JPS5932874A - 表面電位検出装置 - Google Patents
表面電位検出装置Info
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- JPS5932874A JPS5932874A JP14387182A JP14387182A JPS5932874A JP S5932874 A JPS5932874 A JP S5932874A JP 14387182 A JP14387182 A JP 14387182A JP 14387182 A JP14387182 A JP 14387182A JP S5932874 A JPS5932874 A JP S5932874A
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- electric
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/24—Arrangements for measuring quantities of charge
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子写真復゛り装置（Ｊ−お（ｊる感光体４
「どの表面電位を非接触Ｃ測定りるｌ、二めの表面電位
検出装面に関４る。
「どの表面電位を非接触Ｃ測定りるｌ、二めの表面電位
検出装面に関４る。
従来、表面電位を非接触Ｃ゛測定ｊるには、被検出表面
からの電気力線をチコツビングし、このブ］ツビ〕／ゲ
さ１１． ／、−電気力線から出力を取り出’４’ １
５法がよく用いられ（いる。具体的に（３ｔ、例λは１
、”■開明５５−４４４４ｉ５６号に示されているよう
（こ、］ｌ−スに被検出表面からの電気力線が通る窓を
設ｃノるどどちに窓とス・ｊ白しで電気力線を受りる検
出電極を設置、Ｊ 、この窓と検出電極との間に１−ド
ンバ？ｉｉ Ｊ４を設（Ｊ、このｆ−＋ツバ小枠を圧電
高叉１．： １振動さＩＪること（こ、１、す、検出電
極へ向かう電気力線をｌｌｉ続的（こしＩ）断し５、検
出電極から交流（菖弓どｌ）て出力を取り出４よ−”）
ｌニーＬＪたもの（−ある、１１）かし、上述した従
来の表面電（）ン検出装間は、電気力線を１ヨツ１コ゛
ングするようｔａ−シ（いるの（゛、電気力線の通る窓
が必すシとな−、）で、密閉措）査にＣ゛さくｒいとい
う欠点があり、例えは電子′り（゛Ａ複′す゛装置に用
いる場合、１へ１−などかノノース内（こ入りＡゝ〕り
く、検出電（＾ズヤ）圧電高叉（、旧忠Ｆ１．ｅ Ｐ
４−及Ｌ［Ｌ、、リークのｉｆｆ ｉｌＸゝ）感度低１
−４１？（＜どいつ問題が牛する。
からの電気力線をチコツビングし、このブ］ツビ〕／ゲ
さ１１． ／、−電気力線から出力を取り出’４’ １
５法がよく用いられ（いる。具体的に（３ｔ、例λは１
、”■開明５５−４４４４ｉ５６号に示されているよう
（こ、］ｌ−スに被検出表面からの電気力線が通る窓を
設ｃノるどどちに窓とス・ｊ白しで電気力線を受りる検
出電極を設置、Ｊ 、この窓と検出電極との間に１−ド
ンバ？ｉｉ Ｊ４を設（Ｊ、このｆ−＋ツバ小枠を圧電
高叉１．： １振動さＩＪること（こ、１、す、検出電
極へ向かう電気力線をｌｌｉ続的（こしＩ）断し５、検
出電極から交流（菖弓どｌ）て出力を取り出４よ−”）
ｌニーＬＪたもの（−ある、１１）かし、上述した従
来の表面電（）ン検出装間は、電気力線を１ヨツ１コ゛
ングするようｔａ−シ（いるの（゛、電気力線の通る窓
が必すシとな−、）で、密閉措）査にＣ゛さくｒいとい
う欠点があり、例えは電子′り（゛Ａ複′す゛装置に用
いる場合、１へ１−などかノノース内（こ入りＡゝ〕り
く、検出電（＾ズヤ）圧電高叉（、旧忠Ｆ１．ｅ Ｐ
４−及Ｌ［Ｌ、、リークのｉｆｆ ｉｌＸゝ）感度低１
−４１？（＜どいつ問題が牛する。
；１、た、Ｉノースを密閉（゛さ４「いの（、湿気４１
どＬＪ−Ｊ、−）でもリークの発作が起こりいりいもの
Ｃある。
どＬＪ−Ｊ、−）でもリークの発作が起こりいりいもの
Ｃある。
ま１．、：、電気力線の通る窓（、二月し、検出ｒ］て
（４ズ１゛）ｆ・１ツバ電極の取トＪ ＣＪ イＨン首
が４゛れるど出力レヘルか所定（１ｒ１より変化し、ｉ
Ｅ確４丁表向電（＋’ｌの測定がいぎ４１くなるのＣ１
検出電極、ブー１ツバ電極、１１電音叉の位置決めに慎
重さを要し７、作業能率が悪＜ ｌｒるという欠点！９
あった。
（４ズ１゛）ｆ・１ツバ電極の取トＪ ＣＪ イＨン首
が４゛れるど出力レヘルか所定（１ｒ１より変化し、ｉ
Ｅ確４丁表向電（＋’ｌの測定がいぎ４１くなるのＣ１
検出電極、ブー１ツバ電極、１１電音叉の位置決めに慎
重さを要し７、作業能率が悪＜ ｌｒるという欠点！９
あった。
（＼らＬＪ、検出電４４８ ｃ受ＤＪ ６７Ｔｉ 気力
Ｍ Ｕ） ｍ （ｌｉ！Ｉ７９う問題もある。
Ｍ Ｕ） ｍ （ｌｉ！Ｉ７９う問題もある。
１： ｉｌ シ／Ｓ： イＪ’ しの欠点も電気り線を
ブ□＋ ツＬｋングし、ぞのブー１ツビングされた電気
り線にょ：′〕的接検川電用Ｆを１ｔｌようどし゛（い
るためＩ５−起ｃＺ ’＞ （いる。
ブ□＋ ツＬｋングし、ぞのブー１ツビングされた電気
り線にょ：′〕的接検川電用Ｆを１ｔｌようどし゛（い
るためＩ５−起ｃＺ ’＞ （いる。
じ／、−がっ（、本発明は、電気り線をブ］ツビングし
く表面電位４検出づ−るのｃ（ｒｔなく、被検出表面と
集電（１１ｉどの間に形成（きれる１ンｊンリｃ１ど直
列に、丹−電装置の振動で一容量を変化Ｃ″きる一］ン
−７” ン’） Ｃｒ ２をＫｕｌＪ、これうａ）直列
−１ン−１” ン’Ｊ Ｃ＋Ｃ２による容量分割型どじ
一１ンｊ゛ン）ノｃρにかかる電Ｌ「を月電装首の撮動
（パ取り出（バ検出′ｒｌ璽１−にづるどと６に、集電
極を誘電体根土」こ設（］、この、ｉ理小理水１木をｊ
Ｊ） ？［ｉ ４４ｉがグーλ内Ｌ ’＋（る」、）（
、ニシールド々−λの聞］１部（、二数（＝Ｉ ｌｌＩ
、−ちの（ある。
く表面電位４検出づ−るのｃ（ｒｔなく、被検出表面と
集電（１１ｉどの間に形成（きれる１ンｊンリｃ１ど直
列に、丹−電装置の振動で一容量を変化Ｃ″きる一］ン
−７” ン’） Ｃｒ ２をＫｕｌＪ、これうａ）直列
−１ン−１” ン’Ｊ Ｃ＋Ｃ２による容量分割型どじ
一１ンｊ゛ン）ノｃρにかかる電Ｌ「を月電装首の撮動
（パ取り出（バ検出′ｒｌ璽１−にづるどと６に、集電
極を誘電体根土」こ設（］、この、ｉ理小理水１木をｊ
Ｊ） ？［ｉ ４４ｉがグーλ内Ｌ ’＋（る」、）（
、ニシールド々−λの聞］１部（、二数（＝Ｉ ｌｌＩ
、−ちの（ある。
Ｌス＋、本発明の実倫例４図面を匈照（−７））訂ｊボ
づる。
づる。
第１図（ご（（３い（、シール１−゛効宋４−Ｏ１，１
１ジノ、−金属ノ７−ス １ｑ）１而（、二間［−１部
１ａが形成ε＼れ、１′ルミＪ、酸化ブタン、複合酸化
物などがＩ・）本゛る誘ｆｌ−ｉ ｆ本（ル２が聞１１
部１８リド）ように１７〜ス１の内側がＩ−）取（ＮＩ
Ｌ−Ｊ ラｔ＋、 Ｃイル、 Ｌ７． （７） 誘電体
１１！２ ＣＬ Ｌｊ、／、−） 内ヲ向く面１（Ｊ集
電（４］３が形成されている。圧電ｊ１叉４は、？１叉
脚４ａ、４１）の而が集電４？ｆｉ ３ ト平１−Ｊ
ＬＬ ’、’Ｋ ル、、ｌ、うに、脚４ａ、４１）ど一
体向に析曲げ成１丁ヨされｌ、二点持部４Ｃ１４（１じ
より、回路間４ル芝）に取イ・１；、ＪＩうれ（いる、
。
１ジノ、−金属ノ７−ス １ｑ）１而（、二間［−１部
１ａが形成ε＼れ、１′ルミＪ、酸化ブタン、複合酸化
物などがＩ・）本゛る誘ｆｌ−ｉ ｆ本（ル２が聞１１
部１８リド）ように１７〜ス１の内側がＩ−）取（ＮＩ
Ｌ−Ｊ ラｔ＋、 Ｃイル、 Ｌ７． （７） 誘電体
１１！２ ＣＬ Ｌｊ、／、−） 内ヲ向く面１（Ｊ集
電（４］３が形成されている。圧電ｊ１叉４は、？１叉
脚４ａ、４１）の而が集電４？ｆｉ ３ ト平１−Ｊ
ＬＬ ’、’Ｋ ル、、ｌ、うに、脚４ａ、４１）ど一
体向に析曲げ成１丁ヨされｌ、二点持部４Ｃ１４（１じ
より、回路間４ル芝）に取イ・１；、ＪＩうれ（いる、
。
圧電音叉４０隼電忰３に近い側の脚４ａは（１！！の脚
旧）よりい、Ｌｌ ＜ １７４成さ４１．ぞの部分に絶
縁（ル（（が占ｊ“１４ｅ、４ ｆ ４１１自１１０１
” ’（Ｉｌｌ！ ｒ；Ｉ【ｌられ（イル。絶縁扱６（
コは隼７七（り１３ど文・Ｉ向りる。Ｊ、う（、ニー１
ンランリ７［Ｎ＠ｉ ７が形成され（いる。集電棒３
と被検出表面どの間（二１ンｊ゛ンリＣＩがｉ（Ｉ成さ
れ、集電１ｊｊ ３と１ジノ゛ンり電極 ７どの間で１
１変−）ン７゛ンリｃ２が構成ε＼れケース１０聞ｈ（
端（コバ、端子ｒヒシ９．１０．１１．１２を０通固定
し〕σ二裏蓋８が取（＝Ｉ ｉ、ｌＪ Ｉｌｌ ｔｌＣ
いる。回路阜楡！１（ごｔａ伝号処叩回路１ｂ１１電盲
叉川１’ｆｌ振回路が設（］ら４Ｉ、この回路ＪＨｔ板
５は端子ビンり、１０．１Ｌ１２（ご電気的かつ機械的
に接続されＣいる。−１ン１゛ンリ電１！Ｉ７は信弓処
理回路の所定の１）ｉ；了に接続きれ、圧電膜や）音叉
本体は発振回路の所定の端子（・−接続され４いる。同
図（Ｃ） ４．１本実施例（ＪＪ、る表面電位検出装置
を集電極３か被検出表面（、二対向に１６３１、′）に
取イーＪ ｉｊ／、ＯＬ際の＠ ｌｌＩｌｉ回路を承り
。［１ｆ１図（Ｊおいで、１３は仁弓処理回路を示しＣ
いる。
旧）よりい、Ｌｌ ＜ １７４成さ４１．ぞの部分に絶
縁（ル（（が占ｊ“１４ｅ、４ ｆ ４１１自１１０１
” ’（Ｉｌｌ！ ｒ；Ｉ【ｌられ（イル。絶縁扱６（
コは隼７七（り１３ど文・Ｉ向りる。Ｊ、う（、ニー１
ンランリ７［Ｎ＠ｉ ７が形成され（いる。集電棒３
と被検出表面どの間（二１ンｊ゛ンリＣＩがｉ（Ｉ成さ
れ、集電１ｊｊ ３と１ジノ゛ンり電極 ７どの間で１
１変−）ン７゛ンリｃ２が構成ε＼れケース１０聞ｈ（
端（コバ、端子ｒヒシ９．１０．１１．１２を０通固定
し〕σ二裏蓋８が取（＝Ｉ ｉ、ｌＪ Ｉｌｌ ｔｌＣ
いる。回路阜楡！１（ごｔａ伝号処叩回路１ｂ１１電盲
叉川１’ｆｌ振回路が設（］ら４Ｉ、この回路ＪＨｔ板
５は端子ビンり、１０．１Ｌ１２（ご電気的かつ機械的
に接続されＣいる。−１ン１゛ンリ電１！Ｉ７は信弓処
理回路の所定の１）ｉ；了に接続きれ、圧電膜や）音叉
本体は発振回路の所定の端子（・−接続され４いる。同
図（Ｃ） ４．１本実施例（ＪＪ、る表面電位検出装置
を集電極３か被検出表面（、二対向に１６３１、′）に
取イーＪ ｉｊ／、ＯＬ際の＠ ｌｌＩｌｉ回路を承り
。［１ｆ１図（Ｊおいで、１３は仁弓処理回路を示しＣ
いる。
次（、＝動イ’ｆ’ １ｌｉｊ叩（、二）い（説明（Ｊ
る１、被（■出表面１．二高電圧か印加されると、その
高電イず７の表面からの電気力線かＲ，Ｎ ′ｆ”ｌｉ
体倣２を通１−１］（集電極３（４二ｆｉｌｌ ：ｂす
、−プ’ｊ （１） ＋り変−１ンノ′ンリ電極ど４ｆ
る集電（ウス３ど−Ｉンγンリ電極 ７間に電荷が蓄積
さ１する。イＬ ｔ’ 、 ＬＪ電音叉４を駆動しで二
］ンデンリ電を船７を振動さ１１゜（電極３．７間距隙
１なわら容量を変化さ１ジるど、ぞ−の容量変化（４二
」、り電荷が光放電され、でれ（こ基づく電気イハ号が
電Ｉ（Ｉ＋！効Ｔトランジスタ［−１−１に加わり、こ
の電Ｗ効宋１−フンジスタＦト■から増幅器を通し−（
倹用電１（が取出さ１′するぞ）のＣ゛（（うる。
る１、被（■出表面１．二高電圧か印加されると、その
高電イず７の表面からの電気力線かＲ，Ｎ ′ｆ”ｌｉ
体倣２を通１−１］（集電極３（４二ｆｉｌｌ ：ｂす
、−プ’ｊ （１） ＋り変−１ンノ′ンリ電極ど４ｆ
る集電（ウス３ど−Ｉンγンリ電極 ７間に電荷が蓄積
さ１する。イＬ ｔ’ 、 ＬＪ電音叉４を駆動しで二
］ンデンリ電を船７を振動さ１１゜（電極３．７間距隙
１なわら容量を変化さ１ジるど、ぞ−の容量変化（４二
」、り電荷が光放電され、でれ（こ基づく電気イハ号が
電Ｉ（Ｉ＋！効Ｔトランジスタ［−１−１に加わり、こ
の電Ｗ効宋１−フンジスタＦト■から増幅器を通し−（
倹用電１（が取出さ１′するぞ）のＣ゛（（うる。
本実施例（こおい（、集電忰３の面（＾を （１、４Ｌ
ｌ Ｃ： ｍ”、１ンアンリ電（１５Ｉ７の面悄を０．
２！１ｃｍ２、集電（市３と被検出表面との間隔を ３
． Ｏｃｍ 、 ニー１ンデンリ電ｔｒｉ ７が振動
Ｌノ’ｔＫいどさの隼１看極 ３ど］ンｉ’ ７．／す
′電極７との間隔を ０．１４ｃｍ、Ｖｃｃ ＝ｉ５Ｖ
ど（ツノ、こと辷＼。
ｌ Ｃ： ｍ”、１ンアンリ電（１５Ｉ７の面悄を０．
２！１ｃｍ２、集電（市３と被検出表面との間隔を ３
． Ｏｃｍ 、 ニー１ンデンリ電ｔｒｉ ７が振動
Ｌノ’ｔＫいどさの隼１看極 ３ど］ンｉ’ ７．／す
′電極７との間隔を ０．１４ｃｍ、Ｖｃｃ ＝ｉ５Ｖ
ど（ツノ、こと辷＼。
被（Φ出表面の電位（、二対りる検出電灯（同図（０）
の出力端ｒ１４の電１１−）は第６図の、」、−′ｌ
Ｇｓ、 ’ｔ’ｃ−）た、７同図り目ら明らかな、１；
うに、被検出電イ）／にλ・ｌ ｉする検出電灯が白線
的に変化づるので−１１（１られ）、二検出電ｆ’Ｆか
ら被検出電圧を直読りるＪとが（゛さる１゜さ”＞ Ｉ
−二本実施例（こまれは、密閉＋Ｍ造（ご構成（きるの
Ｃ，複’ｊ’ ｌ！Ｑの静電トー１１１０表面電イ）７
のＩＦ １８触測定（こ奉賛ｈ′を用い１５−どき、ｉ
−ノーなどがツノ゛−ス１内（、、Ｉ侵入づることがな
く、リーク発〈１−ヤ）感度（１（下がない。特に集電
ｔｌＶ１３が７７−ス １内（・二１１ゾめら１１、電
極が々−ス １のりｌ側に一切露出し４ｊ：いＩＭ ”
；ｔ〜（（１りるため、リーク発ノｌ−の防庄に（。Ｌ
♀（ｉ汎４Ｉ′効果が（（う、？′、）、１ノから、畜
１’ｌ Ｉ／４ ；り１のツノ−４１内（１−９計ＩＭ
）Ｊス４１ど４ｔ１人１．（お・（と、リークＲ’ｔ
Ｌま青無どイする。」、Ｉ、二、被検出表面からのγｂ
゛気力線４舐宙休根２４通じ（イ１、電極３ ｔ、Ｊ
＋１１１λる。１、）（、ミシ（いるの（、集″市（４
！３と１ンＩンリ電極 ７間に蓄梢される電？ｍ Ｍが
１１！１人し、検出宵月を人きくりることが（きる。
の出力端ｒ１４の電１１−）は第６図の、」、−′ｌ
Ｇｓ、 ’ｔ’ｃ−）た、７同図り目ら明らかな、１；
うに、被検出電イ）／にλ・ｌ ｉする検出電灯が白線
的に変化づるので−１１（１られ）、二検出電ｆ’Ｆか
ら被検出電圧を直読りるＪとが（゛さる１゜さ”＞ Ｉ
−二本実施例（こまれは、密閉＋Ｍ造（ご構成（きるの
Ｃ，複’ｊ’ ｌ！Ｑの静電トー１１１０表面電イ）７
のＩＦ １８触測定（こ奉賛ｈ′を用い１５−どき、ｉ
−ノーなどがツノ゛−ス１内（、、Ｉ侵入づることがな
く、リーク発〈１−ヤ）感度（１（下がない。特に集電
ｔｌＶ１３が７７−ス １内（・二１１ゾめら１１、電
極が々−ス １のりｌ側に一切露出し４ｊ：いＩＭ ”
；ｔ〜（（１りるため、リーク発ノｌ−の防庄に（。Ｌ
♀（ｉ汎４Ｉ′効果が（（う、？′、）、１ノから、畜
１’ｌ Ｉ／４ ；り１のツノ−４１内（１−９計ＩＭ
）Ｊス４１ど４ｔ１人１．（お・（と、リークＲ’ｔ
Ｌま青無どイする。」、Ｉ、二、被検出表面からのγｂ
゛気力線４舐宙休根２４通じ（イ１、電極３ ｔ、Ｊ
＋１１１λる。１、）（、ミシ（いるの（、集″市（４
！３と１ンＩンリ電極 ７間に蓄梢される電？ｍ Ｍが
１１！１人し、検出宵月を人きくりることが（きる。
次（・＼第２図−へ’ ｍ ｊ図の概略図４・勿照（−
２（他の実施例を１１（１明ｊＪる。なお、説明の便宜
−１前記実施例との相ｆｅ貞のみ述べる、。
２（他の実施例を１１（１明ｊＪる。なお、説明の便宜
−１前記実施例との相ｆｅ貞のみ述べる、。
第２図は、圧電装置どしノー（−１＋電１−二ｌ−ルノ
を用いｌ、−６のくあり１．二の月電−１’−” Ｌル
ノは例えは１ンｉ゛ンリ電捗１７が形成された円板状絶
縁性振動板＋ ｈ １．’二１１電し０７ミツク（ル１
６を貼りイ＝１ ｉｌで外周支１、うし、く二のｌンｊ
′ンリ電極１７を集電（４ｉ３に対向きＩＪるよ）にじ
（いる。
を用いｌ、−６のくあり１．二の月電−１’−” Ｌル
ノは例えは１ンｉ゛ンリ電捗１７が形成された円板状絶
縁性振動板＋ ｈ １．’二１１電し０７ミツク（ル１
６を貼りイ＝１ ｉｌで外周支１、うし、く二のｌンｊ
′ンリ電極１７を集電（４ｉ３に対向きＩＪるよ）にじ
（いる。
１記第１．２図記載の実施例においＣ１１１電休どじ（
７ＩＩ （’）などのスパッタリング膜−）＼〕１〕＼
／ ｌ） ｒ−１）＼／ ｌ二） ｌ−どＬｌ−電体粉
末とからなる複合４１利などの月電高分子膜を用いＣも
よい。ｌ’ Ｖ Ｌ） ｌ−を用いる１Ｍ合（３二は振
動板を高分子シー１− Ｃ偶成１するど、撤ｙ、７）
）■＋ｐが人２さく、どれ、検出感県が、１゛もり４Ｉ
−ろ３、月電装貿ど（７（は、］−述し２Ｉ、−ｔ）（
））（、−限Ｉ−′）マｆ、Ｉｉ持梁の月電ｒ”ｉ ！
１４：用い（ｔ）よく、リ一：（３ｔ、１８）Ｉンリ電
極をＩＮｉ勅さｌ！４ａ絹を変化（Ｊ＼る（）σ）（あ
ればいか４ｒる侶ｇｊ ｌあ−）（ε）よい。
７ＩＩ （’）などのスパッタリング膜−）＼〕１〕＼
／ ｌ） ｒ−１）＼／ ｌ二） ｌ−どＬｌ−電体粉
末とからなる複合４１利などの月電高分子膜を用いＣも
よい。ｌ’ Ｖ Ｌ） ｌ−を用いる１Ｍ合（３二は振
動板を高分子シー１− Ｃ偶成１するど、撤ｙ、７）
）■＋ｐが人２さく、どれ、検出感県が、１゛もり４Ｉ
−ろ３、月電装貿ど（７（は、］−述し２Ｉ、−ｔ）（
））（、−限Ｉ−′）マｆ、Ｉｉ持梁の月電ｒ”ｉ ！
１４：用い（ｔ）よく、リ一：（３ｔ、１８）Ｉンリ電
極をＩＮｉ勅さｌ！４ａ絹を変化（Ｊ＼る（）σ）（あ
ればいか４ｒる侶ｇｊ ｌあ−）（ε）よい。
′、Ａ：た、１記実施例（−゛（３０ｉｔ変−１シラ−
ンリＣ二）（７）１ノのｉ’ｉＹ ４４と（−）（ζ（
ミ電（Φ３を利用しくいるが、２￥（（（図に示り１、
〕（、二、独・＼’７ シた一タ・１の１ン−１゛ンリ
電１４１８．１１）を設置、１ 、ｊ’ｉ電装同装置２
０ｃ撤動！る。１、）（・二し）で６よく、この１ち４
合は集電１１Ｉｉ３が−ｌノの１ンｊ゛ンリ電極１８に
接続さ４１． 、 Ｉｌｌ２ ｊｊの一１ンｉ゛ンリ市
極１９が信号処理回路の電Ｗ効宋トランジスタ１）夕１
にリード１）続さね（いる１、１ンｆンリ電（！１１メ
（，１１）はぞれぞ１し絶縁板２１．２？に形成され、
（これらの絶縁（ル２１．２２が？１叉２０の脚先端（
、固定さ１１（いる。
ンリＣ二）（７）１ノのｉ’ｉＹ ４４と（−）（ζ（
ミ電（Φ３を利用しくいるが、２￥（（（図に示り１、
〕（、二、独・＼’７ シた一タ・１の１ン−１゛ンリ
電１４１８．１１）を設置、１ 、ｊ’ｉ電装同装置２
０ｃ撤動！る。１、）（・二し）で６よく、この１ち４
合は集電１１Ｉｉ３が−ｌノの１ンｊ゛ンリ電極１８に
接続さ４１． 、 Ｉｌｌ２ ｊｊの一１ンｉ゛ンリ市
極１９が信号処理回路の電Ｗ効宋トランジスタ１）夕１
にリード１）続さね（いる１、１ンｆンリ電（！１１メ
（，１１）はぞれぞ１し絶縁板２１．２？に形成され、
（これらの絶縁（ル２１．２２が？１叉２０の脚先端（
、固定さ１１（いる。
１−記名実施例（は、用変−１ンγンリを侶成りる（・
−あｌご′）（電極間距間１を変化さ！！る構ｊ告４ど
−）（いるが、第４図（こ示りＪ、−）にス・ｊ同面（
＾を変化さ１ＩＣも、ｉｔｇるいは第５図Ｍ 小’ｊ
Ｊ、−）（ご゛市ＩＭｌｌｉ！ｌ Ｕ＞誘゛市率を変化
さける。−１、）（、ニしζも、Ｊ、い。
−あｌご′）（電極間距間１を変化さ！！る構ｊ告４ど
−）（いるが、第４図（こ示りＪ、−）にス・ｊ同面（
＾を変化さ１ＩＣも、ｉｔｇるいは第５図Ｍ 小’ｊ
Ｊ、−）（ご゛市ＩＭｌｌｉ！ｌ Ｕ＞誘゛市率を変化
さける。−１、）（、ニしζも、Ｊ、い。
第 ４図Ｃ，ｔ、 １ン−）゛ンリ゛市（４ズ２３を設
ｃツノどｊ（Ｕ！縁板２４を１１・市ハ叉２５の 方の
脚に脚１ｍとＶ１角１５向に取り（；Ｉ Ｃ１、この１
ンｉンリ電極２（購・集電極３と９・１向さｌるＪど（
５二より、Ｆ１電昔叉２５の振躬Ｊ（重電］か３と−１
ン１ンリ電極？３間の対向面積を変化さ［！るＪ、 ”
＞にしくいる。
ｃツノどｊ（Ｕ！縁板２４を１１・市ハ叉２５の 方の
脚に脚１ｍとＶ１角１５向に取り（；Ｉ Ｃ１、この１
ンｉンリ電極２（購・集電極３と９・１向さｌるＪど（
５二より、Ｆ１電昔叉２５の振躬Ｊ（重電］か３と−１
ン１ンリ電極？３間の対向面積を変化さ［！るＪ、 ”
＞にしくいる。
第１）図は、二Ｉ’） ｊ” ン’Ｊ電Ｊ４ｉ ２６．
７７ ＜ｊ： ｉｌｅ ｔｉ！じｌ、二絶縁仮２８．２
９が電極２６．２７を対向さ１１が−）電極２６．２７
間距−（を一定に保つ（スベーリ３０１．Ｉ取ｆ・ｌ
ＬＪ ’）ｎ、 。
７７ ＜ｊ： ｉｌｅ ｔｉ！じｌ、二絶縁仮２８．２
９が電極２６．２７を対向さ１１が−）電極２６．２７
間距−（を一定に保つ（スベーリ３０１．Ｉ取ｆ・ｌ
ＬＪ ’）ｎ、 。
１ｆ電吉叉３１の脚先端（ご取付（Ｊら七ｔ ｌ：：誘
電体か１？、 Ｃ７る１す動１’ｉ３２．３３が電極２
６．２７間に配置さＩｌｌ、二（）の（、音１１のＩｔ
ｉＧ躬）Ｃ′電極２６．２７１ｇ１＋、二存イ１りる一
、ｉ］？）＋ｊ’、３？、３３の而（＾を変λ、客年を
変イしさくスイ）、−１、う（、−し／、： ｆ＞の（
ある。
電体か１？、 Ｃ７る１す動１’ｉ３２．３３が電極２
６．２７間に配置さＩｌｌ、二（）の（、音１１のＩｔ
ｉＧ躬）Ｃ′電極２６．２７１ｇ１＋、二存イ１りる一
、ｉ］？）＋ｊ’、３？、３３の而（＾を変λ、客年を
変イしさくスイ）、−１、う（、−し／、： ｆ＞の（
ある。
本発明（５Ｌ、以１説明しＩ、゛よろ＋；二ｉｔ’：電
）市を形成した誘電体板を集電極がツノース内に４１：
ろよ−）ｔＪ ’／−スの間１−１部（こ取イ」（１、
誘電体板をｉｌ＞１１．、／−１電気力線をｆ４電極（
、ニカ■えるＪ、うにし７（いるσ）（、勺−スを１ぐ
１１・１構）告に（き、まｌ、−集？１マ極をツノ−ス
内に収めることかＣ−、：３（、す〜クメｉ ／ｌか什
＜ ４ｊす、検出窓１’ｌ ’ｂ 向１すｔ！ ル（二
トカＰ Ｎル、７．＼ラシ、ｌｈ １ｌＪｌ ’＋’１
３１．４ｉ１゛）圧電装置を密ト１ノノース内（５二組
込４−ｉ’ ｃ−とか（さ、動作がより安定’、Ｋ ６
（７）（、二４ｒる１、
）市を形成した誘電体板を集電極がツノース内に４１：
ろよ−）ｔＪ ’／−スの間１−１部（こ取イ」（１、
誘電体板をｉｌ＞１１．、／−１電気力線をｆ４電極（
、ニカ■えるＪ、うにし７（いるσ）（、勺−スを１ぐ
１１・１構）告に（き、まｌ、−集？１マ極をツノ−ス
内に収めることかＣ−、：３（、す〜クメｉ ／ｌか什
＜ ４ｊす、検出窓１’ｌ ’ｂ 向１すｔ！ ル（二
トカＰ Ｎル、７．＼ラシ、ｌｈ １ｌＪｌ ’＋’１
３１．４ｉ１゛）圧電装置を密ト１ノノース内（５二組
込４−ｉ’ ｃ−とか（さ、動作がより安定’、Ｋ ６
（７）（、二４ｒる１、
第１図は本発明に、Ｊ、る表面質１１″！検出装置べの
実施例を示し、同図（ａ）、（ｌ（）Ｌ、１、ノＩ−
スの 部を破Ｆｌｉ した」［面図、３１）面図、同図
（（Ｎ）は回シ゛８図、第２図・−第：）図Ｌｅｔい１
“れｂ変１１′：：、例の要部をｊＪ＜り眠再（）図、
第〔１図は第 １図実施例（、−よる倹１１旨ｒＬｉ
Ｉｔ’ Ｊ４ｒ ｌ’１図（ある。 １］ｌ ｉｉ’ｌ 出 馳１ 人株式会？
、ｌ ４・・１［１１製１’［ｌ’ｌｉ第２図 第３図 第４図 第６図 （４（仔６電イ、を−）
実施例を示し、同図（ａ）、（ｌ（）Ｌ、１、ノＩ−
スの 部を破Ｆｌｉ した」［面図、３１）面図、同図
（（Ｎ）は回シ゛８図、第２図・−第：）図Ｌｅｔい１
“れｂ変１１′：：、例の要部をｊＪ＜り眠再（）図、
第〔１図は第 １図実施例（、−よる倹１１旨ｒＬｉ
Ｉｔ’ Ｊ４ｒ ｌ’１図（ある。 １］ｌ ｉｉ’ｌ 出 馳１ 人株式会？
、ｌ ４・・１［１１製１’［ｌ’ｌｉ第２図 第３図 第４図 第６図 （４（仔６電イ、を−）
Claims (1)
- 被検出表面に対向４る集電（〜が誘電体板上（こハｐ（
］られ、（二の誘電体板が集電極を内側に、二ｌ）（シ
ールＩ−々−スの聞１１部に取イζ」（〕ら４１．１Ｆ
電装置の振動く一容吊を変化づる１ンデン（Ｊがシール
１−′）−ス内（Ｊ設（１られ、か）被検出表面と集電
＋＝１１７ｊｌ ｉこ形成（＼１する一１ンｊ゛ンリど
直列に接続さ才１、“−］ンｆン１ｊの容早変化（こ基
づく電気イハ号によつ（、被検出表面の゛電位を検出づ
−る、１、う（こしたごとを１ｊｆ徴ど（ｊる表面電子
Ｑ検出装置６゜
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387182A JPS5932874A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 表面電位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387182A JPS5932874A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 表面電位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932874A true JPS5932874A (ja) | 1984-02-22 |
Family
ID=15348932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14387182A Pending JPS5932874A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 表面電位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932874A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4763078A (en) * | 1986-03-27 | 1988-08-09 | Williams Bruce T | Sensor for electrostatic voltmeter |
| WO2015186485A1 (ja) * | 2014-06-04 | 2015-12-10 | 長谷川電機工業株式会社 | 直流電圧検出器 |
-
1982
- 1982-08-18 JP JP14387182A patent/JPS5932874A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4763078A (en) * | 1986-03-27 | 1988-08-09 | Williams Bruce T | Sensor for electrostatic voltmeter |
| WO2015186485A1 (ja) * | 2014-06-04 | 2015-12-10 | 長谷川電機工業株式会社 | 直流電圧検出器 |
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