JPS5919920A - Multibeam acoustooptic modulator - Google Patents
Multibeam acoustooptic modulatorInfo
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- JPS5919920A JPS5919920A JP12965682A JP12965682A JPS5919920A JP S5919920 A JPS5919920 A JP S5919920A JP 12965682 A JP12965682 A JP 12965682A JP 12965682 A JP12965682 A JP 12965682A JP S5919920 A JPS5919920 A JP S5919920A
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザビーム変調装置に関し、特に、多ビー
ム音響光学（以下ＡＯと略称する）素子を利用した多ビ
ーム変調装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser beam modulation device, and more particularly to a multibeam modulation device using a multibeam acousto-optic (hereinafter abbreviated as AO) element.
従来、この種の装置として、第１図に示すように、高周
波発振器（１−１） 、 （１−２） 、・・・（１−
ｎ）。Conventionally, as this type of device, as shown in FIG. 1, high frequency oscillators (1-1), (1-2), ...
n).
変調器（２−１） 、 （２−２） 、・・（２−ｎ）
を備え、これら変調器に外部から信号（Ｓ、）、（８２
戸・・（Ｓｎ）を与える形式のものがある。この形式の
装置は更に。Modulator (2-1), (2-2),...(2-n)
and external signals (S, ), (82
There is a format that gives door...(Sn). This type of device furthermore.
結合器ろ、高周波増幅器４．及びＡＯ媒体５を有し、
ＡＯ媒体５にはトランスジューサ６が取り付けられて
いる。ＡＯ媒体５に入射レーザビーム７が与えられると
、入射レーザビーム７は高周波増幅器４の出力信号によ
って変調全量け。Combiner, high frequency amplifier 4. and an AO medium 5,
A transducer 6 is attached to the AO medium 5. When an incident laser beam 7 is applied to the AO medium 5, the incident laser beam 7 is fully modulated by the output signal of the high frequency amplifier 4.
変調された複数の出射レーザビーム（８−１）、 （８
−２）、・・・、 （８−ｎ）がＡＯ媒体から出射さ
れる。より具体的に説明すると、高周波発振器（１−１
） 、 （１−２＞。A plurality of modulated emitted laser beams (8-1), (8
-2), ..., (8-n) are emitted from the AO medium. To explain more specifically, a high frequency oscillator (1-1
), (1-2>.
・・・、（１−ｎ）が互いに異なる周波数（ｆｌ）〜（
ｆ、）のｎ個のキャリアを発生する。これらのキャリア
はそれぞれ変…１′（器（２−１）、・・・、（２−ｎ
Ｊにおいてｎ個の信号源（１’Ｘｌ示せず）から与えら
れる信号（ＳＩＬ−、（Ｓｎ） Ｋ： Ｊ：すＡＭ変調
される。変調器（２−１）。..., (1-n) are different frequencies (fl) to (
n carriers of f, ) are generated. These carriers are respectively variable...1' (vessel (2-1),..., (2-n
A signal (SIL-, (Sn)) given from n signal sources (1'Xl not shown) at J is AM modulated. Modulator (2-1).
・・・、（２−ｎｌの出力信号は、結合器６で混合され
た後、高周波増幅器４で増幅されて、 ＡＯ媒体５のト
ランスジユーザ６に印加される。ＡＯ媒体５に入射した
レーザビーム７に、高周波増幅器４の出力信号に応じた
方向に回折される。この場合、上記キャリア周波数（ｆ
＋し・・（ｆｏ） Ｋ−よってブラック回折角が異なる
ため一次回折光はキャリア周波数（ｆ、）・・・（ｆｎ
ｌに応じた異なる方向に回折される。したがって、 Ａ
Ｏ媒体５からは多ビーム（８−１）、・・・、（８−ｎ
）に分割された形でレーザビームが出射することになる
。このとき、これらのビーム（８−１） 、 −、（８
−ｎ） Ｉｔ”ｉ信号（ｓ＋ｔ−（ｓｎ）に応じて変調
されているから、各信号（Ｓｌ）・・・（Ｓｎ） ｋ多
方向に伝送することが可能である。..., (2-nl output signals are mixed in the coupler 6, amplified in the high frequency amplifier 4, and applied to the transducer 6 of the AO medium 5. The beam 7 is diffracted in a direction corresponding to the output signal of the high frequency amplifier 4. In this case, the carrier frequency (f
+...(fo) K- Therefore, since the black diffraction angle is different, the first-order diffracted light has a carrier frequency (f,)...(fn
It is diffracted in different directions depending on l. Therefore, A
From the O medium 5, multiple beams (8-1), ..., (8-n
) The laser beam is emitted in a divided form. At this time, these beams (8-1), -, (8
-n) It''i signal (s+t-(sn)), so each signal (Sl)...(Sn) can be transmitted in k multi-directions.
従来のレーザ光変緩装置は以上のように構成されている
が、以下の如き問題がある。すなわち、−次回折光（８
−１）が信号（Ｓｌ）に従って変調され、断続するが、
一般に信号（Ｓ、）が他の信号（Ｓｊ） （ｉ”＝ｊ）
と独立であるとすれば、 ＡＯ変調素子から射出する一
次回折光の本数は時間と共にランダムに変化する。−次
回折光の本数が変化すると、射出している一次回折光の
一本あたりの強度が変化する。例えば、ある瞬間にｎ本
の一次回折光が射出していたものが、別の瞬間にｍ（＜
ｎ）本の回折光になったとすると、（ｎ−ｍ）本分のレ
ーザ光量の一部が２ｍ本の一次回折光一分配され、この
ようにして９ｍ本の一次回折光の一本あたりの強度が変
化する。従って、 ＡＯ変調素子から一本の一次回折光
のみが射出している場合、その光強度は、ｎ本の一次回
折光が射出している時の光強度に比して、数１０係も強
くなることがある。この現象を一次回折光の相互作用と
呼ぶが、この作用はレーザビームを。Although the conventional laser beam modulating device is constructed as described above, it has the following problems. In other words, -th order diffracted light (8
-1) is modulated according to the signal (Sl) and is intermittent, but
Generally, a signal (S,) is another signal (Sj) (i”=j)
If the number of first-order diffracted lights emitted from the AO modulation element changes randomly with time. - When the number of first-order diffracted lights changes, the intensity of each emitted first-order diffracted light changes. For example, if n primary-order diffracted lights are emitted at a certain moment, m(<
n) diffracted beams, a part of the amount of laser light for (n-m) beams is distributed to one 2m beam of first-order diffracted light, and in this way, the intensity of each beam of 9m primary-order diffracted beams is changes. Therefore, when only one first-order diffracted light beam is emitted from the AO modulation element, its light intensity is several tens of times stronger than the light intensity when n first-order diffracted light beams are emitted. It may happen. This phenomenon is called the interaction of first-order diffracted light, and this effect is similar to that of a laser beam.
フォトン・モード、するいはヒート・モードで記録変調
するレーザ・プリンター等の装置［は。Devices such as laser printers that modulate recording in photon mode or heat mode.
印字ドツトに濃淡が生じ、印字品質が落ちる欠点があっ
た。There was a drawback that the printed dots were shaded and the print quality deteriorated.
更に、従来の方式であると、各キャリア周波数（ｆ、）
・・・（ｆｏ）によってプラック回折角が異なるため、
射出ビーム（８−１） 、 （８−２） 、・・・、（
８−ｎ）は。Furthermore, in the conventional method, each carrier frequency (f,)
...Since the Plack diffraction angle differs depending on (fo),
Emission beam (8-1), (8-2),..., (
8-n) is.
各々平行にならず、ｎ本の射出ビームを狭い面積に収束
する場合、光学系が犬かがりとなり。When converging n emitted beams onto a narrow area without making them parallel to each other, the optical system becomes a dogleg.
装置全体が高価になる等１問題点が多々あった。There were many problems, such as the overall cost of the device.
本発明の目的は上記のような欠点を有効に除去でき、簡
単な装置を用いて、同時に多ビームを一定の光変調強度
で変調することができ、且つ、射ｔｌｆビーム相互間隔
を平行にできる多ビーム変調装置を提供することである
。An object of the present invention is to effectively eliminate the above-mentioned drawbacks, to simultaneously modulate multiple beams with a constant optical modulation intensity using a simple device, and to make the mutual spacing of the TLF beams parallel. An object of the present invention is to provide a multi-beam modulator.
本発明のより多の目的は一本のレーザビームを複数のＶ
〜ザビームに簡単な構成で分割できる分割器全備えた多
ビーム音響光学変調装置を提供することである。A further object of the present invention is to transmit a single laser beam to a plurality of VVs.
- To provide a multi-beam acousto-optic modulator equipped with a splitter that can divide the beam into multiple beams with a simple configuration.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図において、１は例えば、 ８０ＭＨｚの高周波を発１
辰する高周波発振器、 （２−１） 、 （２−２）
。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Second
In the figure, 1 is, for example, 1 that emits a high frequency of 80 MHz.
Shining high frequency oscillator, (2-1), (2-2)
.
・・・、 （２−ｎ）は変調器、 （Ｓｌ）、（Ｓ２
）、・・・、 （ｓｎ）は図示しない外部信号源からの
ｎ個の信号、 （４−１）。..., (2-n) is the modulator, (Sl), (S2
), ..., (sn) are n signals from an external signal source (not shown) (4-1).
（４−２） 、・・・、（４−ｎ）は高周波増幅器、５
は例えば。(4-2), ..., (4-n) are high frequency amplifiers, 5
For example.
モリブテン酸鉛単結晶ケ用贋た直方体形状のＡＯ’媒体
、６ｔ／’ｉＡｏ媒体５の一表面」二に取り付けられた
トランスジューサーで、ここでは、ニオブ酸リチウム単
結晶の３６度Ｙ板を使用した。７は入射レーザ光即ち、
入射レーザビームで、波長４８８ｎｍのアルゴン・レー
ザ光であり、この入射レーザ光７Ｖｉ溶融石英を材料と
した後述する平行平板のビーム分割器１ｏにょシ、ｎ本
のレーザビーム（７−１） 、 （７−２） 、・・・
、 （７−ｎ） Ｋ分割される。The transducer is attached to one surface of the rectangular parallelepiped-shaped AO' medium for lead molybutate single crystal, 6t/'iAo medium 5, in which a 36 degree Y plate of lithium niobate single crystal is used. did. 7 is the incident laser beam, that is,
The incident laser beam is an argon laser beam with a wavelength of 488 nm, and this incident laser beam is transmitted through a parallel plate beam splitter 10 (described later) made of 7Vi fused silica, and n laser beams (7-1), ( 7-2) ,...
, (7-n) is divided into K.
分割されたビーム間隔は後述するように、平行で、光強
度も等しい。１１はＡＯ媒体５のｌ・う／スジユーザー
６と対向する面に設けられた超音波吸収体であり、ここ
では、鉛金属を用ｒた。As will be described later, the intervals between the divided beams are parallel and the light intensity is equal. Reference numeral 11 denotes an ultrasonic absorber provided on the surface of the AO medium 5 facing the l/w/streak user 6, and here, lead metal is used.
トランスジューサー６上には、ｎ個の電極（１２−１）
、（１２−２）、・＝、 （１２−ｎ）が被着されてお
り、 ＡＯ媒体５Ｖｃ入射したｎ本のレーザビーム（７
−１）〜（７−ｎ）はそれぞれ−次回折光（８−１）〜
（８−ｎ）及び零次光（９−１１〜（９−ｎ）の形で、
ＡＯ媒体５から出射される。On the transducer 6, there are n electrodes (12-1).
, (12-2), .=, (12-n) are deposited, and n laser beams (7
-1) to (7-n) are the -order diffraction light (8-1) to
(8-n) and zero-order light (9-11 to (9-n)),
The light is emitted from the AO medium 5.
第３図を参照して、第２図で使用された平行平板のビー
ム分割器１０の構成及び動作を説明する。第６図におい
て、平行平板１０の垂線に対し、θＧで入射したレーザ
ビーム７は０１で屈折する。この関係は平行平板の屈折
率をｎとすれは、スネルの法則によってよく知られてめ
るように、 ｎ５ｉｎθ、−５ｉｎθ。で与えられる
。各出射ビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（
７−ｎ）の間隔ｔは、平行平板１０の厚さｉｄとすれば
、を−（２ｄ／ｎ）ＳＩｎｏ。の関係で与えられる。こ
れらのことを考慮して。The configuration and operation of the parallel plate beam splitter 10 used in FIG. 2 will be described with reference to FIG. 3. In FIG. 6, the laser beam 7 incident at θG with respect to the perpendicular to the parallel plate 10 is refracted at 01. This relationship, where n is the refractive index of a parallel plate, is n5inθ, -5inθ, as well known from Snell's law. is given by Each output beam (7-11, (7-2),..., (
7-n), if the thickness id of the parallel plate 10 is -(2d/n) SIno. It is given by the relationship. Considering these things.
平行平板１０の対向する二面の一方の面に、高反射膜１
３及び反射防止膜１４ヲ被着し、他方の面上に透光性膜
１５全被着する。反射防止膜１４はレーザビーム７の入
射位置に設けられ、且つ。A high reflection film 1 is provided on one of the two opposing surfaces of the parallel plate 10.
3 and an antireflection film 14 are applied, and a light-transmitting film 15 is completely applied on the other surface. The anti-reflection film 14 is provided at the incident position of the laser beam 7.
高反射膜１３は入射位置以外の領域を覆っている。一方
、透光性膜１５は他方の面上の出射ビーム位置に設けら
れている。The high reflection film 13 covers the area other than the incident position. On the other hand, the transparent film 15 is provided at the output beam position on the other surface.
これら高反射膜１３９反射防止膜１４．及び透光性膜１
５はいずれも誘電体多層膜の膜厚、積層される膜数等を
変化させることによって製作することができる。上記し
た誘電体多層膜のうち、透光性膜１５として使用される
出射ビーム側のｎ個の誘電体膜（１５−１） 、 （１
５−２） 、・・・、（１５−ｎ）は各出射ビームの光
強度が等しくなるような反射率を備えている。具体的に
言えば、レーザビーム７に対する平行平板１０の内部吸
収全零。These high reflective films 139 and anti-reflective films 14. and transparent film 1
5 can be manufactured by changing the thickness of the dielectric multilayer film, the number of laminated films, etc. Among the dielectric multilayer films described above, n dielectric films (15-1), (1
5-2), . . . , (15-n) have reflectances such that the light intensity of each output beam becomes equal. Specifically, the internal absorption of the parallel plate 10 for the laser beam 7 is completely zero.
反射防止膜１４の反射率を零、更に、高反射膜１３の反
射率ヲ１００％とすると、各出射ビーム（７１） 、
（７−２） 、・・・、（７−ｎ）の光強度が等しくな
る条件は、誘導体膜（１５−１） 、 （１５−２）
、・・・、（１５−ｎ）の反射不全それぞれＲ，、Ｒ２
，・・・、Ｒｎとすると。Assuming that the reflectance of the anti-reflection film 14 is zero and the reflectance of the high-reflection film 13 is 100%, each output beam (71),
The conditions under which the light intensities of (7-2), ..., (7-n) are equal are the dielectric films (15-1) and (15-2).
, ..., (15-n) reflex insufficiency R, , R2, respectively
,..., Rn.
（１−ＲＩ ）−（１−Ｒ２） ＲＩ −（１−Ｒ３）
ＲＩ Ｒ２＝−＝ （ｉ−Ｒｎ） Ｒ，Ｒ２−Ｒ，１・
・・・・・・・・（１）
どなる。反射率が（１）式全満足するような誘電体多層
膜（１５−１） 、 （１５−２） 、・・・、 （１
５−ｎ）を付けることにより、入射レーザ光７は第６図
に示すように１反射防止膜１４から平行平板１０に入射
し。(1-RI)-(1-R2) RI-(1-R3)
RI R2=-= (i-Rn) R,R2-R,1・
・・・・・・・・・(1) Shout. Dielectric multilayer films (15-1), (15-2), ..., (1) whose reflectance fully satisfies formula (1)
5-n), the incident laser beam 7 enters the parallel plate 10 from the anti-reflection film 14 as shown in FIG.
この平行平板１０内を多重反射しながら、進行すると共
に、各多層膜（１５−１１、（１５−２） 、・・・、
（１５−ｎ）’を介［〜て、実質上等しい間隔りでｎ本
の出射レーザビーム、 （７−１） 、 （７−２）
、・・・、（７−ｎ）として分割器即ち′＝ＩＬ行乎板
１０から出射する。このとき。As it progresses through this parallel plate 10 with multiple reflections, each multilayer film (15-11, (15-2), . . .
(15-n)' [~, n emitted laser beams at substantially equal intervals, (7-1), (7-2)
. At this time.
ｎ本のレーザビームは各誘電体膜（１５−１）〜（１５
−ｎ）の反射率が（１）式の関係全満足している限り。n laser beams are applied to each dielectric film (15-1) to (15-1).
-n) as long as the reflectance fully satisfies the relationship in equation (1).
実質上等しい光強度を示す。尚、（１）式の関係を満た
す反射率の誘電体膜ぼ各膜厚さ調整することによって容
易に実現できる。また２反射膜１６は金属膜等でもよい
。Showing substantially equal light intensities. Note that this can be easily realized by adjusting the thickness of each dielectric film having a reflectance that satisfies the relationship expressed by equation (1). Further, the second reflective film 16 may be a metal film or the like.
このようにして得られた平行且つ等しい光強度のｎ本の
レーザビーム（７−１） 、 （７−２１、・・・、（
７−ｎ）（は第２図のＡＯ媒体５に入射され、上記した
動作が行なわれる。The thus obtained n laser beams (7-1), (7-21, ..., (
7-n) (is incident on the AO medium 5 in FIG. 2, and the above-described operation is performed.
第２図に戻って、 ＡＯ媒体５の構成について。Returning to FIG. 2, regarding the configuration of the AO medium 5.
説明しておく。直立体形状のＡＯ媒体５の一表面に取り
付けられたトランスジューサー６ｖｃｔａ、。Let me explain. A transducer 6vcta, attached to one surface of the upright solid-shaped AO medium 5.
出射ビーム間隔ｔと等しいピンチで電極（１２−１）。electrode (12-1) with a pinch equal to the output beam spacing t.
（１２−２１，・・・、 （１２−ｎｌが形成されてい
る。高周波発振器１の周波数ｆはそれぞれ変調器（２−
１）。(12-21,..., (12-nl) are formed.The frequency f of the high frequency oscillator 1 is set to the modulator (2-
1).
（２−２） 、 −、（２−ｎ）においてｎ個の信号（
Ｓｌｙ（Ｓ２）・・・（ｓｎ＋によりＡＭ変調され、そ
の出力信号はｎ個の高周波増幅器（４−１ン、 （４−
２） 、・・・、（４−ｎ）で増幅されて、 ＡＯ媒体
５のトランスジー−サー６」二の各電極（１２−１）
、 （１２−２） 、・・・、 （１２−ｎ）に印加さ
れる。この印加信号により平行で光強度の等しいｎ本の
レーザビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（７
−ｎ）は等しいブラック角で、−次回指光（８−１）
、 （８−２）。(2-2), -, (2-n), n signals (
Sly (S2)... (AM modulated by sn+, the output signal is passed through n high frequency amplifiers (4-1, (4-
2) , ..., (4-n), each electrode (12-1) of the transducer 6'' of the AO medium 5
, (12-2), ..., (12-n). This applied signal causes n parallel laser beams (7-11, (7-2),..., (7
-n) are equal black angles, -next light (8-1)
, (8-2).
・・・、 （８−ｎ）と零次光（９−１） 、 （９−
２） 、・・・、 （９−ｎ）に分離される。..., (8-n) and zero-order light (9-1), (9-
2) , ..., (9-n).
第４図を参照すると２本発明の他の実施例に係る多ビー
ムＡＯ変調装置１ｄＡｏ媒体５の入射側及び出射側に、
／リンダーレンズ、楕円レンズ。Referring to FIG. 4, there are two multi-beam AO modulators according to another embodiment of the present invention, on the incident side and output side of the Ao medium 5.
/ Linder lens, elliptical lens.
あるいは球面レンズ等のレンズ系１６．１７ｉ設けた構
成を有している。ＡＯ媒体５の入射側に上述したように
レンズ系全挿入すれば、各レーザビームの直径を絞り、
変調帯域幅Δｆｍヲ広くすることができる。具体的に言
えば、変調帯域幅Δｆｍは
Δｆｍ＝ ０．５４Ｖ／ｗｏ 、 −・−−
−−−・・・・・（２）（但し、■は超音波音速及びＷ
。はレーザビーム径である）であられされ、（２）式か
らも明らかな通り、レーザビーム径Ｗ。に逆比例してい
るから。Alternatively, it has a configuration in which lens systems 16 and 17i such as spherical lenses are provided. If the entire lens system is inserted on the incident side of the AO medium 5 as described above, the diameter of each laser beam can be narrowed down,
The modulation bandwidth Δfm can be widened. Specifically, the modulation bandwidth Δfm is Δfm=0.54V/wo, −・−−
−−−・・・・・・(2) (However, ■ is the ultrasonic sound velocity and W
. is the laser beam diameter), and as is clear from equation (2), the laser beam diameter W. Because it is inversely proportional to
レーザビーム、径Ｗ。を小さくすることにより、変調帯
域幅Δｆｍを大きくできる。尚、 ＡＯ媒体５の出射側
のレンズ系は出射ビーム径を一定にすると共に、出射ビ
ームを平行にする機能を有している。Laser beam, diameter W. By reducing Δfm, the modulation bandwidth Δfm can be increased. The lens system on the output side of the AO medium 5 has the function of making the diameter of the output beam constant and making the output beam parallel.
上記実施例では、平行平板１０に溶融石英・を用いたが
使用レーザ光７に対し、内部吸収の少ない光学４ｄ別な
ら、どのようなものでもよい。In the above embodiment, fused silica was used for the parallel plate 10, but any material other than the optical material 4d which has little internal absorption for the laser beam 7 used may be used.
又、超音波吸収体１１ハ鉛を用いたが、アルミニウムで
も、低融点ハンダでもよい。ＡＯ媒体５は、二酸化テル
ル単結晶や光学硝子９例えばＦＤ−６、ＡＯＴ−５，Ａ
ＯＴ−４４Ｂ等、（（株）保谷硝子商品名ン音響光学の
性能指数の高い材料ならどれでもよいし、１］１つ、直
方体に限らず、斜めにカットされていても」二い。Further, although the ultrasonic absorber 11 is made of lead, it may be made of aluminum or low melting point solder. The AO medium 5 is a tellurium dioxide single crystal or an optical glass 9 such as FD-6, AOT-5, A
Any material with a high acousto-optical performance index, manufactured by Hoya Glass Co., Ltd., such as OT-44B, may be used.
更に本実施例ではトランスジー−サー６を一枚にしたが
、ｎ個に分割しても良い。なお、レーザビーム７を平行
平板１０に入射する場合。Further, in this embodiment, the transformer 6 is made into one piece, but it may be divided into n pieces. In addition, when the laser beam 7 is incident on the parallel plate 10.
第２図に破線で示すように、 ＡＯ媒体５側から入れて
も、各ビーム光強度を等しくする膜構成にしてもよい。As shown by the broken line in FIG. 2, it may be introduced from the AO medium 5 side, or a film structure may be used to equalize the intensity of each beam.
以上のように本発明によれば、平行平板を用いて、一本
のレーザ光ｉｎ本に平行に且つ光強度を等しく分割し、
各ビームを変調することで。As described above, according to the present invention, a parallel plate is used to equally divide the light intensity into one laser beam in parallel,
By modulating each beam.
変調された一次回折光は平行で光強度が等しく得られる
効果がある。The modulated first-order diffracted light is parallel and has the effect of having equal light intensity.
第１図は従来の多ビーム変調装置の概略構成図、第２図
はこの発明の一実施例による多ビームＡＯ変調装置の概
略構成図、第６図は第２図で用いられた多ビーム分割器
を示す図、及び第４図は本発明の他の実施例に係る多ビ
ームＡＯ変調装置を示す図である。
記号の説明
１：高周波発振器； （１−１ン（１−２）・・・（１
−ｎ）周波数の異なる高周波発振器； （２−１） （
２−２１・・・（２−ｎ）変調器；６：結合器； （４
） 、 （４−１） （４−２）・・・（４−ｎＪ高周
波増幅旨；５：音響光学媒体；６：トランスジユーザー
；７：入射レーザ光； （７−１）（７−２）・・・（
７−ｎ）等分割光； （８−１）（８−２）・・・（８
−ｎ）−次回折光； （９−１） （９−２）・・・（
９−ｎ）零次光；１０：平行平板；１１：超音波吸収体
； （１２−１）（１２−２）・・・（１２−ｎ）電極
；１６：高反射膜；１４：反射防止膜； （１５−１）
（１５−２］・・・（１５−ｎ）誘電体多層膜
壓２図
第３図FIG. 1 is a schematic block diagram of a conventional multi-beam modulator, FIG. 2 is a schematic block diagram of a multi-beam AO modulator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a multi-beam splitting diagram used in FIG. FIG. 4 is a diagram showing a multi-beam AO modulator according to another embodiment of the present invention. Symbol explanation 1: High frequency oscillator; (1-1 (1-2)...(1
-n) High frequency oscillator with different frequencies; (2-1) (
2-21...(2-n) Modulator; 6: Coupler; (4
) , (4-1) (4-2)...(4-nJ high frequency amplification effect; 5: acousto-optic medium; 6: transuser; 7: incident laser beam; (7-1) (7-2 )...(
7-n) Equally divided light; (8-1) (8-2)...(8
-n)-order diffracted light; (9-1) (9-2)...(
9-n) Zero-order light; 10: Parallel plate; 11: Ultrasonic absorber; (12-1) (12-2)... (12-n) Electrode; 16: High reflective film; 14: Anti-reflection Membrane; (15-1)
(15-2]...(15-n) Dielectric multilayer film Figure 2 Figure 3
Claims (1)
で、「１つ、ビーム強度の実質上等しい複数のレーザビ
ームに分割する分割器と、前記複数のレーザビームを受
け、各レーザビームを超音波変調する手段とを備えた多
ビーム音響光学変調装置。 ２互い［対向する実質上平行な二面を備えた平板と、複
数のレーザビームの出射位置に、前記複数のレーザビー
ムのビーム強度が実質上等しく且つ、出射方向が実質上
互いに平行ＶＣなるように、前記平板の一方の面上に被
着された誘電体多層膜と、前記平板の他方の面上に被着
された反射膜と金有する分割器を使用したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の多ビーム音響光学変調
装置。[Claims] 1. A splitter that receives one laser beam and splits it into a plurality of laser beams that are substantially parallel to each other and have substantially equal beam intensity; A multi-beam acousto-optic modulator comprising: a means for ultrasonically modulating each laser beam; and a flat plate having two substantially parallel surfaces facing each other; a dielectric multilayer film deposited on one surface of the flat plate, and a dielectric multilayer film deposited on the other surface of the flat plate so that the beam intensities of the plurality of laser beams are substantially equal and the emission directions are substantially parallel to each other. 2. A multi-beam acousto-optic modulator according to claim 1, characterized in that the multi-beam acousto-optic modulator uses a reflective film coated on a metal splitter and a splitter made of gold.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12965682A JPS5919920A (en) | 1982-07-27 | 1982-07-27 | Multibeam acoustooptic modulator |
| US06/517,346 US4592621A (en) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | Acoustooptic modulation element and system for acoustooptically carrying out modulation of a plurality of parallel beams by the use of a single acoustooptic medium |
| DE8383304320T DE3382323D1 (en) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | ACOUSTOOPTIC MODULATION ELEMENT AND DEVICE WITH SUCH AN ELEMENT. |
| EP83304320A EP0100238B1 (en) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | Acoustooptic modulation element and system |
| US06/778,786 US4696551A (en) | 1982-07-27 | 1985-09-23 | Acoustooptic modulation element and system for acoustooptically carrying out modulation, of a plurality of parallel beams by the use of a single acoustooptic medium |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12965682A JPS5919920A (en) | 1982-07-27 | 1982-07-27 | Multibeam acoustooptic modulator |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
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