JPS59174750A - 光学式トランスデユ−サ - Google Patents
光学式トランスデユ−サInfo
- Publication number
- JPS59174750A JPS59174750A JP58049302A JP4930283A JPS59174750A JP S59174750 A JPS59174750 A JP S59174750A JP 58049302 A JP58049302 A JP 58049302A JP 4930283 A JP4930283 A JP 4930283A JP S59174750 A JPS59174750 A JP S59174750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- vibrator
- light
- signal
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 48
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/32—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using change of resonant frequency of a crystal
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、温度や力その他の物理量を光信号を利用して
伝送する光学式トランスデユーサに関するものである。
伝送する光学式トランスデユーサに関するものである。
更忙詳しくは、本発明は、被測定物理量が与えられる振
動子を有し、この振動子の固有振動数に関連した信号を
光信号で伝送する光学式トランスデユーサに関するもの
である。
動子を有し、この振動子の固有振動数に関連した信号を
光信号で伝送する光学式トランスデユーサに関するもの
である。
近年、光ファイバなどの光伝送路や半導体レーザ、
LEDなとの各種光学素子の進展に伴ない、各種の光学
式トランスデユーサが提案されている。
LEDなとの各種光学素子の進展に伴ない、各種の光学
式トランスデユーサが提案されている。
しかし、これまで提案されているトランスデユーサの多
くのものけ、光源や受光器、あるいは光伝送路の変動(
オフセント等)の影響を受けるが、または、その影響を
受けないための工夫が必要で、伝送精度に問題があった
り、構成が複雑になるという欠点があった。
くのものけ、光源や受光器、あるいは光伝送路の変動(
オフセント等)の影響を受けるが、または、その影響を
受けないための工夫が必要で、伝送精度に問題があった
り、構成が複雑になるという欠点があった。
本発明の目的は、構成が簡単で、光源や受光器、あるい
は光伝送路のオフセットの影響を受けない光学式トラン
スデユーサを実現しようとするものである。
は光伝送路のオフセットの影響を受けない光学式トラン
スデユーサを実現しようとするものである。
本発明に係る装置は、圧電材料基板上に励振電極と検出
電極とを形成して構成され被測定物理量に応じて固有振
動数が変化する振動子と、受信端側から伝送された光信
号を受光し′4得られた電気信号を励振電極に印加する
光電変換手段と、検出電極に得られる信号が印加され固
有振動数に対応した光学的信号を出力する光学素子とで
構成される点に特徴がある。
電極とを形成して構成され被測定物理量に応じて固有振
動数が変化する振動子と、受信端側から伝送された光信
号を受光し′4得られた電気信号を励振電極に印加する
光電変換手段と、検出電極に得られる信号が印加され固
有振動数に対応した光学的信号を出力する光学素子とで
構成される点に特徴がある。
第1図は本発明に係る装置の一例を示・f4δ成余1視
図である。この図において、1は* I11定物理量(
例えば温度)が与えられる振動子で、ここでは、二つの
音叉をつなぎ合わせた形状の屈曲振動子を示す。この振
動子1において、10はfllえば水晶のような圧電材
料基板、21.22は基板10上であって、一方の端側
に互いに対向するように形成した励振電極、31.32
は基板10上であって、他方の端(lllIIに互いに
対向するように形成した検出電極である。
図である。この図において、1は* I11定物理量(
例えば温度)が与えられる振動子で、ここでは、二つの
音叉をつなぎ合わせた形状の屈曲振動子を示す。この振
動子1において、10はfllえば水晶のような圧電材
料基板、21.22は基板10上であって、一方の端側
に互いに対向するように形成した励振電極、31.32
は基板10上であって、他方の端(lllIIに互いに
対向するように形成した検出電極である。
水晶のような圧電材料は、すぐれた弾性体であυ、しか
もそれ自体が圧電体であること力)ら、励振電極21.
22間に励振信号を与えることによって・振□動し、ま
た、検出電極31.32間からは振動子の振動に応じた
電圧が発生する。
もそれ自体が圧電体であること力)ら、励振電極21.
22間に励振信号を与えることによって・振□動し、ま
た、検出電極31.32間からは振動子の振動に応じた
電圧が発生する。
なお、このような構成の振動子の形状及び各電極の形成
は、フォトリソグラフィ技術と異方性エツチング技術を
利用して行なうことができる。
は、フォトリソグラフィ技術と異方性エツチング技術を
利用して行なうことができる。
4は光電変換手段で、光ファイノ<61から供給される
光を受光し、変換した電気信号は励振電極21゜22に
印加される。この光電変換手段としては、例1えば太陽
電池が使用される。5は光学素子で、fljえば発光ダ
イオード(LED’)あるいはレーザダイオ−’)’
(LD)が使用され、検出電極31.32に生じた信号
によって駆動され、ここからの光信号は光ファイバ62
を介して伝送される。
光を受光し、変換した電気信号は励振電極21゜22に
印加される。この光電変換手段としては、例1えば太陽
電池が使用される。5は光学素子で、fljえば発光ダ
イオード(LED’)あるいはレーザダイオ−’)’
(LD)が使用され、検出電極31.32に生じた信号
によって駆動され、ここからの光信号は光ファイバ62
を介して伝送される。
71は光源、72は受光素子で、それぞれ光ファイバ6
1.62の一端に光学的に結合しているo73は増幅器
で、受光素子72からの信号を入力し、光源71を駆動
する。74は増幅器73からの出力周波数イ言号を測定
し、所定の演算を行なって演算結果を表示する演算表示
回路である。
1.62の一端に光学的に結合しているo73は増幅器
で、受光素子72からの信号を入力し、光源71を駆動
する。74は増幅器73からの出力周波数イ言号を測定
し、所定の演算を行なって演算結果を表示する演算表示
回路である。
増幅器73は、光源71.受光素子72.光ファイノ(
61、62及び振動子1を介して閉ループを形成してお
り、この閉ループは振動子1をその固有振動数fで自励
振動するように動作する。
61、62及び振動子1を介して閉ループを形成してお
り、この閉ループは振動子1をその固有振動数fで自励
振動するように動作する。
なお、この実施例において、増幅器73側と、振動子1
側とは、使用目的に応じて、距離を隔てて設置するよう
にしてもよいしへ近接して設置してもよい。近接して設
置する一場合、光ファイノ(61゜62は省略し、空間
を光伝送のための媒体とするようにしてもよい。
側とは、使用目的に応じて、距離を隔てて設置するよう
にしてもよいしへ近接して設置してもよい。近接して設
置する一場合、光ファイノ(61゜62は省略し、空間
を光伝送のための媒体とするようにしてもよい。
第2図は振動子1の動作を説明するだめの説明図である
。励振電極21.22間に励振信号75;印カロされな
い状態では、振動子1は第2図(a)に示すような状態
となっている。いま、光電変換手段4カ)らの信号を、
励振電極21.22間に第2図(1))に示すような極
性で印加すると、振動子1の外(IIと内(ilIJと
では、図示するように伸び縮みが生じ、振動子1は図示
するように両側の振動梁カニ広力;るように変形する。
。励振電極21.22間に励振信号75;印カロされな
い状態では、振動子1は第2図(a)に示すような状態
となっている。いま、光電変換手段4カ)らの信号を、
励振電極21.22間に第2図(1))に示すような極
性で印加すると、振動子1の外(IIと内(ilIJと
では、図示するように伸び縮みが生じ、振動子1は図示
するように両側の振動梁カニ広力;るように変形する。
振動子1がこの様に変形して振動すると、検出電極31
.32間には、屈曲に応じて図宗する極性の電圧が発生
し、これが光学素子5に印加される。
.32間には、屈曲に応じて図宗する極性の電圧が発生
し、これが光学素子5に印加される。
こづように構成した装置の動作は次の通りである。はじ
めに増幅器73は、光源71を駆動し、光源71から光
ファイバ61を介して光パルスを供給する。
めに増幅器73は、光源71を駆動し、光源71から光
ファイバ61を介して光パルスを供給する。
光電変換手段4は、光ファイバ61の一端から出射する
光パルスを受光し、これを電気エネルギに変換する。変
換されたパルス状の電気エネルギは、振動子1の励振電
極21.22に印加され、振動子1を励振させる。振動
子1の変形によって検出電極31、32間に生ずる信号
は、光学素子5に印加され、ここからの光パルス信号は
、光ファイバ62を介して送られる。受光素子72はこ
の光パルス信号を′受光し、増幅器73は受光素子73
からのパルス信号によって、′光源71に再び駆動させ
る。なお、増幅器73は、必要に応じて位相調整手段を
含んでいる。
光パルスを受光し、これを電気エネルギに変換する。変
換されたパルス状の電気エネルギは、振動子1の励振電
極21.22に印加され、振動子1を励振させる。振動
子1の変形によって検出電極31、32間に生ずる信号
は、光学素子5に印加され、ここからの光パルス信号は
、光ファイバ62を介して送られる。受光素子72はこ
の光パルス信号を′受光し、増幅器73は受光素子73
からのパルス信号によって、′光源71に再び駆動させ
る。なお、増幅器73は、必要に応じて位相調整手段を
含んでいる。
この様な一連の動作によって、振動子1はその固有振動
数に対応して自励振#1する。
数に対応して自励振#1する。
ここで、振動子1の固有振動数は、振動子1が設置され
た周囲温度の変化あるいは振動子1に与えられる力等に
よって変化する。従って、増幅器73からの周波数信号
を計測し、所定の演算を行なうことKよって温度あるい
は振動子1に与えられる力等を知ることができる。
た周囲温度の変化あるいは振動子1に与えられる力等に
よって変化する。従って、増幅器73からの周波数信号
を計測し、所定の演算を行なうことKよって温度あるい
は振動子1に与えられる力等を知ることができる。
このように構成される装置によれば、振動子1は光信号
によって駆動され、光信号を出力するもので、振動子1
と増幅器73を含む電気回路部分とを容易に信号絶縁す
ることができる。また、振動子1側からは、振動子1の
固有振動数に対応したパルス信号を伝送するもので、光
源や光伝送路のオフセットによる影響を受けることもな
い′。
によって駆動され、光信号を出力するもので、振動子1
と増幅器73を含む電気回路部分とを容易に信号絶縁す
ることができる。また、振動子1側からは、振動子1の
固有振動数に対応したパルス信号を伝送するもので、光
源や光伝送路のオフセットによる影響を受けることもな
い′。
第3図は本発明の他の実施例を示す構成ブロック図、第
4図はその動作を説明するための動作波形図である。こ
の実施例においては、光源71側から、第4図(a)に
示すように連続光中に光景が変化するようKした駆動パ
ルスtを含めた光信号を伝送する。光電変換手段4は、
この光信号を受光し電気エネルギに変換し、この電気エ
ネルギはコンデンサ41に蓄えられた後、パルスドライ
ブ用のアンプ42の電源電力として供給される。パルス
ドライブ用アンプ42は、コンデンサ43を介し連続光
中に含まれてい光駆動パルスtを入力し、第4図(b)
に示すように駆動信号pを振動子1の励振電極21゜2
2に印加する。検出電極31.32に生ずる信号は、こ
の実施例では入力信号によって光の透過率が変る光学素
子50(例えばPLZTと偏向板との組合せ素子)に印
加されている。光ファイバ61を介して供給される連続
光の一部は、光ファイバ63を介して、光学素子50に
導びかれておシ、ここから、第4図(c)に示す様に出
力パルス信号Pを含む光信号を光ファイバ62を介して
、受光素子72側に伝送する。
4図はその動作を説明するための動作波形図である。こ
の実施例においては、光源71側から、第4図(a)に
示すように連続光中に光景が変化するようKした駆動パ
ルスtを含めた光信号を伝送する。光電変換手段4は、
この光信号を受光し電気エネルギに変換し、この電気エ
ネルギはコンデンサ41に蓄えられた後、パルスドライ
ブ用のアンプ42の電源電力として供給される。パルス
ドライブ用アンプ42は、コンデンサ43を介し連続光
中に含まれてい光駆動パルスtを入力し、第4図(b)
に示すように駆動信号pを振動子1の励振電極21゜2
2に印加する。検出電極31.32に生ずる信号は、こ
の実施例では入力信号によって光の透過率が変る光学素
子50(例えばPLZTと偏向板との組合せ素子)に印
加されている。光ファイバ61を介して供給される連続
光の一部は、光ファイバ63を介して、光学素子50に
導びかれておシ、ここから、第4図(c)に示す様に出
力パルス信号Pを含む光信号を光ファイバ62を介して
、受光素子72側に伝送する。
゛ なお、この実施例において、光学素子50としては
、入力信号に一応じて光の反射率が変化するものを使用
してもよい。また、各実施例においては、2本の光ファ
イバを使用することを想定したものであるが、光ファイ
バの両端にハーフミラ−あるいはグイクロックミラー(
往復光の波長を異ならしめた場合)を設置し、1本の光
ファイバを用いるようにしてもよい。まだ、振動子1の
構造は測定すべき物理tlc適合するようK、他の構造
のものでもよい。また、光電変換手段4や、光学素子5
.50は、振動子1と同一基板上に形成してもよい。
、入力信号に一応じて光の反射率が変化するものを使用
してもよい。また、各実施例においては、2本の光ファ
イバを使用することを想定したものであるが、光ファイ
バの両端にハーフミラ−あるいはグイクロックミラー(
往復光の波長を異ならしめた場合)を設置し、1本の光
ファイバを用いるようにしてもよい。まだ、振動子1の
構造は測定すべき物理tlc適合するようK、他の構造
のものでもよい。また、光電変換手段4や、光学素子5
.50は、振動子1と同一基板上に形成してもよい。
もよい。
以上説明したように、本発明によれば、振動子が光信号
で駆動され、まだ振動子の固有振動数に対応した周波数
の光パルスを出力するもので、構成が簡単で光源や受光
器あるいは光伝送路のオフセットの影響を受けない光学
式トランスデユーサが実現できる。
で駆動され、まだ振動子の固有振動数に対応した周波数
の光パルスを出力するもので、構成が簡単で光源や受光
器あるいは光伝送路のオフセットの影響を受けない光学
式トランスデユーサが実現できる。
第1図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブロック図
、第2図は第1図において振動子の動作波形図である。 1・・・振動子、 21.22・・・励振電極、31.
32・・・検出電極、4・・・光電変換手段、5・・・
光学素子、61.62・・・光ファイバ、71・・・光
源、72・・・受光素子、73・・・増幅器。 、T/I¥] オ 2112] ((1)(bン オ 3 図 74 図
、第2図は第1図において振動子の動作波形図である。 1・・・振動子、 21.22・・・励振電極、31.
32・・・検出電極、4・・・光電変換手段、5・・・
光学素子、61.62・・・光ファイバ、71・・・光
源、72・・・受光素子、73・・・増幅器。 、T/I¥] オ 2112] ((1)(bン オ 3 図 74 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) 圧電材料基板上に励振電極と検出電極とを形
成して構成され被測定物理jtK応じて固有振動数が変
化する振動子、伝送された光信号を受光し得られた電気
信号を前記励振電極に印加する光電変換手段、前記検出
電極如得られる信号が印加され前記固有振動数に対応し
た光学的信号を出力する光学素子を具備した光学式トラ
ンスデー−サ。 (2) 光学素子として発光ダイオード又はレーザダ
イオードを用いた特許請求の範囲第1項記載の光学式ト
ランスデユーサ。 (5)光学素子として入力信号に応じて光の透過率又は
光の反射率が変化する素子を用いた特許請求の範囲第1
項記載の光学式トランスデユーサ。 (4)光電変換手段及び又は光学素子に光ファイバを結
合させ、光信号をこの光ファイバを介して伝送するよう
にした特許請求の範囲第1項記載の光学式トランスデー
−サ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58049302A JPS59174750A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光学式トランスデユ−サ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58049302A JPS59174750A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光学式トランスデユ−サ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174750A true JPS59174750A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12827136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58049302A Pending JPS59174750A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光学式トランスデユ−サ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59174750A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0345142A2 (en) * | 1988-06-02 | 1989-12-06 | Luxtron Corporation | Sensors for detecting electromagnetic parameters utilizing vibrating elements |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49134381A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
JPS5574414A (en) * | 1978-11-29 | 1980-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Crystal transducer |
JPS57131032A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Shimadzu Corp | Light pulse output pressure sensor |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP58049302A patent/JPS59174750A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49134381A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
JPS5574414A (en) * | 1978-11-29 | 1980-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Crystal transducer |
JPS57131032A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Shimadzu Corp | Light pulse output pressure sensor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0345142A2 (en) * | 1988-06-02 | 1989-12-06 | Luxtron Corporation | Sensors for detecting electromagnetic parameters utilizing vibrating elements |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4713540A (en) | Method and apparatus for sensing a measurand | |
US4813271A (en) | Resonator device | |
US4772786A (en) | Photothermal oscillator force sensor | |
US4651571A (en) | Strain sensor | |
US5105665A (en) | Sensors | |
US4703287A (en) | Phase modulator for fiber-optic sensors | |
JPH022589A (ja) | 共振リボンドライバを有する振動光フアイバ表示装置 | |
JPH0961858A (ja) | 音響光学光走査装置 | |
US5195374A (en) | Sensor systems | |
EP0244087A2 (en) | Remote temperature-compensated pressure sensor | |
JPS59174750A (ja) | 光学式トランスデユ−サ | |
JPS6133451B2 (ja) | ||
WO1986006505A1 (en) | Photoelastic modulators | |
JPH07509781A (ja) | 自励式光学歪みゲージ | |
GB2171509A (en) | Magnetic field detection | |
US6008930A (en) | Acoustooptical modulator | |
US7061948B2 (en) | Wavelength stabilizing apparatus and method of adjusting the same | |
GB2235773A (en) | Indirectly excited resonant element sensor | |
JPH0248959B2 (ja) | Kogakudensoshisutemu | |
JPH05188421A (ja) | 光波長変換装置 | |
CA1231851A (en) | Strain sensor | |
JPH0248958B2 (ja) | Kogakukeisokushisutemu | |
JPH035637B2 (ja) | ||
SU1388731A1 (ru) | Акустический приемник | |
JPS5819527A (ja) | 光圧力センサ |