JPS5948053U - メカニカルチヤツク - Google Patents

メカニカルチヤツク

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Publication number
JPS5948053U
JPS5948053U JP14266682U JP14266682U JPS5948053U JP S5948053 U JPS5948053 U JP S5948053U JP 14266682 U JP14266682 U JP 14266682U JP 14266682 U JP14266682 U JP 14266682U JP S5948053 U JPS5948053 U JP S5948053U
Authority
JP
Japan
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mechanical chuck
claw
equalizing ring
wafer
jaw
Prior art date
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Application number
JP14266682U
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JPS6211002Y2 (ja
Inventor
勝義 工藤
正博 高木
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Landscapes

  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のメカニカルチャックを適用した半導体
製造装置の一部切欠した縦断面図、第２図は、第１図の
Ａ−Ａ親子面図、第３図は、第１図のＢ−Ｂ視断面図、
第４図は、本考案によるメカニカルチャックの爪近傍の
正面図である。 １０・・・・・・メカニカルチャック、１１・・・・・
・駆動部、１２・・・・・・軸、Ｌ４・・・・・・爪、
１５・・ｉ・・・爪ガイド具、２０・・・・・・均一化
リング、２１・・・・・・爪ガイド溝、２２・・・・・
・ガイド面、２３・・・・・・ガイド溝、３０・・・・
・・１［極、３１・・・・・・ウェーハのせ台。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　爪ガイド溝が設けられた均一化リング内にウェーハ
    を爪で掴み搬入並に前記均一化リング内から搬出するメ
    カニカルチャックにおいて、前記爪ガイド溝と対応して
    前記爪に爪ガイド具を設けたことを特徴とするメカニカ
    ルチャック。 ２　前記爪ガイド具を、前記爪と一体に形成した実用新
    案登録請求の範囲第１項記載のメカニカルチャック。
JP14266682U 1982-09-22 1982-09-22 メカニカルチヤツク Granted JPS5948053U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14266682U JPS5948053U (ja) 1982-09-22 1982-09-22 メカニカルチヤツク

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JP14266682U JPS5948053U (ja) 1982-09-22 1982-09-22 メカニカルチヤツク

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5948053U true JPS5948053U (ja) 1984-03-30
JPS6211002Y2 JPS6211002Y2 (ja) 1987-03-16

Family

ID=30318703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14266682U Granted JPS5948053U (ja) 1982-09-22 1982-09-22 メカニカルチヤツク

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Country Link
JP (1) JPS5948053U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010253624A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Ihi Corp ワーク設置装置とワーク設置方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010253624A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Ihi Corp ワーク設置装置とワーク設置方法

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Publication number Publication date
JPS6211002Y2 (ja) 1987-03-16

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