JPS59180433A - 複合センサ装置 - Google Patents
複合センサ装置Info
- Publication number
- JPS59180433A JPS59180433A JP5648583A JP5648583A JPS59180433A JP S59180433 A JPS59180433 A JP S59180433A JP 5648583 A JP5648583 A JP 5648583A JP 5648583 A JP5648583 A JP 5648583A JP S59180433 A JPS59180433 A JP S59180433A
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- JP
- Japan
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- sensor
- shaped patterns
- terminal
- comb
- terminals
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
- G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、温度、湿度、結露、腐食性ガス、導電性塵
埃などを検出する複合センサ装置に関する。
埃などを検出する複合センサ装置に関する。
従来の該種装置は第1図に示す如く構成されていた。1
1.12、・・・、1r!まセンサ部、2□、22、・
・・、2nは検出部、3は処理部を示し、4は例えは「
異常あり」を示す出力である。センサ部11.1□、・
・・、1nは、各種の検出項目に対して単−機能を有す
るものであり、電子応用装置などの周囲に設置され環境
条件を監視する。
1.12、・・・、1r!まセンサ部、2□、22、・
・・、2nは検出部、3は処理部を示し、4は例えは「
異常あり」を示す出力である。センサ部11.1□、・
・・、1nは、各種の検出項目に対して単−機能を有す
るものであり、電子応用装置などの周囲に設置され環境
条件を監視する。
ところが、腐食性ガス、塵埃などのセンナ部は、大型、
昼価なものであり、また、センサ部は単一機能を有する
ものであるため、設置された場Iツ「の環境を総合的に
検出、伝達することはできなかった。
昼価なものであり、また、センサ部は単一機能を有する
ものであるため、設置された場Iツ「の環境を総合的に
検出、伝達することはできなかった。
更に、センナ部は応用電子装置等の周囲に設置されるた
め、該応用電子装置自体に対する直接の影響と、センサ
部が作動する基準値との相関関係を知ることが困難であ
った。
め、該応用電子装置自体に対する直接の影響と、センサ
部が作動する基準値との相関関係を知ることが困難であ
った。
本発明は、以上述べた従来の複合センサ装置の欠点に鑑
みなされたもので、その目的は、温度、湿度、結露、腐
食性ガス、導電性塵埃などを多角的に検出するとともに
、コンパクトで安価であり、電子応用装置等に適用した
場合には、電子応用装置等に対する影響を直接に知り得
る複合センサ装置を提供することである。
みなされたもので、その目的は、温度、湿度、結露、腐
食性ガス、導電性塵埃などを多角的に検出するとともに
、コンパクトで安価であり、電子応用装置等に適用した
場合には、電子応用装置等に対する影響を直接に知り得
る複合センサ装置を提供することである。
そこで、本発明では、2づの櫛形パターンを接触せぬよ
うに咬合しその櫛形パターン間が無限大の抵抗を有する
ように形成した第1のセンサと、この第1のセンサに直
列接続され2つの櫛形パターンを接触せぬように咬合し
そのiNi形パターン間に感湿抵抗皮膜を塗布した第2
のセンサと、この第2のセンサに直列接続され極細の波
形パターンを高密度に配置して形成した第6のセンサと
、前記第1乃至第6のセンサが載置されて形成される絶
縁基板と、第1のセンサと第6のセンサ間に電圧を与え
るための端子と、第2のセンサと第3のセンサ間から出
力を取り出すための端子とにより複合センサ装置を構成
した。
うに咬合しその櫛形パターン間が無限大の抵抗を有する
ように形成した第1のセンサと、この第1のセンサに直
列接続され2つの櫛形パターンを接触せぬように咬合し
そのiNi形パターン間に感湿抵抗皮膜を塗布した第2
のセンサと、この第2のセンサに直列接続され極細の波
形パターンを高密度に配置して形成した第6のセンサと
、前記第1乃至第6のセンサが載置されて形成される絶
縁基板と、第1のセンサと第6のセンサ間に電圧を与え
るための端子と、第2のセンサと第3のセンサ間から出
力を取り出すための端子とにより複合センサ装置を構成
した。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第2図は本発明の実施例のfAa図である。同図におい
て、10は例えは、2c!n四方程度の絶縁基板を示す
。絶縁基板10上には、櫛形パターン11.、。
て、10は例えは、2c!n四方程度の絶縁基板を示す
。絶縁基板10上には、櫛形パターン11.、。
112とを対向させ、両者が接触せぬように咬合して、
第1のセンサ12が形成される。この第1のセンサ12
は、常時において、抵抗が無限大であり、湿度、腐食性
ガス、導電性塵埃などによる絶縁特性の変化を検出する
ものである。16は第2のセンサで、この第2のセンサ
16は、櫛形パターン14□、14□を対向させて両者
が接触せぬように咬合して形成する。櫛形パターン14
1.14□の間には、感湿抵抗皮膜15を塗布する。こ
の第2のセンサ16は、通常抵抗値が低く、湿度が高く
なると感湿抵抗皮膜15により、抵抗値が犬となるよう
な、湿度検出用のものである。
第1のセンサ12が形成される。この第1のセンサ12
は、常時において、抵抗が無限大であり、湿度、腐食性
ガス、導電性塵埃などによる絶縁特性の変化を検出する
ものである。16は第2のセンサで、この第2のセンサ
16は、櫛形パターン14□、14□を対向させて両者
が接触せぬように咬合して形成する。櫛形パターン14
1.14□の間には、感湿抵抗皮膜15を塗布する。こ
の第2のセンサ16は、通常抵抗値が低く、湿度が高く
なると感湿抵抗皮膜15により、抵抗値が犬となるよう
な、湿度検出用のものである。
16は第3のセンサを示す。第3のセンサ16は、極細
の波形パターン17を高密度に配置して形成したもので
、腐食性ガス等による抵抗増大、断線、及び温度変化に
よる抵抗変化を検出するためのものである。これら第1
乃至第3のセンサ11.16.16は、接続用の端子1
82〜18.と、これらを接続する信号線19□〜19
4とにより、直列に接Ucされる。
の波形パターン17を高密度に配置して形成したもので
、腐食性ガス等による抵抗増大、断線、及び温度変化に
よる抵抗変化を検出するためのものである。これら第1
乃至第3のセンサ11.16.16は、接続用の端子1
82〜18.と、これらを接続する信号線19□〜19
4とにより、直列に接Ucされる。
また1、端子L81.18aはこの直列回路に、所定電
圧Voを与えるためのもので、信号線19□と信号線1
9゜との間に電圧■。が印加される。また、端子185
.186は出力取り出し用の端子で、信号線193.1
9゜間から出力信号が取り出される。以上の櫛形パター
ン113.111.141.142、波形パターン17
は、エツチング、蒸着等の公知技術により形成される。
圧Voを与えるためのもので、信号線19□と信号線1
9゜との間に電圧■。が印加される。また、端子185
.186は出力取り出し用の端子で、信号線193.1
9゜間から出力信号が取り出される。以上の櫛形パター
ン113.111.141.142、波形パターン17
は、エツチング、蒸着等の公知技術により形成される。
このように構成された、複合センサ装置の等価回路を第
6図に示す。鳳、RB、ROは夫々、第1乃至第3のセ
ンサの抵抗を示し、端子18.に電圧■。、端子186
に0■が与えられたとき、端子183から電圧珈が出力
されることを示す。第4図は、抵抗RA、 RB、 k
の抵抗値Rが、環境悪化度Qに対していかに変化するか
を示す図である。図から明らかな如く通常時において、
抵抗RAはω、抵抗RBSReは数十〇の抵抗値を有し
、環境の悪化とともに、抵抗R屑ま00へ、抵抗RB%
助はωΩへ夫々、図の曲線にそって変化する。
6図に示す。鳳、RB、ROは夫々、第1乃至第3のセ
ンサの抵抗を示し、端子18.に電圧■。、端子186
に0■が与えられたとき、端子183から電圧珈が出力
されることを示す。第4図は、抵抗RA、 RB、 k
の抵抗値Rが、環境悪化度Qに対していかに変化するか
を示す図である。図から明らかな如く通常時において、
抵抗RAはω、抵抗RBSReは数十〇の抵抗値を有し
、環境の悪化とともに、抵抗R屑ま00へ、抵抗RB%
助はωΩへ夫々、図の曲線にそって変化する。
第5図は、環境悪化度Qに対するセンサ装置の出力電圧
Vsの変化を示す図である。第3図の等価回路から明ら
かな如(、 凡B十七 ■=RA+RB+部・兄・・−・・(1)が成立する。
Vsの変化を示す図である。第3図の等価回路から明ら
かな如(、 凡B十七 ■=RA+RB+部・兄・・−・・(1)が成立する。
例えば、腐食性ガスや導電性塵埃、湿度により、第2図
の櫛形パターン110.112間の絶縁劣化を生じ、抵
抗−の抵抗値が減少する。また、結露などにより、第2
図の感湿抵抗皮膜15が吸湿し、抵抗化の抵抗値が増大
する。更に、腐食性ガスなどにより、第2図の波形パタ
ーン17が腐食され、抵抗板の抵抗値が増大しまたは断
線となる。
の櫛形パターン110.112間の絶縁劣化を生じ、抵
抗−の抵抗値が減少する。また、結露などにより、第2
図の感湿抵抗皮膜15が吸湿し、抵抗化の抵抗値が増大
する。更に、腐食性ガスなどにより、第2図の波形パタ
ーン17が腐食され、抵抗板の抵抗値が増大しまたは断
線となる。
このような原因で第5図の出力電圧Vdζ変化するが、
(1)式から判るように、抵抗風、RB、Reが単独の
要因で変化しても、複合的要因で変化しても、出力重圧
■成ま第5図の曲線の特性を示す。従って、環境悪化度
Qの閾値さえ決定すれば、どのような要因によっても出
力電圧Vsは所定の値を越えることになる。
(1)式から判るように、抵抗風、RB、Reが単独の
要因で変化しても、複合的要因で変化しても、出力重圧
■成ま第5図の曲線の特性を示す。従って、環境悪化度
Qの閾値さえ決定すれば、どのような要因によっても出
力電圧Vsは所定の値を越えることになる。
第6図は、複合センサ装置6を、スイッチング回路7に
接続した回路図である。
接続した回路図である。
このスイッチング回路7は、通當時において、トランジ
スタQ、、Q、、Q、がオフ状態で、トランジスタqが
オン状態である。このため、出力端子O1には0■の電
圧が現われる。
スタQ、、Q、、Q、がオフ状態で、トランジスタqが
オン状態である。このため、出力端子O1には0■の電
圧が現われる。
ところか、環境悪化により、端子83かも出力される電
圧Vsが所定値を越えると、コンデンサらに電荷が蓄積
され、ついには、トランジスタqがオン状態となる。1
−ると抵抗r、を介した電流がなくなりトランジスタq
はオフ状態となり、トランジスタq1qがオン状態とな
る。
圧Vsが所定値を越えると、コンデンサらに電荷が蓄積
され、ついには、トランジスタqがオン状態となる。1
−ると抵抗r、を介した電流がなくなりトランジスタq
はオフ状態となり、トランジスタq1qがオン状態とな
る。
このため、スイッチング回路7は、異常時において、ト
ランジスタQ、、 Q、、 qがオン状態であり、電流
は、抵抗r1、’*からトランジスタQを介して、抵抗
rIへ流れる。また、抵抗r4、節点P、からトランジ
スタqへ流れ、更に、トランジスタq、節点P2からト
ランジスタqを介して抵抗r、とダイオードD、へ流れ
る。このため、端子02には抵抗r6による所定電圧が
現われる。
ランジスタQ、、 Q、、 qがオン状態であり、電流
は、抵抗r1、’*からトランジスタQを介して、抵抗
rIへ流れる。また、抵抗r4、節点P、からトランジ
スタqへ流れ、更に、トランジスタq、節点P2からト
ランジスタqを介して抵抗r、とダイオードD、へ流れ
る。このため、端子02には抵抗r6による所定電圧が
現われる。
従って、端子0□に電圧■。を与え、端子0.をグラン
ドとしておけば、端子02に現われる電圧に基づき、電
源のオンオフ制御や、点燈表示を行なわせることができ
る。これにより、環境の悪化を総合的に監視できる。尚
、スイッチング回路7はN巾変換器でも良い。
ドとしておけば、端子02に現われる電圧に基づき、電
源のオンオフ制御や、点燈表示を行なわせることができ
る。これにより、環境の悪化を総合的に監視できる。尚
、スイッチング回路7はN巾変換器でも良い。
以上説明したように、本発明によれは、複合センサ装置
を小型で構成でき、電子応用装置内に配備可能であるか
ら、温度、湿度、腐食性ガス顧埃などの電子応用装置へ
の影響を直接的に検出でき、予防、保守が容易となる。
を小型で構成でき、電子応用装置内に配備可能であるか
ら、温度、湿度、腐食性ガス顧埃などの電子応用装置へ
の影響を直接的に検出でき、予防、保守が容易となる。
また、小型化により実装に必要なデータを、その直近に
おいて測定可能となったので、基準値の較正、個々の場
所での設定が不要となる。検知対象が単独で変化した場
合及び複合的に変化した場合に対応できる。原理が単純
であり、高信頼性があり、小型化に適し、かつ安価であ
るという優れた特徴をイJする。
おいて測定可能となったので、基準値の較正、個々の場
所での設定が不要となる。検知対象が単独で変化した場
合及び複合的に変化した場合に対応できる。原理が単純
であり、高信頼性があり、小型化に適し、かつ安価であ
るという優れた特徴をイJする。
更に、電子機器内に実装する以外に、一般的な周囲環境
センサ装置として、また、各板機械装置に実装しても上
記と同様の効果を得ることができ、応用範囲も広い。
センサ装置として、また、各板機械装置に実装しても上
記と同様の効果を得ることができ、応用範囲も広い。
第1図は従来例のブロック図、第2図は本発明の実施例
の斜視図、第6図は第2図の等価回路、第4図、第5図
は第6図の回路の特性を示す図、第6図は本発明の装置
をスイッチング回路と接続した場合の回路図である。 10・・・絶縁基板、11・・・第1のセンサ、12、
.12..14..14.・・・櫛形パターン、13・
・・第2のセンサ、15・・・感湿抵抗皮膜、16・・
・第6のセンサ、17・・・波形パターン、18、〜1
86・・・端子、19、〜19.・・・信号線代理人
弁理士 本 1) 崖 19
の斜視図、第6図は第2図の等価回路、第4図、第5図
は第6図の回路の特性を示す図、第6図は本発明の装置
をスイッチング回路と接続した場合の回路図である。 10・・・絶縁基板、11・・・第1のセンサ、12、
.12..14..14.・・・櫛形パターン、13・
・・第2のセンサ、15・・・感湿抵抗皮膜、16・・
・第6のセンサ、17・・・波形パターン、18、〜1
86・・・端子、19、〜19.・・・信号線代理人
弁理士 本 1) 崖 19
Claims (1)
- 2つの櫛形パターンを接触せぬように咬合しその櫛形パ
ターン間が無限大の抵抗を有するように形成した第1の
センサと、この第1のセンサに直列接続され2つの櫛形
パターンを接触せぬように咬合しその櫛形パターン間に
感湿抵抗皮膜を塗布した第2のセンサと、この第2のセ
ンサに直列接続され極細の波形パターンを高密度に配置
して形成した第3のセンサと、前記第1乃至第3のセン
サが載置されて形成される絶縁基板と、第1のセンサと
第3のセンサ間に電圧を与えるための端子と、第2のセ
ンサと第3のセンサ間から出力を取り出すための端子と
からなる複合センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5648583A JPS59180433A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 複合センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5648583A JPS59180433A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 複合センサ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59180433A true JPS59180433A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=13028399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5648583A Pending JPS59180433A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 複合センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59180433A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0278554A2 (en) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Scanpump Ab | Transmitter for surveying the operative condition of a movable shaft or spindle |
JPH01197629A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Hitachi Ltd | 腐食モニター素子及び腐食モニターカード並びに腐食環境定量方法 |
WO2004031739A3 (en) * | 2002-10-01 | 2004-08-19 | Bae Systems Plc | Corrosion sensing microsensors |
WO2005031273A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-07 | Seal Tech Co., Ltd. | Multifunctional compound sensor |
JP2011106861A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フッ化水素含有ガスの検知装置、処理装置及び検知方法 |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5648583A patent/JPS59180433A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0278554A2 (en) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Scanpump Ab | Transmitter for surveying the operative condition of a movable shaft or spindle |
JPH01197629A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Hitachi Ltd | 腐食モニター素子及び腐食モニターカード並びに腐食環境定量方法 |
WO2004031739A3 (en) * | 2002-10-01 | 2004-08-19 | Bae Systems Plc | Corrosion sensing microsensors |
US7313947B2 (en) | 2002-10-01 | 2008-01-01 | Bae Systems Plc | Corrosion sensing microsensors |
AU2003267654B2 (en) * | 2002-10-01 | 2008-10-02 | Bae Systems Plc | Corrosion sensing microsensors |
WO2005031273A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-07 | Seal Tech Co., Ltd. | Multifunctional compound sensor |
JP2011106861A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フッ化水素含有ガスの検知装置、処理装置及び検知方法 |
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