JPS59174706A - Position detecting device - Google Patents

Position detecting device

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JPS59174706A
JPS59174706A JP4978683A JP4978683A JPS59174706A JP S59174706 A JPS59174706 A JP S59174706A JP 4978683 A JP4978683 A JP 4978683A JP 4978683 A JP4978683 A JP 4978683A JP S59174706 A JPS59174706 A JP S59174706A
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JP
Japan
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signal
circuit
outputted
scanning
switching
Prior art date
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Pending
Application number
JP4978683A
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Japanese (ja)
Inventor
Norio Okuya
奥谷 憲男
Toshitoki Inoue
井上 利勅
Tomohiro Maruo
丸尾 朋弘
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4978683A priority Critical patent/JPS59174706A/en
Publication of JPS59174706A publication Critical patent/JPS59174706A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To detect the two-dimensional position of a body to be checked in a broad range by a one-dimensional scanning device in a simplified processing system, by changing the shape of the light receiving surface of a photoelectric converter, which is divided into four parts, by using the electro-optical effect of a liquid crystal, and forming a rectangular shape, which is short in the detecting direction. CONSTITUTION:A direction signal (c), a driving signal (a) and a switching signal (f) are outputted from a direction specifying circuit 27. A scanning signal (d) is outputted from a galvano-driving circuit 33. Position signals (e) in the aligning direction of photoelectric converters 18a and 18b are outputted from a sampling circuit 32 as a conventional way. When the direction signal (c) and the driving signal (a) from the direction specifying circuit 27 are changed and the switching signal (f) is not outputted, segments 22d, 22e and 22f in a limiting device 21 are conducted and become a light transmitting state, and 22d, 22e and 22h are cut off and become a light shielded state. The switching circuit 26 outputs an input from an operation circuit 25b. The position signals in the aligning direction of photoelectric converters 18a and 18c are outputted from the sampling circuit 32 by the similar way.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、工業用ロボット等の位置検出装@Vこ関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a position detection device for industrial robots and the like.

従来例の構成とその問題点 工業用ロボット’を用い作業を行う時、対象とする物体
を正確に位置決めする事が困難である場合対象とする物
体の位置情報を得る為、位置検出装置が用いられる。
Conventional configuration and its problems When working with an industrial robot, if it is difficult to accurately position the target object, a position detection device is used to obtain position information of the target object. It will be done.

一般に、位置検出装置として工業用カメラが用いられて
いるが、高度な計算機能をもつ処理系か必要であり、使
用するにあたり価格面で問題か多かった。1だ、簡素化
された処理系による位置検出の一つの方法として、第1
図、第2図、第3図を参照して説明すると、照明1で照
明された被検出物体2か結像レンズ3により4分割され
た光Φ、変換器4a 、4b 、4C,4d上に結像す
る。AiJ記結像レンズ3と前記光電変換器4 a 、
 4b 、4c。
Generally, industrial cameras are used as position detection devices, but they require a processing system with advanced calculation functions, which often poses problems in terms of cost. 1. As a method of position detection using a simplified processing system, the first method is
2 and 3, light Φ, which is divided into four parts by the imaging lens 3 from the object 2 to be detected illuminated by the illumination 1, is transmitted onto the converters 4a, 4b, 4C, and 4d. Form an image. AiJ imaging lens 3 and the photoelectric converter 4a,
4b, 4c.

4dの間に(は、走査装置としてガルノ・ノメ−り6が
配置され、制御装置6より出力された走査信号で、前記
光電変換器4a、4bと4a、4cの各々の配列゛方向
に斜めに映像か移動するように駆動される。まず、駆動
回路7より走査信号か出力され、前記ガルバノメータ6
か、協動され、前記光1b。
Between 4d and 4d, a Garneau meter 6 is arranged as a scanning device, and a scanning signal outputted from the control device 6 is used to scan diagonally in the direction of arrangement of each of the photoelectric converters 4a, 4b and 4a, 4c. First, the drive circuit 7 outputs a scanning signal, and the galvanometer 6
or the light 1b is cooperated.

変換器4a 、4b 、4C,4d上に結像した前記物
体2の映像が前記光電変換器4a、4bと4a。
The images of the object 2 formed on the converters 4a, 4b, 4C, and 4d are the photoelectric converters 4a, 4b, and 4a.

4Cの配列方向に創めに移動する。Ail記光電変換器
4a 、 4b 、’4C、4dの検出信号P1.P2
゜P3.P4ば、演算回路8aに入力し、1(P1+P
3)−(P2+P4戸がスイッチング回路9に入力する
Move in the direction of the 4C array. Detection signals P1. of Ail photoelectric converters 4a, 4b, '4C, 4d. P2
゜P3. P4 is input to the arithmetic circuit 8a and becomes 1(P1+P
3) −(P2+P4 is input to the switching circuit 9.

前記スイッチング回路9に方向指定回路10よりスイッ
チング信号が入力していると、前記スイッチング回路9
から1(P1+P3)−(P2+P4)1が出力される
。前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4a、4c
上にきた時、予め5a)Oとなるようなある値に設定さ
れたSa と比較し、1 (PI十P3)−(P2+P
4)1.>Sa  となり、ゲート回路11より信号が
出力される。次に、前記被検出物体2の映像が前記光電
変換器4a、4Cと4b。
When a switching signal is input from the direction specifying circuit 10 to the switching circuit 9, the switching circuit 9
, 1(P1+P3)-(P2+P4)1 is output. The image of the detected object 2 is transmitted to the photoelectric converters 4a and 4c.
When it reaches the top, compare it with Sa, which was previously set to a certain value such that 5a)O, and get 1 (PI + P3) - (P2 + P
4)1. >Sa, and a signal is output from the gate circuit 11. Next, the image of the detected object 2 is transmitted to the photoelectric converters 4a, 4C, and 4b.

4dの中間にきた時、予めTaりOとなるようなある値
に設定されたTa と比較し、1(P1+P3)−(P
2+P4)1<Taとなり、比較回路12より信号が出
力される。前記ゲート回路11と前記比較i     
  回路12の信号出力により、AND回路13は、サ
ンプリング回路14にサンプリング信号を出力し、前記
サンプリング回路14は、その時の前記駆動す」1路了
の走査信号を読み取り、前記光電変換器4=、4bの配
列方向の位置信号を出力する。
When it reaches the middle of 4d, it is compared with Ta, which is set in advance to a certain value such that Ta is O, and 1(P1+P3)-(P
2+P4)1<Ta, and a signal is output from the comparison circuit 12. The gate circuit 11 and the comparison i
In response to the signal output from the circuit 12, the AND circuit 13 outputs a sampling signal to the sampling circuit 14, and the sampling circuit 14 reads the scanning signal of the drive at that time. A position signal in the arrangement direction of 4b is output.

その後、前記被検出物体2の映像が前記光電変換器4b
 、 4d上にきた時、1(P1+P3)−(P2+P
4)1)Saとなり前記ゲート回路9dよりの信号はな
くなる。捷だ、演算回路8bへの入力は、1(P1十P
2)−(P3十P4)1が前記スイッチング回路9に入
力する。前記スイッチング回路9に方向指定回路10よ
りスイッチング信号か入力していないと、前記スイッチ
ング回路9から1(P1+P2)−(P3+P4)1が
出力され、以下前述の通りに処理され、サンプリング回
路14ば、前記光電変換器4a 、4cの配列方向の位
置・言号を出力する。
Thereafter, the image of the detected object 2 is transmitted to the photoelectric converter 4b.
, When it comes to 4d, 1(P1+P3)-(P2+P
4) 1) Sa and the signal from the gate circuit 9d disappears. The input to the arithmetic circuit 8b is 1 (P10P
2)-(P30P4)1 is input to the switching circuit 9. If no switching signal is input from the direction specifying circuit 10 to the switching circuit 9, the switching circuit 9 outputs 1(P1+P2)-(P3+P4)1, which is then processed as described above, and the sampling circuit 14 outputs 1(P1+P2)-(P3+P4)1. The positions and words in the arrangement direction of the photoelectric converters 4a and 4c are output.

この様に、4分割光電変換器上(で結像した映像を、走
査装置により各々の4分割光電変換器の配列方向に斜め
に移動させ、4分割光電変換器の検出信号を各々演算処
理することにより、位置検出を行うもの(は、走査巾が
狭くても良い場合のみ有効て、走査巾を広くとれないと
いう問題があった。
In this way, the image formed on the 4-split photoelectric converter is moved diagonally in the arrangement direction of each 4-split photoelectric converter by the scanning device, and the detection signals of the 4-split photoelectric converters are each processed by calculation. As a result, the method that performs position detection is effective only when the scanning width can be narrow, and there is a problem that the scanning width cannot be widened.

発明の目的 本発明は、上記従来の問題点を解消するもので、簡素化
された処理系によるという特徴をそこなうことなく、1
次元走査装置の2回走査で、対象とする物体の広範囲の
2次元位置検出を行う2次元位置検出装置を提供するこ
とを目的とする。
OBJECTS OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and achieves the following without sacrificing the feature of a simplified processing system.
It is an object of the present invention to provide a two-dimensional position detection device that detects the two-dimensional position of a target object over a wide range by scanning twice with the dimensional scanning device.

発明の構成 本発明は、被検出物体を照明する照明装置と、前記被検
出物体の像を結像させる結像装置と、結像面」二に配置
し像の明るさを検出する4個に分割された光電変換器よ
りなる検出装置と、前記光電変換器の受光面を制限する
制限装置と、像と前記光電変換器の相対位置を結像面内
で1次元移動させる走査装置と、前記検出装置の検出信
号と前記走査装置の走査信号とにより前記被検出物体の
2次元位置全決定する決定手段から構成されており被検
出物体の位置検出処理のr7x素化をそこなうことなく
、1次元走査装置の2回走査で広1ji囲の2次元位ら
、検出をはかるものである。
Structure of the Invention The present invention comprises an illumination device for illuminating an object to be detected, an imaging device for forming an image of the object to be detected, and four devices disposed on an imaging plane to detect the brightness of the image. a detection device comprising a divided photoelectric converter; a limiting device for limiting a light receiving surface of the photoelectric converter; a scanning device for moving the relative position of an image and the photoelectric converter in one dimension within an imaging plane; It is comprised of a determining means that completely determines the two-dimensional position of the object to be detected based on the detection signal of the detection device and the scanning signal of the scanning device, and the one-dimensional By scanning twice with the scanning device, detection is performed over a two-dimensional area over a wide area.

実施例の説明 以下に本発明の一実施例を図にもとづいて説明する。Description of examples An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.

第4図Uおいて、照明装置15で照明された被検出物体
16か結像レンズ17により4分割された光電変換器1
8a、18b、18c、18d上に結像する。前記光電
変換器18a、18b。
In FIG. 4U, a detection object 16 illuminated by an illumination device 15 or a photoelectric converter 1 divided into four parts by an imaging lens 17 is shown.
Images are formed on 8a, 18b, 18c, and 18d. The photoelectric converters 18a, 18b.

18C518dの受光面上には、受光面の寸法を制限す
る制限装置21が配置され、制御装置2゜よジ出力され
た駆動信号で駆動される。
A limiting device 21 for limiting the dimensions of the light receiving surface is disposed on the light receiving surface of the 18C518d, and is driven by a drive signal output from the control device 2°.

前記制限装置21は、液晶の電気光学効果t 51”j
用したもので、22a 、22 b、22C、22d 
The limiting device 21 uses the electro-optical effect t51''j of the liquid crystal.
22a, 22b, 22C, 22d
.

22e、22f 、22g、22h、22iの8セグメ
ントの液晶より構成され、各々のセグメントに通電で光
を透過、遮断で光を遮光する様になっている。第5図で
、前記セグメント22 b 、22e。
It is composed of eight segments of liquid crystal 22e, 22f, 22g, 22h, and 22i, and each segment is configured to transmit light by energizing it, and to block light by blocking each segment. In FIG. 5, the segments 22b, 22e.

22hに通電する事により、前記光′ih変換器18a
By energizing 22h, the optical IH converter 18a
.

18b、18G、18dの受光面ブ+1φ状は、l”l
×12の縦長の矩形形状となり、前記セグメン)22d
18b, 18G, 18d light receiving surface curve +1φ shape is l”l
×12 vertically long rectangular shape, the segment) 22d
.

22e、22fに通電する事により横長の矩形形状とな
る。また、受光面寸法11  は、前記被検出物体の長
さをLとすればL〈2 l 、になる様設定されている
。前記結像レンズ17と前記制限裟置21の間には、走
査装置としてガルバノメータ23が配置され、制御装置
20より出力された走査信号で、前記光電変換器18a
、18bと188゜18Cの各々の配列方向に斜めに映
像が移動するように駆動され、前記結像レンズ17の光
軸に垂直な面と、前記ガルバノメータ23の揺動軸とな
す角が第4図において時計回り方向にθとなる様に、前
記ガルバノメータ22は配置されている。
By energizing 22e and 22f, it becomes a horizontally long rectangular shape. Further, the light-receiving surface dimension 11 is set so that L<2 l , where L is the length of the object to be detected. A galvanometer 23 is disposed as a scanning device between the imaging lens 17 and the limiting device 21, and a scanning signal output from the control device 20 is used to scan the photoelectric converter 18a.
, 18b and 188° 18C, and the angle between the plane perpendicular to the optical axis of the imaging lens 17 and the rocking axis of the galvanometer 23 is a fourth angle. The galvanometer 22 is arranged so as to be oriented clockwise at θ in the figure.

次に第5図において、前記被検出物体16の位置を決定
する決定原理を説明すると、前記光電変換器18a、1
8b、18c、18d上に配置し液晶の通電、遮断によ
る光透過率の変化を利用した前記制限装!21Vこより
、前記光′ム変換器18a。
Next, referring to FIG. 5, to explain the determining principle for determining the position of the detected object 16, the photoelectric converters 18a, 1
8b, 18c, and 18d, and utilizes changes in light transmittance due to energization and interruption of the liquid crystal! 21V, the optical beam converter 18a.

18b、18C,18dの受光面を、各々の検出方向に
短く、巾方向に長い゛矩形形状に制限することにより、
配列方向に斜めに映像が移動しても、各々2 l 2s
inθ、2β2CO5θの中白に位置する前記被検出物
体16の映像は、必らず前記光電変換器18a。
By restricting the light receiving surfaces of 18b, 18C, and 18d to a rectangular shape that is short in the detection direction and long in the width direction,
Even if the images move diagonally in the array direction, each 2l 2s
The image of the object to be detected 16 located at the middle white of inθ, 2β2CO5θ is necessarily captured by the photoelectric converter 18a.

18cと18b、18dのまた1sa、1sbと18C
,18dの分割線を横切り、前記光電変換器18a、1
8b、18G、18dの像の明るさの検出信号P1 、
P2.P3.P4より1(P1+P3)−(P2十P4
)1.1 (P1+P2)−(P3+P4)1を求めれ
は、前記被検出物体16の映像か前記光電変換器18a
、16cと1sb、1s、dの中間に位置する時(は、
1.(P1+P3) −(P2+P4>1z0,18a
 、1 sbと1sc、1sdの中間に位置する時ば1
 (Pl 十P2 ) −(P3+P4 )、1りOl
18c and 18b, 18d also 1sa, 1sb and 18C
, 18d, and the photoelectric converters 18a, 1
Detection signal P1 of brightness of images 8b, 18G, 18d,
P2. P3. From P4 1 (P1 + P3) - (P20 P4
)1.1 (P1+P2)-(P3+P4)1 is calculated using the image of the detected object 16 or the photoelectric converter 18a.
, 16c and 1sb, 1s, d (is,
1. (P1+P3) -(P2+P4>1z0,18a
, 1 When located between sb, 1sc, and 1sd, 1
(Pl 10P2) - (P3+P4), 1 Ol
.

その近傍でば1(P1+P3)−(P2+P4)1>>
○、1(P1+P2)−(P3+P、4)1>>Oとな
る点に着目するものである。
In the vicinity, 1(P1+P3)-(P2+P4)1>>
The focus is on the point that ○, 1(P1+P2)-(P3+P, 4)1>>O.

制御装置24の・構成の一例を示すと第6図のように、
演算回路25a、25b、スイッチング回路26、方向
指定回路27、液晶駆動回路28、ゲート回路29、比
較回路30SAND阿路31、サジブリング回路32、
ガルバノ駆動回路33から構成されている。前記方向指
定回路27」:リスイソチング信号が前記スイッチング
回路26に、液晶駆動信号が出力され前記液晶駆動回路
28よリセグメン)22b 、22qに信号が出力され
ると、前記光電変換器18a、18b+、18c。
An example of the configuration of the control device 24 is shown in FIG.
Arithmetic circuits 25a, 25b, switching circuit 26, direction specifying circuit 27, liquid crystal drive circuit 28, gate circuit 29, comparison circuit 30SAND 31, sajibring circuit 32,
It is composed of a galvano drive circuit 33. Direction specifying circuit 27'': When a reisoting signal is output to the switching circuit 26 and a liquid crystal drive signal is output, and a signal is output from the liquid crystal drive circuit 28 to the resegmenters 22b and 22q, the photoelectric converters 18a, 18b+, 18c .

18dの検出信号P1.P2 、P’3 、P4は、前
記演算回路25aで演算され、前記スイッチング回路2
6より1(、P1十P3) −(P2十P4)1が出力
される。前記スイッチング回路26には前記ゲート回路
29、前記比較回路3Qが接続され、前記ゲート回路2
9ば、入力の値1(P1+P3 )=(P2+P4 )
 1がある値以上になった時から次にある値以上になる
寸での聞出力信号を出し、前記トヒ較回路30は、入力
の値1 (P1+P3)−(P2十P4)1がある値以
下になった時に出力信号を出す。前記ゲート回路29と
前記比較回路30の出力は前記AND回路31に接続さ
れ、走査信号を出力する前記ガルバノ1駆動回路33に
接続された前記サンプリング回路32にサンプリング信
号を与える。
18d detection signal P1. P2, P'3, and P4 are calculated by the calculation circuit 25a, and are calculated by the switching circuit 2.
6 outputs 1(,P10P3)-(P20P4)1. The switching circuit 26 is connected to the gate circuit 29 and the comparison circuit 3Q, and the gate circuit 2
9, input value 1 (P1+P3) = (P2+P4)
When 1 exceeds a certain value, it outputs an output signal when the next value exceeds a certain value. Outputs an output signal when the following values occur. The outputs of the gate circuit 29 and the comparison circuit 30 are connected to the AND circuit 31, and provide a sampling signal to the sampling circuit 32 connected to the galvano 1 drive circuit 33 which outputs a scanning signal.

前記サンプリング回路32は、サンプリング信号により
前記ガルバノ駆動回路33の走歪侶号を読み取り、位置
信号を出力する。次に、前記方向指定回路27よりスイ
ッチング信号出力がなくなると、方向信号及び液晶駆動
信号が変化し前記液晶駆動回路28よりセグノン)22
d 、22G 。
The sampling circuit 32 reads the displacement signal of the galvanometer drive circuit 33 using the sampling signal and outputs a position signal. Next, when the switching signal output from the direction specifying circuit 27 disappears, the direction signal and the liquid crystal drive signal change, and the segnon) 22 is output from the liquid crystal drive circuit 28.
d, 22G.

22fに信号が出力されると、前記光電変4さ器18a
When a signal is output to 22f, the photoelectric transformer 18a
.

18b、18C218dの検出信号P1.P2゜P3.
P4は、前記演算(ロ)路25bで演算され、前記スイ
ッチング回路26より1(P1+P2)−(P3+P4
)1か出力される。以下前述の通り処理され、前記サン
プリング回路32より位置信号を出力する。
18b, 18C218d detection signal P1. P2゜P3.
P4 is calculated by the calculation (b) path 25b, and is calculated by the switching circuit 26 as 1(P1+P2)−(P3+P4
)1 is output. Thereafter, the processing is performed as described above, and a position signal is output from the sampling circuit 32.

次に上記のように構成した本実施例の位置検出装置につ
いて以下その動作を説明する′。
Next, the operation of the position detection device of this embodiment configured as described above will be explained below.

まず、前記方向指定回路27より方向信号、駆動信号、
スイッチング信号が出力され、前記側・板装置21の前
記セグメント22b 、22qが通電され光透過状態と
なると共に、前記スイッチング回路26は、前記演算回
路25aよりの入力を出力する。この時、前記ガルバノ
、駆動回路33より走査信号が出力されると、前記サン
プリング回路32より、前記光電変換器18a、18b
の配列方向の位置信号が出力されることは、従来例の通
りであるので説明は省略する。次に、前記方向指足回路
27よりの方向信号、駆動信号が変り、スイッチング信
号がな(なると、前記制限装置21の前記セグメント2
2d 、22e7,22 fが通電され光透過状態とな
り22b 、22e 、22hが遮断され遮光状態とな
ると共に、前記スイッチング回路26ば、前記演算回路
25bよりの入力を出力し、以下同様にして、前記サン
プリング回路32よシ、前記光電変換器18a、18c
の配列方向の位置信号が出力される。
First, a direction signal, a drive signal,
A switching signal is output, and the segments 22b and 22q of the side/plate device 21 are energized and become in a light transmitting state, and the switching circuit 26 outputs the input from the arithmetic circuit 25a. At this time, when a scanning signal is output from the galvanometer and drive circuit 33, the scanning signal is output from the sampling circuit 32 to the photoelectric converters 18a and 18b.
It is the same as in the conventional example that a position signal in the arrangement direction of is outputted, so a description thereof will be omitted. Next, the direction signal and drive signal from the direction finger/foot circuit 27 change, and the switching signal disappears (when the segment 2 of the restriction device 21
2d, 22e7, and 22f are energized and put into a light transmitting state, and 22b, 22e, and 22h are cut off and put into a light shielding state, and the switching circuit 26 outputs the input from the arithmetic circuit 25b. The sampling circuit 32, the photoelectric converters 18a and 18c
A position signal in the arrangement direction is output.

す、上のように本実施例によれば、4分割光電変換器の
受光面の11チ状を液晶の電気光学効果を用い変化させ
検出方向に短い矩形形状を形成する事により、簡素化さ
れた処理系により1次元走査装置で、被検出物体の2次
元位置が広範囲に検出てきる。
As described above, according to this embodiment, the 11-chip shape of the light receiving surface of the 4-split photoelectric converter is changed using the electro-optic effect of the liquid crystal to form a short rectangular shape in the detection direction, thereby simplifying the structure. The two-dimensional position of the object to be detected can be detected over a wide range with a one-dimensional scanning device using a processing system.

発明の効果 本発明は、4分割光電変換器の受光面の形状を液晶の電
気光学効果を用い変化させ各々の検出方向に短い矩形形
状を形成することにより、簡素化された処理系により1
次元走査装置で、被検出物体の2次元位置を広範囲に検
出する効果を得ることができる優れた位置検出装置を実
現できるものである。
Effects of the Invention The present invention changes the shape of the light-receiving surface of a 4-split photoelectric converter using the electro-optic effect of liquid crystal to form a short rectangular shape in each detection direction.
With the dimensional scanning device, it is possible to realize an excellent position detection device that can obtain the effect of detecting the two-dimensional position of a detected object over a wide range.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来例としての位置検出装置の構成図、第2
図は、従来例の決定原理を示す原理図、第3図は、従来
例としての制御装置の構成図、第′4図は、本発明の実
施例としての位置検出装置の構成図、第5図は、本発明
の決定原理を示す原理図、第6図は、本発明の実施列と
しての制御装置の・構成図である。 1.15・・・・・・照明装置、2,16・・・・・・
被検出物体、3 、17−一結像レンズ、4a 、4b
 、4c4d、18a、18b、18G、18d−−光
電変換器、5,23−・・・ ガルバノメータ、6,2
゜・・制御装置、22a 、22b 、22c 、22
d。 22e 、22 f 、22g 、22h 、22 i
−−一液晶セグメント。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第4図 第5図
Figure 1 is a configuration diagram of a position detection device as a conventional example;
3 is a configuration diagram of a control device as a conventional example, FIG. 4 is a configuration diagram of a position detection device as an embodiment of the present invention, and FIG. The figure is a principle diagram showing the decision principle of the present invention, and FIG. 6 is a configuration diagram of a control device as an implementation sequence of the present invention. 1.15...Lighting device, 2,16...
Object to be detected, 3, 17-1 imaging lens, 4a, 4b
, 4c4d, 18a, 18b, 18G, 18d--Photoelectric converter, 5, 23-... Galvanometer, 6, 2
゜...control device, 22a, 22b, 22c, 22
d. 22e, 22f, 22g, 22h, 22i
---One liquid crystal segment. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
Figure 4 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被検出物体を照明する照明装置と、前記被検出物体の像
を結像させる結像装置と、結像面上に配置し、像の明る
さを検出する4個に分割された光電変換器よりなる検出
装置と、前記光電変換器の受光面を制限装置と、像と前
記光電変換器の相対位置を結像面内で1次元移動させる
走査装置と、前記検出装置の検出信号と前記走査装置の
走査信号とにより前記被検出物体の2次元位置を決定す
る決定手段とを備えた位置検出装置。
An illumination device that illuminates the object to be detected, an imaging device that forms an image of the object to be detected, and a photoelectric converter divided into four parts arranged on the imaging plane and that detects the brightness of the image. a detection device that limits the light-receiving surface of the photoelectric converter; a scanning device that moves the relative position of the image and the photoelectric converter one-dimensionally within an imaging plane; and a detection signal of the detection device and the scanning device. and determining means for determining the two-dimensional position of the detected object based on the scanning signal.
JP4978683A 1983-03-24 1983-03-24 Position detecting device Pending JPS59174706A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102135411A (en) * 2010-12-31 2011-07-27 中国科学院西安光学精密机械研究所 Portable electronic device for detecting central position of signal filament
CN110721958A (en) * 2019-11-22 2020-01-24 张旭松 Method for improving crystal surface processing precision for crystal cleaning

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