JPS59220705A - 回折格子を用いる光誘導構造体 - Google Patents

回折格子を用いる光誘導構造体

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JPS59220705A
JPS59220705A JP59100356A JP10035684A JPS59220705A JP S59220705 A JPS59220705 A JP S59220705A JP 59100356 A JP59100356 A JP 59100356A JP 10035684 A JP10035684 A JP 10035684A JP S59220705 A JPS59220705 A JP S59220705A
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waveguide
grating
waveguides
diffraction grating
diffraction
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JP59100356A
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アルフレド・イ−−ヤン
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ARUFUREDO II YAN
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ARUFUREDO II YAN
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    • G02B6/134—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by substitution by dopant atoms
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/295—Analog deflection from or in an optical waveguide structure]
    • G02F1/2955—Analog deflection from or in an optical waveguide structure] by controlled diffraction or phased-array beam steering

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は積分光学（ｏｐｔＩＰｕｅ　ｉｎｔｅｇｒｅａ
　）で使用される光誘導構造体（ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　
ｄｅ　ｇｕＩｄａｇｅ　ｏｐｔｉｑｕｅ）に係る。
本発明の構造体は第１図に示されている「Ｙジャンクシ
ョン」と称するデバイスに類似している。
このデノ々イスはＤｅ力方向入射光波導波管ｌＯとこれ
に続＜　Ｄｓｌ及びＤｓ１方向の２つの射出用導改管１
１及び１２とを含み、これら射出用導波管は前記入射用
導波管の方向Ｄｅに対し夫々＋α及び−α傾斜している
。この構造体は更にこれら入射用導波管及び射出用導波
管間の接合部を構成する末広形のゾーン１３をも４ｆＬ
、入射用導波管を介してこの接合部に到達した光線束は
そこで２つの光線束に分割されて前記の２つの射出用導
波管沿いに伝搬される。
このような構造体で生じる諸現象をよシ詳細に読切すべ
く、ここで方向Ｄｅと直交する２つの平面Ａ及びＢを股
定する。これらの平面はＡの左方に入射用導波管の領域
たるゾーンＩｉ規定し、Ａ及び８間に所蛸接合部の領域
たるゾーン■を規定し、且つＢの右方に射出用導波管の
領域たるゾーン■ケ規定する。また、２つの射出用々）
仮管が互に合流する合流点乃至分岐点は符号０で示す。
このようなりャンクションは積分光学で様々な用途に使
用され、時にマツハ・ツエンダ−変調器の形成に利用さ
れる。
この他のデノ々イスの特性は例えは１９７８年１月発行
の「ＩＥＥ　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒ
ｏｗａｖｅｓ　Ｑｐｔｌｃｓａｎｄ　Ａｃｏｕｓｔｉｃ
ｓ　（マイクロ波光学及び音臀学に関するＩＢＥ会報」
誌２ｒｌｒｐ−７〜１２に発表されたＡＮＤＢＲ８ＯＮ
　１．の論文［Ｔｒａｎｓｍｉｇｓｉｏｎ　ｐｅｒｆｏ
ｒｍａｎｃｅｏｆ　Ｙ−ｊｕｎｃｔｉｏｎｓ　ｉｎ　ｐ
ｌａｎａｒ　ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｗａｖｅｇｕｉｄ
ｅｓ（ゾレーナ形ｕｍ性導匝管におけるＹジャンクショ
ンの伝搬性能）」並びに１９８２年６月発行の「Ａｐｐ
ｌｉｅｄ　０ｐｔｉｃｓ　（応用光学）」誌２１．１１
．　ｐ。
１９７２〜１９７８に発表されたＢＡＥＴ８　Ｌ及びＬ
ＡＧＡＳＳＥ　Ｐ、Ｅ、の論文［０ａｌｃｕｌａｔｉｏ
ｎ　ｏｆＲａｄｉａｔｉｏｎ　Ｌｏｓｓ　ｉｎ　ｉｎｔ
ｅｇｒａｔｅｄ　０ｐｔｉｃｓ　Ｔａｐｅｒｓａｎｄ　
Ｙ−ｊｕｎｃｔｉｏｎｓ　（積分光字テーパ及びＹジャ
ンクションにおける輻射損の耐算）」に記載されている
。
この柚のデノ々イスには下記の３つの問題があるが、こ
れから読切する本発明のオＵ点を十分把握するためには
先ずこれらの問題を理解しておく必要がある。
ａ）接会部饋域（ゾーンＩＩ）でのモード変換、ｂ）分
岐点アングル（ゾーンＣ）での輻射線の出現、 ｃ）　　２つの射出用導波管の相互結合（ゾーン■）。
先ずモードに換なる現象を読切する。入射用導波管ｌＯ
及び射出用導波管１１．１２はモノモードで熾ｉｉヒす
べく＋Ｐ４成されている。ν０ち徳用する作用波長に対
し、これら尋阪官の幅と厚みとがか本的伏韻モードのみ
を雑文せしめ倚るように法延されている。導波管の躯の
公差は所定の厚みに対し極めて小さく、この幅の１１Ｉ
ｉＬが大き過ぎると高次のモードが伝搬され倚ることに
なる。平面人及び８間で幅が遅〔を的に）１−′大して
いる末広形接合部１３に該当する該デバイスのゾーン■
に生じるのはまさにこの現象である。従ってこのゾーン
では最も低次のモードを維持する条件が妨害され、その
ため＾次のモードが出現し得る。この現象には史に別の
現象が結合しその結果該モード変換が拡大される。この
別の現象とは平面Ａにおける元の回折である。即ち導波
管はこの平面上に不連続点を有し、そのためゾーン１円
をＤｅ力方向進む伝搬ベクトルに平面Ａ部分で角度のパ
ラつきが生じることになシ、従って平面Ａを越えるとこ
の伝搬ベクトルが該断面全体に亘ってＤｅ力方向進む代
りに少し斜めに進むことになる。
これら２つの現象が結合すると該構造体のモノモード特
性は破壊され、モード変換が生じる。射出用導波・管１
１及び１２は構造上モノモードであるため平面Ｂ上でこ
れら導波管に到達するマルチモード波の波奥とこれら２
つの導波管を伝搬するのに適したモノモード波の波面と
の間には不適合性が存在することになる。入射光エネル
ギは従って一部が平面Ｂ部分で分散される。
この種のジャンクションで見られる第２の問題はアング
ル０における輻射線の発生である。ゾーン■を平面Ａか
ら平面Ｂ方向・＼進む波のほぼ球状のＩＮ（６）は分岐
点０にぶつかシ、その結果該分岐点にこれを中心とする
回折波が形成される。この回折波はデバイス全体に伝搬
され入射用導波管方向へも広がる。この回折波はほんの
一部分のみが射出用導波管内を伝搬するための条件を満
たすにすぎず、残りは全て分散し消滅する。
板抜の問題はゾーン川内の射出用４［管が互に接近して
いることにある。この接近性はこれら導波管を互に結合
させる効果を南するため、（この効果をオリ用する方向
性結合器の如く）エネルギーが一方の導波管から他方へ
と移送される。平面Ｂから遠去かるとこの移送は概ね同
期性を肩する。
この効果は角夏の聞き（２α）の値が小さけれは小さい
機顕著になる。しかるに、Ｙジャンクションでは、入射
用導波管から射出用導波管へのエネルギ移送を十分に行
うために娘前記角展を小さくしなければならず（数度よ
シ小さい値）、従ってこの結合効果が増大する。
本発明の目的はこれらの問題を全て解消することにある
。この目的を達成すべく本発明では入射用導波管と接合
部との間に配置される回折格子を使用する。この回折格
子はゼロ以外の次数の回折方向を２つだけ規定するよう
な間隔（ｐａ）を有する。これら回折方向の次数は夫々
十ｌ及び−ｌである。この間隔はまたこれら２つの回折
方向が２つの射出用導波管の方向と合致するよう選択さ
れる。
好ましい変形例ではこの構造体はモノモードの第３射出
用導波管をも具備する。この導波管は前記の２つの射出
用導波管の間に配に忌れ、入射用導波管と同一の方向に
もつ。該第３導波管は回折次数０に相当する。
本発明の特徴は添付図面に基づく以下の非限定的具体例
の説明から明らかにされよう。
第２図に示されている如く本発明の構造体は方向Ｄｅの
入射用モノモード導波Ｗ２０と、方向Ｄｅに対し十〇及
び−〇傾斜した方向Ｄ　ｓ　１及びＤｓ２の２つの互に
対称な射出用モノモード４阪管２１及び２２と、前記入
射用４波管の姑長部に位置する、即ち方向Ｄｅと合致す
る方向Ｄ８３　ｋＴｊする第３射出用尋阪管２３とを備
えている。入射用導波管及び射出用導波管相互の接続は
末広形ゾーン２５を介して行われる。該構造体は良に導
波管２ｏの先端と接合部２５の入口とに歯たる部分に配
置された回折格子２４をも自している。この格子はｒ＝
ｊ隔Ｐを壱する。
周知の如く通′？ｆ；は間隔ｐの格子を波長λの光線が
ａ過すると複欽の方向ψに程々のべ数ｍ（ｍは正又は負
の膜数）の回折光線束が出現する。材料の屈折率をｎと
すれば方向ψはＳｌｎψ＝−と定義ｐ される。
本発明では次数＋１及び−ｌのみを存在させ、１よシ大
きい次数は除外するような格子を使用する。この条件は
量７アを少なくとも０．５に等しくすることによって得
られる。実際、このような値にすれば１を越える全ての
次数ｍについて量−がｌよｐ シ大きくなる。このような量に対しては角度ψの実際値
は存在しない。
２λ 従って所定の波長に対し−よシ小さい間隔ｐを選択する
。例えばλ＝　１．５５μｍ且っｎ＝３．３の場合、間
隔ｐはミクロンのオーダーの値をとることになる。
この場合次数＋１及び−１の光線束の方向は法線に対し
＋ψ及び−ψの角度をなす。角度ψは次式 ％式％ 従って方向Ｄｅと格子の間隔ｐとに対する方向Ｄｓｌ及
びＤｓ２の角度θはψがθと等しくなるように選択され
る。次数０の光線束は入射光線束と同−の方向を有する
。
撲言すれば、入射用導波管２０内を進む光線束は同角格
子２４迫過後３独類の光線束、即ち８！−波管２１を通
る次数＋１の光線束と、４ｖＷ２２を通る次数−１の光
線束と、べに波管２３を辿る次数０の光６束とを形成す
る。形成されるのはこれら３柚力ｊたけである。
これら射出用ｍ波管におけるエネルギ分布に関しては、
従来の如く、回折格子によシ仄数±１で回折されたエネ
ルギがＪ　、　（Ｘ）に比例することになる。
Ｊｕ１１次のベッセル関数、Ｘは回折格子の長さＬの１
ル・ｊ数たるパラメータである。屈折率格子（ｕｎｒｔ
’５ｃａｕ　ｄ’団ｄｉｃｅ　）の場合は屈折率が周期
的に献Δｎπ△ｎｌ。
たけ変化し、パラメータＸは一丁−に等しい。
０次に相当するエネルギはＪ：　（ｘｌに比例する。Ｊ
Ｏは０次のベッセル関数である。々シ波管内のエネルギ
は格子の長さＬに与えられる１１［ｌＬに応じ、従って
パラメータＸの１１１に応じ特定限界内で分布し得る。
この問題の読切には２Ｍの曲線、１：（ｘ）及びＪ　ｒ
（ｘ）が描かれている第３図を紗照するとよい。作用点
Ｍは次数±１における最大エネルギに相当するが、モー
ＰＯのエネルギもセロではない。点Ｎはこれら３柚のモ
ードのエネルギが互に等しい場合に該当する。点Ｐでは
Ｊ：（ｘ）＝０であυ、０次のエネルギは存在しない。
この場合は回折されたエネルギが２つの導波管２１及び
２２のみに果中するため第３導波管２３は省略し得る。
但しこの第３導波管は例えば検出、フィード／セック等
の種々の目的に使用できるため通常は省略しない。
第４図及び第５図は屈折率格子の場合（第４図）と波形
回折格子乃至取面回折格子の場合（ｘ３Ｊｓ図）とにお
ける回折格子の配置構成を示している。
該屈折率格子（第４図）は周期的に交互に配置された屈
折率口１の区域と屈折率ｎ２の区域とで構成されている
。屈折率変化は後述の如く拡散により実現し得る。
前記波形格子（第５図）は光波導波管４０の実効厚み（
ｅ’ｐａｉｓｓｅｕｒ　ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ　）ｆ：周
期的に変化させる効果をもつ波形構造体７２からなって
いる。周知の如く導波管の実効厚みは３つの項、即ち導
波管の幾何学的厚みと、＠導される波の振幅が基板内で
その値の１に低下する時の深さと、誘導される波の振幅
が上層内でその一値の−に低下する時の距離との汗日士
に寺しい。第５図のｙＯき構造では導波管の厚みが周期
的に変化しているため導波管の実効厚みも周Ｊす」的に
変化する。この回Ｖ「格子は伝搬条件におけるこのよう
な周期性によって形成されるのである。
波形格子ではこの波形の効果が皺のよった表向の近傍に
位置する導波管ゾーンに限定されて導波管全体には及ば
ない。屈折率格子（、！１１．４図）では異なる屈折率
をもつ領域が導波管全体に作用し得る。従って波形格子
の効率は一般に屈折率格子の効率より劣る。この効率の
低さは格子の長さを２より長くすることで補償されよう
。
本発明の利Ａは明白である。回折拍子が存在するため入
射光紐束の波動ベクトル、即ちこの彼の伝搬を規定する
ベクトルが射出用導波管の方向に適合した波動スフトル
に変化し、その結果エネルギ移送が最適化される。これ
は先行技術では付られなかった現象である。このような
理由から本発明ではＤ及び９部分での回折による損失が
少ない。
モード変換現象に関しては以下のことが観察できる。使
用される回折格子は［線（ｔｒａｉｔｓ）Ｊの数が少な
いため波長分解症が小ざい。笑際前述の如く該格子の間
隔はミクロメートルのオーダーであり、一方導波管の幅
は８乃至１０μｍのオーダーでおる。セＥって該格子の
Ｈｃｒ）数は約１０を超えない。
このような理由で分解能が小さいと前述の変換現象の結
果得られるような高次のモーｒのエネルギは基本モード
に対し極めて小さい位相差τもって２つの導波管２１及
び２２の方向へ回折きれることになる。従ってモード変
換による狽失は先行技術の場合より少ない。
また、エネルギ金より良く分布せしめるべく格子の形状
を変えることもできる。例えば格子の独々のゾーンには
柚々の異なる長さを与えてよく、例えば導波管の縁の部
分では長さを短かくシ、中央部では長くするなどの方法
が可能である。
更に、角度の開き２θも大きくし得（例えは数十度）、
その結果射出用導波管相互の結合現象が太１階に減少す
る。独って前述の欠点は十分に回避でれる。
以上説明してきた構造体は電子光学的係数の高い材料（
ＬｉＮｂＯｓ、工ｎ　Ｐ　、　Ｇ　ａ　Ａ　ｎ　ｘ　　
等々）で形成し得る。この場合は光の変調を侍るべく接
合部近傍に′電極を配置してよい。利用される現象は従
来の変詞器とは少し異なる。この説明には第３図及び第
６図を参照し得る。第３図については既に説明した。＠
６図は２つの電極３０．３１相互間に挿入された屈折率
格子２４を示している。第１電極は接地されており、第
２を極は成る可調整電圧Ｖに設定されている。格子を構
成する電子光学的材料に電界が与えられると該格子の異
なるゾーンの屈折率＋１１及びｎ２が、従って偏差△ｎ
が変化し、その結果前述のパラメータＸも変化する。印
加された電圧■が２つの値ｖ１及び■２の間で変調され
れは、それは２つの値ＸＩ及びｘ２間でのＸの変化に相
当する。第３図から明らかなように次数＋１及び＝１で
回折されたエネルギはこの時２つの値Ｅ１及びＥ２の間
で変化する。このようにして２つの射出用導波管２１及
び２２内で（勿論導波管２３内でも）光の変調が行われ
る。
次に、使用し得るわ丸々の数値の例を列挙する。
□エネルギ分布：ｘ＝１．９の場合、両側の導波管２１
及び２２に３４％、中央の導波管２３に８％。これは第
３図の点Ｍにほぼ置当する。
□Ｘが約１．４乃至１．５の場合、３つの射出用導波管
に均等に分布（点Ｎ）。
−長さ８１１ｍ　、θ＝３００のＴｉ　：　ＬｉＮｂＯ
５製導波管で成長が１．５５μｍの＠台、格子の間隔ｐ
は１．４μｍ１長嘔りは７８μ７ｎに等しい。パラメー
タＸは１．９でめる。
一〇＝４５°、λ＝　１．５５１ｉｎＩ、　ｐ＝ｌ、Ｑ
　Ｉｔｍ　、　Ｌ＝６０μｍの場合、ノξラメータＸは
１．４５に号しい。
ｔｉｆＪ述のデバイスを表這するには例えば［Ａｐｐｌ
ｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ　（応用物理学
回報）Ｊ　ｕ　（１９８１年５月）　、　３８．９　、
　ｐ、　８７３−８７４に発表されたＦＵＮＥ、Ｙ、ｌ
う、及びＹＩ　−ＹＡＮ　Ａｌｆｒｅｄｏの尚文［Ｆａ
ｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｐｅｒｉｏｄｉｃ　Ｗａｖ
ｅｇｕｉｄｅｓ　ｂｙ　ＩｏｎＥｘｃｈａｎｇｅ　（イ
オン交換による）ｆ（Ｊ期尋波官の製造）」、並Ｏ・に
［Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ　（％子工
学回獄）」誌（１９８２年８月）、１８．１７．　ｐ、
　７４０−７４２に発表されたＰＵＮ　Ｅ、Ｙ、Ｂ、、
　ＷＯＮＧ　Ｋ、に、。
ＡＮＴ）ＯＮＯＶＩＯ１，、ＬＡＹＢＯＵＲＮ　Ｐ、Ｊ
、Ｒ，及びＤＥＬＡ　ＲＵＥ　Ｒ，Ｍ、の論文［Ｂｆｆ
ｉｃｉｅｎｔ　Ｗａｖｅ　ＧｕｉｄｅＢｒａｇｇ−Ｄｅ
ｆｌｅｃｔｉｏｎ　Ｇｒａｔｉｎｇ　ｏｎ　ＬｉＮｂＯ
３（ＬｉＮｂ０３の効果的導波管ゾラッグ偏向格子）」
に記載の公知技術を使用し得る。
使用できる製法の数ステップを第７図乃至第１θ図に示
した。
第７図では先ず基板４０上にドーピング制料層４１をデ
ポジットしく第８図）、次に感光性樹脂（ｐｈｏｔｏｒ
ｅ’５ｌｎｅ　）層４２をデポジットして（第７ｂ図）
この層４２を開口４４を有するマスク４３を介して日光
にさらす（ｉ４７ｃ図）。現像後間ロ４６相互間に樹脂
片４５が残る（第４図）。これらの開口部を介して架剤
又はイオンにより増４１を腐食処理し樹脂片４５を除去
すると基板４０上にドーピング材料片４７が残る（第８
図）。
同一の結果をもたらす別の製法では基板４０上に感光性
樹脂層５１をデポジットしく第１図）、開口５３を有す
るマスク５２を介してこの層を日光にさらす（第２図）
。現象後樹脂片５４が残る（第り図）。次いで金ｈｉｌ
ｌ＠５５のデポジットを行い（第１図）、その後リフト
オフによシ前記樹脂片を憶う該金属層部分を除去する。
その結果第０図のモチーフが得られる。
前述のいずれか一方の方法で前記モチーフを得たら第８
図の如く処理を続ける。第８図の場合材料片４７はドー
ピング材料からなシ、該材料は基板４θ内に拡散する。
この拡散は本質的に垂直方向に生じるが、部分的には横
方向にも生じる。この拡散を’ＩＩｓ　Ｂ　ａ図に矢印
で示した。拡散後は第８ｂ図に示されている如き連続的
ドーピング誘導層５０が侍られる。
ドーピング材料の拡散に代えて第９図の如きイオン交換
法を使用することもできる。この場合はゾーン４７が基
ａｔ−撒榎するマスクで構成される。
イオン浴液５４に接触させるとこの構造体との間でイオ
ン交換が行われ、例えはガラス製基板からのＮａ＋イオ
ン（５６）と溶液からのＡ　ｇ＋＋イオン（５８）とが
交換される。このイオン交換は垂直方向に生じるのが好
ましいが、横方向にも行われる（第９ａ図の矢印参照）
。イオン交換が終了したらマスク４７を除去する。鰍終
的に得られる誘導層６０も第９ｂ図に示されている如く
連続的である。該誘導層６０は第８ｂ図の層と類似して
いるが第８図の場合はマスクの開口部における拡散が最
小限であったのに対し、第９図の場合はこれらの開口部
で最大の効果が得られるという相違点がある。
いずれの場合も基板４０上の防導Ｊ曽（５０又は６０）
は屈折率が周期的に変化する。
第１θ図は更に別の製法を示している。この場合は誘導
層６４で核種された基板４０（第１０ａ図）に感光性樹
脂層６６をデポジットしく第１０ｂ図）、この層を該感
光性樹脂上で干渉現象を起こす２つの干渉性輻射＃６７
及び６８で照射する（第１０ｃ図）。このようにして得
られる干渉縞により、現像後に周期的厚みをもつ感光性
樹脂層７０が得られる（第１０ｄ図）。この層を介して
イオンによる処理を行えは（第１０ｅ図）、基板４０上
に波形筋導層７２が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は先行妖術のＹ−）ヤ、ンクションの説明図、第
２図は本発明の訪導構造体の一具体例を示す説明図、第
３図は位数０及び１のモードにおけるエネルギ分布をボ
すグラフ、第４図は屈折率格子を用いた前記構造体の断
ｉｌＩ］］図、第５図は仮形伯子を用いた前記構輩体の
断匍図、第６図は延子光学的変調が行われる前記構造体
−変形例の説明図、第７図は回折格子を炒成するための
モチーフの製造過程を各ステップ胃に示す鰺、四囲、第
８図は拡散のメカニズム（ａ）と倚られた拡散のプロフ
ィル（ｂ）とを示す説明図、第９図はイオン交換のメカ
ニズム（−１と得られるプロフィル（ｂ）とを示す詣、
四囲、第１０図は干渉測定による格子付導波管の製法を
各ステップ毎に示す説明図である。 １０．２０・・・入射用導波管、ｌ、１２，２１，２２
゜２３・・・射出用導波管、２４・・・回折格子、１３
．２５・・・接合部、３０．３１・・・電極、４０・・
・扉板、４１・・・ドーピング材料、４２，４５，５１
，５４，６６．７０・・・感光性樹脂、４３．５２・・
・マスク、５４・・・イオン浴液、５５・・・金践層、
５６・・・Ｎａ＋イオン、５８・・・Ａｇｌ＋イオン、
５０，６０，６４．７２・・・誘導層、６７．６８・・
・干渉性輻射線。 出願人　　′？１１／７レド・イー　Ｉン代１１１１人
ｆｒ理十川用　口　　欲　　肩ト代」１人弁理士今　　
イ寸　　　　元 丁−彰″ｒニア山」１５力 特Ｉ［庁長官　志　賀　　　学　殿 １、事イ′１の表示　　　昭和５９年↑′Ｊｉｉ′ＴＩ
願第１００３５６号２、発明の名称　　　回折格子を用
いる光誘導構造体３、補１１をする者 １１件どの関係　　１’＋　＋＋Ｔ出願出願人名　　　
　）ｌルルド・イー−−Ｘ７ン４、代　庁　人　　　東
京都新宿区新宿１丁目１番１４号　山［Ｄビル５、補正
命令σ月゛１イ・１　　　自　発２、特許請求の範囲 （１）成る一定の方向をもつ入射用七ノＤ−ド導波管と
、この入射用導波管の方向に対して対称に傾斜した方向
をもつ２つの射出用モノモード導波管と、これら入口］
用導波管及び射出用ヌ９波笛相η間の末広形接合部とか
らなる光Ｘ　Ｇ　ＪＭ　造林であって、更に前記入射用
導波管と接合部との間に配置された回折格子をも含み、
この格子がゼロとは貢なる次数の、即ち人々＋１次及び
−１次である２つの回折方向のみを規定するような間隔
を有し、この間隔がこれら２つの回折力向を前記の２つ
の第１射出用導波管の方向と合致せしめるべく選択され
ることを特徴と一す°る構造体。 （２）２つの第１射出用η波管の間に位置し月つ入射用
導波管と同一の方向をもつモノモードの第。 ３射出用導波管をも有することを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の構造体。 （３）前記回折格子が異なる電位に設定された２つの電
極に包囲されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の構造体。 （４）前記回折格子が屈折率格子であることを特徴とす
る特Ｒ’ｌ請求の範囲第１項に記載の構造体。 （５）前記回折格子が誘う９層の厚みに波形起伏を５え
ることににつＣ形成されることを特徴とする特許請求の
範囲第１１Ｊ１４に記載の構造体。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）成る一定の方向をもつ入射用モノモード導波管と
    、この入射用導波管の方向に対して傾斜した方向をもつ
    ２つの射出用モノモード導波管と、これら入射用導波管
    及び射出用導波管相互間の末広形接合部とからなる光誘
    導構造体であって、更に前記入射用導波管と接合部との
    間に配置された回折格子をも含み、この格子がゼロとは
    異なる次数の、即ち夫々＋１次及び−１次である２つの
    回折方向のみを規定するような間隔を有し、この間隔が
    これら２つの回折方向を前記の２つの第１射出用等波管
    の方向と合致せしめるべく速択されることを特徴とする
    構造体。
  2. （２）２つの第１射出用導波管の間に位置し且つ入射用
    導波管と同一の方向をもつモノモードの第３射出用導波
    管をも有することを特徴とする特許請求の範囲第１項に
    記載の構造体。
  3. （３）前記回折格子が異なる電位に設定された２つの電
    極に包囲されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
    に記載の構造体。
  4. （４）前記回折格子が屈折率格子であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項に記載の構造体。
  5. （５）　　前記回折格子が誘導層の厚みに成形起伏を与
    えることによって形成されることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項にＨｒ２賊の構造体。
JP59100356A 1983-05-19 1984-05-18 回折格子を用いる光誘導構造体 Pending JPS59220705A (ja)

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