JPS59187149U - 半導体ウエ−ハ搬送用カセツト - Google Patents
半導体ウエ−ハ搬送用カセツトInfo
- Publication number
- JPS59187149U JPS59187149U JP8268883U JP8268883U JPS59187149U JP S59187149 U JPS59187149 U JP S59187149U JP 8268883 U JP8268883 U JP 8268883U JP 8268883 U JP8268883 U JP 8268883U JP S59187149 U JPS59187149 U JP S59187149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- semiconductor wafers
- bellows
- transporting semiconductor
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る搬送用カセットの斜視図、第２図
はぞのカセットを製造するためのブロー成形体の正面図
、第３図はその一部破断側面図、第４図は他の実施例の
正面図ａおよび一部側面図すである。 Ｃ・・・カセット、１・・・収納室、２・・・区画室、
３・・・山襞、４・・・挿入口、５・・・くびれ部。
はぞのカセットを製造するためのブロー成形体の正面図
、第３図はその一部破断側面図、第４図は他の実施例の
正面図ａおよび一部側面図すである。 Ｃ・・・カセット、１・・・収納室、２・・・区画室、
３・・・山襞、４・・・挿入口、５・・・くびれ部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ■ 蛇腹形状をなして延びる断面略小判形状の周壁を有
するブロー成形体Ｔを対称面Ｓ−Ｆをもって長手方向に
分断し、その分断開口部４を半導体ウェーハ挿入口とす
る断面略馬蹄形状の収納室１を緩衝部として機能する蛇
腹状の山襞３・３・・・によって区画して各区画室２・
２・・・を並列配設するとともに全体を長手方向に折畳
み可能としたことを特徴とする半導体ウェーハ搬送用カ
セット。 ■ 並列配設される各区画室２の挿入口近傍に内方くび
れ部５を有する第０項記載のカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8268883U JPS59187149U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 半導体ウエ−ハ搬送用カセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8268883U JPS59187149U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 半導体ウエ−ハ搬送用カセツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59187149U true JPS59187149U (ja) | 1984-12-12 |
Family
ID=30212643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8268883U Pending JPS59187149U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 半導体ウエ−ハ搬送用カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59187149U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555963A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-24 | Kato Youki Yuugen | Conveying container |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP8268883U patent/JPS59187149U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555963A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-24 | Kato Youki Yuugen | Conveying container |
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