JPS5942666Y2 - Photometric device for light emitting elements - Google Patents

Photometric device for light emitting elements

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JPS5942666Y2
JPS5942666Y2 JP1977094956U JP9495677U JPS5942666Y2 JP S5942666 Y2 JPS5942666 Y2 JP S5942666Y2 JP 1977094956 U JP1977094956 U JP 1977094956U JP 9495677 U JP9495677 U JP 9495677U JP S5942666 Y2 JPS5942666 Y2 JP S5942666Y2
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JP
Japan
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optical fiber
light
light emitting
electrode
emitting element
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JP1977094956U
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Japanese (ja)
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JPS5422576U (en
Inventor
隆美 寺嶋
Original Assignee
サンケン電気株式会社
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Publication date
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、発光ダイオード、エレクトロルミネセンス等
の発光素子の発光状態を調べるための測光装置に関し、
更に詳細には、測光を能率的且つ高精度に行うことが可
能な測定端子を備えた測光装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a photometric device for examining the light emitting state of light emitting elements such as light emitting diodes and electroluminescence.
More specifically, the present invention relates to a photometry device equipped with a measurement terminal that can perform photometry efficiently and with high precision.

従来の発光素子用測光装置は、第1図に示す如く下側電
極板1上の発光素子2に電極探針3を接触させ、電源4
に基づいて発光素子2に電流を流し、発光素子2から放
射される光を集光レンズ5を介して光電変換器6にて検
知するように構成されている。
In the conventional photometric device for light emitting elements, as shown in FIG. 1, an electrode probe 3 is brought into contact with a light emitting element 2 on a lower electrode plate 1,
A current is applied to the light emitting element 2 based on the current, and the light emitted from the light emitting element 2 is detected by a photoelectric converter 6 via a condensing lens 5.

尚この装置に於いては、レンズ5の焦点位置を発光素子
2の表面に略一致させ、発光素子2から放射させる光の
みを光電変換器6に導くように構成されている。
In this device, the focal position of the lens 5 is made to substantially coincide with the surface of the light emitting element 2, so that only the light emitted from the light emitting element 2 is guided to the photoelectric converter 6.

このように構成された装置であっても勿論測光は可能で
あるが、電極探針3及びこれを支持する支持部7のため
に、受光装置8のレンズ5を発光素子2に近づけること
が困難である。
Although photometry is of course possible with a device configured in this way, it is difficult to bring the lens 5 of the light receiving device 8 close to the light emitting element 2 because of the electrode probe 3 and the support section 7 that supports it. It is.

従って受光装置8の最大入射角θを大きくすることが不
可能となり、測光量の増大は望めない。
Therefore, it becomes impossible to increase the maximum angle of incidence θ of the light receiving device 8, and an increase in the amount of photometry cannot be expected.

またレンズ5の焦点を発光素子20表面に合せる作業が
必要となり、能率的な測定が不可能である。
Furthermore, it is necessary to focus the lens 5 on the surface of the light emitting element 20, making efficient measurement impossible.

そこで、本考案の目的は測定を能率的且つ高精度に行う
ことが可能な発光素子の測光装置を提供することにある
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a photometric device for light emitting elements that can perform measurements efficiently and with high precision.

上記目的を達成するための本考案は、発光素子に給電す
るための針状電極と、前記発光素子から放射された光を
導くためのオプティカルファイバと、前記オプティカル
ファイバで導かれた光を電気信号に変換する光電変換器
とから成り、且つ前記針状電極と前記オプティカルファ
イバとが同時に移動できるように一体化され、且つ前記
オプティカルファイバの光入射端面が前記針状電極を環
状に囲むように配置され、且つ前記針状電極の先端が前
記受光端面から突出するように配置されていることを特
徴とする発光素子用測光装置に係わるものである。
To achieve the above object, the present invention includes a needle-shaped electrode for feeding power to a light-emitting element, an optical fiber for guiding light emitted from the light-emitting element, and an electrical signal for converting the light guided by the optical fiber into an electrical signal. and a photoelectric converter for converting the acicular electrode into a photoelectric converter, the acicular electrode and the optical fiber are integrated so as to be able to move simultaneously, and the optical fiber is arranged such that the light incident end surface of the optical fiber surrounds the acicular electrode in an annular manner. The present invention relates to a photometric device for a light-emitting element, characterized in that the tip of the needle-like electrode is arranged so as to protrude from the light-receiving end surface.

上記考案によれば次の作用効果が得られる○(−r)針
状電極とオプティカルファイバとが一体化されているの
で、発光素子の測光を容易且つ能率的に行うことが出来
る。
According to the above invention, the following effects can be obtained. Since the (-r) needle electrode and the optical fiber are integrated, photometry of the light emitting element can be carried out easily and efficiently.

(ロ)オプティカルファイバの光入射端面が針状電極を
環状に囲むように配置されているので、発光素子から放
射した光を集める能力が大となり、測定精度を向上させ
ることが出来る。
(b) Since the light incident end face of the optical fiber is arranged so as to surround the needle-shaped electrode in an annular manner, the ability to collect light emitted from the light emitting element is increased, and measurement accuracy can be improved.

(ハ)針状電極をオプティカルファイバの端面から突出
させたので、発光素子に対して電極を容易且つ確実に接
触させることが可能になり、且つ発光素子からオプティ
カルファイバの端面までの距離が電極の突出量で決定さ
れ、測定条件を容易に揃えることが出来る。
(c) Since the needle-shaped electrode is made to protrude from the end face of the optical fiber, it is possible to easily and reliably bring the electrode into contact with the light emitting element, and the distance from the light emitting element to the end face of the optical fiber is smaller than that of the electrode. It is determined by the amount of protrusion, and measurement conditions can be easily aligned.

以下、第2図を参照して本考案の1実施例に係わる測光
装置を説明すると、下側電極板11の上に載置された発
光ダイオード12に接触するチタン製電極探針13は光
導体としてのオプティカルファイバ14に囲まれ且つ保
持された状態に配置されている。
Hereinafter, a photometric device according to an embodiment of the present invention will be explained with reference to FIG. It is surrounded and held by optical fibers 14 as shown in FIG.

測定端子10は電極探針13及びオプティカルファイバ
14を外枠15で一体に保持することによって構成され
、移動機構(図示せず)によって上下及び左右に移動可
能である。
The measurement terminal 10 is constructed by holding an electrode probe 13 and an optical fiber 14 together with an outer frame 15, and is movable vertically and horizontally by a moving mechanism (not shown).

電極探針13はリード線16を介して電源17に接続さ
れ、また発光ダイオード12の下面電極に接触している
下側電極板11が電源17に接続されているので、測定
端子10の移動で電極探針13を発光ダイオード12の
上面電極に接触させることによって、発光ダイオード1
2に電流が流れ、発光状態となる。
The electrode probe 13 is connected to a power source 17 via a lead wire 16, and the lower electrode plate 11, which is in contact with the lower electrode of the light emitting diode 12, is connected to the power source 17. By bringing the electrode probe 13 into contact with the top electrode of the light emitting diode 12, the light emitting diode 1
2, a current flows through it and it becomes in a light emitting state.

発光ダイオード12から放射された光は電極探針13を
囲むオプティカルファイバ14に入射し、オプティカル
ファイバ14に導かれて光電変換器18に至り、ここで
光量が電気量に変換される。
The light emitted from the light emitting diode 12 enters the optical fiber 14 surrounding the electrode probe 13, is guided by the optical fiber 14, and reaches the photoelectric converter 18, where the amount of light is converted into an amount of electricity.

本実施例の装置の各部の寸法を示せば、電極探針13の
直径が0.2itt、オプティカルファイバ14によっ
て形成される円の直径即ち円筒状外枠15の内径が1.
31111オプテイカルフアイバ14の端面13aから
電極探針13の先端まで距離即ち電極探針13の突出量
が0.15mである。
The dimensions of each part of the device of this embodiment are as follows: The diameter of the electrode probe 13 is 0.2 itt, and the diameter of the circle formed by the optical fiber 14, that is, the inner diameter of the cylindrical outer frame 15 is 1.
The distance from the end surface 13a of the 31111 optical fiber 14 to the tip of the electrode probe 13, that is, the amount of protrusion of the electrode probe 13, is 0.15 m.

上述の如く構成された装置に於いて、オプティカルファ
イバ14に入射する光のうち入射角の大きい光は外に出
てしまい、有効に伝送されず、入射光300以内の光の
みが有効に伝送される。
In the device configured as described above, of the light incident on the optical fiber 14, light with a large angle of incidence exits and is not effectively transmitted, and only light within 300 degrees of incident light is effectively transmitted. Ru.

従って最大入射角θは30°であり、従来の測光装置の
最大入射角P に比較して大である。
Therefore, the maximum angle of incidence θ is 30°, which is larger than the maximum angle of incidence P of the conventional photometric device.

とこわで、最大入射角θと受光部分に於ける立体角Ωと
の関係は、 Ω=2π(1−cosθ) で表わされるので、従来装置の立体角をΩ1、本実施例
の装置の立体角をΩ2とすれば、 Ω1 =2 rc (1−cos5°)=0.0239
Ω2 =2 π(1−cos30°) = 0.842
となり、これから Ω2 m−35・2 が得られる○従って本考案によって立体角を35倍にす
ることが出来る0しかし、オプティカルファイバ14を
用いるため、立体角Ω2に入射した光の全部が光電変換
器18に到達しない。
However, since the relationship between the maximum incident angle θ and the solid angle Ω at the light receiving part is expressed as Ω=2π(1-cosθ), the solid angle of the conventional device is Ω1, and the solid angle of the device of this embodiment is If the angle is Ω2, Ω1 = 2 rc (1-cos5°) = 0.0239
Ω2 = 2 π(1-cos30°) = 0.842
Therefore, the solid angle can be increased by 35 times with this invention.0 However, since the optical fiber 14 is used, all of the light incident on the solid angle Ω2 is transmitted to the photoelectric converter. Does not reach 18.

受光部の断面積に於いてオプティカルファイバとして有
効に働く部分Sは約60係であり、オプティカルファイ
バ14の両端面での反射による損失を考慮した両端面で
の透過率rは約80係であり、オプティカルファイバ1
4中での光の減衰を考慮した長さ30cIrLのオプテ
ィカルファイバ中の透過率qは約80%である。
In the cross-sectional area of the light-receiving section, the portion S that effectively functions as an optical fiber is about 60 factors, and the transmittance r at both end surfaces of the optical fiber 14, taking into account loss due to reflection at both end surfaces, is about 80 factors. , optical fiber 1
The transmittance q in an optical fiber having a length of 30 cIrL is about 80%, taking into account the attenuation of light in the optical fiber.

従って、オプティカルファイバを用いることによって、
5XrXq=0.384の比率で変量が減少する。
Therefore, by using optical fiber,
The variable decreases at a ratio of 5XrXq=0.384.

この光量の減少を考慮して従来の装置と本実施例の装置
とを比べると、Ω2 nt X5XrXq =l 3°5 となる。
When the conventional device and the device of this embodiment are compared in consideration of this decrease in the amount of light, Ω2 nt X5XrXq = l 3°5.

この関係から明らかなように本実施例の装置による測光
量は従来の装置の測光量の10倍になる。
As is clear from this relationship, the amount of photometry by the device of this embodiment is ten times that of the conventional device.

測光量が太きいということは測定精度を高めることが可
能であることを意味する。
A large photometric amount means that measurement accuracy can be improved.

本実施例の装置は上述の利点の他に、操作が容易で能率
的に測定することが出来るという利点を有する。
In addition to the above-mentioned advantages, the apparatus of this embodiment has the advantage that it is easy to operate and can perform measurements efficiently.

即ち、電極探針13と受光部としてのオプティカルファ
イバ14とが一体化されており、電極探針13を発光ダ
イオード12に接触されると同時にオプティカルファイ
バ14も所定位置となるので、従来のように測光のため
のレンズの焦点調整等が不要となり、能率的測光が可能
となる。
That is, the electrode probe 13 and the optical fiber 14 as a light receiving part are integrated, and the optical fiber 14 is also in a predetermined position at the same time as the electrode probe 13 is brought into contact with the light emitting diode 12. There is no need to adjust the focus of the lens for photometry, and efficient photometry becomes possible.

また光導体として実施例のようにオプティカルファイバ
14を使用すれば、発光ダイオード12に於ける光度分
布を調べることも可能になる。
Furthermore, if the optical fiber 14 is used as the light guide as in the embodiment, it is also possible to examine the luminous intensity distribution in the light emitting diode 12.

以上本考案の1実施例に付いて述べたが、本考案は上述
の実施例に限定されるものではなく、更に変形可能なも
のである。
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment and can be further modified.

例えば、外枠15の途中からリード線16及びオプティ
カルファイバ14を導出せずに、第4図に示す如く電極
探針13を上端から導出し、また光電変換器18を上端
に設け、オプティカルファイバ14に垂直に光を導いて
もよい。
For example, instead of leading out the lead wire 16 and the optical fiber 14 from the middle of the outer frame 15, the electrode probe 13 is led out from the upper end as shown in FIG. The light may be guided perpendicular to the

また光導体としてオプテイカルファイバ14以外の光伝
送媒体を使用してもよい。
Furthermore, optical transmission media other than optical fiber 14 may be used as the light guide.

また光導体が可撓性を有していれば好都合であるが、可
撓性を有していなくとも使用可能である。
Further, it is advantageous if the light guide has flexibility, but it can also be used even if it does not have flexibility.

可撓性を有していない場合には、例えば、下側電極板1
1を可動構造等にして使用する。
If it does not have flexibility, for example, the lower electrode plate 1
1 is used as a movable structure.

また本実施例の測光装置は、発光ダイオードに限ること
なく、電極探針13を電圧印加に使用してエレクトロル
ミネセンス等の測定にも使用可能であるし、更にウェハ
状態での発光ダイオードの測光にも使用可能である。
Furthermore, the photometry device of this embodiment is not limited to light-emitting diodes, and can also be used to measure electroluminescence by using the electrode probe 13 for voltage application, and can also be used for photometry of light-emitting diodes in a wafer state. It can also be used for

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の測光装置を概略的に示す正面図、第2図
は本考案の1実施例に係わる測光装置を概略的に示す一
部縦断正面図、第3図は受光部を概略的に示す底面図、
第4図は測光装置の変形例を示す縦断面図である。 尚図面に用いられている符号に於いて、10は測定端子
、11は下側電極、12は発光ダイオード、13は電極
探針、14はオプティカルファイバ 15は外枠、16
はリード線、17は電源、18は光電変換器である。
Fig. 1 is a front view schematically showing a conventional photometry device, Fig. 2 is a partially vertical front view schematically showing a photometry device according to an embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a schematic view of a light receiving section. Bottom view shown in
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a modification of the photometric device. In the symbols used in the drawings, 10 is a measurement terminal, 11 is a lower electrode, 12 is a light emitting diode, 13 is an electrode probe, 14 is an optical fiber, 15 is an outer frame, 16
17 is a lead wire, 17 is a power supply, and 18 is a photoelectric converter.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 発光素子に給電するための針状電極と、前記発光素子か
ら放射された光を導くためのオプティカルファイバと、
前記オプティカルファイバで導かれた光を電気信号に変
換する光電変換器とから成り、且つ前記針状電極と前記
オプティカルファイバとが同時に移動できるように一体
化され、且つ前記オプティカルファイバの光入射端面が
前記針状電極を環状に囲むように配置され、且つ前記針
状電極の先端が前記受光端面から突出するように配置さ
れていることを特徴とする発光素子用測光装置0
a needle-like electrode for feeding power to a light emitting element; an optical fiber for guiding light emitted from the light emitting element;
a photoelectric converter that converts light guided by the optical fiber into an electrical signal, and the needle electrode and the optical fiber are integrated so that they can move simultaneously, and the light incident end surface of the optical fiber is A photometric device for a light emitting element 0, characterized in that the needle-like electrode is arranged so as to surround the needle-like electrode in an annular manner, and the tip of the needle-like electrode is arranged so as to protrude from the light-receiving end surface.
JP1977094956U 1977-07-16 1977-07-16 Photometric device for light emitting elements Expired JPS5942666Y2 (en)

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JPS5422576U JPS5422576U (en) 1979-02-14
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JPS5422576U (en) 1979-02-14

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