JPS59184812A - 三次元測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は三次元測定装置に係り、より詳しくは、少なく
とも１つの測定用ツイーン（接触子）を備え測定機械に
取り付けることの可能な測定ヘッド（−関する。。

〔背景技術〕

三次元測定装置は種々の型式の精密測定機械や場合によ
っては工作機械に装着して使用さｎるものである。

一般的には、三次元測定装置は被測足物体の表面を連続
的にならうことを可能にするもので、ツイーンの端部が
接触した表面上の点の位置を表すアナログ測定信号を出
力するものである。

かかる測定装置は例えば西独実用新案７２゜３１８７７
号に記載されている。この測定装置はフレームに対して
直交三方向に変位可能に懸垂装置に懸垂さ扛た少なくと
も１つのツイーンを備えて成ジ、この懸垂装置は、夫々
の変位方向について、２つの可動ブリッジと１つの変位
検出用ピックアップとを備えて成る。こｎらの可動ブリ
ッジは、互いに平行に移動可能であり、可動ブリッジに
回転可能に関節結合された剛性連結部材によって相互連
結さｎていて、変形可能な平行四辺形を形成している。

ピックアップはこれら２つのブリッジの相対変位音検出
−する。しかし、この測定装置では、異なる組の可動ブ
リッジは互いに直列に配置されているので、装置全体が
嵩ぼるという難点がある。更に、夫々の変位方向（二対
応する夫々の変位検出用ピックアップは装置の上部にグ
ループ毎に配置さ牡ているので、異なる可動ブリッジの
変位をピックアップに伝達するための伝達機構が複雑と
なる。

本発明の測定装置の型式に属する他の測定装置はフラン
ス特許２，３１１，２７５号に記載さｔている０この測
定装置は弾性薄板にエフ２つ単位で互いに連結さｎた可
動ブリッジで構成さ扛ており、可動ブリッジは瓦状に重
なっていて平行六面捧を形成しているので、前述の西独
実用新案の測定装置より小型であるｏしかし、この測定
装置においても異なる客位検出用ピックアップは装置の
上部（二おいてグループ分けしてあり、夫々の変形可能
平行四辺形の側辺を形成する弾性薄板はピックアップを
支持する機能會有するものでもなく、他の装置（例えば
、ツイーンの成る方向の変位を阻止するためのロック装
置や、ツイーンの振動荀制限するための装置）？支持す
るものでもないＯこの装置の他の難点は可動ブリッジ衾
互いに平行に２つ毎に連結するため（二連性薄板を用い
たこと（＝関連するもので、異なる平行四辺形の対捻り
抵抗力、ならびに、ツイーンに作用する復帰力は、用い
る弾性薄板の寸法および機械的特性に直接に支配さ７’
Ｌるので、任意的（＝決めることができないということ
である。

〔発明の目的〕

そこで、本発明の目的は、小型で、異なる変形可能平行
四辺形が互いに瓦状（二重なっており、可動ブリッジを
相互連結するために用いる連結部材は完全（−ｎ的であ
り、前記連結部材は任意の回転式関節結合によってブリ
ッジに結合さ肚ており、装置を基準位置（＝戻すだめの
復帰力が関節結合の弾性により設定さ几ることが無い様
な、三次元測定装置ケ提供することである。

〔発明の概要〕

前記目的全達成するため、本発明の三次元測定装置はツ
イーン全懸垂するだめの懸垂装置を侃え、・この懸垂装
置は、ツイーンの第１変位方向については、第１上部ブ
リッジ（こ几は測定装置のフレーノ＼に固定さｎる）と
第１下部ブリッジとを有し、第２方向については、第２
上部ブリッジ（こゎは第１下部ブリッジ（二景１的に連
結さｎる）と第２下部ブリッジとを４１し、こ扛らの第
２ブリツジは纂１ブリノン閤の空間（二配量さｎておジ
、ε３３方向については、第１１８Ｉｌ方ブリツジと第
２側方ブリノーンとをイイし、このｍ　１　（Ｎ１１方
ブリツジは第２下部ブリッジに閂（１的連結さ几ており
、第２１１１！ｉ方ブリツジには＋ｉ！’ｉ足用フィー
ラが装着さ庇る。従って、ツイーンは一玖力の作用しλ
す第１方向および第２方向の基準位置に付勢さ肛る〇 また、他の実施態様においては、懸垂装置は第Ｊ方向に
ついては第１上部ブリッジ（フレームにに１だ）と第１
下部ブリッジとをＦえ、第２方向については、第２下部
ブリッジ（こｎは第１上部ブリッジにｊ’ｊｌ的連結さ
れる）と呉２上部ブリンジ奮イ：１え、これらの第２ブ
リツジも第１ブリｙジ間の空間に配置さ扛ており、第３
方向については、第］［ｉ１方ブリッジ（こｉ％Ｉｄ−
第２上部ブリッジに剛的連結さ几る）ど餓２飼方ブリッ
ジとを備え、このｒ：・１方ブリツジ（二測定用フィー
ラが装着さ扛る。

従って、摂瓦状配置さｎた平行四辺形によって・ｉｎＨ
定さ牡た容積の空間の内部には、単に変位検出用ピック
アップだけでなく、フィー２（二作用する阜帰力企調節
するための装置や、特定の方向の変位を必要に応じ制限
するためのロック手段をも収蔵することが可能となる。

更に、本発明の三次元測定装置には多数の測定用ツイー
ンを取付けることが可能であり、ツイーンはＦ、ｉＪ定
装置の下部に延長させ得るだけでなく、直交する少なく
とも２つの方向に沿って側方に延長させることが可能で
ある。

実施例 次に、添附図面全参照して本発明の詳細な説明する。

第１図、第９図、および第１０図全参照するに、この実
施例に係る三次元測定装置はフレーム１を有する。この
フレームは例えば測定機械ζ二固定することが可能であ
り、このフレームには測定装置のすべての機構が装着さ
ｎる。全体は側壁２に裏って閉鎖さ几た例えば六角形の
ケース内に収蔵さ扛る。この測定装置はケース内に１つ
のツイーン（図示せず）を懸垂し得る様になっている。

このツイーンは５個のツイーン・ホルダー４１５１６１
７．８のいず几かに固定することができる。こｎらのう
ち、フィーラ°ホルダー４は一以上のフィーラｔケース
の下部に装着することを可能にするもので、他のツイー
ン・ホルタ−５１６１７１８は互いに直交する２つの方
向に沿ってケースの側面の両側にツイーンを装着するこ
とｔ可能（ニオるものである。ケースは密閉されておジ
、ツイーンが突出する領域の防塵密封性は弾性ベローズ
９によって確保される。

詳細には後述する様（二、ケース内に収蔵さ几た懸垂装
置は、各移動方向ごとに、互いに平行な２つの可動ブリ
ッジ金偏えている。こ肚らの可動ブリッジは該ブリッジ
に回転可能に関節結合さｎた２つの剛性の連結部材によ
って互いに連結されている。従って、可動ブリッジと連
結部材とは変形可能な枠を構成している。この実施例で
は前記関節結合は互いに直交する弾性薄板で構成さ訛て
いるが、すべり軸受９球面軸受、玉軸受、非直交型薄板
式可撓性軸受、の様な他の型式の関節結合音用いること
も可能である。直交薄板の場合には、互いに関節結合さ
肚た２つの部材は、互いに横に並べて配置され（或いは
、瓦状に重ねて配置さｆ’Ｌ）垂直に取付けら几た２つ
の弾性薄板に裏って、連結さｎる。夫々の弾性薄板は例
えばねじを用いて夫々の部材に着脱自在に固定さルる。

第２図には、この懸垂装置のうち、ツイーンをＸ方向に
移動させるための構成部材を斜線で示した。このＸ方向
懸垂部材は、フレーム１と一体の第１上部ブリッジ１１
と、第１下部ブリッジ１２から成る。こ扛らの第１ブリ
ッジ１１．１２は、直交弾性薄板１５によって該ブリッ
ジ１１．１２に関節結合された剛性の垂直な連結部材１
３゜１４によって互いに連結さｎている。この様な構成
であるから、第１下部ブリッジ１２は第１上部ブリッジ
１１に平行（−移動するのであり、このブリッジ１２は
重力の作用（二＋Ｉ＋９基準均衡位＃を占める。第１下
部ブリッジ１２全この基準位置に持来すため（＝は直交
薄板型関節結合の弾性復帰力は必要ではない。

第３図には、第１下部プＩＪ　ノジ１２に剛的に連結さ
ｎた部材１８から成る反転用ブリッジを斜線で示した。

この反転用ブリッジ１８はただ単に第１下部ブリッジ１
２の動きを装置の上部に伝えるためのもので、重力にＪ
ニジ第１移動方向Ｘにおける′復帰作用と同じ復帰作用
が第２移動方向ｙに対応する懸垂部材に作用する様に該
懸垂部材を配置することを可能にするものである。

第４図には、懸垂装置のうち、ツイーンをｙ方向（＝移
動させるための構成部材を斜線で示した。

このｙ方向懸垂部材は、反転用ブリッジ１８に剛的（＝
固定さ扛た第２上部ブリッジ２０と、第１ブリツジ１１
と１２の間の空間に配置された第２下部ブリッジ２１を
含んで成る。ブリッジ２０゜２Ｊは前述同様に直交薄板
型関節結合２３によって剛性連結部材２２に連結さｎて
いる。第４図から分る様に、この連結部材２２は任意の
形状のものでよく、特にケースのいすｎかの側壁（：向
ってツイーンを通過させるための開口を備えている。

第５図には、懸垂装置のうち、ツイーンをＺ方向（二移
動させるための構成部材を示した。２方向移動させるた
め、懸垂装置には、第２下部ブリッジ２１に剛的連結さ
ｎた第１側方ブリツジ２８と、連結部材２５（−、ｃｆ
）第１ｇｌ１ｌ方ブリツジ２８に連結さｎた第２側方プ
リンジ２４とが設けである。連結部材２５は直交薄板型
軸受２６にＪ：９ブＩＪ　クジ２Ｂ、２４１＝関節結合
されている。

第２ｆｌｌｌ方ブリツジ２４は複数の異なるツイーン・
ホルダーを支持するためのものである。便宜上の理由か
ら、第２側方ブリツジ２４には懸垂装置の中心近傍まで
延長した突起２７が設けてあり、第１側方ブリツジ２８
の垂直部分の直近に位置しない下部ツイーン・ホルダー
ならびに側方ツイーン・ホルダーを支持し得る様になっ
ている。同様に、下部ツイーン・ホルダー４を通過させ
る様（ニするため、下部連結部材２５ばほぼ三角形に成
形してあり、この三角形の頂点は第２８方ブリツジ２４
の一点く二関節結合さｎており、三角形の底辺は第１ｇ
１ｌ方ブリツジ２８の両端に連結さｔておジ、従って三
角形の中央部は切り欠いて開放さｔでいる。

通常は、２方向懸垂部材の休止位置は直交薄板型軸受２
６の薄板の反作用、ならびに、密封用ベローズ９からの
力のみによって決定さｎる０そこで、均衡装置を用いて
重力とは反対方向の力を第２側方ブリツジ２４じ作用さ
せることにＬ！ｌｌｚ方向懸垂部材の荷重を軽減し、第
２側方ブリツジ２４を基準位置に向って付勢しょうとい
うものである。

この均衡を実現するための簡単な方法を第５図に鎖線で
示した。即ち、連結部材２５には釣合い錘り３０が取付
けである。２つの連結部材２５に釣合い錘！ｌｌを取付
ける場合（：は釣合い錘りは回転式関節結合を用いてこ
ルらの連結部材に連結して全体の幾何学形状を残してお
くのが便利であるが、１つの中間部材のみに釣合い錘り
全連結する場合には剛的結合で十分である。

或いはまた、釣合い錘りに代えてモータを用い、その調
節可能な牽引力七−以上のばねに作用させ、このばねが
側方ブリッジ２４を付勢するようにしてもよい０ 第６図にはＸ　ｅ　’ｌ　＊　Ｚ方向のツイーンの変位
を測定するだめの変換器３５，３６．３７の位置全斜線
で示した。こｎらの変換器は好ましくは誘電式ビックア
ッグから成り、夫々の変位方向に対応するブリッジの一
方に連結されたコイルと、前記コイル七貫通し他方のブ
リッジ（前記一方のブリッジに平行に変位する）に連結
されたフエライトの電機子とで構成さ扛るＯ 前記実施例では、この測定装置（−は夫々の懸垂部材ご
と（二規制装置が設ζテであり、変位方向（ニフイーラ
が振動するの？制限してフイーラζ二体止位置金与える
と共に、ツイーンがその変位を生じさせる（二十分な尚
接方をもって被測定面（二当接し得るようになっている
０・第７図から良く分る様に、この規制装置は２つの当
接部材４０．４１に＝有する。こ扛ら部材４０．４１は
一つの方向Ｃ二対応するブリッジの一方に装着さｎてお
り、前記方向に移動し得る様になっている。例えば、当
接部材４０．４１はΩ形であり、軸４２上を滑動可能で
あり、軸４２に嵌合したばね４３により向い合せに付勢
さ扛ている。当一部材４０．４１はばね４３により位置
決め用固定ストツノ（４４の両側（＝衝当しており、こ
のストツノく４４は当接部材４０゜４１の休止位置全限
定している。更に、特定の方向に対応する懸垂装置の第
２プＩＪ　ツジ（＝は一以上の可動ピン４５が連結して
あり、こ詐らの可動ピン４５ばツイーンが前記方向（二
変位する時（＝いずれかの当接部材４０．４１をはね４
３の作用に抗して移動させる様に配置されている。

従って、ツイーンをいずれかの方向ζ二変位させるため
にははね４３により設定さ扛た力板上の力が必要となる
ので、ツイーンが不本意に振動するのが防止さｎる。当
接部材４０．４１ｉΩ形にしたので、中央にツイーン・
ホルダー等を通過させることが可能である。更に、軸４
２は必らずしも必要ではないが、衝撃時の装置の擾乱を
防止できるので有用である。

更に、第７図の装置には当接部材４０．４１を一時的叫
掛止するためのロック機構が設けてあり、ツイーンが一
定方向に変位するのを阻止し得る様になっている。この
ロック機構は例えば電動モータに、Ｃジ駆動さｎるピニ
オン４９により回転せらｎる冠状歯車４８を有する。こ
の歯車４８は第１図９解放位置（この位置では当接部材
はストッパ４４から遠ざかる方向（二自由に移動できる
）とｈツク位置との間で回動する。前記ロック位置では
ロック部材５０は矢印５１方向に変位して当接部材４０
．４１の進路上Ｃ二持来さｎｌかくして当接部材の変位
を妨げる。

第８図は規制装置お工びそ扛らの電動モータを測定装置
内に配置したところｔ詳細に示したものである。

もちろん、本発明の測定装置は例えば第°９図に示した
コネクタｓ５．ｓ６１介して制御装置に接続し、ツイー
ンの変位軸のロックと釈放を行う植種のモータを制御す
ると共（二、変位検出用ピックアップの出力信号２人力
して該信号を利用して測定機械自身の変位音制御し得る
様にしなけ扛はならない。

実験にＪ：扛は、懸垂装置と該懸垂装置に支持さ几た部
材との全体が比較的軽い場合（＝は前述した実施例は完
全に満足すべきものであることが判ったが、この全体の
重斌を増加した場合（特（二、懸垂装置の構成材料を重
くした場合）（二は第１および第２移動方向のブリッジ
を基準均衡位置に持来すべく重力を補償できないことが
あった。

この問題は、懸垂装置を回転させる（即ち、いずれかの
水平移動方向、例えばＸ方向に平行な軸を中心として懸
垂装置を１８０°回転させる）と共に、水平２方向につ
いて心合せ部材ケ設け、こｎらの心合せ部材を好ましく
は第７図を参照して前述した撮動規制装置で構成するこ
とにエリ解決することができる。

この様な解決手段を備えた第２実施例を第１１図から第
１３図（＝示す。当然ながら、この第２実施例は第１実
施例のすべての構成部材？備えており、それらは図面に
はダッシュを付した参照番号で示した。測定装置の構成
部材、例えば、ツイーン・ボルダ−４”、　５’、　６
’、　？’、　８’、ならびにモータ制御用コネクタ５
５’　、　５６’は第１実施例と同じ位置にある０しか
し、ツイーンのｙ方向お工び２方向変位検出用のピック
アップ３５’　、　３６’　、　３７’や前記方向の規
制装置の様な他の構成部材は懸垂装置に固定さｎている
（即ち、それらは懸垂装置が１８０″回転する時には懸
垂装置（二伴い回転する）ＯＸ方向の規制装置はケース
１′の上部に配置するのが好ましい。

この第２実施例については前述した第１実施例の説明が
概ね適用できるので詳細は省略するが、その際、上下関
係を逆（−しＸお工びｙ方向の移動方向に関するブリッ
ジを逆に読むと共に、参照番号にダッシュを付しく但し
、規制装置の構成部材は除く）、基準位置の定義に関し
重力の作用に関する記述を削除すｎばよい。

言うまでもなく、本発明は前記２つの実施例に限定さｆ
るものではなく、種々の修正や変更全加えることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第】実施例の正面図、第２図から第６
図および第８図は第１図同様の正面図で、特定の構成部
材を明瞭に図解したもの、第７図は第１実施例の規制装
置の平面図、第９図は第１実施例の平面図、 第１０図は第１実施例の側面図、 第１１図から第１３図は本発明の第２実施例を示す図で
、夫々、第２図、第４図および第５図に対応するもので
ある。 １・・・・・・フレーム、２・・・・・・ケースの側壁
、４．５，６．７．Ｆｔ・・・・・・ツイーン・ホルダ
ー、９・・・・・・ベローズ、１１・・・・・・第１上
部ブリッジ、１２・・・・−・第１下部ブリッジ、１３
．１４・・・・・・第１ブリツジの連結部材、１５・・
・・・・関節結合（直交薄板型）、１８・・・・・・反
転用ブリッジ、２０・・・・・・第２上部ブリッジ、２
１・・・・・・第２下部ブリ・ンジ、２２・・・・・・
第２ブリツジの連結部材、２３・・・・・・第２ブリツ
ジの関節結合、２４・・・・・・第２１ｉＩＩｌ方ブリ
ツジ、２５・・・・・・第２ブリツジの連結部材、２６
・・・・・・側方ブリッジの関節結合、２７・・・・・
・突起、２８・・・・・・第１１１ｔｌｌ方ブリツジ、
３０・・・・・・釣合い錘り、３５．３６．３７・・・
・・・変換器（ピックアップ）、４０　、４１・・・・
・・当接部材、４２・・・・・・軸、４３・・・・・・
ばね、４４・・・・・・位置決め用固定ストッパ、４５
・・・・・・可動ビン、４８・・・・・・歯車、４９・
・・・・・ピニオン、５０・・・・・・ロック部材、５
５．５６・・・・・・コネクタ。 以下余白 ＼

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、互いに直交する３つの移動方向（Ｘ　ｅ　ｙｅ２）
   に沿ってフレームに対して同時（＝移動し得る様に懸垂
   装置によって懸垂さｎた少なくとも１つの測定用ツイー
   ンを備え、前記懸垂装置は、前記各移動方向ごとに、互
   いに平行移動可能な２つの可動ブリッジと、前記２つの
   可動ブリッジの相対変位を検出するための検出用ピック
   アップとを備え、前記２つの可動ブリッジは該可動ブリ
   ッジに回転可能に関節結合さｎた２つの剛性連結部材に
   よって互いに連結されていてもって該可動ブリッジと連
   結部材とが変形可能な枠を形成して成る三次元測定装置
   において、 前記懸垂装置は、第１移動方向偶）に関しては、フレー
   ム＜１１に固定された第１上部ブリッジ（１１）と、第
   １下部ブリッジ（１２）とを備え、第２移動方向ｔｙ＋
   に関しては、前記第１下部ブリッジ（１２）に剛的に連
   結さｎた第２上部ブリッジ（２０）と、第２下部ブリッ
   ジ（２１）とを備えていて、該第２ブリッジ＋２０．２
   １）は第１ブリツジ（１１゜１２）の間の空間に配置さ
   ｎでおり、第３移動方向ｆｚ＋に関しては、前記第２下
   部ブリッジ（２１）に剛的に連結された第１９Ｉ方ブリ
   ツジ（２８）と、第１９Ｉ方ブリツジ（２４）と全備え
   、該測定用ツイーンはこの第２側方ブリ、ツジ（２４）
   に装着さｎておジ、もって、該ツイーンは重力の作用に
   エリ第１および第２方向における基準位置に向って付勢
   されていることを特徴とする三次元測定装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の三次元測定装置であっ
   て、前記ツイーンは、第２側方ブリツジ（２４）の荷重
   とは反対方向の力を該第２側方ブリツジ（２４）に作用
   させる均衡装置の作用によす該第３方向における基準位
   置に向って付勢さｎていることを特徴とする三次元測定
   装置。 ３、％許請求の範囲第２項記載の三次元測定装置であっ
   て、前記均衡装置は、′前記２つの側方ブリッジ（２４
   ，２８）ｋ互い（二連績する連結部材（２５）に連結さ
   ｎた釣合い錘１３０）’ｔ［んで成る三次元測定装置。 ４、特許請求の範囲第２項記載の三次元測定装置であっ
   て、前記均衡装置は、第２側方ブリツジ（２４）’に付
   勢する少なくとも１つのばねの引張力を調節するモータ
   全含んで成る三次元測定装置。 ５、￥！ｆ許請求の範囲第１項から第４項までのいずｎ
   かに記載の三次元測定装置であって、前記第２側方ブリ
   ツジ（２４）は該懸垂装置の中心付近まで延長する突起
   （２７）’！ｒ備え、前記突起（２７）はフィーラ取付
   用の少なくとも２つのツイーン・ホルダー（４，５，６
   ，７，８）を支持しており、該ツイーンは異なる方向に
   測定装置の外部に延長していること全特徴とする三次元
   測定装置。 ６、特許請求の範囲第１項から第５項までのいず註かに
   記載の三次元測定装置であって、２つの側方ブリッジ（
   ２８，２４１−そｎらの下部で連結する連結部材（２５
   ）はほぼ三角形の形全呈し、前記三角形の頂点は第２側
   方ブリツジ（２４）上の一点に関節結合さ扛ており、そ
   の底辺は第１側方ブリツジ（２８）の両端に関節結合さ
   扛ており、その中央部は下部ツイーン・ホルダー（４）
   を通過させるべく解放さ牡ていることを特徴とする三次
   元側、定装置。 ７、特許請求の範囲第１項から第６項までのいず牡かに
   記載の三次元測定装置であって、′該測定装置は、前記
   ３つの移動方向のいすｎかの方向（＝ツイーンが振動す
   るのを制限して該ツイーンに休止位置を与えると共に被
   測定物体の表面にツイーンの当接力を作用させるための
   少なくとも１つの規制装置を備えて成り、前記規制装置
   は２つの当接部材（４０，４１）と少なくとも１つのピ
   ン（４５）を備えて成り、前記当接部材（４０，４１）
   は前記いず牡かの方向に移動し得る様に該方向の対応ブ
   リッジのいずれか一方に装着さ扛ていて、該当接部材（
   ４０，４１）は、はね（４３）の作用に、ｃｖ向い合せ
   に付勢されていると共（＝、該ブリッジに固定さ扛た位
   置決め用ストッパ（４４）の両側（二抑圧さｎており、
   前記ピン（４５）は前記いずれかの方向（二対応第２ブ
   リッジに固定さ扛ておりへ該ピン（４５）はツイーンが
   前記方向に移動した時に該当接部材（４０，４１）に作
   用してそれらを休止位置の両側に変位させて位置決め用
   ストッパ（４４）ｉ二当接させること全特徴とする三次
   メ測定装置。 ８、特許請求の範囲第７項記載の三次元測定装置であっ
   て、前記当接部材（４０，４１）はΩ形を呈し、その間
   に通路を形成する様に配置さｎている三次元測定装置。 ９、特許請求の範囲第７項または第８項に記載の三次元
   測定装置であって、前記規制装置は当接部材（４０，４
   ’ｌ）ｋ位置決め用ストッパ（４４）に対して一時的に
   拘束するためのロック手段金偏えて成る三次元測定装置
   。 １０、特許請求の範囲第９項記載の三次元測定装置であ
   って、前記ロック手段はロック用ストッパ（５０）ｉ有
   する歯車（４Ｂ）’に備えて成り、前記歯車（４８）は
   、該ロック用ストッパ（５ｏ）が当接部材（４０、４１
   ）の進路上に来て該当接部材（４ｏ。 ４１）が位置決め用ストッパ（４４）から離ｎるの全阻
   止するロック位置と、該ロック用ストッパ（５０）が当
   接部材（４０，４１）の進路から外部る釈放位置、との
   間で回転駆動可能である三次元測定装置。 １１、前記歯車（４８）は電動モータ（二より駆動さｎ
   、２、特許請求の範囲第１０項記載の三次元測定装置。 １２、ツイーンの各移動方向ごとに１つの規制装置？設
   けたことを特徴とする特許請求の範囲第７項から第１１
   項までのいずｎか（二記載の三次元測定装置。 １３、互いに直交する３つの移動方向（Ｘ　＊　Ｙ　＋
   Ｚ）に沿ってフレームに対して同時（＝移動し得る様に
   懸垂装置に裏って懸垂さ扛た少なくとも１つの測定用フ
   ィー、うを備え、前記懸垂装置は、前記各移動方向ごと
   に、互いに平行移動可能な２つの可動ブリッジと、前記
   ２つの可動ブリッジの相対変位を検出するための検出用
   ピックアップとを備え、前記２つの可動ブリッジは該可
   動ブリッジに回転可能に関節結合さｎた２つの剛性連結
   部材によって互いに連結されていてもって該可動ブリッ
   ジと連結部材とが変形可能な枠を形成して成る三次元測
   定装置において、 前記懸垂装置は、第１移動方向侵）に関しては、フレー
   ム（１′１に固定された第１上部ブリッジ〈１２’）と
   、第１下部ブリッジ＋３１’）とを備え、第２移動方向
   ＋ｙ＋に関しては、前記第１上部ブリッジ（１ｚ）に剛
   的に連結さｎた第２下部ブリッジ（２０’）と、第２−
   ヒ部ブリッジ（２］’）とを備えていて、該第２ブリッ
   ジ＋２０’、２１’）は第１ブリツジ（１１’　。 １２′）の間の空間に配置さ几ており、第３移動方向甑
   ）（−関しては、前記第２上部ブリッジ（２１′）に剛
   的に連結さｎた第１＠方ブリンジｆ２８’）と、第２　
   ＄１１１方ブリッジ（２４’）と全備え、測定用ツイー
   ンはこの第２１ｉ１１方ブリツジ（２４’）に装着さ牡
   ておす、前記測定装置は更イニ該フィーラを第１および
   第２方向（二おける基準位置に向って付勢するだめの心
   合せ手段を備えていることを特徴とする三次元測定装置
   。 １４、特許請求の範囲第１３項記載の三次元測定装置で
   あって、前記ツイーンは、第２＠方ブリツジ（２４’）
   の荷重とは反対方向の力を該第２側方ブリツジ（２４’
   Ｈ′−作用させる均衡装置の作用により第３方向（二お
   ける基準位置に向って付勢さｎていることを特徴とする
   三次元測定装置。 １５、特許請求の範囲第１４項記載の三次元測定装置で
   あって、前記均衡装置は、前記２つの側方ブリッジ＋　
   ２４’　、　２８’　１　ｋ互い（二連結する連結部材
   （２５’）ｉ二連結さｎた釣合い錘、！１ｌ（３σ）を
   含んで成る三次元測定装置。 １６、特許請求の範囲第１４項記載の三次元測定装置で
   あって、前記均衡装置は、第２側方ブリツジ（２４’）
   ’に付勢する少なくとも１つのばねの引張力？調節する
   モータ會含んで成る三次元測定装置。 １７、特許請求の範囲第１３項から第１６項までのいず
   ｒかに記載の三次元測定装置であって、前記第２側方ブ
   リツジ（２４’）は該懸垂装置の中心付近まで延長する
   突起（２７’）全備え、前記突起（２７’）はフィーラ
   取付用の少なくとも２つのツイーン・ホルダーＩ　４’
   　、　５’　、　６’　、　７’　、　８’　）　’（
   １ｍ支持しており、該ツイーンは異なる方向に測定装置
   の外部に延長していること全特徴とする三次元測定装置
   。 ］８．特許請求の範囲第１３項から第１７項までのいず
   れかに記載の三次元測定装置であって、２つの側方ブリ
   ッジ（２８’、２４’）’！ｒそ几らの下部で連結する
   連結部材！２５’）はほぼ三角形を呈し、該三角形の頂
   点は第２側方ブリツジ（２４’）上の一点（二関節結合
   さｎておジ、その底辺は第１側方ブリツジ（２８′）の
   両端に関節結合さｎてお９、その中央部は下部ツイーン
   ・ホルダー（４つを通過させるべく解放さｎでいること
   全特徴とする三次元測定装置。 １９　　特許請求の範囲第１３項から第１８項までのい
   ずれかに記載の三次元測定装置であって、前記測定装置
   は、前記第１方向（ｘｌおよび第２方向（ｙｌにツイー
   ンが振動するのを制限して該ツイーンに休止位置ケ与え
   ると共に被測定物体の表面にツイーンの当接力を作用さ
   せるだめの少なくとも２つの規制装置？備えて成り、夫
   々の規制装置は２つ］当接部材＜４０．４１）と少なく
   とも１つのピン（４５）ｉ備えて成り、前記当接部材（
   ４０、４１）は前記方向に移動し得る様に該方向の対応
   ブリッジのいず汎か一方に装着さ几てぃて、該当接部材
   （４０，４１）は、はね（４３）の作用に、！、９向い
   合せに付勢さｎていると共に、該ブリッジ（二固定さＲ
   １，た位置決め用ストッパ（４４）の両側（二押圧さｎ
   ており、前記ピン（４５）は前記方向の対応第２ブリツ
   ジに固定さｎてお９、該ピン（４５）［フイ〜うが前記
   方向に移動した時に該当接部材（４０＃４１）に作用１
   −でそれらを休止位置の両側に変位させて位置決め用ス
   トッパに当接させることを特徴とする三次元測定装置。 （イ）、特許請求の範囲第１９項記載の三次元測定装置
   であって、前記心合せ手段は前記規制装置を包活して成
   る三次元測定装置。 ２１　　特許請求の範囲第１９項または第２０項に記載
   の三次元測定装置であって、前記当接部材（４０，４１
   ）はΩ形を呈し、その間（二通路全形成するべく配置さ
   ｎていることを特徴とする三次元測定装置。 ｎ、特許請求の範囲第１９項から第２１項までのいずｎ
   かに記載の三次元測定装置であって、前記夫々の規制装
   置は当接部材（４０，４１）’に位置決め用ストッパ（
   ４４）に対して一時的に拘束するためのロック手段金偏
   えて成る三次元測定装置。 ２、特許請求の範囲第２２項記載の三次元測定装置であ
   って、前記ロック手段はロック用ストッパ（５０）’（
   Ｈ有する歯車（４８）ｔ−備えて成り、前記歯車（４８
   ）は、前記ロック用ストッパ（５ｏ）が当接部材（４０
   ，４１）の進路上に来て該当接部材（４０，４１）が位
   置決め用ストッパ（４４）がら離ｎるのを阻止するロッ
   ク位置と、該ロック用ストッパ（５０）が当接部材（４
   ０，４１）の進路から外ｎる釈放位置、との間で回転駆
   動可能である三次元測定装置。 冴、前記歯車（４８）は電動モータにより駆動さｎる特
   許請求の範囲第２３項記載の三次元測定装置。 ２５、前記測定装置はまたフィー２の第３移動方向？ｚ
   ｌについても規制装置を備えている特許請求の範囲第１
   ９項から第２４項までのいずｎか（＝記載の三次元測定
   装置０