JPS5925155A - 真空放電装置用電源 - Google Patents
真空放電装置用電源Info
- Publication number
- JPS5925155A JPS5925155A JP13552782A JP13552782A JPS5925155A JP S5925155 A JPS5925155 A JP S5925155A JP 13552782 A JP13552782 A JP 13552782A JP 13552782 A JP13552782 A JP 13552782A JP S5925155 A JPS5925155 A JP S5925155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- circuit
- output
- voltage
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空容器内での放電を利用する真空放電装置に
用いられる電源に関し、特（−真空放電装置としてスパ
ッタイオンポンプやスノ（ツタ装置等に用いられる電源
に関する。
用いられる電源に関し、特（−真空放電装置としてスパ
ッタイオンポンプやスノ（ツタ装置等に用いられる電源
に関する。
スパッタイオンポンプは１周知の通り、ペニング放電に
よってつくられたイオン（−より活性金属で作られたカ
ソード面を衝撃し、カソードから活性金属原子を周囲の
壁にヌノくツタさせ。
よってつくられたイオン（−より活性金属で作られたカ
ソード面を衝撃し、カソードから活性金属原子を周囲の
壁にヌノくツタさせ。
このスパッタ膜によって活性ガスやイオンのカソード面
の一部への捕捉による希ガスを排気させる様にしだゲッ
ターイオンポンプの一種である。
の一部への捕捉による希ガスを排気させる様にしだゲッ
ターイオンポンプの一種である。
このようなスパッタイオンポンプに用いられる電源とし
て要求される出力電圧電流特性は。
て要求される出力電圧電流特性は。
低真空負荷では電圧が低（電流が多く、高真空負荷では
電圧が高＜／電流が少ないという車、下特性であるが、
低真空負荷時の電流は、一般Ｑ）変圧器の垂下特性（１
較べて数倍の電（′７１ｒ、を必要とする。スパッタイ
オンポンプ：ｊｊ ｉｉバもは、貞ア１′−Ｉ容器内を
排気する［」的で使用される為、一般に低真空負荷で駆
動を開始する。この為低真空負荷時に十分な電流、即ち
、電力の供給が不足した場合、グロー放電領域からペニ
ング放電領域へ移行する領域の時間が長くかかったり、
ポンプ素子の発熱、ガス放出等によってペニング放電領
域へ移行出来なくなったりする。それ故、従来のスパッ
タイオンポンプ電源においては、商用周波数電源用の変
圧器を漏洩変圧器とし、整流回路に工夫をすることより
、真空負荷に十分な電力を供給していた。
電圧が高＜／電流が少ないという車、下特性であるが、
低真空負荷時の電流は、一般Ｑ）変圧器の垂下特性（１
較べて数倍の電（′７１ｒ、を必要とする。スパッタイ
オンポンプ：ｊｊ ｉｉバもは、貞ア１′−Ｉ容器内を
排気する［」的で使用される為、一般に低真空負荷で駆
動を開始する。この為低真空負荷時に十分な電流、即ち
、電力の供給が不足した場合、グロー放電領域からペニ
ング放電領域へ移行する領域の時間が長くかかったり、
ポンプ素子の発熱、ガス放出等によってペニング放電領
域へ移行出来なくなったりする。それ故、従来のスパッ
タイオンポンプ電源においては、商用周波数電源用の変
圧器を漏洩変圧器とし、整流回路に工夫をすることより
、真空負荷に十分な電力を供給していた。
しかしながら、従来のものでは、スパッタイオンポンプ
′：″ｌｉ源の出力電圧電流特性が変圧器の重下ｑ−冒
生に依存する点はがゎりなく、変圧器の製（’１口ｒ’
ｒ度がそのままスパッタイオンポンプ電源の出力型圧電
ｄ■−〒性に反映するという欠点があった。また、商用
周波数用１１１（−Ｍ変圧器を使用しているため、形状
も犬きく 、Ｎ７−；、−、も屯いという欠点があった
。
′：″ｌｉ源の出力電圧電流特性が変圧器の重下ｑ−冒
生に依存する点はがゎりなく、変圧器の製（’１口ｒ’
ｒ度がそのままスパッタイオンポンプ電源の出力型圧電
ｄ■−〒性に反映するという欠点があった。また、商用
周波数用１１１（−Ｍ変圧器を使用しているため、形状
も犬きく 、Ｎ７−；、−、も屯いという欠点があった
。
本発明の［］的は、」−記従来の欠点を改淳し。
電源の出力電圧電流特性を調節可能とすることにより低
真空負荷時に十分な電力を真空負荷に供給できる垂下特
性を有した小型、軽計の真空放電装置用電源を提供する
ことにある。
真空負荷時に十分な電力を真空負荷に供給できる垂下特
性を有した小型、軽計の真空放電装置用電源を提供する
ことにある。
本発明によれば、矩形波を発生する矩形波発生回路、前
記矩形波を電力増幅する高周波駆動回路及び該高周波駆
動回路の出力を１次側で受けて２次側に高周波出力を発
生する高周波変圧器から構成される他励式高周波インバ
ータ回路と、前記高周波出力を直流出力に整流する整流
回路と、前記直流出力の電圧を検出する電圧検出回路と
、前記直流出力の電流を検出する電流検出回路と、前記
電圧検出回路及び１）ｉｊ記雷電流検出回路らの検出信
号を用いて前記高周波インバータ回路に供給される電圧
を制御する供給電圧制御回路とを具備し、前記直流出力
を真空負荷に供給する真空放電装置用電源が得られる。
記矩形波を電力増幅する高周波駆動回路及び該高周波駆
動回路の出力を１次側で受けて２次側に高周波出力を発
生する高周波変圧器から構成される他励式高周波インバ
ータ回路と、前記高周波出力を直流出力に整流する整流
回路と、前記直流出力の電圧を検出する電圧検出回路と
、前記直流出力の電流を検出する電流検出回路と、前記
電圧検出回路及び１）ｉｊ記雷電流検出回路らの検出信
号を用いて前記高周波インバータ回路に供給される電圧
を制御する供給電圧制御回路とを具備し、前記直流出力
を真空負荷に供給する真空放電装置用電源が得られる。
以下回向を参照して本発明の詳細な説明する。
図は本発明による一実施例の枯威を示したブロツク図で
ある。図において、１ａは周ρν数２（］ＫＩ−１ｚの
矩形波を発生ずる矩形波発生回路。
ある。図において、１ａは周ρν数２（］ＫＩ−１ｚの
矩形波を発生ずる矩形波発生回路。
１１）はユ１１形波発生回路１ａがらの矩形波によって
駆動されその矩形波を電力増幅する半導体素子で構成さ
れたプッシュプル回路なる高周波駆動回路、 １ｃは
高周波駆動回路１ｂで電力増幅されたＪ、ｌｉ形波を１
次側で受けて２次側に高周波出力を発生ずる高周波変圧
器であり、これら矩形波発生回路１ａ、高周波駆動回路
１ｂ、高周波変圧器１Ｇで他励式高周波インバータ回路
１が構成されている。２は他励式高周波インバータ回路
１から発生される高周波出力を整流し直流出力を出力端
子Ｊ１より出力する整流回路である。出力端子Ｊ１と出
力端子Ｊ２の間にスパッタイオンポンプ（図示せず）が
接続される。
駆動されその矩形波を電力増幅する半導体素子で構成さ
れたプッシュプル回路なる高周波駆動回路、 １ｃは
高周波駆動回路１ｂで電力増幅されたＪ、ｌｉ形波を１
次側で受けて２次側に高周波出力を発生ずる高周波変圧
器であり、これら矩形波発生回路１ａ、高周波駆動回路
１ｂ、高周波変圧器１Ｇで他励式高周波インバータ回路
１が構成されている。２は他励式高周波インバータ回路
１から発生される高周波出力を整流し直流出力を出力端
子Ｊ１より出力する整流回路である。出力端子Ｊ１と出
力端子Ｊ２の間にスパッタイオンポンプ（図示せず）が
接続される。
６はスパッタイオンポンプに流れる真空負荷電流を検出
する電が１１検出回路、４はスパッタイオンポンプの真
空負荷に供給される出力電圧を検出する電圧検出回路、
５は電流検出回路６及び電圧検出回路４からの検出信号
を用いて高周波インバータ回路にイノ上絵される７に圧
を制御する供給電圧制御回路である。
する電が１１検出回路、４はスパッタイオンポンプの真
空負荷に供給される出力電圧を検出する電圧検出回路、
５は電流検出回路６及び電圧検出回路４からの検出信号
を用いて高周波インバータ回路にイノ上絵される７に圧
を制御する供給電圧制御回路である。
このように構成することにより、供給電圧制御回路５で
スパッタイオンポンプ電源としての出力電圧電流特性を
具えるように他励式高周波インバータ回路１の供給電圧
を制御できる。
スパッタイオンポンプ電源としての出力電圧電流特性を
具えるように他励式高周波インバータ回路１の供給電圧
を制御できる。
以」二の説明では真空放電装置がスパッタイオンポンプ
の場合の電源について述べているが。
の場合の電源について述べているが。
本発明による電源は、スパッタイオンポンプ電源と同様
の出力電圧電流特性を必要とするスパッタ装置用の電源
としても有用である。
の出力電圧電流特性を必要とするスパッタ装置用の電源
としても有用である。
以」二述べたように１本発明の電源においては。
他励式高周波インバータ回路によって高周波出力を得て
いるので、変圧器の形状を小さく、Φ−計を軽くできる
。一方、真空負荷に流れる電流によって出力電圧を制御
する事により、良好な出力電圧電流特性を実現できる。
いるので、変圧器の形状を小さく、Φ−計を軽くできる
。一方、真空負荷に流れる電流によって出力電圧を制御
する事により、良好な出力電圧電流特性を実現できる。
父制御系は。
半導体素子で構成されるので低電圧で制御でき。
外部から容易に制御できるという効果がある。
図は本発明にょる一実施例の構成を示したブロック図で
ある。 記号の説明：１は他励式高周波インバータ回路、 １
ａはう、ｐ形波発生回路、１１）は高周波駆動回路、ｌ
ｃは高周波変圧器、２は整流回路、６は電流検出回路、
４は電圧検出回路、５は供給電圧制御回路をそれぞれあ
られしている。
ある。 記号の説明：１は他励式高周波インバータ回路、 １
ａはう、ｐ形波発生回路、１１）は高周波駆動回路、ｌ
ｃは高周波変圧器、２は整流回路、６は電流検出回路、
４は電圧検出回路、５は供給電圧制御回路をそれぞれあ
られしている。
Claims (1)
- １、真空容器内での放電を利用する真空放電装置に用い
られる電源であって、矩形波を発生する粗形波発生回路
、 Ａｉｊ記矩形波を電力増幅する高周波駆動回路及び
該高周波駆動回路の出力を１次側で受けて２次側に高周
波出力を発生ずる高周波変圧器から構成される他励式高
周波インバータ回路と、前記高周波出力を直流出力に整
流する整流回路と、前記直流出力の電圧を検出する電圧
検出回路と、前記直流出力の電流を検出する電流検出回
路と、前記電圧検出回路及び前記電流検出回路からの検
出信号を用いて前記高周波インバータ回路に供給される
電圧を制御する供給電圧制御回路とを具（１ｉ！ｉ Ｌ
＋ り’ｊ記直流出力を貞空負ｆ１ワに供給する真空
放電装置用′屯源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13552782A JPS5925155A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 真空放電装置用電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13552782A JPS5925155A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 真空放電装置用電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925155A true JPS5925155A (ja) | 1984-02-09 |
Family
ID=15153852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13552782A Pending JPS5925155A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 真空放電装置用電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925155A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6354245U (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | ||
| JP2015095378A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ |
-
1982
- 1982-08-03 JP JP13552782A patent/JPS5925155A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6354245U (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | ||
| JP2015095378A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5212425A (en) | Ion implantation and surface processing method and apparatus | |
| JP4679004B2 (ja) | アーク蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング装置 | |
| JPWO2012023276A1 (ja) | 直流電源装置 | |
| GB2191787A (en) | Process and arrangement for sputtering a material by means of high frequency | |
| US7888873B2 (en) | Dynamic depressed collector | |
| JPS5925155A (ja) | 真空放電装置用電源 | |
| US2574562A (en) | Electron discharge device and circuit | |
| JP3962297B2 (ja) | マイクロ波電力供給システム | |
| JP4115618B2 (ja) | マグネトロン出力制御方法及び装置 | |
| JP2836072B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
| JPS61231172A (ja) | スパツタ方法及び装置 | |
| US3260945A (en) | Device for the amplification of minute space currents | |
| JP2920054B2 (ja) | プラズマ源 | |
| US2410732A (en) | Sensitive photocell and circuit | |
| JP3135864B2 (ja) | イオン・プラズマ型電子銃とその制御方法 | |
| KR20040031082A (ko) | 플라스마에 의해 구조를 에칭 바디에 에칭하기 위한 방법 | |
| US2467840A (en) | Direct-current transformer | |
| JPH0241169Y2 (ja) | ||
| JPS603757B2 (ja) | 高周波加熱装置 | |
| SU62106A1 (ru) | Усилитель низкой частоты | |
| JP2533183B2 (ja) | パルスレ―ダ装置 | |
| JPS59111230A (ja) | イオン発生装置 | |
| JPH0241168Y2 (ja) | ||
| JPS6047356A (ja) | ４極管型電子ビ−ム発生装置 | |
| JPS63223171A (ja) | 高能率シ−トプラズマ型スパタリング装置 |