JPS5948953B2 - チタンおよびその合金の表面硬化法 - Google Patents

チタンおよびその合金の表面硬化法

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JPS5948953B2
JPS5948953B2 JP4920280A JP4920280A JPS5948953B2 JP S5948953 B2 JPS5948953 B2 JP S5948953B2 JP 4920280 A JP4920280 A JP 4920280A JP 4920280 A JP4920280 A JP 4920280A JP S5948953 B2 JPS5948953 B2 JP S5948953B2
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JP
Japan
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gas
titanium
surface hardening
alloys
working gas
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JP4920280A
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克美 室井
光明 羽田
秀雄 中江
健正 細谷
主人 高橋
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Koki Holdings Co Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Koki Co Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

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  • Metallurgy (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプラズマジェットによるチタンおよびその合金
の表面硬化法に関するものである。
チタンおよびその合金は比強度が高く、耐熱性、耐食性
に優れているが耐摩耗性に欠ける。したがつて摺動部材
として使用する際は何らかの表面硬化処理を施こさなけ
ればならない。従来、表面硬化法としては、例えばアル
ゴン等の不活性ガスに窒素ガスを添加してなるガスをプ
ラズマトーチに導入し、密閉した真空容器中で処理する
方法が採られていた。
しかしこの方法は真空中で行なうために真空容器や真空
ポンプ等を必要とするために装置が大がかりになり、ま
た作業・性も悪いなどの欠点があつた。本発明は上記に
鑑みてなしたもので、大気中で表面硬化を行なうことが
でき、もつて装置の小形化とともに、作業性も良好なチ
タンおよびその合金の表面硬化法を提供することを目的
とする。
フ 上記目的を達成するために本発明においては、加熱
用の熱源として熱の集中の良いプラズマジェットを用い
て素材を局部的に加熱し、その加熱部にプラズマトーチ
に導入した窒素ガスを吹きつけて反応させるようにした
ものである。この時、プ丁ラズマトーチに導入した窒素
ガスは高温プラズマアークにさらされて活性な窒素イオ
ンとなり、このイオンが加熱部に浸入し、素材は短時間
で十分な硬さを有するようになる。同時に本発明は局部
処理の為、処理部以外は熱変形・組織の変化がない。ま
たここで素材の表面処理の際、窒素あるいはアルゴンガ
ス等の不活性ガスあるいはその混合ガスなどをシールド
ガスとして流した理由は、素材を大気中の酸素からしや
断して酸化反応を防止するためである。作動ガスとして
の不活性ガスに対する前記プラズマトーチに導入した窒
素ガスの混合率は30%以下にする必要がある。
窒素ガスの混合率が30%を越えることはプラズマジェ
ットアークの発生が不安定になるので好ましくない。ま
た作動ガスの流量は101/Min以下であることが好
ましく、これを越えると処理後の素材表面粗さが悪くな
る。
作動ガスおよびシールドガスとして使用するガスの純度
は99.9%以上であることが好ましい。
これ以下であると素材表面の酸化が起こるので好ましく
ない。作動ガスおよびシールドガスに酸化防止を目的と
して水素ガスを混合することもチタンの脆化を招くので
好ましくない。プラズマジェットはその温度が高いので
、素材を溶融させることなく硬化するには冷却治具を用
いると効果的に処理できる。
その理由は、冷却することによつて加熱部以外の温度上
昇を抑制する5ことができ、このため加熱部以外では金
属組織の変化が防止されるからである。以下に本発明の
実施例を図によつて説明する。
本発明の表面処理においては、例えば図示するような構
造のトーチを用いることによつて効果的2におこなわれ
る。図において1はプラズマトーチでタングステン電極
2が固定されている。3はノズルで作動ガス吹きつけ用
の通路4が設けられている。
5はシールドキヤツプで、ノズル3とシールドガス通路
6を形成するようになつている。
上記構成のプラズマトーチを用いて作動ガス通路4から
窒素とアルゴンの混合ガスを、またシールドガス通路6
から窒素ガスを流して不活性雰囲気を形成し、大気から
素材7をしや断する。次にタングステン電極2とノズル
3の間に電流を流してプラズマジェット8を発生させる
。プラズマジェット8により素材を加熱し、同時にプラ
ズマジェットによりイオン化した窒素を噴出させて硬化
反応が促進される。この時、作動ガス4の窒素混合率は
前記理由によつて30%以下にする。また作動ガスの流
量も101/Min以下とし、さらに使用ガスの純度は
99.9%以上のものを使用する。実施例 1アーク電
流60A、作動ガス10%N2+90%Ar(流量11
/Min)、シールドガスN2(流量51/Min)で
プラズマジェットを発生させて板厚2cmTi6A1−
4V材に照射時間60秒で処理をおこなつた。
この時素材は素材7表面と同一の高さで素材の全周を水
冷銅治具で固定し、表面温度の上昇をおさえて処理した
。その結果、素材の表面硬さがビツカース硬度(荷重5
0gr)でHV3OOであつたものが、処理後はHvl
5OOとなり、顕著な効果があつた。実施例 2 アーク電流80A、作動ガスアルゴン(流量0.21/
Min)、シールドガスN2(流量101/Min)を
用いてプラズマジェットを発生させてチタン材に照射時
間30秒間処理をおこなつた。
このとき素材は実施例1と同様な冷却をおこなつて固定
した。その結果、素材表面の硬さはHvl8Oのものが
、処理後はHVl4OOとなつた。実施例 3 アーク電流80A、作動ガス5%N2+95%Ar(流
量101/Min)、シールドガスアルゴン(流量10
1/Min)を用いてプラズマジェットを発生させてT
i−6A1−4V材(板厚10mm)に照射時間10秒
で処理をおこなつたところ、素材表面の硬さは処理後H
Vl2OOとなつた。
この時素材は実施例1と同様に冷却固定した。以上説明
したように本発明によれば、加熱部分を不活性ガスでシ
ールドしながら表面硬化を行なうようにしたので真空容
器や真空ポンプなどが不要になるので装置が簡単になり
、また大気中で作業を行なうことができるので作業性も
良くなるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の表面硬化法により素材に処理を施す実施例
の説明図である。 1・・・・・・プラズマトーチ、2・・・・・・タング
ステン電極、3・・・・・・ノズル、4・・・・・・作
動ガス、5・・・・・・シールドキヤツプ、6・・・・
・・シールドガス。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 プラズマジェットで非溶融の状態で加熱しながら硬
    化するチタンおよびその合金の表面硬法において、大気
    より不活性ガスで加熱部分をシールドし、作動ガスとし
    て不活性ガスに30%以下の窒素ガスを添加したものを
    使用することを特徴とするチタンおよびその合金の表面
    硬化法。 2 作動ガスの流量が10l/min以下であることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載のチタンおよびそ
    の合金の表面硬化法。 3 作動ガスおよびシールドガスの純度を99.9%以
    上とすることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
    チタンおよびその合金の表面硬化法。 4 素材を冷却治具で固定するとともに冷却しながら表
    面を硬化することを特徴とする特許請求の範囲第3項記
    載のチタンおよびその合金の表面硬化法。
JP4920280A 1980-04-16 1980-04-16 チタンおよびその合金の表面硬化法 Expired JPS5948953B2 (ja)

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JPS56146877A JPS56146877A (en) 1981-11-14
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FR2661424B1 (fr) * 1990-04-27 1994-01-28 Pechiney Recherche Procede de nitruration superficielle d'une piece en alliage de titane et piece obtenue.
DE102004033342A1 (de) * 2004-07-09 2006-02-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung von verschleißbeständigen und ermüdungsresistenten Randschichten in Titan-Legierungen und damit hergestellte Bauteile

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