JPS59221652A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59221652A JPS59221652A JP58097386A JP9738683A JPS59221652A JP S59221652 A JPS59221652 A JP S59221652A JP 58097386 A JP58097386 A JP 58097386A JP 9738683 A JP9738683 A JP 9738683A JP S59221652 A JPS59221652 A JP S59221652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference voltage
- sample
- amplitude
- ultrasonic
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、試料の選択された観察サイズを一定に制御す
る超音波顕微鏡に関するものである。
る超音波顕微鏡に関するものである。
従来、試料と超音波送信器及び超音波受信機または超音
波送受波器を相対的に振動する機械走査型顕微鏡では、
画像サイズ（視野）を変える方法どして、加振器の振幅
を制御する増幅器を設け、この増幅器の利得を変えるこ
とにより加振器の振幅を変化させて試料の観察視野を可
変していた（特開昭５５−１１２５６３号公報参照）。
波送受波器を相対的に振動する機械走査型顕微鏡では、
画像サイズ（視野）を変える方法どして、加振器の振幅
を制御する増幅器を設け、この増幅器の利得を変えるこ
とにより加振器の振幅を変化させて試料の観察視野を可
変していた（特開昭５５−１１２５６３号公報参照）。
しかしながら、この装置では、加振器の変位を検出して
いないため、例えばＱの高い板バネを使用した振動系で
選択された振幅を得る場合には、この板バネは温度変化
や経時変化によって振幅が変化するため、その都度増幅
器の利得を調整しなければならないという欠点があった
。
いないため、例えばＱの高い板バネを使用した振動系で
選択された振幅を得る場合には、この板バネは温度変化
や経時変化によって振幅が変化するため、その都度増幅
器の利得を調整しなければならないという欠点があった
。
本発明は、上記従来例の欠点を解決するために。
振幅検出器で試料の振幅を検出し、サイズ基準電圧設定
回路から基準電圧選択装置で選択した基準電圧と比較し
て試料の振幅を制御することにより、温度変化や経時変
化によってａｍ視野が変化しない超音波顕微鏡を提供す
るものである。以下、図面により本発明の実施例を詳細
に説明する。
回路から基準電圧選択装置で選択した基準電圧と比較し
て試料の振幅を制御することにより、温度変化や経時変
化によってａｍ視野が変化しない超音波顕微鏡を提供す
るものである。以下、図面により本発明の実施例を詳細
に説明する。
図は本発明の１実施例の超音波顕微鏡のブロック図を示
したもので、１は高周波発振器、２は超音波送信素子、
３は試料、４は超音波受信素子、５は受信機、６は表示
装置、７は基準発振器であり、超音波送信索子２から照
射された超音波は試料３を通って超音波受信素子４で受
信され、受信機５で増幅されて表示装置で表示される。
したもので、１は高周波発振器、２は超音波送信素子、
３は試料、４は超音波受信素子、５は受信機、６は表示
装置、７は基準発振器であり、超音波送信索子２から照
射された超音波は試料３を通って超音波受信素子４で受
信され、受信機５で増幅されて表示装置で表示される。
８は試料３を超音波送信素子２及び超音波受信素子４と
相対的に振動させる加振器、９は基準発振器７からの信
号で加振器を駆動する駆動回路、１０は試料３の振幅を
検出する振幅検出器、１１は振幅検出器１０の出力を増
幅する増幅器、１２は比較器、１３は試料の視野サイズ
を設定するサイズ基準電圧を出力するサイズ基準電圧回
路、１４はサイズ基準電圧回路１３からサイズ基準電圧
を選択する基準電圧選択装置である。
相対的に振動させる加振器、９は基準発振器７からの信
号で加振器を駆動する駆動回路、１０は試料３の振幅を
検出する振幅検出器、１１は振幅検出器１０の出力を増
幅する増幅器、１２は比較器、１３は試料の視野サイズ
を設定するサイズ基準電圧を出力するサイズ基準電圧回
路、１４はサイズ基準電圧回路１３からサイズ基準電圧
を選択する基準電圧選択装置である。
このように構成した本実施例の超音波顕微鏡では、サイ
ズ基準電圧回路１３から所望の観察視野サイズを設定す
るサイズ基準電圧を基準電圧選択装置１４で選択すると
、振幅検出器１０で検出した試料３の振動の振幅に応じ
た増幅器ＩＩ出力が比較器１２でサイズ基準電圧と比較
され、振幅検出器１０の出力電圧が選択されたサイズ基
準電圧より大きい場合には、比較器１２からの出力信号
によって駆動回路９の出力電圧が抑制され、また振幅検
出器１０の出力電圧が小さい場合は、駆動装置９の出力
電圧が大きくなるように動作するので、常に変動のない
観察視野が得られる。
ズ基準電圧回路１３から所望の観察視野サイズを設定す
るサイズ基準電圧を基準電圧選択装置１４で選択すると
、振幅検出器１０で検出した試料３の振動の振幅に応じ
た増幅器ＩＩ出力が比較器１２でサイズ基準電圧と比較
され、振幅検出器１０の出力電圧が選択されたサイズ基
準電圧より大きい場合には、比較器１２からの出力信号
によって駆動回路９の出力電圧が抑制され、また振幅検
出器１０の出力電圧が小さい場合は、駆動装置９の出力
電圧が大きくなるように動作するので、常に変動のない
観察視野が得られる。
このように、本実施例の超音波顕微鏡では、自動的に振
幅が抑制され、安定した観察視野が得られ、特にＱの高
い板バネに有効である。なお、サイズ基準電圧回路１３
には、各観察視野サイズが得られる加振器８の振幅に応
じた増幅器１１の出力電圧と等しい電圧を基準電圧とし
て設定しておけばよい。また、上記実施例の説明では、
試料３を加振器８で振動するようにしたが、超音波送信
素子２及び超音波受信素子４を振動するようにしてもよ
い。更に、超音波送受信素子を使用した反射型超音波顕
微鏡においても、試料または超音波送受信素子のいずれ
かを振動するようにすればよい。
幅が抑制され、安定した観察視野が得られ、特にＱの高
い板バネに有効である。なお、サイズ基準電圧回路１３
には、各観察視野サイズが得られる加振器８の振幅に応
じた増幅器１１の出力電圧と等しい電圧を基準電圧とし
て設定しておけばよい。また、上記実施例の説明では、
試料３を加振器８で振動するようにしたが、超音波送信
素子２及び超音波受信素子４を振動するようにしてもよ
い。更に、超音波送受信素子を使用した反射型超音波顕
微鏡においても、試料または超音波送受信素子のいずれ
かを振動するようにすればよい。
以上説明したように、本発明によれば、試料の振幅を振
幅検出器で検出し、サイズ基準電圧回路でそれぞれ設定
したサイズ基準電圧から所望の電圧を設定することによ
り、振幅に変化がなく、正常なｍ察視野が得られ、また
特にＱの高い板バネを使った加振器に有効である。
幅検出器で検出し、サイズ基準電圧回路でそれぞれ設定
したサイズ基準電圧から所望の電圧を設定することによ
り、振幅に変化がなく、正常なｍ察視野が得られ、また
特にＱの高い板バネを使った加振器に有効である。
図は本発明の１実施例の超音波顕微鏡のブロック図であ
る。 ■・・・高周波発振器、２・・・超音波送信素子、３・
・・試料、４・・・超音波受信素子、５・・・受信機、
６・・・表示装置、７・・・加振器、９・・・駆動回路
、１０・・・振幅検出器、１１・・・増幅器、１２・・
・比較器、１３・・・サイズ基準電圧回路、１４・・・
基準電圧選択装置。 特許出願人 本 多 敬 介
る。 ■・・・高周波発振器、２・・・超音波送信素子、３・
・・試料、４・・・超音波受信素子、５・・・受信機、
６・・・表示装置、７・・・加振器、９・・・駆動回路
、１０・・・振幅検出器、１１・・・増幅器、１２・・
・比較器、１３・・・サイズ基準電圧回路、１４・・・
基準電圧選択装置。 特許出願人 本 多 敬 介
Claims (1)
- 加振器で試料または超音波送信素子及び超音波受信素子
あるいは超音波送受信素子を振動し、前記超音波送信素
子から前記試料送られ、前記試料の表面または内部より
反射してきた超音波を前記超音波受信素子で受信するか
、または前記超音波送受信素子から前記試料を通し１反
射してきた超音波を前記超音波送受信素子で受信し、前
記受信した超音波を表示装置で表示するようにした超音
波顕微鏡において、前記試料の観察視野サイズを設定す
るサイズ基準電圧を出力するサイズ基準電圧回路と、該
サイズ基準電圧回路の各サイズ基準電圧を選択する基準
電圧選択装置と、前記試料の振幅を検出する振幅検出回
路と、該振幅検出回路の出力電圧と前記基準電圧選択装
置で設定したサイズ基準電圧を比較する比較回路と、該
比較回路の出力で前記加振器への出力電圧を制御する駆
動回路とからなり、前記試料の振動の振幅を前記基準電
圧選択装置で選択したサイズ基準電圧に応じて一定に制
御することを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58097386A JPS59221652A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58097386A JPS59221652A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221652A true JPS59221652A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14191069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58097386A Pending JPS59221652A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221652A (ja) |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP58097386A patent/JPS59221652A/ja active Pending
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