JPS59500743A - Improved radio frequency laser pump system - Google Patents

Improved radio frequency laser pump system

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JPS59500743A
JPS59500743A JP50181683A JP50181683A JPS59500743A JP S59500743 A JPS59500743 A JP S59500743A JP 50181683 A JP50181683 A JP 50181683A JP 50181683 A JP50181683 A JP 50181683A JP S59500743 A JPS59500743 A JP S59500743A
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JP
Japan
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impedance
laser
cavity
variable
matching
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Application number
JP50181683A
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Japanese (ja)
Inventor
アングル・エリウイン・アール
ウイルカーソン・ジヨン・エル
Original Assignee
ヒユ−ズ・エアクラフト・カンパニ−
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 改良型無線周波レーザポンプシステム 技術分野 この発明はレーデシステムに関する。特にこの発明は、高圧ガスレーザ用無線周 波ポンプシステムに関する。[Detailed description of the invention] Improved radio frequency laser pump system Technical field TECHNICAL FIELD This invention relates to a LADE system. In particular, this invention provides a radio frequency for high pressure gas lasers. Concerning wave pump systems.

本明細書ではこの発明を特定の実施例および特定の応用列について述べるけれど も、この発明はそれに限定されるものではない。当業者やこの発明の開示を利用 できるものであれば、この発明の範囲内でさらに変形例や応用列を思いつくであ ろう。Although the invention is described herein with reference to specific embodiments and specific applications, However, the present invention is not limited thereto. A person skilled in the art or using the disclosure of this invention If possible, please think of further variations and applications within the scope of this invention. Dew.

背景技術 初期のガスレーザ電源1rl Wattenbach (3,235,769) やRoebber (3,430,159)に開示されるような放電ランプ用電 源やフラッジ−チー−プ用電源が用いられていた。Goldsmith (3, 351,8,70)に示されるように、初期のシステムはステップアップトラン ス、整流回路、真空管、パルス形収ネットワークおよびその他のインダクタやキ ヤ・9シタをMした高電圧直流電源であった。 ゛ 高圧ガスレーデが開発されると、このDC電源はレーザ作用を開始させる際の信 頼性の点で不適切になった。さらに、よシ近代的な高圧ガスレーザの宇宙空間を 運ばれるような応用列に適用するには、効率が悪く、信頼性も落ち、又かさばる と伝う欠点があった。Background technology Early gas laser power supply 1rl Wattenbach (3,235,769) and Roebber (3,430,159). Sources and flood-cheap power sources were used. Goldsmith (3, 351, 8, 70), early systems were step-up transistors. rectifier circuits, vacuum tubes, pulsed collection networks and other inductors and switches. It was a high-voltage DC power supply with a power output of゛ Once the high-pressure gas radar was developed, this DC power source was used as a reliable source for starting the laser action. unsuitable in terms of reliability. In addition, modern high-pressure gas lasers can be used in outer space. They are inefficient, unreliable, and bulky for applications such as transportation. There was a drawback.

無線周波ポンプは高圧ガスレーザに゛伴う問題解決への1つの方法である。例え ばLaakmann (4,169,251)はRF励振を用いたガスレーザを 開示している。代表的なRFポンプ高圧がスレーザは、信頼性の高いレーザ作用 の開始を行うために高電界例必要である。この開始時に必要な電界は、動作中の それ工9も約3倍高くなる。Radio frequency pumps are one approach to solving the problems associated with high pressure gas lasers. example For example, Laakmann (4,169,251) developed a gas laser using RF excitation. Disclosed. Typical RF pump high pressure laser has reliable laser action For example, a high electric field is required to perform the initiation. The electric field required at this start is It will also cost about three times as much.

従って、従来のRFポンプ構造では一定の素子インピーダンスマツチング回路を 備え、開始時の高電界と効率良い動作に必−なインピーダンスマツチングとが得 られるように調整している。このような回路は一般に、4:1のインピーダンス ステップアップが得られるようにコイルがタッピングされたLC共振回路を有し ている。このような構成を試みたために、これらの一定の素子回路は開始時ある いは効率の点で最適化が収されなかった。従って開始時における高電、界と、定 常動作中における高効率のエネルギー転送のだめの電源とレーデ媒体とのインピ ーダンスマツチングが得られる高圧ガスレーザ電源奄源が必要であった。Therefore, conventional RF pump structures require a constant element impedance matching circuit. This provides a high electric field at the start and impedance matching necessary for efficient operation. Adjustments are being made so that Such circuits typically have a 4:1 impedance The coil has a tapped LC resonant circuit to obtain a step-up. ing. In order to attempt such a configuration, these certain elements are present in the circuit at the beginning. In other words, optimization was not achieved in terms of efficiency. Therefore, the high electric field at the beginning and the constant Highly efficient energy transfer impedance between the power source and the lede medium during normal operation. - A high-pressure gas laser power source capable of dance matching was required.

発明の開示 従来技術の欠点はこの発明の電源によシ実質的に克服できる。以下に詳述する如 く、この発明は開始時に必要な高電界に加えて、定常動作中の高効率のエネルギ 転送のための最適インピーダンスマツチングを得るためにレーザ作用が開始され た後、自動的に再調整する能力を供給するように設計されている。Disclosure of invention The disadvantages of the prior art can be substantially overcome by the power supply of the present invention. As detailed below In addition to the high electric field required at start-up, this invention also requires high efficiency energy during steady-state operation. Laser action is initiated to obtain optimal impedance matching for transfer. It is designed to provide the ability to automatically readjust after

この発明はレーザ空胴とRFエネルギー源とのインピーダンスをマツチングさせ るだめの可変手段を有している。更に、レーデ空胴のインピーダンスの変化を検 出する手段が備えられている。検出された変化は、マツチング回路のインピーダ ンスを変化させるのに使用され、レーザ空胴とRFエネルギー源との最適結合を 得るようにしている。This invention matches the impedance of the laser cavity and the RF energy source. It has variable means for adjusting the temperature. Furthermore, changes in the impedance of the Rede cavity were detected. A means of release is provided. The detected change is the impedance of the matching circuit. is used to vary the irradiance and optimize the coupling between the laser cavity and the RF energy source. I'm trying to get it.

図面の簡単な説明 この図はこの発明の好適実施例の説明図である。Brief description of the drawing This figure is an explanatory diagram of a preferred embodiment of the present invention.

発明を実施するための最良の形態 この図はこの発明の原理を肩したレーザ10を示す。すなわち無線周波(RF’  )電源12とレーデ空胴14の等価回路14を有している。このRF亀像源1 2500乃至100ワツトクラスの傑準タイプである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION This figure shows a laser 10 embodying the principles of the invention. That is, radio frequency (RF' ) It has an equivalent circuit 14 of a power source 12 and a Rede cavity 14. This RF turtle image source 1 It is an excellent type in the 2500 to 100 watt class.

この発明の好適実施例はRFF源12とレーザ空胴14との間に見られる。すな わちRFlli源12から供給されたRF倍信号受信するように結合された増幅 器18から収るカプラ16を有している。増幅器18の出力は一巻インダクタ2 0に接縦され、−巻インダクタ20はインダクタ22のタップにQされている。A preferred embodiment of the invention is found between RFF source 12 and laser cavity 14. sand an amplifier coupled to receive the RF multiplied signal provided by the RFlli source 12; It has a coupler 16 that fits from the container 18. The output of the amplifier 18 is the one-turn inductor 2 0 and the negative winding inductor 20 is connected to the tap of the inductor 22.

キャパシタ24は増幅器18の出力とグランドとの間に接続されている。増幅器 18、インダクタ20、およびキャパシタ24に加えてカブ216は第2の一巻 インダクタ26を有している。この−巻インダクタ26は一端が抵抗28を介し て接地されている。キャパシタ30はインダクタ26の他端とグランドとの間に 接続されている。インダクタ26とキャパシタ30との間の結合点でカプラ出力 が得られる。このカプラ出力はRFチョーク32の一端に接続され、他端は負電 位源(図示せず)に接続されている。更に前記カプラ出力にはショット、キーダ イオード又はホットキャリア検出ダイオード34が接続される。ダイオード34 のカソードは抵抗36、キャノクシタ38および第2増幅器40への一人力との 結合点に接続される。前記増幅器40への第2人力は、一端が正電位源(図示せ ず)に接続され、他端が接地された可変抵抗42に接続されている。この増幅器 40の出力は自由端が接地された抵抗44と、フィードスルーキャパシタ48を 介して第2RFチヨーク46と接続されている。抵抗44は演算増幅器40のD C帰路を供給する。抵抗42は増幅器400基準電位を供給する。フィードスル ーキャパシタ48の自由端も接地されている。RFチョーク46の自由端は一連 のバラクタダイオード50および52に接続されている。図示するように、バラ クタダイオードのカソードはRFチョーク46との結合点に接続されている。ダ イオード5oのアノードはキャノ4シタ54に接続されている。キャパシタ54 の自由端とダイオード52のアノードはインダクタ22の両端部をはさんで接続 される。ダイオード52のアノードとインダクタ22は更に接地されている。こ の発明の電源の出力はキヤ・ぐシタ54とインダクタ22との間の交点から取出 される。この出力はキャパシタ56゜58および抵抗60によって表わされるレ ーザ等価回路14に接続される。図示した各部品のパラメータを表1に示す。Capacitor 24 is connected between the output of amplifier 18 and ground. amplifier 18, inductor 20, and capacitor 24, turnip 216 is a second winding. It has an inductor 26. This negative winding inductor 26 has one end connected through a resistor 28. and grounded. A capacitor 30 is connected between the other end of the inductor 26 and ground. It is connected. Coupler output at the connection point between inductor 26 and capacitor 30 is obtained. This coupler output is connected to one end of the RF choke 32, and the other end is connected to a negative voltage. connected to a power source (not shown). Furthermore, the coupler output has shot and keyed A diode or hot carrier detection diode 34 is connected. diode 34 The cathode of is connected to the resistor 36, the capacitor 38 and the second amplifier 40. Connected to a bond point. A second power supply to the amplifier 40 has one end connected to a positive potential source (not shown). ) and a variable resistor 42 whose other end is grounded. this amplifier The output of 40 connects a resistor 44 whose free end is grounded and a feedthrough capacitor 48. It is connected to the second RF station 46 via the second RF station 46. The resistor 44 is the D of the operational amplifier 40. C provides a return route. Resistor 42 provides the amplifier 400 reference potential. Feedsle - The free end of capacitor 48 is also grounded. The free end of the RF choke 46 is a series is connected to varactor diodes 50 and 52 of. Roses as shown The cathode of the cutter diode is connected to the coupling point with the RF choke 46. da The anode of the iode 5o is connected to the canopy 4-shita 54. Capacitor 54 The free end of the diode 52 and the anode of the diode 52 are connected across both ends of the inductor 22. be done. The anode of diode 52 and inductor 22 are further grounded. child The output of the power supply of the invention is taken from the intersection between the capacitor 54 and the inductor 22. be done. This output is connected to the level represented by capacitor 56°58 and resistor 60. is connected to the user equivalent circuit 14. Table 1 shows the parameters of each part shown.

20および26 1巻30 nH 22300乃至500nH 462,5μH 38200pf 48 200 pf 50および52 1乃至2pf 56 2乃至3pf 58 0.25乃至0.5pf 抵抗 2850Ω 363にΩ 42 10にΩ 44 20にΩ 0 ダイオード 34 zRF−50Ω 増幅器 18 RF増幅器 50乃至100W 150 MHz 40 高電圧DCOPアンプ 動作中は、ガス放電は開始されないので、レーザ空胴14中のガスはイオン化さ れず、レーザ管は電気的にキャパシタ56と見かけ上等価になる。このキャノぐ シタ56はレーザ長、電極幅、電極分離およびレーザ孔の誘電材料の関数である キャパシタンスを有する。20 and 26 1 volume 30 nH 22300~500nH 462,5μH 38200pf 48 200 pf 50 and 52 1 to 2 pf 56 2 to 3 pf 58 0.25 to 0.5pf resistance 2850Ω 363Ω 42 Ω to 10 44 Ω to 20 0 diode 34 zRF-50Ω amplifier 18 RF amplifier 50 to 100W 150MHz 40 High voltage DCOP amplifier During operation, no gas discharge is initiated, so the gas in the laser cavity 14 is not ionized. Instead, the laser tube becomes electrically equivalent in appearance to the capacitor 56. This canogu 56 is a function of laser length, electrode width, electrode separation, and dielectric material of the laser hole. Has capacitance.

インダクタ22、キャパシタ54およびバラクタダイオード50ならびに52に よって構成される同調回路はキャノぐシタ54およびバラクタダイオード50お よび52間のカソード結合点におけるバイアス電圧+vBの結果としてバラクタ ダイオード50および52の等価直列容量によってプリセットされる。バラクタ ダイオード50.52およびキャi4シタ54および56のキャパシタンスはレ ーデを駆動するRF周波数のインダクタ22と共振する。回路21の共振にょシ レーデ14の最大電圧が保証され、レーデ14がオンになる。Inductor 22, capacitor 54 and varactor diodes 50 and 52 The tuned circuit thus constructed includes a canister 54 and a varactor diode 50. As a result of the bias voltage +vB at the cathode junction between It is preset by the equivalent series capacitance of diodes 50 and 52. varactor The capacitance of diodes 50, 52 and capacitors 54 and 56 is It resonates with the inductor 22 of the RF frequency that drives the decoder. Resonance of circuit 21 The maximum voltage of radar 14 is guaranteed and radar 14 is turned on.

レーザ作用が開始されると、回路菓子58と60は同調回路2ノと並列に付加さ れ、共振周波数を低くし、負荷Qを減少する。タンク回路21は共振から離脱し 、タッピングコイル22においてRF#t12においてインピーダンスの不整合 を生じる。方向カプラ16は不整合による増大反射波を検出する。反射波はこの 発明の目的である、最小にすべき戻シ損失を呈する。反射波を検出すると反射波 は順方向電力および反射電力を識別する。反射電力を受取シ、カプラはその出力 をダイオード34に供給する。ダイオード34ばRFチョーク32にょシ負のD C電位との結合が解除される。これにょシダイオード34はおよそ100μAの 電流でバイアスされ、制御可能な感度とインピーダンスが得られる。カプラ16 の出力はダイオード34をオンにし、抵抗36とキャパシタ38によって提供さ れるローパスフィルタへの信号を生ずる。戻p損失を表わすフィルタ化された電 気信号は、増幅器4oに供給され、増幅される。この信号はRFチョーク462 よびフィードスルーキャパシタ48全介してバラクタダイオード50にフィード バックされる。RFテヨ−り46とフィードスルーキャパシタ48はRFの絶縁 を提供し、DC信号をバラクタダイオードに通過させ、ACとの接続を解く。電 圧VBは、バラクタダイオード50と52のキャパシタンスが14のレーザ空胴 のキャパシタンス58の増加に等しい量だけ減少するように増幅器40からのフ ィードバックによって増加する。回路は再び共振する。RF源のインピーダンス は正しい電圧+vBにクランプされたバラクタダイオード50および52と再び マツチングする。この回路は同調回路21を共振させるような方向にバラクタダ イオード上の正しいバイアスを維持する。従ってこの回路は自己安定化回路であ シ、RF駆@亀力を一定に保つことによシ、レーザ出力をほぼ一定に保つ。When laser action is initiated, circuits 58 and 60 are added in parallel with tuned circuit 2. This lowers the resonant frequency and reduces the load Q. The tank circuit 21 is removed from resonance. , impedance mismatch at RF#t12 in the tapping coil 22 occurs. Directional coupler 16 detects increased reflected waves due to misalignment. The reflected wave is this It is the object of the invention to exhibit return losses to be minimized. When a reflected wave is detected, the reflected wave identifies forward power and reflected power. The coupler receives the reflected power and outputs it. is supplied to the diode 34. Diode 34 and RF choke 32 negative D The connection with C potential is released. This diode 34 has a current of approximately 100 μA. Biased with current for controllable sensitivity and impedance. coupler 16 The output of turns on diode 34 and is provided by resistor 36 and capacitor 38. generates a signal to a low-pass filter. The filtered voltage representing the return p loss The air signal is supplied to an amplifier 4o and amplified. This signal is sent to the RF choke 462 and feed through capacitor 48 to varactor diode 50. It will be backed up. The RF tail 46 and feedthrough capacitor 48 provide RF isolation. The DC signal is passed through the varactor diode and disconnected from the AC. electric The voltage VB is the laser cavity with a capacitance of 14 of the varactor diodes 50 and 52. The increase in capacitance 58 from amplifier 40 is reduced by an amount equal to the increase in capacitance 58 of Increased by feedback. The circuit resonates again. RF source impedance is again with varactor diodes 50 and 52 clamped to the correct voltage +vB. Match. This circuit has a varactor in a direction that causes the tuning circuit 21 to resonate. Maintain correct bias on the diodes. Therefore, this circuit is a self-stabilizing circuit. By keeping the RF driving force constant, the laser output can be kept almost constant.

好適実施列について述べたが、この発明は、それに限定されるものではない。そ の分野の通常の技術を有し、この発明の開示を入手できる者は、この発明の範囲 内で、変形列全思いつくとと妙二できる。例えばデカップリング回路16は1/ 4波長伝送ラインに変えても、この発明の範囲から逸脱することなく、この発明 の利点を得られる。さらに、この発明の実施列で使用されたショットキー又はホ ットキャリアダイオードの代りにゼロバ1アスダイオードを使用することもでき る。明らかにこの発明の範囲を逸脱することなく他の0− z4スフィルタや可 変共振回路を利用することができる。それゆえ、この発明は、上述した変形列お よびその他のすべての変形列を包含するように付加クレームによって考照される 。Although preferred embodiments have been described, the invention is not limited thereto. So A person of ordinary skill in the art who has access to the disclosure of this invention will understand the scope of this invention. Inside, you can come up with all the deformed sequences. For example, the decoupling circuit 16 is 1/ The present invention may be modified to a four-wavelength transmission line without departing from the scope of the invention. You can get the benefits of Furthermore, the Schottky or Hollow used in the embodiments of this invention A zero-pass diode can also be used instead of a zero-pass carrier diode. Ru. Obviously, other 0-z4 filters or other suitable filters may be used without departing from the scope of this invention. A variable resonance circuit can be used. Therefore, the present invention provides the above-mentioned modified sequence and and all other variant sequences contemplated by the attached claims. .

手続補正書 昭和59年2月ρ日 PCT/uS 83100677 2 発明の名称 改良型無線層成し−デポングシステム 3、補正をする者 事件との関係 特′:i−F呂卵人 名目・ ヒユーズ・エアクラフト・刀ンパ二一5 補正命令の日付 13s>059年1月31日 国際調査報告 特表昭59−500743(5ンProcedural amendment February ρ, 1982 PCT/uS 83100677 2 Name of the invention Improved Wireless Layering - Deponging System 3. Person who makes corrections Relationship with the incident: Special: i-F Roto Nominal name/Fuse/Aircraft/Tampa 215 Date of amendment order 13s>January 31, 059 international search report Special table 59-500743 (5th edition)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、レーザ空胴のインピーダンスをRFエネルギ源とマツチングさせる可変イン ピーダンスマツチング手段をMするレーデ電源において、 前記レーデ空胴のインピーダンス変化を検出する手段と: 前記レーデ空胴のインピーダンスの検出された変化に応答して前記可変インピー ダンスマツチング手段のインピーダンスを変更する手段とを有し、始動を高め、 最適エネルギ転送を容易にするように前記RF源が前記レーザ空胴に最適に結合 されたことを特徴とする改良されたレーザ電源。 2、前記可変インピーダンス手段は可変キャパシタを有することを特徴とする請 求の範囲1に記載のレーデ電源。 3、前記レーザ空胴のインピーダンス変化を検出する手段は方向性カプラを有し たこと・を特徴とする請求の範囲2に記載のレーザ電源。 4、#記可変インピーダンスマツチング手段のインピーダンスを変更する手段は 前記レーザ空胴のインピーダンス変化に相当して前記可変キャパシタに増幅され たRF絶絶縁C信号を供給する手段を有したことを特徴とする請求の範囲3に記 載のレーデ電源。 5、可変キヤ・母シタをNL、RFエネルギ源にレーザ空胴のインピーダンスを マツチングさせる可変インピーダンスマツチング手段と; 方向性カプラを有し、前記、レーデ空、胴のインピーダンス変化を検出する手段 と; 前記レーザ空胴の検出されたインピーダンス変化に相当して前記可変キャパシタ に増幅されたRF絶絶縁れたDC信号を供給する手段を有し、前記可変キャパシ タのキク/4シタンスを変化させることにょシ前記マツチング手段のインピーダ ンスを変化させる手段とで構成される、始動の信頼性を高め、ガスレーザの駆動 を効率良く行う改良されたRFレーザポンプシステム。 6、前記レーデ空胴のインピーダンスをマツチングする手段は、インダクタとキ ャパシタヲ有したFLJ回路であることを特徴とする請求の範囲5に記載のシス テム。 7、前記レーザ空胴のインピーダンス変化を検出する手段はローノやヌフィルタ を有したことを特徴とする請求の範囲6に記載のシステム。 8、前記方向性カプラは一巻インダクタtaxしたことを特徴とする請求の範囲 7に記載のシステム。 9、前記インピーダンスマツチング手段のインピーダンスを変更する手段は増幅 器、RFチョークおよびフィードスルーキャパシタ’kNしたことを特徴とする 請求の範囲7に記載のシステム。 10.前記レーデ空胴のインピーダンス変イヒを検出する手段は前記ロー14ス フイルタの感度およびインピーダンスを制御する手段を更に有したことを特徴と する請求の範囲9に記載のシステム。 酋l書(内容蚤こ変更なし)[Claims] 1. Variable impedance to match the impedance of the laser cavity with the RF energy source In a radar power supply that uses M as a pedance matching means, means for detecting impedance changes in the Rade cavity; and: said variable impedance in response to a detected change in impedance of said Rade cavity; means for changing the impedance of the dance matching means to enhance starting; the RF source is optimally coupled to the laser cavity to facilitate optimal energy transfer; An improved laser power supply featuring: 2. The variable impedance means has a variable capacitor. Rede power source according to scope 1 of the request. 3. The means for detecting the impedance change of the laser cavity has a directional coupler. The laser power source according to claim 2, characterized in that: 4. The means for changing the impedance of the variable impedance matching means marked with # is is amplified by the variable capacitor corresponding to the impedance change of the laser cavity. The apparatus according to claim 3, further comprising means for supplying an RF isolated C signal. Rade power supply included. 5. Set the impedance of the laser cavity to the variable capacitor/mother NL and the RF energy source. variable impedance matching means for matching; Means having a directional coupler and detecting changes in impedance of the Rede cavity and the torso. and; the variable capacitor corresponding to the detected impedance change of the laser cavity; means for supplying an RF-isolated DC signal amplified by the variable capacitor; The impedance of the matching means used to change the resistance to increase the reliability of starting and drive the gas laser. An improved RF laser pump system that efficiently performs 6. The means for matching the impedance of the Rade cavity includes an inductor and a key. The system according to claim 5, which is an FLJ circuit having a capacitor. Tem. 7. The means for detecting the impedance change of the laser cavity is a Rono or Nufilter. 7. The system according to claim 6, comprising: 8. Claim characterized in that the directional coupler is a one-turn inductor tax. The system described in 7. 9. The means for changing the impedance of the impedance matching means is amplification. RF choke and feed-through capacitor'kN The system according to claim 7. 10. The means for detecting the change in impedance of the Rede cavity includes the low 14th stage. further comprising means for controlling the sensitivity and impedance of the filter. The system according to claim 9. Book of exhortations (contents not changed)
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