JPS592440B2 - アレイ型超音波振動子 - Google Patents
アレイ型超音波振動子Info
- Publication number
- JPS592440B2 JPS592440B2 JP50087250A JP8725075A JPS592440B2 JP S592440 B2 JPS592440 B2 JP S592440B2 JP 50087250 A JP50087250 A JP 50087250A JP 8725075 A JP8725075 A JP 8725075A JP S592440 B2 JPS592440 B2 JP S592440B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- array type
- ultrasonic transducer
- reflective layer
- type ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は超音波探知装置の送受波に用いるアレイ型振
動子の構成方法に関するものである。
動子の構成方法に関するものである。
アレイ型振動子は、その各素子の波面に対する位相を適
宜操作して指向特性を変化することにより、指向ビーム
を走査する。その性質上、各素子の間隔配置や送受波面
の整列度と素子自体の電気的特性の均一度などが高精度
に保たれなければ充分に目的を達することができない。
つまり、指向特性や走査特性に大きな乱れを生ずる。こ
うした問題は、周波数が低く、各素子の寸法が比較的大
きい場合には機械的調整がきくのでさほど困難ではない
が、周波数が高く、例えば２ＭＨＺ程度になつてくると
、ジルコン酸鉛振動子で厚さ１．３翼Ｉ）巾Ｏ、３ｎ、
素子間ギャップ０．１露薦、送受波面整列度Ｏ、０２ｎ
以下、横倒傾度１０以下の機械的精度を維持しなければ
ならず、従来のような短ざく状の素子を金気性反射層の
樹脂板上に貼付けて構成する方法では、目的の精度を得
ることが至難である。この発明は、アレイ面積全体にわ
たる振動子板を申分固体反射層を介してこれと固有音響
インピーダンス差が大きく異なる固体台に接着した後、
振動子板を目的の素子巾に切断してアレイ型超音波振動
子を構成する方法により、超音波の送受波能率を損なう
ことなく、上述の困難な機械的精度を容易に得られるよ
うにしたものである。
宜操作して指向特性を変化することにより、指向ビーム
を走査する。その性質上、各素子の間隔配置や送受波面
の整列度と素子自体の電気的特性の均一度などが高精度
に保たれなければ充分に目的を達することができない。
つまり、指向特性や走査特性に大きな乱れを生ずる。こ
うした問題は、周波数が低く、各素子の寸法が比較的大
きい場合には機械的調整がきくのでさほど困難ではない
が、周波数が高く、例えば２ＭＨＺ程度になつてくると
、ジルコン酸鉛振動子で厚さ１．３翼Ｉ）巾Ｏ、３ｎ、
素子間ギャップ０．１露薦、送受波面整列度Ｏ、０２ｎ
以下、横倒傾度１０以下の機械的精度を維持しなければ
ならず、従来のような短ざく状の素子を金気性反射層の
樹脂板上に貼付けて構成する方法では、目的の精度を得
ることが至難である。この発明は、アレイ面積全体にわ
たる振動子板を申分固体反射層を介してこれと固有音響
インピーダンス差が大きく異なる固体台に接着した後、
振動子板を目的の素子巾に切断してアレイ型超音波振動
子を構成する方法により、超音波の送受波能率を損なう
ことなく、上述の困難な機械的精度を容易に得られるよ
うにしたものである。
図において、振動子板１は目的とするアレイ面積に対し
長さＬ方向を大きくとり、両端の素子の形成を中央部の
ものと同一条件で切断できるようにしてある。
長さＬ方向を大きくとり、両端の素子の形成を中央部の
ものと同一条件で切断できるようにしてある。
巾Ｂ方向を申分固体反射層２より僅かに突出して端子線
１０、１１を取出し易くしてある。材質は上下両面に電
極をもつ電歪振動子、例えばジルコン酸鉛でに波長の厚
み方向で共振するものである。申分固体反射層２は厚み
を、その材質の音響速度において、振動子板１の厚み方
向共振周波数に対し、ハ波長程度にしたものである。材
質はガラス材などの固体で、振動子板１の材質。より比
重が軽く、音響速度の速いものがこの層を加工し易い適
度の厚さに構成できるので好ましい。固体台３は申分固
体反射層２に対して、その固有音響インピーダンスの差
が大きく異なる材質例えばタングステンなどの固体で、
比重の大きいものが好ましい。各層間ａ、ｂは耐熱性接
着材、例えばエポキシ系接着剤で接着し、切断時の発熱
に耐えるようにする。アレイの素子５を形成するには、
例えば固体台３を切断機の取付台に固定し、ダイヤモン
ドカッターでスリット４を切削して、必要数の素子５を
得る。スリット４の深さは、横方向の振動結合をさける
ため、固体台３まで達している方が好ましいが、申分固
体反射層に達している程度でも、実用し得る。余材部分
６は音響特性の阻害をさけるため除去することも考えら
れるが、運搬、組立作業時に素子５の他物との接触破損
をさける保護堤として残し、上下の電極を短絡接地して
、電気的シールドを兼ねる方が好ましい。端子線１０，
１１は外面の電極側の１０を信号導線１２の接地側１３
に接続し、送受波側１５の静電結合をシールドする。信
号導線１２の固定接続は固体台３に接着したプリント配
線板１４を中継端子板として行ない、固体台３を電気的
導体材、中介固体反射層２を電気的絶縁材とし、固体台
３を接地側に接続して非送受波側１６の静電結合をもシ
ールドする方が好ましい。端子線１０，１１の混雑をさ
けるため、第５図のように振動子板１を両側に突出して
、各素子５からの端子引出しを交互に配置し、混雑を半
減することができる。この発明によれば、非送受波面方
向の反射を固体による音響インピーダンスの差異で行な
つているため、中介反射層２が切断加工で熱変形するこ
となく、各素子５の送受波面整列度が振動子板１の表面
のまま保たれ、全体的に機械的精度が良く、静電結合の
シールドが充分な電気的特性の良いアレイ型の超音波振
動子を容易に得ることができる。
１０、１１を取出し易くしてある。材質は上下両面に電
極をもつ電歪振動子、例えばジルコン酸鉛でに波長の厚
み方向で共振するものである。申分固体反射層２は厚み
を、その材質の音響速度において、振動子板１の厚み方
向共振周波数に対し、ハ波長程度にしたものである。材
質はガラス材などの固体で、振動子板１の材質。より比
重が軽く、音響速度の速いものがこの層を加工し易い適
度の厚さに構成できるので好ましい。固体台３は申分固
体反射層２に対して、その固有音響インピーダンスの差
が大きく異なる材質例えばタングステンなどの固体で、
比重の大きいものが好ましい。各層間ａ、ｂは耐熱性接
着材、例えばエポキシ系接着剤で接着し、切断時の発熱
に耐えるようにする。アレイの素子５を形成するには、
例えば固体台３を切断機の取付台に固定し、ダイヤモン
ドカッターでスリット４を切削して、必要数の素子５を
得る。スリット４の深さは、横方向の振動結合をさける
ため、固体台３まで達している方が好ましいが、申分固
体反射層に達している程度でも、実用し得る。余材部分
６は音響特性の阻害をさけるため除去することも考えら
れるが、運搬、組立作業時に素子５の他物との接触破損
をさける保護堤として残し、上下の電極を短絡接地して
、電気的シールドを兼ねる方が好ましい。端子線１０，
１１は外面の電極側の１０を信号導線１２の接地側１３
に接続し、送受波側１５の静電結合をシールドする。信
号導線１２の固定接続は固体台３に接着したプリント配
線板１４を中継端子板として行ない、固体台３を電気的
導体材、中介固体反射層２を電気的絶縁材とし、固体台
３を接地側に接続して非送受波側１６の静電結合をもシ
ールドする方が好ましい。端子線１０，１１の混雑をさ
けるため、第５図のように振動子板１を両側に突出して
、各素子５からの端子引出しを交互に配置し、混雑を半
減することができる。この発明によれば、非送受波面方
向の反射を固体による音響インピーダンスの差異で行な
つているため、中介反射層２が切断加工で熱変形するこ
となく、各素子５の送受波面整列度が振動子板１の表面
のまま保たれ、全体的に機械的精度が良く、静電結合の
シールドが充分な電気的特性の良いアレイ型の超音波振
動子を容易に得ることができる。
図面は実施例を示し、第１図、第４図は斜視図、第２図
は縦断面図、第３図、第５図は横断面図である。 １・・・・・・振動子板、２・・・・・・中介固体反射
層、３・・・・・・固体台、４・・・・・・スリツト、
５・・・・・・素子、６・・・・・・余材部分、１０，
１１・・・・・・端子線、１２・・・・・・信号導線、
１３・・・・・・接地側、１４・・・・・・プリント配
線板、１５・・・・・・送受波側、１６・・・・・・非
送受波側。
は縦断面図、第３図、第５図は横断面図である。 １・・・・・・振動子板、２・・・・・・中介固体反射
層、３・・・・・・固体台、４・・・・・・スリツト、
５・・・・・・素子、６・・・・・・余材部分、１０，
１１・・・・・・端子線、１２・・・・・・信号導線、
１３・・・・・・接地側、１４・・・・・・プリント配
線板、１５・・・・・・送受波側、１６・・・・・・非
送受波側。
Claims (1)
- １ アレイ面積全体にわたる振動子板を中介固体反射層
を介して、これと固有音響インピーダンスの差が大きく
異なる固体台に接着した後、前記振動板を目的の素子巾
に切断してアレイ型振動子を構成する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50087250A JPS592440B2 (ja) | 1975-07-18 | 1975-07-18 | アレイ型超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50087250A JPS592440B2 (ja) | 1975-07-18 | 1975-07-18 | アレイ型超音波振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5211926A JPS5211926A (en) | 1977-01-29 |
| JPS592440B2 true JPS592440B2 (ja) | 1984-01-18 |
Family
ID=13909541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50087250A Expired JPS592440B2 (ja) | 1975-07-18 | 1975-07-18 | アレイ型超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS592440B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55103840A (en) * | 1979-02-06 | 1980-08-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Preparation of ultrasoniccwave probe |
| JPS55163041A (en) * | 1979-06-05 | 1980-12-18 | Tokyo Shibaura Electric Co | Ultrasonic probe |
| US4277712A (en) * | 1979-10-11 | 1981-07-07 | Hewlett-Packard Company | Acoustic electric transducer with slotted base |
| JPS5914845A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-25 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子の製造法 |
| JPS6035256A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-23 | Hitachi Medical Corp | 超音波探触子 |
| JPS62120799A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-02 | Tokyo Keiki Co Ltd | 超音波トランスジユ−サ |
| JPH0160742U (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-18 | ||
| US5404929A (en) * | 1993-05-18 | 1995-04-11 | Liquid Air Corporation | Casting of high oxygen-affinity metals and their alloys |
| US20080184848A1 (en) | 2006-08-23 | 2008-08-07 | La Sorda Terence D | Vapor-Reinforced Expanding Volume of Gas to Minimize the Contamination of Products Treated in a Melting Furnace |
| JP5780857B2 (ja) * | 2011-07-04 | 2015-09-16 | オリンパス株式会社 | 超音波ユニットおよび超音波内視鏡 |
| JP6122441B2 (ja) * | 2011-12-13 | 2017-04-26 | ピエゾテック・エルエルシー | ウェル完全性測定のための拡張帯域幅トランスジューサ |
-
1975
- 1975-07-18 JP JP50087250A patent/JPS592440B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5211926A (en) | 1977-01-29 |
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