JPS59219845A - イオンビ−ム静電スキヤナ監視装置 - Google Patents
イオンビ−ム静電スキヤナ監視装置Info
- Publication number
- JPS59219845A JPS59219845A JP9341483A JP9341483A JPS59219845A JP S59219845 A JPS59219845 A JP S59219845A JP 9341483 A JP9341483 A JP 9341483A JP 9341483 A JP9341483 A JP 9341483A JP S59219845 A JPS59219845 A JP S59219845A
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- JP
- Japan
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- output
- triangle waves
- triangle
- scanning
- voltage
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イオン注入装置に用いられている静電型ビー
ム走査装置の出力三角波形が正常であることを監視し、
かつ、該波形に異常が認められた場合には直ちに装置を
停止して、注入不良が発生することを未然に防ぐことを
目的としたイオンビーム静電スキャナ監視装置に関する
ものである。
ム走査装置の出力三角波形が正常であることを監視し、
かつ、該波形に異常が認められた場合には直ちに装置を
停止して、注入不良が発生することを未然に防ぐことを
目的としたイオンビーム静電スキャナ監視装置に関する
ものである。
従来から中電流イオン注入装置にはビーム走査方式とし
て、静電偏向板に高圧三角波を印加する静電走査が用い
られている。この方式では、静電偏向板に印加される三
角波形の質、すなわち直線性がターゲットへのイオン注
入均一性を左右する重要因子となるが、従来装置には該
三角波形の質をモニタすることによって、該波形の異常
に起因する注入不良を防止するような方策は施されてい
なかった。
て、静電偏向板に高圧三角波を印加する静電走査が用い
られている。この方式では、静電偏向板に印加される三
角波形の質、すなわち直線性がターゲットへのイオン注
入均一性を左右する重要因子となるが、従来装置には該
三角波形の質をモニタすることによって、該波形の異常
に起因する注入不良を防止するような方策は施されてい
なかった。
本発明は前記問題を解決するもので、少なくとも２個以
上の狭帯域フィルタを用いて静電型ビーム走査装置の出
力三角波形の成分スペクトラムを抽出し、その各成分ス
ペクトラ広間のエネルギ比率を比較することによって、
該出力三角波形の波形歪みを検出するようにしたことを
特徴とするものである。
上の狭帯域フィルタを用いて静電型ビーム走査装置の出
力三角波形の成分スペクトラムを抽出し、その各成分ス
ペクトラ広間のエネルギ比率を比較することによって、
該出力三角波形の波形歪みを検出するようにしたことを
特徴とするものである。
以下、図を用いて本発明の実施例について説明する。
第１図に示すように、イオンビーム１を走査するだめの
静電偏向板２に高圧三角波を印加する走査電源３の出力
を分圧器４によって取出す。取出された三角波信号は狭
帯域フィルタ群５，５・・・に印加される。各フィルタ
５は該三角波の基本周波数ｆｏ及びその任意次数のｎ個
の成分高調波の周波数ｆ、、ｆ２・・・ｆｎに一致する
中心周波数を持ち、その帯域は該三角波の成分周波数間
隔に比べて充分狭いものである。各フィルタ５の出力電
圧■。、■□、−，・、・■。
静電偏向板２に高圧三角波を印加する走査電源３の出力
を分圧器４によって取出す。取出された三角波信号は狭
帯域フィルタ群５，５・・・に印加される。各フィルタ
５は該三角波の基本周波数ｆｏ及びその任意次数のｎ個
の成分高調波の周波数ｆ、、ｆ２・・・ｆｎに一致する
中心周波数を持ち、その帯域は該三角波の成分周波数間
隔に比べて充分狭いものである。各フィルタ５の出力電
圧■。、■□、−，・、・■。
は各ウィンドウコンパレータＣ９＋ＣＩ＋Ｃ２・・・Ｃ
ｎ６に入力される。各ウィンドウコンパレータＣ６，Ｃ
，、・・・ｑのウィンドウは、前記三角波形が正常な周
波数スペクトラムを保っているときは各コンパレータＣ
，−Ｃ□が出力を生じないように設定されておシ、該波
形が異常となり、周波数スペクトラムが正常値からはず
れると、各コンパレータＣ３−Ｃｎのうち少なくとも１
個以上が出力を生じる。出力はＯＲゲート７を通してイ
オン注入装置本体に注入動作ＨＯＬＤ信号として印加さ
れ、注入不良を未然に防止する。なお、コンパレータ群
６のかわりに第２図に示すように複数のアナログスイッ
チ８，８・・・をアナログスイッチ駆動回路９により高
速で切換えて、各フィルタ５の出力電圧■。〜ｖｏを順
時ウィンドウコンパレータ１０に印加することによって
も同様の効果が得られる。この場合は、各フィルタ５の
利得Ａｏ ”’−％は、前記三角波形の周波数スペクト
ラムが正常な時、各フィルタ５の出力Ｖ。−ｖｎがすべ
て等しくなるように選定する。
ｎ６に入力される。各ウィンドウコンパレータＣ６，Ｃ
，、・・・ｑのウィンドウは、前記三角波形が正常な周
波数スペクトラムを保っているときは各コンパレータＣ
，−Ｃ□が出力を生じないように設定されておシ、該波
形が異常となり、周波数スペクトラムが正常値からはず
れると、各コンパレータＣ３−Ｃｎのうち少なくとも１
個以上が出力を生じる。出力はＯＲゲート７を通してイ
オン注入装置本体に注入動作ＨＯＬＤ信号として印加さ
れ、注入不良を未然に防止する。なお、コンパレータ群
６のかわりに第２図に示すように複数のアナログスイッ
チ８，８・・・をアナログスイッチ駆動回路９により高
速で切換えて、各フィルタ５の出力電圧■。〜ｖｏを順
時ウィンドウコンパレータ１０に印加することによって
も同様の効果が得られる。この場合は、各フィルタ５の
利得Ａｏ ”’−％は、前記三角波形の周波数スペクト
ラムが正常な時、各フィルタ５の出力Ｖ。−ｖｎがすべ
て等しくなるように選定する。
以上説明したように本発明によれば、イオンビームの走
査状況を実際の注入作業時に監視することができ、走査
電源の劣化等に起因する注入均一性不良を未然に防止す
ることができる効果を有するものである・
査状況を実際の注入作業時に監視することができ、走査
電源の劣化等に起因する注入均一性不良を未然に防止す
ることができる効果を有するものである・
第１図、第２図は本発明によるイオンビーム静電スキャ
ナ、監視装置の実施例を示すブロック図である。 １・・・イオンビーム、２・・・静電偏向板、３・・・
走査電源、４・・・分圧器、５・・・狭帯域フィルタ、
６・・・ウィンドウコンパレータ、７・・・ＯＲゲート
、８・・・アナログスイッチ、９・・・アナログスイッ
チ駆動回路、１０・・・ウインドウコ・ンパレータ 特許出願人 日本電気株式会社 ２・ −パ
ナ、監視装置の実施例を示すブロック図である。 １・・・イオンビーム、２・・・静電偏向板、３・・・
走査電源、４・・・分圧器、５・・・狭帯域フィルタ、
６・・・ウィンドウコンパレータ、７・・・ＯＲゲート
、８・・・アナログスイッチ、９・・・アナログスイッ
チ駆動回路、１０・・・ウインドウコ・ンパレータ 特許出願人 日本電気株式会社 ２・ −パ
Claims (1)
- （１）イオン注入装置に用いられる静電型ビーム走査装
置の出力信号のスペクトラム成分を監視する少なくとも
２個以上の狭帯域フィルタを有することを特徴としたイ
オンビーム静電スキャナ監視装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9341483A JPS59219845A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | イオンビ−ム静電スキヤナ監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9341483A JPS59219845A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | イオンビ−ム静電スキヤナ監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219845A true JPS59219845A (ja) | 1984-12-11 |
Family
ID=14081635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9341483A Pending JPS59219845A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | イオンビ−ム静電スキヤナ監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219845A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61107647A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-26 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
-
1983
- 1983-05-27 JP JP9341483A patent/JPS59219845A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61107647A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-26 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
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