JPS5917560B2 - Cooling methods for electronic equipment - Google Patents

Cooling methods for electronic equipment

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JPS5917560B2
JPS5917560B2 JP52023222A JP2322277A JPS5917560B2 JP S5917560 B2 JPS5917560 B2 JP S5917560B2 JP 52023222 A JP52023222 A JP 52023222A JP 2322277 A JP2322277 A JP 2322277A JP S5917560 B2 JPS5917560 B2 JP S5917560B2
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air
electronic device
jet
dinit
temperature
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治彦 山本
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子装置をジェット流で冷却すると共に配管
系の途中に空気又は気体を断熱膨張せしめる機構を有す
る電子装置の冷却方式に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a cooling method for an electronic device that has a mechanism for cooling the electronic device with a jet stream and adiabatically expanding air or gas in the middle of a piping system.

■0 従来の電子装置の冷却方式としては、例えば第1
図のようなものが知られている。
■0 Conventional cooling methods for electronic devices include, for example,
Something like the one shown in the figure is known.

同図において1−1ないし1−3は電子部品を搭載した
プリント板、2−1.2−2は冷却ファンを示している
。プリント板は図示しないが架に装着されている。j5
空気流は矢印で示されるようにプリント板の間を通過す
る。この種の平行空気流による冷却方式においては、風
速は10m/secないし20m/sec程度が限界で
あり、また、大型ファンを用いるので騒音の問題が生じ
る。また、平行空気流の熱伝達ro率は、数十ないし百
数十に−/m″・ Hr・℃程度であり、冷却能力が液
冷に比べて小さいという欠点を有している。さらに、第
4図から判るように、上方のプリント板群1−1.1−
2は、下方のプリント板群1−3によつて暖められた空
気流で冷■5却されるの、充分に冷却されない。冷却能
力を増大させるためには冷却空気の温度を低下させれば
良いが、従来はこのため冷凍機又゜ウーは室温球下の2
次冷媒を用いている。
In the figure, 1-1 to 1-3 indicate printed boards on which electronic components are mounted, and 2-1 and 2-2 indicate cooling fans. Although the printed board is not shown, it is mounted on a rack. j5
The air flow passes between the printed boards as indicated by the arrows. In this type of parallel air flow cooling method, the wind speed is limited to about 10 m/sec to 20 m/sec, and since a large fan is used, noise problems occur. In addition, the heat transfer RO rate of parallel airflow is on the order of tens to hundreds of -/m''・Hr・℃, and has the disadvantage that the cooling capacity is smaller than that of liquid cooling.Furthermore, As can be seen from Figure 4, the upper printed board group 1-1.1-
2 is cooled by the air flow warmed by the printed board group 1-3 below, but it is not cooled sufficiently. In order to increase the cooling capacity, it is sufficient to lower the temperature of the cooling air, but conventionally, for this purpose, the refrigerator or
The following refrigerant is used.

このような方式は、設備費が多大になるという欠点を有
している。プリント板に冷却板を取付けてこの冷却板を
冷却媒体で冷却する液冷方式は冷却能力の点では優れて
いるが、コスト上及び保守上の問題を有している。
Such a method has the disadvantage of high equipment costs. A liquid cooling system in which a cooling plate is attached to a printed circuit board and the cooling plate is cooled with a cooling medium is excellent in terms of cooling capacity, but has problems in terms of cost and maintenance.

本発明は、上記の考察にもとづくものであつて、冷却能
力が優れていると共に、保守性に優れた電子装置の冷却
方式を提供することを目的としている。
The present invention is based on the above consideration, and an object of the present invention is to provide a cooling method for electronic devices that has excellent cooling capacity and is easy to maintain.

そしてそのため、本発明の電子装置の冷却方式は、基板
上に該基板の面と平行な面を有する複数の電子部品を搭
載して構成した電子装置と、複数のジニット流噴出ノズ
ルが設けられた等圧容器から構成されたジニット・ヘツ
ダと、該ジニット・ヘツダに圧縮空気又は圧縮気体を供
給する配管系と、該配管系に設けられた断熱膨張を発生
させる機構とを備え、上記ジニット・ヘツダを上記電子
装置の基板と重なり合うように配置すると共に、上記ジ
ニット・ヘツダの複数のジニット流噴出ノズルのそれぞ
れから噴出するジニット流を、上記基板の面に対しジニ
ット流の自由ジニット流部が垂直成分を有するようにし
て、上記電子装置の局部的温度上昇部に吹き付けるよう
にしたことを特徴とするものである。球下、本発明を図
面を参照しつつ説明する。第2図、第3図及び第4図は
本発明の第1実施例、第2実施例及び第3実施例のプロ
ツク図、第5図は電子部品を搭載した基板及びジニット
・ヘツダを示すものである。
Therefore, the electronic device cooling method of the present invention includes an electronic device configured by mounting a plurality of electronic components on a substrate and having a surface parallel to the surface of the substrate, and a plurality of dinit flow jetting nozzles. The above-mentioned dinit header comprises a dinit header composed of an isobaric container, a piping system for supplying compressed air or compressed gas to the dinit header, and a mechanism for generating adiabatic expansion provided in the piping system. is arranged so as to overlap the substrate of the electronic device, and the free dinit flow section of the dinit stream jetted from each of the plurality of dinit flow jetting nozzles of the dinit header has a vertical component with respect to the surface of the substrate. The present invention is characterized in that the liquid is sprayed onto a locally increased temperature portion of the electronic device. The present invention will now be described with reference to the drawings. Figures 2, 3, and 4 are block diagrams of the first, second, and third embodiments of the present invention, and Figure 5 shows the board and dinit header on which electronic components are mounted. It is.

図において1はプリント回路基板等の基板、3はICチ
ツプなどの電子部品、4はジニット・ヘツダ、5は等圧
容器、6はジニット流噴出ノズル、7は空気導入管、8
は断熱膨張弁、ノズル又はキヤピラリ(Capilla
ry)などの断熱膨張機構、9は空気配管、10はエア
チヤンバもしくは分配器、11はエア・コンプレツサ、
12は圧力計、13は熱交換器をそれぞれ示している。
先ず第2図を参照して本発明の第1実施例を説明する。
In the figure, 1 is a board such as a printed circuit board, 3 is an electronic component such as an IC chip, 4 is a dinit header, 5 is an isobaric container, 6 is a dinit flow jet nozzle, 7 is an air introduction pipe, 8
is an adiabatic expansion valve, nozzle or capillaries.
ry), 9 is an air pipe, 10 is an air chamber or distributor, 11 is an air compressor,
12 represents a pressure gauge, and 13 represents a heat exchanger.
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

吸気された空気は、エア・コンプレツサ11で加圧され
、エアチヤンバもしくは分配器10に送られる。エアチ
ヤンバもしくは分配器10には多数の空気配管9が接続
され、各空気配管9にジニット・ヘツダ4が接続されて
いる。ジニット・ヘツダ4の給気口には、断熱膨張弁、
ノズル、又はキヤピラリの如き断熱膨張機構8が設けら
れ、断熱膨張機構8を空気が通過すると、その温度は低
下する。例えば圧力1.5/CTIl温度20℃の加圧
空気をノズルを介して大気中に噴出する場合、噴出温度
は−9.5℃と加圧空気温度に比べ噴流中央部で約30
℃低温の空気流が得られる。ただし、衝突噴流冷却の場
合、噴流の中央である岐点においては流速はOとなり、
上記温度はノズル入口の加圧空気温度に復帰するため、
低温流の効果は流速をもつ範囲で発揮される。
The intake air is pressurized by an air compressor 11 and sent to an air chamber or distributor 10. A number of air lines 9 are connected to the air chamber or distributor 10, and a dinit header 4 is connected to each air line 9. The air supply port of Ginnit header 4 has an adiabatic expansion valve,
An adiabatic expansion mechanism 8 such as a nozzle or a capillary is provided, and when air passes through the adiabatic expansion mechanism 8, its temperature decreases. For example, when pressurized air with a pressure of 1.5/CTIl temperature of 20°C is ejected into the atmosphere through a nozzle, the ejection temperature is -9.5°C, which is about 30°C at the center of the jet compared to the pressurized air temperature.
°C low temperature air flow is obtained. However, in the case of impinging jet cooling, the flow velocity is O at the turning point in the center of the jet,
Since the above temperature returns to the pressurized air temperature at the nozzle inlet,
The effect of low-temperature flow is exhibited within the range of flow velocity.

良く知られているように断熱膨張による温度変化は、圧
力差もしくは空気体積比に依存するものである。したが
つて、空気の冷却温度は、圧力及び断熱膨張機構8の絞
りにより制御される。断熱膨張機構8を介してジニット
・ヘツダ4に導入された空気は、噴出ノズル6からジニ
ット流として噴出する。第5図から明らかなように、ジ
ニット・ヘツダ4は、多数の噴出ノズル6が設けられた
等圧容器5から構成されている。電子部品3は、例えば
ICチツプないしはICパツケージであつて、発熱体で
あるチツプの大きさは1ミリ角ないし数ミリ角である。
As is well known, the temperature change due to adiabatic expansion depends on the pressure difference or the air volume ratio. Therefore, the cooling temperature of the air is controlled by the pressure and the throttle of the adiabatic expansion mechanism 8. The air introduced into the dinit header 4 via the adiabatic expansion mechanism 8 is ejected from the jet nozzle 6 as a dinit stream. As is clear from FIG. 5, the dinit header 4 is composed of an isobaric vessel 5 in which a number of jet nozzles 6 are provided. The electronic component 3 is, for example, an IC chip or an IC package, and the size of the chip, which is a heating element, is 1 mm square to several mm square.

空気導入管7から導入された空気は、ノズル6からジニ
ット流として噴出する。ノズル6の断面形状は円形、ス
リツト又は異形例えば十字形とすることが出来る。ジニ
ット流は局部的温度上昇部である電子部品3に対して直
接吹き付けられる。ノズル6は、1個の部品に対して1
個のノズル6を対応させるように設けても良く、或はノ
ズル6の目詰りを考慮して複数個のノズル6を1個の電
子部品に対応させても良い。また、ICチツプ即ち電子
部品3が小さい場合には、1個のノズル6を複数個の電
子部品に対応させても良い。ジニット流は、自由ジニッ
ト流部、衝突ジニット流部及び壁ジニット流部から成る
が、自由ジニット流部とは、ジニット流が衝突する?前
の部分を指し、衝突ジニット流部とは衝突した部分にお
けるジニット流部分を指し、壁ジニット流部とは衝突後
に壁に沿つて流れるジニット流部分を指している。衝突
“ジニット流部において、電子部品3から最も多くの熱
が奪い去られる。ジニット流を垂直に吹き付けることに
より冷却客体表面の空気境界層は薄くなるので、ジニッ
ト流の熱伝達率は、数百ないし千数百Kcat/m”・
Hr・℃程度であり、平行空気流の熱伝達率より1桁大
きい。ジニット流が基板1に対して垂直に吹き付けられ
る場合には、基板1とノズル6の距離をH、ノズル直径
をDとするとき、とすると最大の冷却能率が得られた。
The air introduced from the air introduction pipe 7 is ejected from the nozzle 6 as a dinit flow. The cross-sectional shape of the nozzle 6 can be circular, slit, or irregularly shaped, such as a cross. The dinit stream is blown directly onto the electronic component 3, which is the area where the local temperature rises. One nozzle 6 is used for one part.
Alternatively, a plurality of nozzles 6 may be provided to correspond to one electronic component in consideration of clogging of the nozzles 6. Further, if the IC chip, that is, the electronic component 3 is small, one nozzle 6 may correspond to a plurality of electronic components. The dinit flow consists of a free dinit flow section, a colliding dinit flow section, and a wall dinit flow section, but does the dinit flow collide with the free dinit flow section? The impingement dinit flow section refers to the dinit flow section at the collided section, and the wall dinit flow section refers to the dinit flow section that flows along the wall after the collision. The most heat is removed from the electronic component 3 in the collision "dinite flow section. By vertically blowing the dinit flow, the air boundary layer on the surface of the cooling object becomes thinner, so the heat transfer coefficient of the dinit flow is several hundred. or a thousand or more Kcat/m”・
The heat transfer coefficient is approximately Hr·°C, which is one order of magnitude higher than the heat transfer coefficient of parallel air flow. When the dinit flow was blown perpendicularly to the substrate 1, the maximum cooling efficiency was obtained when the distance between the substrate 1 and the nozzle 6 was H and the nozzle diameter was D.

勿論、排気を円滑に行なうためジニット流を基板1に対
して斜めに吹き付けても良い。第2図のものでは、電子
部品3に直接ジニット流が吹き付けられるが、基板1が
熱伝導率の良好な物質例えばアルミナ磁器やベリリヤ磁
器で作られる場合には、電子部品3に直接ジニット流を
吹き付ける代りに、基板1の裏面にジニット流を吹き付
けることも可能である。
Of course, the dinit stream may be blown obliquely onto the substrate 1 in order to perform the exhaust smoothly. In the case shown in FIG. 2, the dinit stream is directly blown onto the electronic components 3, but if the substrate 1 is made of a material with good thermal conductivity, such as alumina porcelain or beryllia porcelain, the dinit stream is blown directly onto the electronic components 3. Instead of spraying, it is also possible to spray the dinit stream onto the back surface of the substrate 1.

この際、電子部品3又は一群の電子部品3の搭載位置に
対応した位置にジニット流を吹き付ければ、電子部品3
の冷却が効率的に行なわれることは言うまでもない。
At this time, if the dinit stream is sprayed at a position corresponding to the mounting position of the electronic component 3 or a group of electronic components 3, the electronic component 3
Needless to say, cooling is carried out efficiently.

また、第2図のものでは、ノズル6は等圧容器5の片側
にのみ設けられているが、両側にノズル6を設けて、1
個のヘツダで2個の基板1にジニット流を吹き付けるよ
うにしても良い。
In addition, in the one shown in FIG. 2, the nozzle 6 is provided only on one side of the isobaric container 5, but the nozzle 6 is provided on both sides.
The dinit flow may be sprayed onto two substrates 1 using two headers.

第3図のものは、エアチヤンバもしくは分配器10の給
気口に断熱膨張機構8を設けたものであり、その他の点
では第2図のものと同じである。
The one shown in FIG. 3 has an adiabatic expansion mechanism 8 provided at the air chamber or the air supply port of the distributor 10, and is otherwise the same as the one shown in FIG. 2.

第4図のものは、第2図のものに熱交換器13を附加し
たものである。良く知られているように、空気を圧縮す
ると、温度が上昇するが、熱交換機13は温度上昇した
空気の熱を周囲に放熱するものである。ある圧力差?上
で断熱膨張させて空気を冷却すると、一定相対湿度?上
の湿り空気では過冷却されて空気中の水分が結露するこ
とが知られている。
The one shown in FIG. 4 has a heat exchanger 13 added to the one shown in FIG. 2. As is well known, when air is compressed, its temperature increases, and the heat exchanger 13 radiates the heat of the increased temperature to the surroundings. Some pressure difference? When air is cooled by adiabatic expansion above, constant relative humidity? It is known that the humid air above becomes supercooled and the moisture in the air condenses.

結露した水分を含んだ空気をジニット流として電子部品
3に吹き付けることを避ける場合には断熱膨張による冷
却の際、空気が吸気温度より一定温度?下に降下しない
ようにすることが必要となる。さきにも述べたように断
熱膨張による温度変化は圧力差もしくは空気体積比に依
存するので、空気が吸気温度より一定温度球下にならな
いようにするには、例えば断熱膨張弁の絞りもしくはノ
ズル開口径と圧力の関係を調整すれば良い。球上の説明
から明らかなように、本発明の電子装置の冷却方式は、
イ)ジニット流により空冷の限界値に近い液冷に匹敵す
る熱伝達率が得られること、(ロ)半導体チツプなどの
局部的温度上昇部を集中的に冷却できること、(ハ)液
冷方式において必要とされる特殊冷媒が不要なこと、(
ニ)冷却系統を基板から分離できるので基板のみを取出
すことが出来、この結果、保守性に優れていること、(
ホ)架内の空気温度上昇が無視でき、断熱膨張により室
温より低い温度の空気で全部品を冷却できること、(へ
)上記により比較的高い温度雰囲気中に設置することも
できること、(ト)これらの結果として従来の空冷に較
べ高い実装密度を許容できること、(ト)全体の構成を
コンパクト化できること、等の優れた効果を有している
If you want to avoid blowing condensed moisture-containing air onto the electronic components 3 as a dinit flow, the air should be kept at a constant temperature above the intake air temperature during cooling by adiabatic expansion. It is necessary to prevent it from falling downward. As mentioned earlier, the temperature change due to adiabatic expansion depends on the pressure difference or the air volume ratio, so in order to prevent the air from becoming a certain temperature below the intake air temperature, for example, the adiabatic expansion valve should be throttled or the nozzle should be opened. All you have to do is adjust the relationship between diameter and pressure. As is clear from the explanation on the sphere, the cooling method for the electronic device of the present invention is as follows:
(b) The dinit flow provides a heat transfer coefficient comparable to that of liquid cooling, which is close to the limit value of air cooling, (b) It is possible to intensively cool locally heated parts such as semiconductor chips, and (c) In the liquid cooling system, No special refrigerant required (
d) Since the cooling system can be separated from the board, only the board can be taken out, resulting in excellent maintainability; (
(e) The rise in air temperature inside the rack can be ignored and all parts can be cooled with air at a temperature lower than room temperature due to adiabatic expansion; (f) The above can also be installed in a relatively high temperature atmosphere; (g) These As a result, it has excellent effects such as being able to allow a higher packaging density than conventional air cooling, and (g) being able to make the overall configuration more compact.

なお、?上は冷媒として空気を用いる例について主とし
て説明したが、他の気体を冷媒として用い得ることは当
然である。
In addition,? Although the above has mainly described an example in which air is used as the refrigerant, it is of course possible to use other gases as the refrigerant.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の電子装置の冷却方式の説明図、第2図は
本発明の第1実施例のプロツク図、第3図は本発明の第
2実施例のプロツク図、第4図は本発明の第3実施例の
プロツク図、第5図は電子部品を搭載した基板とジニッ
ト・ヘツダとの関係を示す図である。 1・・・・・・基板、3・・・・・・電子部品、4・・
・・・・ジニット・ヘツダ、5・・・・・・等圧容器、
6・・・・・・ジニット噴出ノズル、7・・・・・・空
気導入管、8・・・・・・断熱膨張機構、9・・・・・
・空気配管、10・・・・・・エアチヤンバもしくは分
配器、11・・・・・・エア・コンプレツサもしくはプ
ロア、12・・・・・・圧力計、13・・・・・・熱交
換器。
Fig. 1 is an explanatory diagram of a conventional cooling system for electronic equipment, Fig. 2 is a block diagram of the first embodiment of the present invention, Fig. 3 is a block diagram of the second embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a diagram of the present invention. FIG. 5, a block diagram of the third embodiment of the invention, is a diagram showing the relationship between a board on which electronic components are mounted and a dinit header. 1... Board, 3... Electronic components, 4...
...Ginnit Hezda, 5...Isobaric container,
6... Dinit jet nozzle, 7... Air introduction pipe, 8... Adiabatic expansion mechanism, 9...
- Air piping, 10... air chamber or distributor, 11... air compressor or prower, 12... pressure gauge, 13... heat exchanger.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 基板上に該基板の面と平行な面を有する複数の電子
部品を搭載して構成した電子装置と、複数のジェット流
噴出ノズルが設けられた等圧容器から構成されたジェッ
ト・ヘッダと、該ジェット・ヘッダに圧縮空気又は圧縮
気体を供給する配管系と、該配管系に設けられた断熱膨
張を発生させる機構とを備え、上記ジェット・ヘッダを
上記電子装置の基板と重なり合うように配置すると共に
、上記ジェット・ヘッダの複数のジェット流噴出ノズル
のそれぞれから噴出するジェット流を、上記基板の面に
対しジェット流の自由ジェット流部が垂直成分を有する
ようにして、上記電子装置の局部的温度上昇部に吹き付
けるようにしたことを特徴とする電子装置の冷却方式。 2 配管系が、配管、エアチャンバもしくは分配器及び
コンプレッサを含み、上記エアチャンバもしくは分配器
の給気口に絞りの機能をもたせたことを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の電子装置の冷却方式。 3 ジェット・ヘッダの給気口に絞りの機能をもたせた
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載
の電子装置の冷却方式。 4 断熱膨張の結果冷却された空気温度が吸気温度より
一定温度以下にならないように断熱膨張を生じせしめる
条件を調整することを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の冷却方式。 5 配管系が、加圧の際に生じる空気又は気体の温度上
昇を周囲に放熱する熱交換器を有することを特徴とする
特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の
電子装置の冷却方式。
[Claims] 1. An electronic device configured by mounting a plurality of electronic components on a substrate and having a surface parallel to the surface of the substrate, and an isobaric container provided with a plurality of jet stream ejection nozzles. a jet header, a piping system for supplying compressed air or compressed gas to the jet header, and a mechanism for generating adiabatic expansion provided in the piping system, and the jet header is connected to a substrate of the electronic device. and the jet stream ejected from each of the plurality of jet stream ejection nozzles of the jet header is arranged such that the free jet flow part of the jet stream has a vertical component with respect to the surface of the substrate, A cooling method for an electronic device, characterized in that the air is sprayed onto a locally heated portion of the electronic device. 2. The electronic device according to claim 1, wherein the piping system includes piping, an air chamber or distributor, and a compressor, and the air supply port of the air chamber or distributor has a throttle function. cooling method. 3. A cooling method for an electronic device according to claim 1 or 2, characterized in that the air supply port of the jet header has a throttle function. 4. The cooling method according to claim 1, wherein the conditions for causing adiabatic expansion are adjusted so that the temperature of the air cooled as a result of adiabatic expansion does not fall below a certain temperature below the intake air temperature. 5. The electronic device according to any one of claims 1 to 4, wherein the piping system has a heat exchanger that radiates heat to the surroundings from a temperature increase in air or gas that occurs during pressurization. Equipment cooling method.
JP52023222A 1977-03-03 1977-03-03 Cooling methods for electronic equipment Expired JPS5917560B2 (en)

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