JPS5920234B2 - 超音波送受波器 - Google Patents

超音波送受波器

Info

Publication number
JPS5920234B2
JPS5920234B2 JP12312279A JP12312279A JPS5920234B2 JP S5920234 B2 JPS5920234 B2 JP S5920234B2 JP 12312279 A JP12312279 A JP 12312279A JP 12312279 A JP12312279 A JP 12312279A JP S5920234 B2 JPS5920234 B2 JP S5920234B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic transducer
transducer
ultrasonic
metal plate
rubber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP12312279A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5647196A (en
Inventor
弘志 鎌田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP12312279A priority Critical patent/JPS5920234B2/ja
Priority to AU61780/80A priority patent/AU539636B2/en
Priority to FR8018569A priority patent/FR2469852A1/fr
Priority to GB8028490A priority patent/GB2063007A/en
Publication of JPS5647196A publication Critical patent/JPS5647196A/ja
Publication of JPS5920234B2 publication Critical patent/JPS5920234B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/002Devices for damping, suppressing, obstructing or conducting sound in acoustic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/0674Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a low impedance backing, e.g. air

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高耐水圧性の超音波送受波器に関する。
第1図は従来の厚み振動形式の超音波送受波器の一例を
示しており、1は超音波振動子、2はキルクゴム、3は
ケーブル、4は防水モールド材の如く構成されている。
キルクゴム2は超音波振動子1の後面に設けられており
、従って超音波が矢印Aで示したように送受波器の前方
から入射した場合は、超音波振動子1が振動してそれに
応じた電圧出力がケーブル30線間に発生するが、矢印
Bで示したように超音波が送受波器の後方から入射した
場合には、キルクゴム2により遮音されて音波が超音波
振動子1に伝わりにくく、よって振動も小さいので電圧
出力も小さい。
このように前方からの入射音(以下前方入射音という)
に対して受波感度が高く、後方からの入射音(以下後方
入射音という)に対して受波感度が低いのは、キルクゴ
ム2の固有音響インピーダンスが例えば水等の音響媒質
に対して十分に低いために実現されるものである。
前方入射音に対する受波感度と後方入射音に対する受波
感度との比を前後比と称するが、第1図の構成による送
受波器では20 dB以上の前後比が容易に実現できる
上述したようにキルクゴム2は固有音響インピーダンス
が低いものであるが、これはヤング率(体積弾性率)が
小さいことと同じであり、固有音響インピーダンスはヤ
ング率の平方根に比例する。
従ってヤング率の小さい材料であるキルクゴム2を用い
ている従来の送受波器は、静水圧によってキルクゴム2
が圧縮され、深々度の海洋ではキルクゴム2の遮音性が
失なわれる。
つまり、キルクゴム2が圧縮された場合、後方入射音に
対しても受波感度が高(なるために前後比に劣化がおき
てOdB以下となり、後方入射音に対する受波感度の方
が高くなることもしばしばである。
また、キルクゴム2が圧縮され、変形することによって
他の構成要素に大きなひずみが加わり、結果として防水
モールド材に亀裂が発生し、防水性が失われることがあ
り、第1図に示した従来の送受波器の耐水圧性は水深1
00〜200m程度であった。
尚、上述の説明は受波器としての動作とその欠点を述べ
たものであるが、送受波器の可逆性の原理からして送波
器としての動作時にも同じような欠点が成立つことは無
論である。
本発明の目的はこれ等の欠点を解決することにあり、超
音波振動子の後面にゴム材から成る中間媒質を介在させ
て金属板を設けた構造のバッキング層を1層または複数
層設け、かつ前記ゴム材と金属板の厚みを各々の内部音
波の波長の1/9〜14736に限定したことを特徴と
するものである。
本発明の一実施例を第2図、第3図及び第4図により説
明する。
第2図において1は超音波振動子、3はケーブル、4は
防水モールド材、5はゴム材、6は金属板であって、該
金属板6はゴム材5を介在させて超音波振動子1の後面
に設けられており、かつゴム材5と金属板6はその厚み
が各科の内部音波の波長の1/9〜14736に限定さ
れている。
このように構成した超音波送受波器の動作を定性的に説
明するならば第3図に示す如くとなる。
第3図は動作説明図であり、矢印Aの如(音波が送受波
器の前方から入射した場合は、超音波振動子1が振動し
て受波電圧出力がケーブル3の線間に発生する。
これは第1図に示した従来例と同じ機能である。
しかし、矢印Bの如く後方から音波が入射した場合には
、防水モールド材4と金属板6との境界Cにおいて反射
した音波B1 と、境界Cを透過し金属板6とゴム材
5との境界すで反射した音波B2 とは金属板6が1/
4波長の厚みのときに同相となって強い反射波として合
成される。
一方、ゴム材5が1/4波長の厚みのとき境界c、bを
透過しゴム材5と超音波振動子1との境界aで反射して
境界すで再反射した音波B3と、境界c、bを透過して
境界aに到った音波B4とは境界aにおいて逆相となり
、互いに打消しあう。
従って後方入射音による超音波振動子1の振動は小さく
、振動が小さいので受波感度も低いことになる。
以上の説明は定性的なものであり、また実際には境界a
、b、cで透過、反射を多重的に行うものであるから現
象としてはもうすこし複雑である。
本発明者が伝送線路モデルで解析したところによれば、
前後比FBRは後方入射音による開放伝送係数と等しい
ただし、であることが必要である。
ここでZ。:超音波振動子1の固有音響インピーダンス
、Rw:音場媒質の固有音響インピーダンス、ZB:境
界aから後方を見たときの固有音響インピーダンス、k
o:超音波振動子1の波数、lo:超音波振動子1の厚
み。
前述の条件は、本発明の実施例においてはほとんどの周
波数で満足される。
第2図に示した実施例においては、基準となる周波数に
おいて1/4波長を有するゴム材5と、1/4波長を有
する金属板6とより成る2層構造のバッキングを行って
いる。
金属板6としてステンレスを用いたときの開放伝送係数
つまり前後比FBRは、 前後比FBRを周波数の関数で表わすと第4図の如くと
なる。
第4図においてFBRが20 dB以上となるのは、 の範囲であり、これは1/9波長から14/36波長に
相当する。
以上説明したように本実施例においては、超音波振動子
の後面にゴム材から成る中間媒質を介在させて金属板を
設けており、該ゴム材と金属板の厚みを各々の内部音波
の波長1/9〜14/36とすることによって受波感度
の前後比を20 dB以上とすることができ、従来の超
音波送受波器の浅深度での前後比と同等の性能が実現で
きるものである。
また、従来の超音波送受波器のようにキルクゴムといっ
たヤング率の小さい材料でバッキングしておらず、音場
媒質である水とほぼ同一のヤング率を有するゴム材と、
ヤング率の極めて大きい金属板とで2層構造のバッキン
グを行っているため、静水圧により圧縮を受けて遮音性
を失うことがなく、熱論防水モールド材に亀裂が生じて
防水性を失うようなこともない。
本実施例では水深1500mにおいて異常ないことを確
認しである。
上述した実施例は振動子として厚み振動を行う1個の振
動子を用いた場合について説明したが、縦振動する振動
子でもよく、また第5図に示すように超音波振動子7を
多数個配列した超音波振動子プレイの場合についても同
様の効果が生じ、更に1個もしくは複数個の振動子の音
響放射面から溝を途中まで入れた構造すなわちダイシン
グタイプの振動子を用いた場合についても同様の効果が
生じるものである。
また、上述の各実施例では、ゴム材と金属板とから成る
バッキング層を1層設ける場合について説明したが複数
層のバッキング層を設けたならば、前後比は更に大きく
なり効果が大である。
尚、ここでは受波器としての動作と効果を説明したが、
送受波器の可逆性の原理からして送波器としての動作時
にも上記と同様の効果が生じるのは熱論である。
以上説明したように本発明は、振動子のバッキング層と
して各々が1/9〜14/36波長を有するゴム材と金
属板とを用いているので感度の前後比を20 dB以上
とすることができ、しかも1、500771の水深にお
いても前後比が劣化せず、防水モールド材に亀裂が生じ
ることもないので深深度用の超音波送受波器として信頼
性が高いものである。
またMHz 帯のような高周波超音波では振動子が薄く
なるが本発明を利用すればバッキング層によって補強さ
れるので強度的には極めて強いものになるという利点が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来例の構造を示す断面図、第2図は本発明の
一実施例の構造を示す断面図、第3図は第2図の動作説
明図、第4図は前後比FBRを周波数の関数として表わ
した図、第5図は他の実施例の構造を示す断面図である
。 1・・・・・・超音波振動子、2・・・・・・キルクゴ
ム、計・・・・・ケーブル、4・・・・・・防水モール
ド材、5・・・・・・ゴム材、6・・・・・・金属板、
7・・・・・・超音波振動子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 厚み振動または縦振動をする超音波振動子もしくは
    超音波振動子アレイもしくはダイシングタイプの振動子
    の後面にゴム材から成る中間媒質を介在させ金属板を設
    けた構造のバッキング層を設け、前記ゴム材と金属板の
    厚みを各々の内部音波の波長の1./9〜14/36と
    したことを特徴とする超音波送受波器。 2 超音波振動子の後面にバッキング層を1層設けたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波送受
    波器。 3 超音波振動子の後面にバッキング層を複数層設けた
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波送
    受波器。
JP12312279A 1979-09-07 1979-09-27 超音波送受波器 Expired JPS5920234B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12312279A JPS5920234B2 (ja) 1979-09-27 1979-09-27 超音波送受波器
AU61780/80A AU539636B2 (en) 1979-09-07 1980-08-27 Ultrasonic transducer
FR8018569A FR2469852A1 (fr) 1979-09-27 1980-08-27 Transducteur ultra-sonique utilisable comme sonar
GB8028490A GB2063007A (en) 1979-09-27 1980-09-03 Ultrasonic transducer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12312279A JPS5920234B2 (ja) 1979-09-27 1979-09-27 超音波送受波器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5647196A JPS5647196A (en) 1981-04-28
JPS5920234B2 true JPS5920234B2 (ja) 1984-05-11

Family

ID=14852723

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12312279A Expired JPS5920234B2 (ja) 1979-09-07 1979-09-27 超音波送受波器

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS5920234B2 (ja)
AU (1) AU539636B2 (ja)
FR (1) FR2469852A1 (ja)
GB (1) GB2063007A (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58191788U (ja) * 1982-06-14 1983-12-20 古野電気株式会社 水中探知用超音波送受波器
US4679179A (en) * 1982-06-15 1987-07-07 Raychem Corporation Sonar detection apparatus
DE3382720T2 (de) * 1982-12-30 1994-03-31 Fujitsu Ltd Elektroakustischer Wandler und eine Sonde oder ein diagnostisches Ultraschallgerät mit einem solchen Wandler.
DE3301848C2 (de) * 1983-01-20 1984-11-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschallwandler
DE3437862A1 (de) * 1983-10-17 1985-05-23 Hitachi Medical Corp., Tokio/Tokyo Ultraschallwandler und verfahren zu seiner herstellung
US4759000A (en) * 1985-06-13 1988-07-19 Reitz Ronald P Acoustic energy absorbing material
US4754440A (en) * 1985-12-27 1988-06-28 Aisin Seiki Kabushikikaisha Ultrasonic transducer
DE3817996A1 (de) * 1988-05-27 1989-12-07 Hoffmann Medizinische Technik Verfahren zur erzeugung von stosswellen und dazu geeigneter stosswellengenerator
FR2640842B1 (fr) * 1988-12-20 1991-07-26 Thomson Csf Antenne hydrophonique lineaire modulaire directionnelle
US4982385A (en) * 1989-11-17 1991-01-01 Westinghouse Electric Corp. Acoustic decoupler for a sonar array
US5436874A (en) * 1993-11-17 1995-07-25 Martin Marietta Corporation Method and apparatus for sensing acoustic signals in a liquid
WO2009073884A1 (en) 2007-12-06 2009-06-11 Measurement Specialties, Inc. Multilayer backing absorber for ultrasonic transducer
CN104226576A (zh) * 2013-06-18 2014-12-24 柯宜京 一种用于厚度模振动超声换能器的背衬结构体系
CN105015415A (zh) * 2015-07-29 2015-11-04 奇瑞汽车股份有限公司 一种汽车泊车防撞制动系统
CN106037803B (zh) * 2016-06-27 2023-09-01 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 超声换能器阵列、超声介入治疗系统及超声消融导管
EP4335558A1 (en) * 2022-09-08 2024-03-13 Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO Acoustic device and method of manufacturing

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2434143A (en) * 1943-04-17 1948-01-06 Chilowsky Constantin Supersonic signal transmitter and receiver
US3480906A (en) * 1968-03-13 1969-11-25 Westinghouse Electric Corp Transducer having a backing mass spaced a quarter wavelength therefrom
US3601789A (en) * 1969-10-08 1971-08-24 Us Navy Deep-submergence acoustic array stave
JPS5318893B2 (ja) * 1971-12-03 1978-06-17
US3854060A (en) * 1973-10-12 1974-12-10 Us Navy Transducer for fm sonar application
US3995179A (en) * 1974-12-30 1976-11-30 Texaco Inc. Damping structure for ultrasonic piezoelectric transducer

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5647196A (en) 1981-04-28
AU6178080A (en) 1981-03-12
FR2469852A1 (fr) 1981-05-22
GB2063007A (en) 1981-05-28
FR2469852B1 (ja) 1985-03-01
AU539636B2 (en) 1984-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5920234B2 (ja) 超音波送受波器
CA1260603A (en) Ultrasound transducer
US6263551B1 (en) Method for forming an ultrasonic phased array transducer with an ultralow impedance backing
US11890140B2 (en) Ultrasound transducer assembly
US5648942A (en) Acoustic backing with integral conductors for an ultrasonic transducer
JP3625564B2 (ja) 超音波探触子及びその製造方法
US5722137A (en) Method for making a high density interconnect for an ultrasonic phased array
CN104722469A (zh) 超声波换能器及其制造方法
JP2003125494A (ja) イメージング・システムの分解能を高める超音波トランスデューサ
JPS60236600A (ja) 圧電式空気超音波変換器
WO2021078291A1 (zh) 超声换能器及超声换能器的制备方法
US4883143A (en) Anechoic coating for acoustic waves
CN112040382A (zh) 基于声阻抗梯度匹配层的高频宽带水声换能器
US5654101A (en) Acoustic composite material for an ultrasonic phased array
US3737004A (en) Composite acoustic decoupler
GB1257836A (ja)
JP4291500B2 (ja) 広帯域送受波器
JP4291501B2 (ja) 広帯域送受波器
US7180827B2 (en) Surface acoustic antenna for submarines
US3722619A (en) Acoustic decoupler
JP3008314B2 (ja) 超音波探触子
Toda High sensitivity and wideband design for impedance matching layer between protection metal and piezoelectric layer of ultrasonic transducers
JPS6313640B2 (ja)
JP3325305B2 (ja) 超音波探触子
KR20160096935A (ko) 음향특성 및 열특성을 향상시키는 초음파 트랜스듀서