JPS5932731B2 - radiation analyzer - Google Patents

radiation analyzer

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JPS5932731B2
JPS5932731B2 JP3717375A JP3717375A JPS5932731B2 JP S5932731 B2 JPS5932731 B2 JP S5932731B2 JP 3717375 A JP3717375 A JP 3717375A JP 3717375 A JP3717375 A JP 3717375A JP S5932731 B2 JPS5932731 B2 JP S5932731B2
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JP
Japan
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radiation
rays
characteristic
sample
detector
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JP3717375A
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良夫 羽東
博史 石島
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Publication date
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Publication of JPS5932731B2 publication Critical patent/JPS5932731B2/en
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076X-ray fluorescence

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、たとえば、電解クロム酸処理鋼板ブリキ、
トタン等のクロム、錫、亜鉛等の鍍金層の厚み、あるい
は、試料中の低濃度含有元素の含有量を非破壊的に測定
する放射線分析装置において、放射線発生源の放射線強
度の変化を検出し、その放射線強度を一定に保つように
した放射線分析装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] This invention provides, for example, electrolytic chromic acid treated steel plate tin plate,
A radiation analyzer that non-destructively measures the thickness of a plating layer of chromium, tin, zinc, etc. on galvanized iron, or the content of low-concentration elements in a sample, detects changes in the radiation intensity of a radiation source. This invention relates to a radiation analyzer that maintains the radiation intensity constant.

たとえば、種々の放射線分析装置のうち、螢光X線分析
装置において、放射線源と検出器の安定性は正しい計数
値を得るための必要条件であり、特に、工業計測器のよ
うに長時間連続使用する場合には、長時間安定な性能を
得ることが重要な要件となつている。
For example, among various radiation analyzers, in fluorescent When used, it is an important requirement to obtain stable performance over a long period of time.

放射線源としてX線管球(以下管球と称する)を用いた
場合には、従来、管球の電源で管電圧、管電流を一定に
するような方式を用いて安定なX線強度を得ようとして
いた。
When an X-ray tube (hereinafter referred to as a tube) is used as a radiation source, stable X-ray intensity has traditionally been obtained using a method that uses the tube's power source to keep the tube voltage and tube current constant. I was trying.

しかし、このような方式では、ターゲットの状態の変化
等によりー定強度のX線出力を得るのは困難である。非
常に薄い鍍金層の厚み測定を行なう場合、地金金層の特
性X線を検出すると同時に、鍍金金層の特性X線を検出
してそれらの強度比を求める方法(以下レシオ法と称す
る)がある。
However, with this method, it is difficult to obtain an X-ray output of constant intensity due to changes in the state of the target. When measuring the thickness of a very thin plating layer, there is a method of detecting the characteristic X-rays of the base metal layer and the characteristic X-rays of the plating layer at the same time, and calculating the intensity ratio of these (hereinafter referred to as the ratio method). There is.

この方法によれば、X線強度の短期変動を補正すること
ができる、しかし、管球はターゲットの汚れ、および、
窓の汚れ等により、X線強度が徐々に減少する長期変動
を示す。上記レシオ法に於ては、X線強度の減少に伴い
、測定精度が悪くなる。この発明は、上記のような欠点
を解決する目的でなされたものであつて、放射線発生源
の放射線強度の減少という長期変動の変動分を標準物質
から発生する放射線を検出することによつてモニターし
、放射線電源の管球の管電流を制御することによつて、
放射線強度をほぼ一定に保ち、常に安定した測定精度お
よび測定時間を有する放射線分析装置を提供することを
目的としている。
According to this method, short-term fluctuations in the X-ray intensity can be corrected, but the tube is contaminated with target and
This shows long-term fluctuations in which the X-ray intensity gradually decreases due to factors such as dirty windows. In the ratio method, measurement accuracy deteriorates as the X-ray intensity decreases. This invention was made to solve the above-mentioned drawbacks, and it is possible to monitor the long-term fluctuation of the decrease in radiation intensity of a radiation source by detecting radiation generated from a standard material. By controlling the tube current of the radiation power source tube,
It is an object of the present invention to provide a radiation analyzer that keeps radiation intensity almost constant and always has stable measurement accuracy and measurement time.

以下、本発明を、添付図面に示す実施例に基づいて説明
する。
The present invention will be described below based on embodiments shown in the accompanying drawings.

第1図は、本発明実施例の構成を示すもので、1は、例
えば、電解クロム酸処理鋼板等の鍍金層を有する鉄板の
被測定物、2は測定ヘッド、4はこの測定ヘッド2内に
内蔵され、かつ、測定用窓3に向けて設置された管球で
、11のX線源より高圧およびフィラメント電流が供給
されている。
FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of the present invention, in which 1 is an object to be measured, for example, an iron plate having a plating layer such as an electrolytic chromic acid treated steel plate, 2 is a measuring head, and 4 is the inside of this measuring head 2. The tube is built in and placed facing the measurement window 3, and is supplied with high voltage and filament current from 11 X-ray sources.

上記管球4から発生したX@Xoは、上記被測定物1に
照射される。この照射されたX線XOは、その一部が、
鍍金層で吸収されて、この鍍金層からその元素例えばク
ロムの特性X線が発生する。またX線X。の一部は、鍍
金層を透過して鉄等の地金金層に入射し、鉄の特性X線
が発生する。この場合、前者のクロムの特性X線は、フ
イルタ一5を通してシンチレーシヨンカウンタ計数管7
のような放射線検出器で検出される。また、後者の鉄の
特性X線は、フイルタ一6を通して、検出器8で検出さ
れる。
X@Xo generated from the tube 4 is irradiated onto the object 1 to be measured. A part of this irradiated X-ray XO is
They are absorbed by the plating layer, and characteristic X-rays of the element, such as chromium, are generated from the plating layer. Also, X-rays. A part of the iron passes through the plating layer and enters the base metal layer such as iron, and characteristic X-rays of iron are generated. In this case, the former characteristic X-rays of chromium are passed through a filter 5 to a scintillation counter tube 7.
Detected by radiation detectors such as The latter iron characteristic X-rays are detected by a detector 8 through a filter 6.

この場合、前記2種のフイルタ一5,6(以下バランス
ドフイルタ一と称する)は、分解能の良くない、例えば
比例計数管並びにシンチレーシヨン計数管等の放射線検
出器(以下検出器と称する)に於て、上記検出器の分別
能力を越えて接近したエネルギー値を有する特性X線を
分別する場合に使用される。
In this case, the two types of filters 5 and 6 (hereinafter referred to as balanced filter 1) are used for radiation detectors (hereinafter referred to as detectors) with poor resolution, such as proportional counters and scintillation counters. In this case, it is used to separate characteristic X-rays having energy values that are close to each other beyond the separation capability of the detector.

すなわち、第2図に示したバランスドフイルタ一の原理
を説明するための吸収係数曲線に於て、縦軸は吸収係数
で対数目盛であり、横軸は特性X線のエネルギーである
。図においてE1は検出したい測定対象元素の特性X線
のエネルギーであり、E2は妨害となる元素の特性X線
のエネルギーである。Aは上記測定対象のエネルギーE
1より小さくて、このエネルギーE,に接近したエネル
ギー値の吸収端を有する元素Aの吸収曲線である。Bは
上記妨害元素のエネルギーE2より小さく、上記測定対
象元素のエネルギーE1より大きいエネルギー値の吸収
端を有する元素打の吸収曲線である。上記元素B′のフ
イルタ一を通過したX線に於て、エネルギー値E2を有
する妨害元素となる特性X線は、より多く吸収され、エ
ネルギー値E,を有する測定対象元素の特性X線はより
多く透過する。さらに、上記元素Nのフイルタ一を通過
したX線に於て、エネルギー値E2を有する妨害元素と
なる特性X線は上記元素B′のフイルタ一を通過した時
と同程度に吸収され、エネルギー値E1を有する測定対
衆元素の特性X線はより多く吸収される。その結果、上
記元素B′および元素Nを透過したX線を検出した検出
器の出力比または、各々の検出器の出力差により、検出
したい測定対象元素の特性X線の強度を測定できる。こ
のバランスド、フイルタ方式は、特に、オンライン・シ
ステムにおける工業計測器において要j求される、短か
い応答時間、安価、容易な保守、放射線強度の減少を最
小限にする等の条件を満たし、特性X線を分別する場合
には、半導体検出器または波長分散型の分析装置よりも
すぐれている。
That is, in the absorption coefficient curve for explaining the principle of the balanced filter shown in FIG. 2, the vertical axis is the absorption coefficient on a logarithmic scale, and the horizontal axis is the energy of the characteristic X-ray. In the figure, E1 is the energy of the characteristic X-ray of the element to be measured to be detected, and E2 is the energy of the characteristic X-ray of the interfering element. A is the energy E of the above measurement target
This is the absorption curve of element A with an absorption edge at an energy value smaller than 1 and close to this energy E,. B is an absorption curve of an element having an absorption edge with an energy value smaller than the energy E2 of the interfering element and larger than the energy E1 of the element to be measured. In the X-rays that have passed through the filter of element B', the characteristic X-rays of the interfering element having energy value E2 are absorbed more, and the characteristic X-rays of the element to be measured having energy value E, are absorbed more. Transmits a lot. Furthermore, in the X-rays that have passed through the filter of element N, the characteristic X-ray that becomes a disturbing element and has an energy value of E2 is absorbed to the same extent as when it has passed through the filter of element B', and has an energy value of E2. The characteristic X-rays of the measured element having E1 are absorbed more. As a result, the intensity of the characteristic X-ray of the element to be measured can be measured based on the output ratio of the detectors that detected the X-rays transmitted through element B' and element N, or the output difference between the respective detectors. This balanced, filtered method satisfies the requirements of industrial instrumentation, especially in on-line systems, such as short response time, low cost, easy maintenance, minimal reduction in radiation intensity, etc. When separating characteristic X-rays, it is superior to semiconductor detectors or wavelength dispersive analyzers.

この様にして、計数管7および8によつて夫々鍍金層か
ら発生したクロムおよび鉄の特性X線の出力信号は、次
に波形整形増幅器9,10および波高分析器12,13
にそれぞれ順次印加され、波形整形および増幅されると
ともに、クロムの特性X線・鉄の特性X線のパルス信号
に変換される。この後に前記波高分析器12,13から
出力されるクロムおよび鉄のそれぞれの特性X線のパル
ス信合は、レートメータ26,27に加えられ、演算器
28でその比が算出されて、データ処理回路23で鍍金
層の厚みに変換し、これを表示またはプリントアウトし
たりする。この場合、前記鉄の特性X線は、前記管球4
から発生するX線の強度の変化を補正するための検出信
号として作用する。
In this way, the output signals of characteristic X-rays of chromium and iron generated from the plating layer by counters 7 and 8, respectively, are then transmitted to waveform shaping amplifiers 9, 10 and pulse height analyzers 12, 13.
are sequentially applied to each of them, and are waveform-shaped and amplified, and are converted into pulse signals of characteristic X-rays of chromium and characteristic X-rays of iron. Thereafter, the pulse signals of the respective characteristic X-rays of chromium and iron outputted from the wave height analyzers 12 and 13 are applied to rate meters 26 and 27, and the ratio is calculated by a calculator 28 for data processing. The circuit 23 converts it into the thickness of the plating layer, and displays or prints it out. In this case, the characteristic X-rays of iron are transmitted to the tube 4.
It acts as a detection signal for correcting changes in the intensity of X-rays generated from the X-rays.

すなわち、前記管球4から発生するX線の強度変化を補
正する回路構成は、前記レートメータ27の出力信号が
印加されるA−G−C回路14と、X線電源11とから
成つている。
That is, the circuit configuration for correcting the intensity change of the X-rays generated from the tube 4 includes an A-G-C circuit 14 to which the output signal of the rate meter 27 is applied, and an X-ray power source 11. .

今、たとえば、前記鉄の特性X線の強度が変化した場合
、これに応じて前記レートメータ27からの出力信号内
容も変化するため、その出力信号の変化に応じて前記A
−G−C回路14が作動し、前記X線電源11のフイラ
メント電流を適当に変化させると、前記管球4を流れる
管電流が変化し、常に前記管球4から発生するX線の強
度変化を安定させるように補正する。また、前記計数管
8の特性の変化を補正する回路構成は、前記計数管8に
一定強度の放射線を供給するための補正用放射線源29
と、前記波高分析器13によつて分別された前記補正用
放射線源29の放射線強度をアナログ信号に変換させる
レートメータ30と、このレートメータ30の出力信号
内容の変化に応じて、前記放射線検出器8に印加する電
圧源32の高電圧値を変化させるためのA−G−C回路
31とから成つている。
Now, for example, if the intensity of the characteristic X-rays of iron changes, the content of the output signal from the rate meter 27 changes accordingly, so the A
- When the G-C circuit 14 operates and appropriately changes the filament current of the X-ray power source 11, the tube current flowing through the tube 4 changes, and the intensity of the X-rays generated from the tube 4 changes constantly. Correct to stabilize. Further, the circuit configuration for correcting the change in the characteristics of the counter tube 8 includes a correction radiation source 29 for supplying radiation of a constant intensity to the counter tube 8.
a rate meter 30 that converts the radiation intensity of the correction radiation source 29 separated by the pulse height analyzer 13 into an analog signal; It consists of an A-G-C circuit 31 for changing the high voltage value of a voltage source 32 applied to the device 8.

この回路において、前記補正用放射線源29はその放射
線のエネルギーレベルが、前記波高分析器13によつて
、被測定物である鍍金層の金属特有の特性X線のエネル
ギーレベルと分別できることが望ましく、たとえば前記
鍍金層の鉄のX線エネルギーレベルより高いアメリシユ
ウム241のγ線等が良い。
In this circuit, it is desirable that the energy level of the radiation of the correction radiation source 29 can be distinguished by the wave height analyzer 13 from the energy level of characteristic X-rays peculiar to the metal of the plating layer that is the object to be measured; For example, gamma rays from americium 241, which have a higher X-ray energy level than iron in the plating layer, are preferable.

アメリシユウム241のγ線と鉄のX線の波高スペクト
ルは第3図の様になる。従つて、計数管8の特性の変化
を補正する回路の動作は次の様になる。すなわち、今、
前記放射線検出器8の検出特性が変化した場合、補正用
放射線源29の波高値は変化する。
The wave height spectra of the γ-rays of americium-241 and the X-rays of iron are shown in FIG. Therefore, the operation of the circuit for correcting the change in the characteristics of the counter tube 8 is as follows. That is, now,
When the detection characteristics of the radiation detector 8 change, the peak value of the correction radiation source 29 changes.

これによつて、前記波高分析器30の出力信号がレイト
メータ30を介して印加されている前記A−G−C回路
31の出力信号は、前記電圧源32の出力電圧値を、前
記波高分析器30の出力信号値の変化に応じて変化させ
、前記放射線検出器29の検出特性を安定化させる。一
方、前記放射線検出器7の検出特性の変化に対する補正
手段は、前に述べた放射線検出器8の場合と同じ様に、
その補正回路を補正用放射線源33と、レートメータ3
4と、A−G−C回路35、電圧源36等から構成し、
前記波高分析器12から出力される出力信号の変化を、
順次レートメータ34、A−G−C回路35および電圧
源36に印加し、不足あるいは過剰な放射線検出器7に
印加される電圧源36の電圧を制御して前記放射線検出
器7の検出特性を安定化する。
As a result, the output signal of the A-G-C circuit 31 to which the output signal of the pulse height analyzer 30 is applied via the rate meter 30 is determined by the pulse height analysis. The detection characteristics of the radiation detector 29 are stabilized by changing according to changes in the output signal value of the radiation detector 30. On the other hand, the means for correcting changes in the detection characteristics of the radiation detector 7 is as in the case of the radiation detector 8 described above.
The correction circuit includes a correction radiation source 33 and a rate meter 3.
4, an A-G-C circuit 35, a voltage source 36, etc.,
The change in the output signal output from the pulse height analyzer 12 is
The voltage of the voltage source 36 is sequentially applied to the rate meter 34, the A-G-C circuit 35, and the voltage source 36, and the voltage of the voltage source 36 applied to the insufficient or excessive radiation detector 7 is controlled to adjust the detection characteristics of the radiation detector 7. Stabilize.

次に、第4図において、他の実施例を説明する。Next, referring to FIG. 4, another embodiment will be described.

この実施例は、前に述べた実施例が、2つの放射線検出
器7,8を用いて、別々に2種類のX線を検出している
のに対して、1つの放射線検出器41でその機能を満足
させた例である。これは、試料42と較正試料43の波
高値が1つの放射線検出器41で識別できる場合であり
、この場合の試料42、較正用試料43、補正用放射線
源44それぞれの波高スペクトルは、第5図に示すよう
になる。すなわち、この実施例の放射線検出装置は、X
線管球45から放射されるX線を前記試料42および較
正用試料43に同時に照射し、これによつて、前記試料
42,43より発生するそれらの物質特有のX線を発生
させる。
This embodiment uses one radiation detector 41 to detect two types of X-rays, whereas the previous embodiment uses two radiation detectors 7 and 8 to separately detect two types of X-rays. This is an example that satisfies the functions. This is a case where the wave height values of the sample 42 and the calibration sample 43 can be identified by one radiation detector 41, and in this case, the wave height spectra of the sample 42, the calibration sample 43, and the correction radiation source 44 are The result will be as shown in the figure. That is, the radiation detection device of this example has
The sample 42 and the calibration sample 43 are simultaneously irradiated with X-rays emitted from the ray tube 45, thereby generating X-rays specific to the substances generated by the samples 42, 43.

前記試料42,43から発生した2種類の特性X線は、
検出器41に同時に入射する。この結呆、前記検出器4
1においては前記2種類の特性X線および、補正用放射
線源(たとえばアメリシユウム241)44の放射線が
検出される。この検出器41で検出される3種類の放射
線は、3種類の出力信号となつて、波形整形増幅器45
、波高分析器46に順次印加される。この結果、波形分
析器46の出力信号は、較正用試料43、試料42、補
正用放射線源44それぞれに対応する3種類の出力信号
となり、較正用試料43に対応するそれは、レートメー
タ47、A−G−C回路48、X線管用電源49に順次
印加され、前記X線管球45から出力するX線強度の安
定化をはかつている。また、試料43のX線に対応する
波高分析器46の出力信号は、レートメータ50、演算
データ処理回路51に印加される。
The two types of characteristic X-rays generated from the samples 42 and 43 are:
They simultaneously enter the detector 41. This result, the detector 4
1, the two types of characteristic X-rays and radiation from a correction radiation source (for example, americium 241) 44 are detected. The three types of radiation detected by this detector 41 become three types of output signals and are sent to the waveform shaping amplifier 45.
, are sequentially applied to the pulse height analyzer 46. As a result, the output signals of the waveform analyzer 46 become three types of output signals corresponding to the calibration sample 43, the sample 42, and the correction radiation source 44, respectively. The power is sequentially applied to the -GC circuit 48 and the X-ray tube power source 49, thereby stabilizing the intensity of the X-rays output from the X-ray tube 45. Further, the output signal of the pulse height analyzer 46 corresponding to the X-rays of the sample 43 is applied to the rate meter 50 and the calculation data processing circuit 51.

この場合、前記演算データ処理回路51には、前記較正
用試料43に対応する波高分析器46の出力信号がレー
トメータ47を介して印加されているため、これら2つ
の情報を演算しデータ処理する。さらに、前記補正用放
射線源44の放射線に基づく波高分析器46の出力信号
は、レートメータ52およびA−G−C回路53ならび
に検出器用電圧源に順次印加され、前記検出器41の検
出特性の安定化を測つている。
In this case, since the output signal of the pulse height analyzer 46 corresponding to the calibration sample 43 is applied to the calculation data processing circuit 51 via the rate meter 47, these two pieces of information are calculated and data processed. . Furthermore, the output signal of the pulse height analyzer 46 based on the radiation of the correction radiation source 44 is sequentially applied to the rate meter 52, the A-G-C circuit 53, and the voltage source for the detector, thereby changing the detection characteristics of the detector 41. We are measuring stabilization.

以上本発明の装置においては、放射線源から出た放射線
を試料に照射し、その試料より発生する特有X線を順次
所定の検出器その他の回路を経て、前記放射線源から出
る放射線の強度を制御するA・G−C回路に印加し、放
射線源に印加される電圧を制御するようにしたのできわ
めて放射線源の放射線強度が安定する。
As described above, in the apparatus of the present invention, a sample is irradiated with radiation emitted from a radiation source, and the characteristic X-rays generated from the sample are sequentially passed through a predetermined detector and other circuits to control the intensity of the radiation emitted from the radiation source. Since the voltage applied to the A/G-C circuit and the voltage applied to the radiation source is controlled, the radiation intensity of the radiation source is extremely stable.

また、放射線検出器に放射線強度の安定している放射線
を入射させることによつて、放射線検出器の検出特性の
変化したとき、それに応じて、その放射線強度の変化を
検出し、放射線検出器の駆動電圧を制御するようにした
のできわめて検出特性の安定した放射線検出器が得られ
る。さらに、試料の放射線エネルギーレベルと較正用試
料の放射線エネルギレベルとが極めて接近している場合
、バランスフイルタ方式による試料測定は、その2種の
波高値を確実に分別できるためきわめて正確な試料測定
が可能である。なお、前記試料と較正用試料は、別々の
ものであつてもよい。また、ある金属とそれにメツキ等
によつて付着させた金属の組合せ、あるいは、低濃度の
合金の様に1体的な2種類あるいはそれ以上の金属から
成る金属において、それらの金属の中の少なくとも1つ
を較正用金属と定めて他の含有あるいは付着金属の成分
あるいは濃度・厚み等を測定するようにしてもよい。
In addition, by injecting radiation with stable radiation intensity into the radiation detector, when the detection characteristics of the radiation detector change, the change in radiation intensity is detected accordingly, and the radiation detector Since the drive voltage is controlled, a radiation detector with extremely stable detection characteristics can be obtained. Furthermore, when the radiation energy level of the sample and the radiation energy level of the calibration sample are extremely close, sample measurement using the balance filter method can reliably separate the two types of peak values, resulting in extremely accurate sample measurement. It is possible. Note that the sample and the calibration sample may be different. In addition, in a combination of a certain metal and a metal attached by plating or the like, or in a metal consisting of two or more metals in one body such as a low concentration alloy, at least one of the metals One may be determined as a calibration metal and the components, concentration, thickness, etc. of other contained or attached metals may be measured.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図は本発明の実施例を示すもので、第1図は、第1の実
施例を示す放射線分析装置のプロツクダイヤグラム図で
あり、第2図は、バランスフイルタ一の吸収係数曲線図
であり、また、第3図は、波高スペクトルのグラフであ
る。 さらに第4図は他の実施例の放射線分析装置のプロツク
ダイヤグララム図である。第5図は波高スペクトルのグ
ラフである。4・・・・・・放射線発生源、11・・・
・・・電源、8・・・・・・放射線検出器、13・・・
・・・波高分析器、14・・・・・・A・G−C回路、
29・・・・・・標準放射線源、30・・・・・ルート
メータ、31・・・・・・A−G−C回路、12・・・
・・・波高分析器。
The figures show an embodiment of the present invention; FIG. 1 is a block diagram of a radiation analyzer showing the first embodiment, and FIG. 2 is an absorption coefficient curve diagram of a balance filter. , and FIG. 3 is a graph of the wave height spectrum. Furthermore, FIG. 4 is a block diagram of a radiation analyzer according to another embodiment. FIG. 5 is a graph of the wave height spectrum. 4...radiation source, 11...
...Power supply, 8...Radiation detector, 13...
... Wave height analyzer, 14... A/G-C circuit,
29... Standard radiation source, 30... Route meter, 31... A-G-C circuit, 12...
...Wave height analyzer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 試料及び較正用試料にX線を照射するためのX線管
球と、前記試料及び較正用試料からの二次X線を検出す
るための共通の検出器と、前記検出器に接続された波形
整形増巾器と、前記波形整形増巾器に接続された波高分
析器と、前記波高分析器に接続されたレートメータと、
前記レートメータに接続されたAGC回路と、前記AG
C回路に接続されたX線管用電源とを備え、前記較正用
試料からの二次X線のデータにより前記AGC回路を経
て前記X線管用電源の安定化を行なうように構成したこ
とを特徴とする放射線分析装置。
1. An X-ray tube for irradiating the sample and the calibration sample with X-rays, a common detector for detecting secondary X-rays from the sample and the calibration sample, and a common detector connected to the detector. a waveform shaping amplifier; a pulse height analyzer connected to the waveform shaping amplifier; and a rate meter connected to the pulse height analyzer;
an AGC circuit connected to the rate meter; and an AGC circuit connected to the rate meter;
and an X-ray tube power source connected to the C circuit, and configured to stabilize the X-ray tube power source via the AGC circuit using secondary X-ray data from the calibration sample. Radiation analysis equipment.
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