許RJ求の範囲第(1
)項に記載の装置。 (3)加工室1は円筒パイプの形状に作られるq−¥「
請求の範囲第(1)項又は第(2)項に記載の装置。 @) カソード2の側面2bは円筒形状にされる特許請
求の範囲第(3項に記載の装置。 釣) カソード2の側面2bは多角形状にされる特許請
求の範囲第3項に記載の装置。 (乙) カソード2の蒸発面2b以外の全ての面はスク
リーンで仮われる特許請求の範囲第(1)、11!1な
いし第σ)項のいずれかに記載の装置。 (7) アノードを構成づ−る加工室1内には、上記
カソード2と同様の、アーク開始電極3f−」きのカソ
ード2がもう1つ配置されており、これらの両力ソード
2は上記室1の周囲に対して軸方向に整列され、互いに
電気的に絶縁される牛)許ij!’I求の旗囲第(1)
ザ1ないし第(乙)項のいずれかに記載の装置。 (g) アノードをI′f+成する加工室1内CCは
、上記力、ノード2と同様のアーク開始電極3付きのカ
ン−1・′2が多数配置されており、全てのカソード2
は共通の′電流ロンド18によってそれら自体の間が接
続されていると共に軸方向に整列され、更に、カッ−1
・2を順θ(にメン及びオフに切換えるように各カソー
ド2のアーク開始電極3には開側1ユニント19が接に
プ(、されている特許請求の範囲第(1)項ないし第ω
)、T1′1のいずれかに記載の装置。 (9) アノードを構成する加工室1は瓦いに電気的
に絶縁されゾこ個々のアノード区分1a・ ・ 1dに
分割さね、上記装置は、史に、上3己のカソード2と同
様の、アーク開始電極3 (1きのカソード2を多数備
え、これらカッ−ド2の全個数は上記のアノード1区分
1a ・−1dの個数に等しく、上記)7ノーじ2は共
通の電流ロンド18によってそれら自体の間が電気的に
接細7審わており、そして各ツノノー・ド2(、i各7
2のアノード(7分1a・−1dに第6いて軸〕J 1
ill l◇二焙//、、≦れる生゛11イF r;r
t求の範囲第(1)項ないし第(乙)項のいずれかに記
載の装置。[Claims] (1) The non-magnetic metal that constitutes the anode [chamber 1]
and a consumable cathode 2 arranged in this chamber 1 and with 1 m of evaporation directed toward the anode 1, an arc starting electrode 3 in contact with this cathode 2, and connected to the anodes 1 and 0 and the cathode 2. DC power supply 4 that maintains the arc
A pulse power source 5 is connected to the cathode 2 and the arc starting type 4 @ 3 to start the arc, and a pulse power source 5 is attached to the anode 1 and connects it to the surface of the anode 1 to the workpiece 10. Magnetic system that changes the direction of charged plasma particles 1
6, the processing chamber 1 constituting the anode is a pipe with a uniform cross section, the magnetic system 16 is attached to the outer surface of the processing chamber 1, and the cross-sectional shape of the cathode 2 is the same as that of the pipe. The work piece 10 is placed at the processing position on the cathode 2, substantially matching the cross-sectional shape.
The cathode 2 is axially aligned with the pipe, and the side surface 2b of the cathode serves as an evaporation surface, and the width of this side surface 2b is shorter than the length of the anode 1. Plasma arc device. @11 on the side surface 2b of cathode 2] is 0.03 of the length of anode 1! Stone 0. The scope of the request for a ship license RJ that is S (1st
). (3) Processing chamber 1 is made in the shape of a cylindrical pipe.
The device according to claim (1) or (2). @) The device according to claim 3, in which the side surface 2b of the cathode 2 has a cylindrical shape (device according to claim 3). . (B) The device according to any one of claims (1), 11!1 to σ), in which all surfaces of the cathode 2 other than the evaporation surface 2b are covered with screens. (7) In the processing chamber 1 constituting the anode, another cathode 2 having an arc starting electrode 3f is arranged, similar to the cathode 2 described above, and these two-power swords 2 are similar to the cathode 2 described above. Cows aligned axially with respect to the circumference of chamber 1 and electrically insulated from each other) Huij! 'I seek flag encirclement (1)
The device described in any of paragraphs 1 to 2). (g) In the CC inside the processing chamber 1, which forms the anode I'f+, a large number of cans 1 and '2 with arc starting electrodes 3 similar to the above-mentioned force and node 2 are arranged, and all the cathodes 2
are connected between themselves and axially aligned by a common current rond 18, and furthermore, the cup 1
・An opening side unit 19 is connected to the arc starting electrode 3 of each cathode 2 so as to switch 2 sequentially on and off at θ(, Claims (1) to ω).
), T1'1. (9) The processing chamber 1 constituting the anode is electrically insulated by tiles and divided into individual anode sections 1a... 1d. , arc starting electrode 3 (comprising a large number of cathodes 2, the total number of these cathodes 2 being equal to the number of anodes 1 sections 1a - 1d, above) 7 nodes 2 are connected to a common current conductor 18 There is an electrical connection between themselves by 7, and each horn node 2 (, i each 7
2 anode (6th axis at 7 minutes 1a and -1d) J 1
ill l◇2 roast //,, ≦ life゛11i F r;r
The device described in any one of Items (1) to (B) of the scope of requirements.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16155882A JPS5950170A (en) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | Plasma arc device for coating painting |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16155882A JPS5950170A (en) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | Plasma arc device for coating painting |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5950170A true JPS5950170A (en) | 1984-03-23 |
JPS6154110B2 JPS6154110B2 (en) | 1986-11-20 |
Family
ID=15737385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16155882A Granted JPS5950170A (en) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | Plasma arc device for coating painting |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5950170A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62290866A (en) * | 1986-06-06 | 1987-12-17 | Nissin Electric Co Ltd | Thin film forming device |
JPS63255366A (en) * | 1987-04-10 | 1988-10-21 | Nissin Electric Co Ltd | Method for coating conductive film on insulating substrate |
JP2013036106A (en) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Toyota Motor Corp | Deposition apparatus and deposition method |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP16155882A patent/JPS5950170A/en active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62290866A (en) * | 1986-06-06 | 1987-12-17 | Nissin Electric Co Ltd | Thin film forming device |
JPS63255366A (en) * | 1987-04-10 | 1988-10-21 | Nissin Electric Co Ltd | Method for coating conductive film on insulating substrate |
JP2013036106A (en) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Toyota Motor Corp | Deposition apparatus and deposition method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6154110B2 (en) | 1986-11-20 |
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