JPS59188183A - Light communication device and manufacture thereof - Google Patents

Light communication device and manufacture thereof

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JPS59188183A
JPS59188183A JP58060749A JP6074983A JPS59188183A JP S59188183 A JPS59188183 A JP S59188183A JP 58060749 A JP58060749 A JP 58060749A JP 6074983 A JP6074983 A JP 6074983A JP S59188183 A JPS59188183 A JP S59188183A
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JP
Japan
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stem
inner end
fixed
light receiving
light
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Pending
Application number
JP58060749A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toyohiko Takahashi
高橋 豊彦
Atsushi Sasayama
佐々山 厚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Priority to JP58060749A priority Critical patent/JPS59188183A/en
Publication of JPS59188183A publication Critical patent/JPS59188183A/en
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/02208Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
    • H01S5/02216Butterfly-type, i.e. with electrode pins extending horizontally from the housings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/068Stabilisation of laser output parameters
    • H01S5/0683Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters

Abstract

PURPOSE:To accurately and simply mount a light receiving element and to enable to stably increase the laser light intensity against the vibration by securing the light receiving element to the end face of leads before a stem is secued to a stage and finishing the wire extending work to the electrode of the light receiving element. CONSTITUTION:A light receiving element 13 is secured to a mount 26 of the inner end of leads 18, and the electrodes of the element 13 and the inner end of the prescribed lead 17 are connected via wirings 14. Then, a stepped disclike stage 25 is engaged fixedly in a sealed state by using solder to the hole of the lower part of the punched portion of a stem 1. A semiconductor laser element 5 is secured by solder through a submount 4 on a pedestal 3, and the upper electrode and the inner end of the lead 19 are electrically connected via wirings 22. An optical fiber 7 is secured by a bonding material 28 bonded to the inner end of the fiber guide 6, and the airtightness in the bore of the fiber guide is maintained. Then, a disclike cap 27 is airtightly mounted to airtightly seal the element 5, thereby manufacturing a light communication device.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野] 本発明は光通信技術に適用して特に有効な技術1/ζ関
するもので、たとえば、光通信における発信側となる光
通信装置およびその製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to technology 1/ζ which is particularly effective when applied to optical communication technology, and relates, for example, to an optical communication device on the transmitting side in optical communication and a method for manufacturing the same.

〔背穿枝術] 光子仏における発信側光通佃装飲の一つと[7て、本出
願人は第1図に示すような構造の光ファイバー伺し−ザ
ーダイオード装置ケ開発し、た。このレーザーダイオー
ド装置は、長方形4!、のステム1?基にして組み立て
られている。すなわち、ステム1は長方形金属板の一面
(上面)?切削7J+l T して中IJ刊、−にリン
グ状封止壁2ケ形成するとともに、とび)リング壮士j
止壁2の内倶晴さらに深く〈シ抜きかつそのJK面中央
部に台座部3ヶ形作っている。
[Dorsal Tract Technique] As one of the transmitting side optical communication devices in the photon Buddha, the present applicant has developed an optical fiber diode device with a structure as shown in FIG. This laser diode device has 4 rectangles! , stem 1? It is constructed on the basis of In other words, is stem 1 one side (top side) of a rectangular metal plate? Cut 7J + l T and form two ring-shaped sealing walls on -, and jump) Ring Soushi
The interior of the stop wall 2 is cut out deeper and three pedestals are formed in the center of the JK surface.

そlて、この台座部3+にソルダー?介して固定したせ
ブマウント4−ヒにソルダーによって半導淋1/−ザー
素子5ヶ固定している。甘た、この半測体1/ −−リ
ー素子5のレーサー光ケ出射する一方の出射面に対面す
るステム1の一端周壁にはファイバ−ガイド67′Ii
W通固定されている。このファイバーガイド6けその中
央に光フアイバー7?!7内蔵11光フアイバー70内
端は半導体レーザー素子5の一方の出射面に対面し、レ
ーザー光を取り込むようにな−っている。
Also, is this pedestal part 3+ solder? Five semiconductor conductor elements are fixed by solder to the rib mount 4-H which is fixed through the mount 4-H. Sorry, there is a fiber guide 67'Ii on the peripheral wall of one end of the stem 1 facing one exit surface from which the laser light of the Lee element 5 is emitted.
W is fixed. Optical fiber 7 in the center of this fiber guide 6? ! 7 built-in optical fiber 70 The inner end of the optical fiber 70 faces one emission surface of the semiconductor laser element 5 and is adapted to take in laser light.

一方、半導体レーザー素子(【/−ザーチソプ)5の他
方の出射面に対面する側にリードステム8が配設さハて
いる1、このリードステム8は絶紬、性の本体9と、と
の本#、9の主面卦よび主面端から突出する2本の書′
由性から彦る補助リード10゜11と、からなっている
。一方の補助リード10の本体主面に位置する内端は幅
広のチ1、・ブ御付部12ケ形広し、このチップ取伺部
11にはレーサーチップ5から出射されるレーザー光ケ
受光する受光素子(受光チップ)13が固定きれている
On the other hand, a lead stem 8 is disposed on the side facing the other emission surface of the semiconductor laser element ([/-Zarchisop) 5. This lead stem 8 is connected to the main body 9 of the The main surface of book #9 and the two books protruding from the edge of the main surface
It consists of auxiliary leads 10° and 11, which are recessed due to its nature. The inner end of one of the auxiliary leads 10 located on the main surface of the main body has a wide tip 1 and a tip holding portion 12, and this tip receiving portion 11 receives the laser beam emitted from the racer chip 5. The light-receiving element (light-receiving chip) 13 is not fixed.

また、この受光チップ13の電極と他方の補助リード1
1の内端とはワイヤ(導線)14を介して型側的に接続
されている。また、これら両補助リードi 0 、 i
 iの外端はステム1の周壁を貫通しかつガラスのよう
な絶縁体15,16?r介し、て固定される2本のリー
ド17.18の内端に溶、接等によって接続されている
。これらリード17.18は受光チップ13に生じる光
量ケミ気菌に検出した際の出力取り出し端子となる。
Moreover, the electrode of this light receiving chip 13 and the other auxiliary lead 1
It is connected to the inner end of 1 via a wire (conductor) 14 on the mold side. In addition, these two auxiliary leads i 0 , i
The outer end of i passes through the circumferential wall of the stem 1 and is covered with an insulator 15, 16, such as glass. It is connected by welding, welding, etc. to the inner ends of two leads 17 and 18 which are fixed via r. These leads 17 and 18 serve as output terminals when detecting the light intensity chemical generated on the light receiving chip 13.

他方、ステム1の周壁には別に2本のリード1920が
取り付けられている。1本は直接ステム1に溶接によっ
て取り付けられ、サブマウント4ケ介してレーザーチッ
プ5の下部電極と等電位と々す、他の1本はステム1の
周壁ケ貫通し、ガラスのような絶縁体21?介して固定
され、内端はレーザーチップ5の上部■、極に一端を固
定されだワイヤ(導線)22の細端が固定されている。
On the other hand, two leads 1920 are separately attached to the peripheral wall of the stem 1. One is directly attached to the stem 1 by welding and has an equipotential with the lower electrode of the laser chip 5 via four submounts, and the other one passes through the peripheral wall of the stem 1 and is made of an insulator such as glass. 21? The narrow end of a wire (conducting wire) 22 is fixed at its inner end to the top pole of the laser chip 5, and one end is fixed to the pole.

したがって、これら1対のリード19.20に所定の電
圧を印加すると、レーサーチップ5内でレーザー発振が
起き、レーザー光がレーサーチップ5の両端の出射面か
ら発振これる。一方のレーザー光ハ光ファイバー7に取
り込まわて装置外部に++yり出され、他方のレーザー
光は受光チ、ツブ13に囮射はねる。
Therefore, when a predetermined voltage is applied to the pair of leads 19 and 20, laser oscillation occurs within the racer chip 5, and laser light is emitted from the emission surfaces at both ends of the racer chip 5. One laser beam is taken into the optical fiber 7 and emitted to the outside of the apparatus, and the other laser beam is reflected onto the light receiving chip 13.

きらに、図示はしないが、リング状封止壁2の上端には
円板状のキャップが気密的に取り付けられる。甘た、ス
テム1の四隅には袋筒実装時に利用される1(y封孔2
3がそれぞれ設けられている。
Although not shown, a disk-shaped cap is attached to the upper end of the ring-shaped sealing wall 2 in an airtight manner. At the four corners of the stem 1, there are holes 1 (y sealing hole 2) that are used when mounting the bag tube.
3 are provided respectively.

しかし、このような技術においては、つぎのような問題
点が生ずるということが本発明者によってあきらかにさ
れfC6 (D、  リートステム8の補助リード10.11勿1
勾のり一ド17’ 、 1 Bの内端に接続する際0、
一方の補助リード11は途中で適邑に折り曲げてIJ−
ド17の内端に重ね合せ、その状魁で溶接固定し。
However, the inventor of the present invention has revealed that such a technique causes the following problems.
When connecting to the inner end of slope 17', 1B, 0,
One of the auxiliary leads 11 should be bent at an appropriate position midway and
Lay it on the inner end of the door 17 and fix it by welding in that position.

なければならない。寸た、この際、受光チップ13のレ
ーサーチップ5に対する位置決めも行なわなければなら
ない。このため、補助リード接続作業は面倒となり、作
業時間も多く掛り易く、作業性が悪い。
There must be. At this time, it is also necessary to position the light receiving chip 13 with respect to the racer chip 5. Therefore, the work of connecting the auxiliary lead becomes troublesome, takes a lot of time, and has poor work efficiency.

(2\ リードステム8は細t/−12本の補助リード
1011およびリード17.18によって支持されてい
るため、支持長が長くなり、装置全体に外力が加わると
、振動し易くなり、受光チップによるレーザー光強度検
出の安定性が悪く々って信頼度が低くなる。
(2\ Since the lead stem 8 is supported by the narrow T/-12 auxiliary leads 1011 and leads 17 and 18, the support length becomes long, and when an external force is applied to the entire device, it tends to vibrate, causing the light receiving chip to The stability of laser light intensity detection is poor and the reliability is low.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は受光素子の取り利は位僧精度ケ高め易く
かつ取り付は作業がし易い光通信装置の製造方法を提供
することによって、品質の優れた光通信装置を提供する
ことにある。
An object of the present invention is to provide an optical communication device of excellent quality by providing a method for manufacturing an optical communication device that allows easy improvement in the yield and accuracy of the light receiving element and easy installation work. .

壕だ、本発明の弛の目的は振動に対し、ても安定して光
強度を検出することのできる光通信装置を提供する、こ
とにある。
However, the main purpose of the present invention is to provide an optical communication device that can stably detect light intensity even in the face of vibration.

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添伺図面からあきらかになるであ
ろう。
The above and other objects and novel features of the present invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔発明の櫃要〕[A chest of inventions]

本願において開示される発明のうち代表的な(のの郭要
ゲ簡単に説明すれば、下記のとおりで其る。
Representative aspects of the invention disclosed in this application are briefly explained below.

すなわち、との実施例の光通儒装置はステムの中央部に
くり抜き部分會設けるとともに、このく9抜き部分下部
に主面(内面)に半導体レーザー素子?固定したステー
ジを嵌合固定し1、かつ前記くり抜き部分内に突出する
ようにリードをステムの周壁に判通固定して、そのリー
ドの内端に前記半導体レーザー素子から発光される1ノ
−ザー光ケ受光する受光素子を固定した構造となってい
て、その製造にあっ1は、ステムにステージを固定する
前にリードの端面に受光素子ケ固定しかつこの受光素子
の電極へのワイヤ張υ作業を終了しておくことによって
、受光素子の数個は會正硲かつ簡単に行なえ所期の目的
が達成できるとともに、受光素子?支持長が短かいリー
ドで保持することによって振動に苅しても安定したレー
ザー元強度の検出が達成できるようにしたものである。
That is, the optical communication device of the embodiment has a hollowed out portion in the center of the stem, and a semiconductor laser element is provided on the main surface (inner surface) at the bottom of this hollowed out portion. A fixed stage is fitted and fixed, and a lead is fixed to the circumferential wall of the stem so as to protrude into the hollowed out part, and a noser emitted from the semiconductor laser element is attached to the inner end of the lead. It has a structure in which a light-receiving element that receives light is fixed, and the first thing to manufacture it is to fix the light-receiving element to the end face of the lead before fixing the stage to the stem, and to wire the electrodes of this light-receiving element. By completing the work, several light receiving elements can be assembled properly and easily, the desired purpose can be achieved, and the number of light receiving elements can be adjusted easily. By holding it with a lead with a short support length, stable detection of the laser source intensity can be achieved even when subjected to vibrations.

〔実施例〕〔Example〕

第2図は本発明の一実施例によるレーザーダイオード装
置の要部ケ示す舶視図、第3図は第2図のm−■線に沿
う断面図、第4図は本発明の一実施例によるレーザーダ
イオード装置の製造方法ケ示す断面図である。
FIG. 2 is a marine perspective view showing the main parts of a laser diode device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a sectional view taken along the line m-■ in FIG. 2, and FIG. 4 is an embodiment of the present invention. 1 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laser diode device according to FIG.

このレーザーダイオード装置は外観的には第1図に示す
装置(近似り一ている。すなわち、この装置も長方形状
のステム1を基にして組み立てられている。ステム1は
長方形金属板の一面(上面)?切削加工して中央部にリ
ング状制止壁2を形成している。リング状封止壁2の内
側はさらに深くくり抜かれるとともに、第3図に示すよ
うに、そのくり抜き部分の中央は下部が大径となる段伺
状の孔24が設けられている。そして、この段付状の孔
24にはこれに対応した段付金属円板状のステージ25
が気密的に嵌合固定されている。また、ステージ25の
略中央には半円状の台座部3が設けられていて、この上
にはソルダーによって固定されたサブマウント4を介し
て半導体レーザー素子(レーザーチップ)5がツルグー
によって固定ばれている。また、この半導体レーザー素
子5のレーザー光ケ出射する一方の出射面に対面するス
テム1の一端側壁にはファイバーガイド6が貫通固定こ
れている。このファイバーガイド6はその中心に光フア
イバー7ケ内蔵し、光ファイノ<−7の内端はレーザー
チップ5の一方の出射面に対面し1、レーザー光?取り
込むようになっている。
This laser diode device is approximately similar in appearance to the device shown in Fig. 1. That is, this device is also assembled based on a rectangular stem 1. The ring-shaped blocking wall 2 is formed in the center by cutting.The inner side of the ring-shaped blocking wall 2 is hollowed out more deeply, and as shown in Fig. 3, the ring-shaped blocking wall 2 is cut in the center. is provided with a stepped hole 24 whose lower part has a larger diameter.The stepped hole 24 has a corresponding stepped metal disc-shaped stage 25.
are hermetically fitted and fixed. Further, a semicircular pedestal 3 is provided approximately in the center of the stage 25, and a semiconductor laser element (laser chip) 5 is fixed thereon via a submount 4 fixed by solder. ing. Further, a fiber guide 6 is fixedly inserted through the side wall of one end of the stem 1 facing one of the emission surfaces from which the laser beam of the semiconductor laser element 5 is emitted. This fiber guide 6 has seven optical fibers built in at its center, and the inner end of the optical fiber <-7 faces one exit surface of the laser chip 5. It is designed to be imported.

一方、レーザーチップ5の他方の出射面に対面するステ
ム周壁部分にはリード18が貫通し、ガラスのような絶
縁体16ケ介してステム1に固定さ才1ている。このリ
ード18の内端は板状の数個部26ケ形成し、このリー
ド内端面である数個部26面には受光素子(受光チ、ツ
ブ)13が固定さノ1ている。iた、このリード18の
側方にはステム周壁ケ貝通しかつ絶縁体15ケ介して同
定さ第1るリード17が配設され、このリード17の内
端と前記受光チップ13の上面に設けられた図示し。
On the other hand, a lead 18 passes through the peripheral wall portion of the stem facing the other emission surface of the laser chip 5, and is fixed to the stem 1 through 16 insulators such as glass. The inner end of the lead 18 is formed into several plate-shaped portions 26, and a light receiving element (light receiving chip, tab) 13 is fixed to the inner end surface of the lead, which is the surface of the several portions 26. In addition, a first lead 17 is provided on the side of this lead 18 through the stem peripheral wall shell and through 15 insulators. Illustrated.

ない電極とはワイヤ(導線)14で接続されている。し
たがって、これら1対のリード17 、18は受光チッ
プ13の出力取出端子ケ構成している。
The other electrodes are connected with wires (conductor wires) 14. Therefore, these pair of leads 17 and 18 constitute an output terminal of the light receiving chip 13.

他方、ステム1の周壁には別に2本のリード19.20
が取り付けられている。1本は直接ステム1に溶接によ
って取り伺けられ、サブマウント4を介してV−ザーチ
ップ5の下部電極と等電。
On the other hand, there are two separate leads 19.20 on the peripheral wall of stem 1.
is installed. One is directly welded to the stem 1, and isoelectrically connected to the lower electrode of the V-zer tip 5 via the submount 4.

位となり、他の1本はステム1の同壁倉貫通し、ガラス
のような絶縁体21荀介して固定され、内端はレーザー
チップ5の上部電極に一端?固定されたワイヤ(導線)
22の他端が固定されている。
The other one passes through the same wall of the stem 1 and is fixed via a glass-like insulator 21, and its inner end is connected to the upper electrode of the laser chip 5. Fixed wire (conductor)
The other end of 22 is fixed.

したがって、これら1苅のり一ド1920に所定の電圧
ヶ印加すると、レーザーチ3.Jプ5内でレーザー発振
が起き、レーザー光がレーザーチップ5の両端の出射面
から発振される。一方のレーザー光は光ファイバー7に
取り込まれて装置外部に取り出され、他方のレーザー光
は受光チップ13に照射これる。
Therefore, when a predetermined voltage is applied to these glue boards 1920, the laser beam 3. Laser oscillation occurs within the laser chip 5, and laser light is emitted from the emission surfaces at both ends of the laser chip 5. One laser beam is taken into the optical fiber 7 and taken out to the outside of the device, and the other laser beam is irradiated onto the light receiving chip 13.

ζらに、リング状封止壁2の上端には金属製のキャップ
27が気密的に取り付けられ、レーザーチップ5および
受光チップ13等を気密的に封止している。また、ステ
ム1の4隅には装置実装時に利JTIで第1る取付孔2
3がそれぞれ設けられている。
Additionally, a metal cap 27 is airtightly attached to the upper end of the ring-shaped sealing wall 2, and the laser chip 5, the light receiving chip 13, etc. are hermetically sealed. In addition, the four corners of stem 1 are provided with first mounting holes 2 that can be used for mounting the device.
3 are provided respectively.

つぎに、第4図+a+〜icl k参照しながら、この
ような構造の光通信装置の製造方法、特に組立方法につ
いて説明する。組立に先立って同図IRIに示すように
、ファイバーガイド6および一部しか図示しないが4本
のリード17〜20(図では18のリードが示されてい
る。)ケ第2図に示すように固定したステム1?用、れ
する。この段階ではステージはステムに11ソり伺りら
れていかいため、ステム1の中央部はくり抜き部分で猶
辿状態となシ、段付孔、24が露出している。なお、フ
ァイバーガイド6は銀鑞28によってステム1に気密的
に固定謬れている。また、ファイバーガイド6の内端部
では光ファイバー7のコア(コア径はシングルモードフ
ァイバーの場合は7〜10μmφ、マルチモードファイ
バーの場合は50pmφ程度である。)のみがファイバ
ーガイド6の中心に沿って延在しているだけで、固定は
されていない。
Next, a method for manufacturing an optical communication device having such a structure, particularly a method for assembling it, will be described with reference to FIGS. Prior to assembly, as shown in IRI of the same figure, the fiber guide 6 and four leads 17 to 20 (lead 18 is shown in the figure), although only some are shown, are assembled as shown in FIG. Fixed stem 1? Use, be used. At this stage, the stage has been moved 11 times by the stem, so the central part of the stem 1 is hollowed out and is in a recessed state, and the stepped hole 24 is exposed. Note that the fiber guide 6 is hermetically fixed to the stem 1 with silver solder 28. In addition, at the inner end of the fiber guide 6, only the core of the optical fiber 7 (the core diameter is 7 to 10 μmφ in the case of a single mode fiber, and about 50 pmφ in the case of a multimode fiber) is aligned along the center of the fiber guide 6. It just extends and is not fixed.

つぎに、この同図talの状態でリード18の内部であ
る取付部26に受光素子(受光チップ)13ケ固定する
とともに、受光チップ13の電極と所定リード17の内
端と?ワイヤ14で接続する。
Next, 13 light receiving elements (light receiving chips) are fixed to the mounting portion 26 inside the lead 18 in the state shown in FIG. Connect with wire 14.

この接続作業時にはステム1ケ立てて取付部26の取付
面が上?向くようにして行なう。また、この作業時、ス
テム1の中央は抜けているので、受光チップ13または
ワイヤ?保持する図示しない一般のポンディングツール
はステム1に邪魔にされることなくボンディングができ
る。したがって、ボンディング作業は手動は勿論のこと
各半導体装置の組立に用いる自動ボンダーの適用も可能
となる。なお、このボンディング時に光ファイバー7が
邪魔となる場合が生じるならげ、光ファイバー7はファ
イバーツール6から抜いておいてボンディングケ行なっ
てもよい。
When doing this connection work, do you have to stand one stem upright so that the mounting surface of the mounting part 26 is up? Do it in the direction you are facing. Also, during this work, the center of the stem 1 is missing, so is it the light receiving chip 13 or the wire? A general bonding tool (not shown) held therein can perform bonding without being obstructed by the stem 1. Therefore, the bonding work can be performed not only manually, but also by using an automatic bonder used for assembling each semiconductor device. Incidentally, if the optical fiber 7 may become an obstacle during this bonding, the optical fiber 7 may be removed from the fiber tool 6 before bonding is performed.

つぎに、同図iblに示すように、段付円板状のステー
ジ25?ステム1のくυ抜き部分下部の孔24に鋼材等
?用いて気密状態で嵌合固定する。ステージ25はその
上面中央に第2図で示すような半円形状の台船部3が形
成ツカている。そこで、この台座部3上にサブマウント
4ヶ介しゼ半導体レーザー素子(レーザーチップ)5′
にンルダー?用いて固定する。なお、ステム1にステー
ジ25ケ取り付ける除には、ステム1は関で示すように
横にし−ておく。つぎに、この状態でレーザーチップ5
の土部の電極と第2図に示すようなり一部19の内端ケ
ワイヤ(導#)22で電気的に接続する。
Next, as shown in FIG. Is there a steel material in the hole 24 at the bottom of the hollowed out part of stem 1? Use them to fit and fix in an airtight state. The stage 25 has a semicircular barge 3 formed at the center of its upper surface as shown in FIG. Therefore, four submounts are mounted on this pedestal part 3, and a semiconductor laser element (laser chip) 5' is mounted on the pedestal part 3.
Ninluder? Use to fix. Note that, except for attaching the 25 stages to the stem 1, the stem 1 is placed horizontally as shown by the dot. Next, in this state, laser chip 5
It is electrically connected to the electrode of the earth part by the inner end wire (conductor #) 22 of the part 19 as shown in FIG.

この際、1/−ザーチップ5は光、ファイバー7の光軸
と受光チ、ツブ13の中心ケ結ぶ線上に内部の光導波路
が一致するような位置ケ目標とし2て接続される。
At this time, the 1/- laser chip 5 is connected at a position 2 such that the internal optical waveguide coincides with a line connecting the optical axis of the light fiber 7 and the center of the light receiving chip and tube 13.

つぎに、1対のリード19.20に所定の電圧ケ印加し
てV−ブーチップ5フ発光させ、との軟便で光ファイバ
ー7の光取り込み量が最大となる位iffに光ファイバ
ー7の内端部の位置を決定するとともに、ファイバーガ
イド6の内端部に利殖さ、+!:;i接合利2接合光2
8イバー7?固定しかつファイバーガイド内径部での%
j密性?保持はせる。
Next, a predetermined voltage is applied to the pair of leads 19 and 20 to cause the V-buchip 5 to emit light. Determine the position and insert it into the inner end of the fiber guide 6, +! :;i junction light 2 junction light 2
8 ibar 7? % at fixed and fiber guide inner diameter
jDensity? Hold it.

つぎに、ステム1のリング状封止壁2の」一部に円板状
のキャップ27を溶接あるいは接合材ケ用いて気密的に
取り付けてレーザーチップ5等ケ気密封止し、同図te
lに示すような光通信装置を製造する。
Next, a disk-shaped cap 27 is airtightly attached to a part of the ring-shaped sealing wall 2 of the stem 1 by welding or using a bonding material, and the laser chip 5 and the like are hermetically sealed.
An optical communication device as shown in 1 is manufactured.

〔効果〕〔effect〕

(1)、本実施例によれば、受光素子は真直に延在する
リードの内端に固定する構造としたことにより、受光チ
ップ支持点からステムに支持される迄のリードの支持長
が第1図に示す構造のものに比較して短かくすることが
できるため、剛性が強くなり、装置に外力が加わっても
受光チ、2プ部分は振動し難くなる。この結果、V−ザ
ーチップから発振されたV−ザー光ケ常に安定して捕捉
することができ、V−ザー光強度のモニター信頼度が向
上する。
(1) According to this embodiment, the light-receiving element is fixed to the inner end of the straight-extending lead, so that the support length of the lead from the light-receiving chip support point to the point where it is supported by the stem is approximately the same. Since it can be made shorter than the structure shown in Figure 1, the rigidity is increased and the light receiving tip and tip 2 portions are less likely to vibrate even if an external force is applied to the device. As a result, the V-zer light oscillated from the V-zer chip can always be stably captured, improving the reliability of monitoring the V-zer light intensity.

(2)、本実施例によれば、受光チップ固定およびワイ
ヤ接Mkする際、ステムの中央にはステージ?取シ付け
ない状態にしておくことにより、チップやワイヤの接続
作業空間會第1図の構造の装置組立時よりも大きくでき
る。この結果、受光チ、プ接続、ワイヤ接続の両ボンデ
ィングがし易くなり、作?4′Fが向上し作業時間が灼
縮これる。また、本’J′Mli例ではリードと補助リ
ードとの接続等の作業が小袋となることから、作業rI
間の矧縮が図ハる。
(2) According to this embodiment, when fixing the light receiving chip and connecting it with the wire, there is a stage in the center of the stem. By leaving the chips and wires unattached, the working space for connecting chips and wires can be made larger than when assembling the device having the structure shown in FIG. As a result, it becomes easier to bond both light receiving chips and wire connections, making it easier to make connections. 4'F is improved and the working time is reduced. In addition, in this 'J'Mli example, work such as connecting the lead and auxiliary lead is done in a small bag, so the work rI
The shrinkage between them is striking.

(3)、r′I′11記(2)に示したように、接続作
業空間が広く、ヂ、フ紮保持するボンディングツールの
動きが自由であるため、受光チップの取付位置も高精度
に行なぐるようになり、レーザーチップから発光される
1/−ザー光ケ適格に受光できるようになる。
(3) As shown in item (2) of r'I'11, the connection work space is wide and the bonding tool that holds the wire can move freely, so the mounting position of the light receiving chip can be mounted with high precision. It becomes possible to properly receive the 1/- laser light emitted from the laser chip.

(4)、本実施例によれば、レーザーチップはス密的に
封市されているた、め、酸化等がし難くなり、素子劣化
し難くなる。この女め、レーザー発振寿命が長く々る。
(4) According to this embodiment, since the laser chip is hermetically sealed, oxidation and the like are less likely to occur and the element is less likely to deteriorate. This woman has a long laser oscillation lifespan.

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨ケ逸説しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-mentioned examples and can be modified in various ways without departing from the gist of the invention. Not even.

たとえば、ギャップによって封止されるステム部分に温
度検出用のベルチェ素子ケ内蔵させて間接的にレーザー
チップの温度検出を行ない、この検出情報に基いてレー
ザー発振r制#するようにしてもよい。また、このよう
な光通個装値な・この光逆個装置?制御する回路系?実
装したハイブリッド基板に取り付けることにより、光通
信装置1タゲ芒らに使い易くすることもできる。
For example, a Beltier element for temperature detection may be incorporated in the stem portion sealed by the gap to indirectly detect the temperature of the laser chip, and the laser oscillation may be controlled based on this detection information. Also, what is the value of this light-transmitting individual packaging and this light-reversing individual device? Control circuit system? By attaching it to a mounted hybrid board, it is possible to make the optical communication device easier to use.

〔利用分野〕[Application field]

用土の説明では主として本発明者によってなされた発明
奮その背景となった利用分野である光通信技術に適用し
fCC会合ついて説明し、たが、それに限定はれるもの
ではない。すなわち、牛導体し−ザー寧子およびこの素
子から発光される【/−ザー光強度ケ検出する受光素子
ゲ糾み込んだ発光装値には少なくとも適用できる。
In the explanation of the field, the fCC meeting was mainly explained as applied to the optical communication technology, which is the field of application behind the invention made by the present inventor, but the present invention is not limited thereto. That is, it is applicable at least to a light-emitting device incorporating a conductor and a light-receiving element for detecting the intensity of light emitted from this element.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本出願人の開発によるレーザーダイオード装備
の要部?示す疹視図、 第2図は本発明の一実施例によるレーザーダイオード装
置の要部ケ示す争1視図、 オード装置の製造方法ケ示す断面図である。 1・・・ステム、2・・・リング状封止壁、3・・台座
部、4・・・ザブマウント、5・・・半導体レーザー素
子、6・・・ファイバーガイド、7・・・光ファイバー
、8・・・リードステム、9・・・本体、10.11・
・・補助リード、12・・チップ数個部、13・・・受
光素子、14・・・ワイヤ、15.16・・・絶縁体、
17〜2o・・・リード、21・・・絶縁体、22・・
・ワイヤ、23・・・取付孔、24・・・孔、25・・
・ステージ、26・・・取H部、27・・ギャップ、2
8・・銀釧、29・・・接合材。
Figure 1 shows the main part of the laser diode equipment developed by the applicant? FIG. 2 is a perspective view showing essential parts of a laser diode device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a method of manufacturing the laser diode device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Stem, 2... Ring-shaped sealing wall, 3... Pedestal part, 4... Sub mount, 5... Semiconductor laser element, 6... Fiber guide, 7... Optical fiber, 8 ... Lead stem, 9... Main body, 10.11.
...Auxiliary lead, 12...Several chips, 13...Light receiving element, 14...Wire, 15.16...Insulator,
17-2o...Lead, 21...Insulator, 22...
・Wire, 23...Mounting hole, 24...Hole, 25...
・Stage, 26... Take H part, 27... Gap, 2
8... Ginsen, 29... Bonding material.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 l 中央部がくり抜かわたステムと、このステムのくり
抜き部分に嵌合固定されたステージと、このステージの
上面に固定でれた半導体レーザー素子と、前記ステムに
支持されかつ内端?前記半導体レーザー素子の一方の出
射面に月面させた光ファイバーと、前記ステムに支持さ
れ内端面に受光素子が固定されたリードと、を有し、か
つ前記受光素子は前記半導体レーザー素子の他方の出射
面に交1面し、ていることケ特徴とする光通信装置。 2、前記半導体レーザー素子はり密約に封止されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光通信装
置。 3、中央部がくり抜かれたステムと、このステムのくり
払き部分に嵌合固定されたステージと、このステージの
上面に固定された半導体レーザー素子と、@11記ステ
ムに支持されかつ内端ケ前記半導体レーザー素子の一方
の出射面に月面はせた光ファイバーと、前記ステムに支
持され内端面に受光#子が固定さhたリードと、r有(
、かつ肖11記受光繁子は前記半導体レーザー素子の(
IIJ方の出射面に文・1面[2てなる光通信装置の製
造方法であって、前記ステージ?ステムに嵌合固定する
前に所定リードの内端面に受光素子ケ固定(かつこの受
光素子の電極と仙の所定リードの内端と勿ワイヤで電気
的に接続することを特徴とする光通信装置の卯、り進方
法。
[Scope of Claims] l A stem having a hollowed-out center portion, a stage fitted and fixed to the hollowed-out portion of the stem, a semiconductor laser element fixed to the upper surface of the stage, and a semiconductor laser element supported by the stem and fixed to the hollowed-out portion of the stem. Inner end? The semiconductor laser element has an optical fiber having a lunar surface on one emission surface, and a lead supported by the stem and having a light receiving element fixed to the inner end surface, and the light receiving element is on the other side of the semiconductor laser element. An optical communication device characterized by having one plane intersecting the output plane. 2. The optical communication device according to claim 1, wherein the semiconductor laser element is tightly sealed. 3. A stem whose central part is hollowed out, a stage fitted and fixed to the hollowed out part of this stem, a semiconductor laser element fixed to the top surface of this stage, and an inner end supported by the stem in @11. An optical fiber having a lunar surface on one output surface of the semiconductor laser element, a lead supported by the stem and having a light receiving element fixed to the inner end surface;
, and Portrait 11 Light receiving Shigeko of the semiconductor laser element (
There is a text on the exit surface of the IIJ side. An optical communication device characterized in that a light-receiving element is fixed to the inner end surface of a predetermined lead before being fitted and fixed to the stem (and the electrode of the light-receiving element is electrically connected to the inner end of the predetermined lead with a wire. How to advance the rabbit.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019153570A (en) * 2018-03-01 2019-09-12 日亜化学工業株式会社 Light emitting module
US10581220B2 (en) 2018-03-01 2020-03-03 Nichia Corporation Light emitting module

Cited By (3)

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US11201131B2 (en) 2018-03-01 2021-12-14 Nichia Corporation Light emitting module

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