JPS5926245U - 半導体ペレツトのマウント装置 - Google Patents

半導体ペレツトのマウント装置

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Publication number
JPS5926245U
JPS5926245U JP12152282U JP12152282U JPS5926245U JP S5926245 U JPS5926245 U JP S5926245U JP 12152282 U JP12152282 U JP 12152282U JP 12152282 U JP12152282 U JP 12152282U JP S5926245 U JPS5926245 U JP S5926245U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellet
semiconductor pellet
mounting equipment
detection position
pellet mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12152282U
Other languages
English (en)
Inventor
小原　雅俊
荻原　全夫
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP12152282U priority Critical patent/JPS5926245U/ja
Publication of JPS5926245U publication Critical patent/JPS5926245U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体ペレットのマウント装置に用いら
れるＸＹテーブルの平面図、第２図は第１図Ａ部拡大図
、第３図は本考案の一実施例のブロック図、第４図は本
考案に用いられるＸＹテーブルの一実施例の平面図であ
る。 １・・・・・・ペレット群、２・・・・・・搭載台、３
・・・・・・ＸＹテーブル、４・・・・・・ストローク
検出リング、５・・・・・・ストローク検出センサ、−
６・曲・サーボモータ、７・・・・・・ペレット検出位
置、８・・・・・・リミット位置、９・・・・・・ペレ
ット検出部、１０・・・・・・ＸＹテーブル制御部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＸＹテーブルと、複数のペレットを搭載し前記ＸＹテー
    ブルに装着された搭載台と、該搭載台上のペレット検出
    位置におけるペレットの有無を検出するペレット検出部
    と、前記ペレット検出位置が規定距離移動する間前記ペ
    レット検出部からペレットが無いという信号を連続して
    受けた場合ペレット検出位置が次のペレット列へくるよ
    うにＸＹテーブルの進行方向を制御するＸＹテーブル制
    御部とを含むことを特徴とする半導体ペレットのマウン
    ト装置。
JP12152282U 1982-08-10 1982-08-10 半導体ペレツトのマウント装置 Pending JPS5926245U (ja)

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JP12152282U JPS5926245U (ja) 1982-08-10 1982-08-10 半導体ペレツトのマウント装置

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JP12152282U JPS5926245U (ja) 1982-08-10 1982-08-10 半導体ペレツトのマウント装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5926245U true JPS5926245U (ja) 1984-02-18

Family

ID=30278099

Family Applications (1)

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JP12152282U Pending JPS5926245U (ja) 1982-08-10 1982-08-10 半導体ペレツトのマウント装置

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JP (1) JPS5926245U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52149070A (en) * 1976-06-07 1977-12-10 Toshiba Corp Locating and inspecting method for semiconductor parts and die bonding device using the same
JPS56100432A (en) * 1980-01-14 1981-08-12 Toshiba Corp Mounting device for semiconductor pellet

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52149070A (en) * 1976-06-07 1977-12-10 Toshiba Corp Locating and inspecting method for semiconductor parts and die bonding device using the same
JPS56100432A (en) * 1980-01-14 1981-08-12 Toshiba Corp Mounting device for semiconductor pellet

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