JPS593037A - Apparatus for manufacturing glass rod as base material for optical fiber - Google Patents

Apparatus for manufacturing glass rod as base material for optical fiber

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JPS593037A
JPS593037A JP11428383A JP11428383A JPS593037A JP S593037 A JPS593037 A JP S593037A JP 11428383 A JP11428383 A JP 11428383A JP 11428383 A JP11428383 A JP 11428383A JP S593037 A JPS593037 A JP S593037A
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JP
Japan
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rod
soot
gas
glass
container
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JP11428383A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Ishida
宏司 石田
Makoto Sato
信 佐藤
Yasuo Tsukuda
佃 康夫
Yasuo Suganuma
菅沼 庸雄
Toshio Katsuyama
俊夫 勝山
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Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings

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Abstract

PURPOSE:To manufacture the titled long-sized rod contg. no impurities and having a controlled diameter by enclosing a burner, a soot rod forming section and a sintering section with a cylindrical container and by installing a gaseous curtain structure at the top opening of the container through which a glass rod is passed. CONSTITUTION:Gaseous starting materials for glass in a holder 11 are introduced into a burner 14 together with gaseous oxygen and hydrogen from an oxygen cylinder 12 and a hydrogen cylinder 13, the materials are hydrolyzed in a flame 15 to form glass soot, and the soot is deposited and grown on the lower end of a quartz seed rod. The resulting soot rod 16 is converted into transparent glass by sintering in an electric furnace 17 to form a glass rod 18 as a base material for an optical fiber. Said hydrolysis and sintering are carried out in a reactor 19, and high-purity gas is introduced from the gas introducing inlet 21 of a gas curtain structure 20 installed around the top outlet of the reactor 19 for pulling out the rod 18. The introduced gas is spouted toward the inside and outside of the reactor 19.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光フアイバ用母材ガラスロッドの製造装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for manufacturing a base material glass rod for optical fiber.

光フアイバ用母材ガラスロッドの製造方法の一つにVA
D法(気相軸付は法、Vapour Phase Ax
ialDeposition Method )がある
。この方法は、回転している出発石英棒の下端に酸水素
炎と共にガラス原料となる5iCA4 、 GeCl4
等を気相にして吹き付け、火炎加水分解反応によってで
きたガラス微粉末(ガラススート)を石英棒の下端に堆
積させ、その長さ方向に多孔質のスートロッドを成長さ
せる。スートロッドの成長速度に合せてこれを上方に引
き上げて行き、上部に設けられた電気炉によってスート
ロッドを加熱、焼結して透明化し、母材ガラスロッドヲ
作製する。その後、この母材ガラスロッドに石英の被覆
を行ないプリフォームロッドを作製し、さらにこれを加
熱、熔融、線引して光ファイバとするのが通例である。
VA is one of the manufacturing methods of base material glass rod for optical fiber.
D method (Vapour Phase Ax
ialDeposition Method). In this method, glass raw materials such as 5iCA4 and GeCl4 are placed together with an oxyhydrogen flame at the lower end of a rotating starting quartz rod.
etc. is sprayed in a vapor phase to deposit glass fine powder (glass soot) produced by a flame hydrolysis reaction on the lower end of a quartz rod, thereby growing a porous soot rod in the length direction. The soot rod is pulled upward in accordance with the growth rate of the soot rod, and the soot rod is heated and sintered in an electric furnace installed above to make it transparent, thereby producing a base material glass rod. Thereafter, this base material glass rod is usually coated with quartz to produce a preform rod, which is then heated, melted, and drawn to form an optical fiber.

光ファイバは伝送損失が極端に小さくなければならない
ため、製作中に不純物の混入することをできるだけ少な
くする必要がある。しかし、上記の方法は、作製した母
材ガラスロッドを引き上げるための空間が上部に必要で
あるために、ガラススートを反応によって生成する部分
およびスートロッドを焼結、ガラス化する部分ともに密
閉構造とすることが困難であり、外部からの不純物の混
入を避けることは困難である。
Since optical fibers must have extremely low transmission loss, it is necessary to minimize the introduction of impurities during manufacturing. However, the above method requires a space at the top to pull up the prepared base material glass rod, so both the part where the glass soot is generated by reaction and the part where the soot rod is sintered and vitrified have a sealed structure. It is difficult to avoid contamination with external impurities.

さらに、上記の方法では、ガラススートの集合体である
スートロッドの径を一定に制御することも困難である。
Furthermore, with the above method, it is also difficult to control the diameter of the soot rod, which is an aggregate of glass soot, to be constant.

この点を解決する方法として、第1図に示すような方法
が提案されている。すなわち、回転する石英タネ棒の下
端に酸水素バーナ−7から反応ガスを含む火炎6を吹き
つけ、スートロッド1を作製する際に、ロッド1の周囲
を、下端に開口をもち、上端に焼結されたロッドの引出
し口をもった円管状容器4で囲み、容器4に設けた側管
2からロッド1と容器4との空隙5に下向きに純度の高
いガスを流し、このガス流によってロッド1の側面への
ガラススートの付着を制限し、ロッド1の径を制御する
ものである。この方法はスートロッド1の径を制御する
のには効果があるが、円管状容器4の中でスートロッド
を生成させているために、スートロッドの長さが円管状
容器4の長さで規制されてしまうこと、スートロッドの
上方にこれを焼結するための電気炉をガス流に影響を及
ぼすことなしに設置することが困難なため、スートロッ
ドの形成とその焼結を連続して行なうことが難しいなど
の欠点がある。
As a method for solving this problem, a method as shown in FIG. 1 has been proposed. That is, when producing the soot rod 1 by blowing a flame 6 containing a reactive gas from an oxy-hydrogen burner 7 onto the lower end of the rotating quartz rod, the rod 1 is surrounded by an opening at the lower end and a burning hole at the upper end. The rod is surrounded by a circular tubular container 4 having a draw-out opening for the tied rod, and a highly pure gas is flowed downward from the side pipe 2 provided in the container 4 into the gap 5 between the rod 1 and the container 4, and this gas flow causes the rod to be drawn out. The diameter of the rod 1 is controlled by restricting the adhesion of glass soot to the side surface of the rod 1. This method is effective in controlling the diameter of the soot rod 1, but since the soot rod is generated inside the cylindrical container 4, the length of the soot rod is equal to the length of the cylindrical container 4. It is difficult to install an electric furnace above the soot rod without affecting the gas flow, so the formation of the soot rod and its sintering must be performed continuously. It has drawbacks such as being difficult to implement.

本発明は、以」二のような従来技術の欠点をなくすため
になされたもので、第1の目的は、不純物混入のない光
フアイバ用母材ガラスロッドの製造装置を提供すること
にあり、第2の目的は、このほかに、スートロッドの径
を制御する機能をもち、しかも長尺のスートロッドの作
製とその焼結、ガラス化を連続して行なうことができる
装置を提供することにある。
The present invention has been made in order to eliminate the following drawbacks of the prior art, and the first purpose is to provide an apparatus for manufacturing a base material glass rod for optical fiber without contamination with impurities. In addition to this, the second purpose is to provide an apparatus that has the function of controlling the diameter of the soot rod and can continuously manufacture, sinter, and vitrify long soot rods. be.

以下、実施例により本発明の詳細な説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to Examples.

実施例 1 第2図は本発明の一実施例の概略図である。Example 1 FIG. 2 is a schematic diagram of one embodiment of the present invention.

ガラス原料溜め11中の原料ガスは酸素ボンベ12、水
素ボンベ13を出た酸水素ガスと共にバーナー14に導
かれ、火焔15の中で加水分解反応を起してガラススー
トとなり、」1方に引き」―げられている石英タネ棒の
下端上に堆積、成長してスートロッド16を形成する。
The raw material gas in the glass raw material reservoir 11 is guided to the burner 14 together with the oxyhydrogen gas discharged from the oxygen cylinder 12 and hydrogen cylinder 13, where it undergoes a hydrolysis reaction in the flame 15 and becomes glass soot, which is pulled in one direction. ” - deposits and grows on the lower end of the quartz seed rod to form the soot rod 16.

これを電気炉17で焼結、透明ガラス化を行なうと光フ
アイバ用母材となるガラスロッド18が得られる。
This is sintered in an electric furnace 17 and made into transparent glass to obtain a glass rod 18 that will serve as a base material for optical fiber.

この場合、本発明においては、上記の反応、焼結を反応
容器19内で行なう。この容器19の底面部には内部に
突出し′C酸水素バーナー14が気密に取り付けられて
おり、さらに、容器19の」1端のロッド18の引出し
口の周囲にはガスカーテン構造20が設けられている。
In this case, in the present invention, the above-mentioned reaction and sintering are performed in the reaction vessel 19. An oxyhydrogen burner 14 is airtightly attached to the bottom of the container 19, and a gas curtain structure 20 is provided around the outlet of the rod 18 at one end of the container 19. ing.

このガスカーテン構造20はガス導入口21から導入さ
れたガスがロッド引出口部分で容器内方向と外界方向の
上下2方向に吹き出す゛ようになっている。ガス導入口
21から純度の高いガスを導入すれば、容器19内に送
り込まれるガスは純度の高いガスのみで、外気は入り込
めず完全に遮断される。容器19内のガスは排気口22
から容器19内に送り込まれたガスの量に見合う排気量
で排気される。
This gas curtain structure 20 is such that the gas introduced from the gas inlet 21 is blown out at the rod outlet in two directions, up and down, inside the container and outside. If a highly purified gas is introduced from the gas inlet 21, only the highly purified gas will be sent into the container 19, and the outside air will not be able to enter and will be completely shut off. The gas in the container 19 is discharged through the exhaust port 22.
The gas is exhausted from the container 19 at an amount corresponding to the amount of gas sent into the container 19.

このような容器内で反応°、焼結を行ない、光フアイバ
用母材であるガラスロッドの作製を行なえば、容器上部
に開口部を有するにもかかわらず、外気と完全に遮断さ
れた清浄な雰囲気内で、低損失な光フアイバ用ガラス母
材を作製−することができる。
If reaction and sintering are carried out in such a container to produce the glass rod that is the base material for optical fibers, the container will be completely isolated from the outside air and will be clean, even though it has an opening at the top. A glass base material for optical fibers with low loss can be produced in an atmosphere.

以」二説明した装置を用いて光フアイバ用母材ガラスロ
ッドを作製した具体例について以下に述べる。
A specific example of producing an optical fiber base material glass rod using the apparatus described above will be described below.

バーナー14は同心4重バーナーを用い、中心のノズル
から5iCA4 、少量のドーパントガスおよびArガ
ス、その外側のノズルから少量のArガスをノズルの損
耗を防ぐために流す。さらに外側のノズルからH2と0
2カスを各々流して燃焼させる。
The burner 14 uses a concentric quadruple burner, and 5iCA4, a small amount of dopant gas and Ar gas are flowed from the center nozzle, and a small amount of Ar gas is flowed from the outer nozzles to prevent wear of the nozzles. Furthermore, from the outer nozzle H2 and 0
2 dregs are poured and burned.

これらのガスの流量はノズルを内側から順に1〜4とし
たとき、次のとおりであった。
The flow rates of these gases were as follows when the nozzles were numbered 1 to 4 in order from the inside.

ノズルl5iCt4200〜500CC/m1nGeC
L4   20〜80 cc/minキ+!j アガx
 (Ar)      1000cc/m1n) ス/
l/ 2   Ar       1000 cc/m
inノズ/L/ 3   H22〜5 A/minノズ
ル4 02    3〜6t/min以上の条件で火炎
加水分解反応を行ない、反応によって生成した5i02
およびGeO2の微粉末を」1方に置いた回転石英タネ
棒の下端面に堆積させ、スートロッド16を成長させた
。この場合、ガスカーテン構造20にはガス導入口21
から高純度のArガスを流した。このときのArガス流
量は容器19と外部との差圧が一定になるように調節し
た。スートロッド16の成長と共にこれを上方に引き上
げ、電気炉17によって約1300〜1600℃の温度
に加熱、焼結してガラス化し、ガラスロッド18とした
Nozzle l5iCt4200~500CC/m1nGeC
L4 20~80 cc/min +! j Aga x
(Ar) 1000cc/m1n) Su/
l/2Ar 1000cc/m
in nozzle/L/ 3 H22~5 A/min nozzle 4 02 5i02 produced by the flame hydrolysis reaction under conditions of 3~6 t/min or more
A soot rod 16 was grown by depositing fine powder of GeO2 and GeO2 on the lower end surface of a rotating quartz rod placed on one side. In this case, the gas curtain structure 20 has a gas inlet 21
High purity Ar gas was flowed from. The Ar gas flow rate at this time was adjusted so that the differential pressure between the container 19 and the outside was constant. As the soot rod 16 grows, it is pulled upward and heated in an electric furnace 17 to a temperature of approximately 1,300 to 1,600° C., and is vitrified by sintering to form a glass rod 18.

以上のようにして作製したガラスロッドを市販゛の石英
管内に入れ、これを先端から加熱、熔融、・線引して光
ファイバを作製し、その損失を測定したところ、完全密
閉容器内で作製したものとほとんど変らなかった。
The glass rod produced as described above was placed in a commercially available quartz tube, and the tip was heated, melted, and drawn to produce an optical fiber, and the loss was measured. It wasn't much different than what I did.

以上の説明から、上記の方法によれば、容器内への外界
からの不純物の進入を完全に遮断できる・ので、得られ
たカラスロッドを母材として光ファイバを作製すれば、
損失の少ない光ファイバを得ることができる。
From the above explanation, according to the above method, it is possible to completely block impurities from entering the container from the outside world. Therefore, if an optical fiber is manufactured using the obtained glass rod as a base material,
An optical fiber with low loss can be obtained.

実施例 2 第3図は本発明の他の実施例の概略説明図である。Example 2 FIG. 3 is a schematic explanatory diagram of another embodiment of the present invention.

本実施例の装置は、第2図に示した装置にスートロッド
の径制御機構を付設したものである。したがって、本装
置はスートロッド制御機構を除いて第2図の装置と同一
の構成となっており、同一部分は同一記号で示しである
The apparatus of this embodiment is the apparatus shown in FIG. 2 with a soot rod diameter control mechanism added. Therefore, this device has the same structure as the device shown in FIG. 2 except for the soot rod control mechanism, and the same parts are indicated by the same symbols.

スートロッドの径制御機構はガスカーテン構造30から
なり、反応容器19内のスートロッド16の成長部近辺
に設けられている。このガスカーテン構造30は、内径
がスートロット16の外径よりもやや大きい内径をもっ
た円環状容器であり、内側中間に下方を向いたガス吹出
口31、外側に容器19の外部に通じるガス導入管32
が設けられている。ガス導入管32から送り込まれた純
度の高いArなどのガスはガス吹出口31から吹き出さ
れ、スートロッド16に沿って下方に流れ、余分のスー
トのスートロッド16の側面への付着を防止する。この
ガス流量を適当に調節することによってスートロッド1
6の径を制御することができる。しかも、このカスカー
テン構造30はスートロッド上方に何らの規制も与えな
いため、容易にその長尺化、焼結までの連続化が可能と
なる。
The soot rod diameter control mechanism consists of a gas curtain structure 30 and is provided near the growth part of the soot rod 16 in the reaction vessel 19. This gas curtain structure 30 is an annular container having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the soot rod 16, and has a gas outlet 31 facing downward in the middle of the inside, and a gas introduction port leading to the outside of the container 19 on the outside. tube 32
is provided. A high-purity gas such as Ar sent from the gas introduction pipe 32 is blown out from the gas outlet 31 and flows downward along the soot rod 16 to prevent excess soot from adhering to the side surface of the soot rod 16. By appropriately adjusting this gas flow rate, the soot rod 1
6 diameter can be controlled. Furthermore, since this cast curtain structure 30 does not impose any restriction on the upper part of the soot rod, it is possible to easily lengthen the soot rod and make it continuous up to sintering.

以上説明した方法では、スートロッド端部に付着、捕集
されるガラススートの捕集効率は50〜70%と低く、
これが大きな欠点となっている。
In the method explained above, the collection efficiency of glass soot attached to and collected at the end of the soot rod is as low as 50 to 70%.
This is a major drawback.

以下に以」二の欠点を除去した光ファイバ用カラス母材
ロンドの作製法について説明する。
A method for producing a glass base material rond for optical fibers that eliminates the following two drawbacks will be described below.

第4図はこの作製法の概略説明図である。FIG. 4 is a schematic explanatory diagram of this manufacturing method.

下端にカップ状部41をもった回転タネ棒42のカップ
状部41の縁にソースカス(たとえば、5iCA4 。
Source scum (for example, 5iCA4) is formed on the edge of the cup-shaped part 41 of the rotary spring bar 42 which has a cup-shaped part 41 at the lower end.

BBr3 )を含む火炎43を酸水素バーナ44により
吹き付け、5i02あるいは5i02− B203系カ
ラススートをその上に堆積し、スートパイプ45を形成
する。このとき、スートパイプ45の先端とバーナ44
との間隔を一定に保つように回転タネ棒42を漸次引き
上げる。スートパイプ45がある程度成長した時点で、
スートパイプ45を成長させながら、スートパイプ45
の内側に置いた別のバーナ46を用いてスートパイプ4
5内に別種のガラスス−) (Si02にP、 Ge。
A flame 43 containing BBr3) is blown by an oxyhydrogen burner 44, and 5i02 or 5i02-B203 based crow soot is deposited thereon to form a soot pipe 45. At this time, the tip of the soot pipe 45 and the burner 44
Gradually pull up the rotating spring bar 42 so as to maintain a constant distance between the two. Once the soot pipe 45 has grown to a certain extent,
While growing the soot pipe 45,
The soot pipe 4 is heated using another burner 46 placed inside the soot pipe 4.
(P, Ge in Si02)

Snの少なくとも1種を含むドープド・シリカスート)
を堆積させ、スートパイプ45の内壁面上にコア用ガラ
ススート層47を形成する。この場合、バーナ46の排
ガス経路48がガラススートで目ずまりしないように熱
線(例えば、CO2レーザによる)で経路48を照射し
ながら上端から強制排気する。
doped silica soot containing at least one type of Sn)
is deposited to form a core glass soot layer 47 on the inner wall surface of the soot pipe 45. In this case, in order to prevent the exhaust gas path 48 of the burner 46 from being clogged with glass soot, the path 48 is irradiated with a hot ray (for example, by a CO2 laser) while being forcibly exhausted from the upper end.

この排気の量ならびにバーナ44,16によって形成さ
れるスートの組成によっては、コア用スート層47にバ
ーナ44によって形成されたスートが混入し、コア用ス
ート47の径方向に適当な組成分布をもたせることもで
きる。なお、熱線49により経路48の目づまりを防止
できるのは高温部分にスートが堆積しないという現象を
利用したものである。
Depending on the amount of this exhaust gas and the composition of the soot formed by the burners 44 and 16, the soot formed by the burner 44 is mixed into the core soot layer 47, giving an appropriate composition distribution in the radial direction of the core soot layer 47. You can also do that. Note that clogging of the path 48 can be prevented by the hot wire 49 by utilizing the phenomenon that soot does not accumulate in the high temperature portion.

実験で求めた上記のコアクラッドスートパイプを作製す
る際のスートの捕集効率はほぼ90%で、従来に比べか
なり良いことがわかった。また、このスートパイプをガ
ラス化してプリフォームを作る場合に、これが中空であ
るために、脱泡が容易であるという利点も見出された。
The soot collection efficiency when producing the above-mentioned core clad soot pipe was found to be approximately 90%, which was found to be considerably better than conventional methods. It has also been found that when a preform is made by vitrifying this soot pipe, the soot pipe is hollow so that it can be easily degassed.

実施例 3゜ バーナ44に5i02およびドーパントであるB2 o
、。
Example 3 Burner 44 with 5i02 and dopant B2o
,.

のソースガス5iC74およびBBr3をそれぞれ5i
OzおよびB2O3換算でほぼ35g/hおよびほぼ4
g/hの割合で供給し、外径的83 mm 、内径約5
Q mmのスートパイプ45を形成した。このスートパ
イプの外径および内径はスートの堆積条件に強(関係し
・バーナ44の構造を含めたスート堆積条件によって決
まる。この場合、スートパイプ45の先端からバーナ4
4までの距離は数cmで行なった。スートパイプ45の
長さが53 mmに達したところで、バーナ46に反応
して5i02およびドーパントであるGeO2Jp、、
o、、を形成するソースガスBiCt4 、 GeCA
4 、 PO(J3−を5i02 、 GeO2、P2
O5換算で、それぞれ約35 g/h 。
source gases 5iC74 and BBr3 respectively.
Approximately 35g/h and approximately 4 in terms of Oz and B2O3
g/h, outer diameter 83 mm, inner diameter approx. 5
A soot pipe 45 of Q mm was formed. The outer diameter and inner diameter of this soot pipe are strongly related to the soot deposition conditions and are determined by the soot deposition conditions including the structure of the burner 44.
The distance up to 4 was several cm. When the length of the soot pipe 45 reaches 53 mm, 5i02 and the dopant GeO2Jp react with the burner 46.
Source gas BiCt4, GeCA forming o,
4, PO(J3-5i02, GeO2, P2
Approximately 35 g/h each in terms of O5.

約4g/hおよび4g/hの割合で供給し、コア用スー
ト層47を外周部のスートパイプ45と回転軸方向にほ
ぼ同じ成長速度約59mm/hで成長させた。このとき
、排気経路48を形成するために用いたCO2レーザ光
の径は約3mmであったが、実際にはこれよりも幾分小
さい2mmの孔が形成された。
The core soot layer 47 was grown at approximately the same growth rate of about 59 mm/h in the rotational axis direction as the soot pipe 45 on the outer periphery. At this time, the diameter of the CO2 laser beam used to form the exhaust path 48 was approximately 3 mm, but in reality, a somewhat smaller hole of 2 mm was formed.

」1記の方法で形成された組成上の2重構造をもったス
ートパイプを焼結し、透明ガラス化を行なった後、重量
を測定したところ、約60g/hの割合でプリフォーム
ロッドが作製されていた。この値は供給原料の約90%
であり、従来の方法より高捕集率であった。また、スー
トパイプであるため、透明ガラス化するときに、パイプ
の表面および内面からの脱泡がうまく行なわれ、光学的
な欠陥の少ないプリフォームロッドが得られた。
After sintering the soot pipe with a compositional double structure formed by the method described in 1 above and making it transparent, the weight was measured. It had been made. This value is approximately 90% of the feedstock
The collection rate was higher than that of the conventional method. Furthermore, since it was a soot pipe, bubbles were successfully removed from the surface and inner surface of the pipe during transparent vitrification, and a preform rod with few optical defects was obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の光フアイバ用ガラス母材の製造方法を示
す概略説明図、第2図、第3図、第4図:は本発明の実
施例の概略説明図である。 図において、 11・・・ガラス原料溜め  12・・・酸素ボンベ1
3・・・水素ポンベ    14・・・バーナー15・
・・火炎16−・・スート口・ソド17・・・電気炉 
     18・・・ガラスロット19・・・反応容器
     20・・・ガスカーテン構造21・・・ガス
導入口    22・・排気口30・・・ガスカーテン
構造 31・・・ガス吹出口32・・・ガス導入管  
  41・・・カップ状部42・・・回転タネ棒   
 43・・・火炎44、46・・・バーナー   45
・・・スートパイプ47・・・コア用ガラススート層 48・・・排ガス経路    49・・・熱線代理人弁
理士 中村純之助 第1頁の続き @発 明 者 勝山俊夫 国分寺市東恋ケ窪−丁目280番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ■出 願 人 日立電線株式会社 東京都千代田区丸の内2丁目1 番2号
FIG. 1 is a schematic explanatory diagram showing a conventional method for manufacturing a glass preform for optical fibers, and FIGS. 2, 3, and 4 are schematic explanatory diagrams of embodiments of the present invention. In the figure, 11... Glass raw material reservoir 12... Oxygen cylinder 1
3...Hydrogen pump 14...Burner 15.
・・Flame 16−・・Soot mouth・Sodo 17・・Electric furnace
18...Glass lot 19...Reaction container 20...Gas curtain structure 21...Gas inlet 22...Exhaust port 30...Gas curtain structure 31...Gas outlet 32...Gas Introductory tube
41...Cup-shaped part 42...Rotating spring bar
43...Flame 44, 46...Burner 45
... Soot pipe 47 ... Glass soot layer for core 48 ... Exhaust gas path 49 ... Heat ray agent patent attorney Junnosuke Nakamura Continuation of page 1 @ Inventor Toshio Katsuyama 280 Higashi Koigakubo-chome, Kokubunji City Stock Company Hitachi, Ltd. Central Research Laboratory Applicant Hitachi Cable Co., Ltd. 2-1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)回転、移動機構によって鉛直軸の周りに回転され
、かつ上方に引き上げられているタネ棒の下端面上にガ
ラス原料となるガスを含む酸水素炎をバーナーにより吹
き付け、火炎加水分解によって生成されたガラス微粉末
を前記タネ棒下端面上、前記タネ棒回転軸方向に堆積、
成長させ、前記ガラス微粉末の集合体であるスートロッ
ドを形成させると同時に前記スートロッドを上部に設け
られた加熱手段中を通して上端がら加熱、焼結してガラ
ス化し、長尺の透明ガラスロッドを得る光フアイバ用母
材ガラスロッドの製造装置であって、前記バーナー、前
記スートロッドの形成部及び前記スートロッドの焼結部
が前記タネ棒回転軸と同軸の円筒、状容器によって囲繞
され、前記バーナーは前記容器内の底部に該バーナーへ
のガスの送給が前記容器の気密性を破らないように取り
付けられ、前記容器の上端には引き上げられる前記透明
ガラスロッドを通すための孔と該孔の内側面にガスを上
下方向に吹き出すためのガス吹出口と外側面にガス導入
管とをもつ円環状容器からなるガスカーテン構造が設け
られ、さらに、前記加熱手段は前記ガスカーテン構造の
下部で前記スートロッド焼結部に対応する位置に前記容
器の気密性を破らないように設けられていることを特徴
とする光フアイバ用母材ガラスロッドの製造装置。 (2、特許請求の範囲第1項記載の光フアイバ用母材ガ
ラスロッドの製造装置において、前記スートロッドの形
成部近傍に該ロッドを通す孔と内側面にガスを下方に吹
き出すための吹出口と外側面から前記容器外に該容器の
気密性を破らないように引き出されたガス導入管とをも
つ円環状容器からなるガスカーテン構造が付設されてい
ることを。 特徴とする光フアイバ用母材ガラスロッドの製造装置。
(1) A burner sprays an oxyhydrogen flame containing the glass material gas onto the lower end of the seed rod, which is rotated around a vertical axis by a rotating and moving mechanism and pulled upward, and generated by flame hydrolysis. depositing the glass fine powder on the lower end surface of the seed rod in the direction of the rotation axis of the seed rod;
At the same time, the soot rod is heated and sintered from the top end through a heating means provided at the top to form a soot rod, which is an aggregate of the fine glass powder, and is vitrified to form a long transparent glass rod. The apparatus for producing a base material glass rod for optical fiber, wherein the burner, the soot rod forming part, and the soot rod sintering part are surrounded by a cylindrical container coaxial with the seed rod rotation axis, A burner is installed at the bottom of the container so that gas supply to the burner does not break the airtightness of the container, and a hole is provided at the upper end of the container for passing the transparent glass rod that is pulled up. A gas curtain structure consisting of an annular container having a gas outlet for blowing out gas in the vertical direction on the inner surface thereof and a gas introduction pipe on the outer surface thereof is provided, and further, the heating means is provided at the lower part of the gas curtain structure. An apparatus for manufacturing a base material glass rod for optical fiber, characterized in that the soot rod sintered portion is provided at a position corresponding to the soot rod sintered portion so as not to break the airtightness of the container. (2. In the apparatus for manufacturing a base material glass rod for optical fiber according to claim 1, there is a hole for passing the rod through the soot rod in the vicinity of the forming part thereof, and an outlet for blowing gas downward on the inner surface. and a gas curtain structure consisting of an annular container having a gas introduction pipe drawn out from the outer surface of the container so as not to break the airtightness of the container. Equipment for manufacturing glass rods.
JP11428383A 1983-06-27 1983-06-27 Apparatus for manufacturing glass rod as base material for optical fiber Pending JPS593037A (en)

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