JPS59166835A - Pressure variation detecting type leakage inspecting device - Google Patents

Pressure variation detecting type leakage inspecting device

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JPS59166835A
JPS59166835A JP4186983A JP4186983A JPS59166835A JP S59166835 A JPS59166835 A JP S59166835A JP 4186983 A JP4186983 A JP 4186983A JP 4186983 A JP4186983 A JP 4186983A JP S59166835 A JPS59166835 A JP S59166835A
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Kiyoshi Furuse
古瀬 清
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Cosmo Instruments Co Ltd
KOSUMO KEIKI KK
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Cosmo Instruments Co Ltd
KOSUMO KEIKI KK
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    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors

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Abstract

PURPOSE:To always maintain a constant inspection accuracy by using a mean value obtained by calculating a mean value of an inspected data of a prescribed number of objects to be inspected, as a correcting value to the inspected data of the object to be inspected, correcting the inspected data, and also correcting only the first inspecting cycle by the correcting value set in advance. CONSTITUTION:A correcting value delta1 of the first time is given from a first time correcting quantity setting device 53, and a corrected data DELTAP1 is obtained by correcting an inspected data D1 by said correcting value delta1. This corrected data P1 is given to a quality deciding and comparing part 49. In an inspecting cycle of the second time, a changeover switch 52 is switched to a mean value operating part 44 side. In a storage device 42c, the inspected data value D1 of the first time becomes a correcting value delta2 of an inspected data D2 of the second time, and in an inspected data of the third time, the inspected data D1 of the first time and the inspected data value D2 of the second time are stored, therefore, the mean value operating part 44 calculates a mean value delta3 of the inspected data D1 and D2, this mean value delta3 is supplied to a correcting quantity converting part 45, and an inspected data D3 of the third time is corrected. A corrected data DELTA P2 is given to the quality deciding and comparing part.

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の技術分野〉 この発明は使用状態で流体漏れがあってはならないか、
若しくは一定規格以内であることが必要な製品もしくは
部品をその生産工程中において順次検査し、良否を判定
する漏れ検査装置に関し、特に測定雰囲気等によって生
じる検測データの誤差を自動的に修正することができる
自動補正機能付漏れ検査装置を提供しようとするもので
ある。
[Detailed Description of the Invention] <Technical Field of the Invention> This invention is designed to prevent fluid leakage during use.
Or, regarding leak testing equipment that sequentially inspects products or parts that must meet certain standards during the production process to determine pass/fail, to automatically correct errors in measurement data caused by the measurement atmosphere, etc. The present invention aims to provide a leak inspection device with an automatic correction function that can perform the following steps.

〈従来技術の説明〉 第1図は既に実用化てれている漏れ検査装置の構成を示
すブロック図である。空圧源11の出方側に接続された
流管1oは調圧弁12及び電磁弁14を介して電磁弁1
4の出口側で二分され、分岐路15−1.15−2にそ
れぞれ接続されている。
<Description of Prior Art> FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a leakage testing device that has already been put into practical use. The flow pipe 1o connected to the output side of the air pressure source 11 is connected to the solenoid valve 1 via the pressure regulating valve 12 and the solenoid valve 14.
It is divided into two parts at the exit side of No. 4, and connected to branch paths 15-1 and 15-2, respectively.

調圧弁12の出口と電磁弁14の入口との間には検査圧
を設定する圧力計13が接続されている。
A pressure gauge 13 is connected between the outlet of the pressure regulating valve 12 and the inlet of the electromagnetic valve 14 to set the test pressure.

分岐路15−1は電磁弁16を介して導管18の一端に
接続され、この導管18の他端部には漏れを検査すべき
被検査物20を接続する機構が設けられる。この導管1
8の他端部の機構により被検査物20が順次接続されて
漏れ検査が可能な構成と々っている。一方、分岐路15
−2は電磁弁17を介して導管19の一端に接続され、
この導管19の他端部には基準タンク21が接続されて
いる。
The branch path 15-1 is connected to one end of a conduit 18 via a solenoid valve 16, and the other end of this conduit 18 is provided with a mechanism for connecting an object 20 to be inspected for leakage. This conduit 1
A mechanism at the other end of the test piece 8 connects the test objects 20 one after another to enable leakage testing. On the other hand, branch road 15
-2 is connected to one end of the conduit 19 via the solenoid valve 17;
A reference tank 21 is connected to the other end of the conduit 19.

電磁弁16及び17の出口側において導管18及び19
の間に差圧検出器22が取り付けられている。
Conduits 18 and 19 on the outlet side of solenoid valves 16 and 17
A differential pressure detector 22 is installed between them.

差圧検出器22の出力信号は増幅器31を介して比較器
32に与えられ、比較器32において基準信号設定器3
3の出力基準値と比較可能な構成とされる。
The output signal of the differential pressure detector 22 is given to a comparator 32 via an amplifier 31, and in the comparator 32, a reference signal setter 3
The configuration allows comparison with the output reference value of No. 3.

〈第1図の動作説明〉 被検査物20を導管18の端部に取シ付け、導管19に
は漏れのない基準タンク21を取り付けて電磁弁14を
閉状態とし、調圧弁12を開いて圧力計13によって空
圧源11から与えられる空気圧が所定の値となるように
調整する。次に電磁弁16及び17を開状態とし、電磁
弁14を開状態にして設定された一定圧の空気を分岐路
15−1.15−2、導管18.19を通じてそれぞれ
被検査物20及び基準タンク21に供給する。この状態
を第2図Aに示すように加圧又は排気区間とし、その時
間をT1で表わす。
<Explanation of operation in Fig. 1> The object to be inspected 20 is attached to the end of the conduit 18, the leak-free reference tank 21 is attached to the conduit 19, the solenoid valve 14 is closed, and the pressure regulating valve 12 is opened. The air pressure applied from the air pressure source 11 is adjusted by the pressure gauge 13 to a predetermined value. Next, the solenoid valves 16 and 17 are opened, and the solenoid valve 14 is opened to supply air at a set constant pressure to the test object 20 and the reference through the branch path 15-1.15-2 and the conduit 18.19. It is supplied to the tank 21. This state is defined as a pressurization or exhaust period as shown in FIG. 2A, and the time period is represented by T1.

電磁弁16及び17全開にしてから一定時間T1が経過
して被検査物20及び基準タンク21内の圧力が安定し
た後に、電磁弁16及び17を閉状態にする。更に所定
の安定時間T2(この時間T2を平衡期間と称する)後
に差圧検出器22に接続された自動零補正式を増幅器3
1に零補正信号34が与えられ、増幅器31の出力を予
め零の状態に設定すると共に、との零設定時点から一定
時間T1後に増幅器31の出力信号の読取シが行われる
After a certain period of time T1 has elapsed since the electromagnetic valves 16 and 17 were fully opened and the pressure in the test object 20 and the reference tank 21 had stabilized, the electromagnetic valves 16 and 17 were closed. Furthermore, after a predetermined stabilization time T2 (this time T2 is referred to as an equilibrium period), the automatic zero correction formula connected to the differential pressure detector 22 is connected to the amplifier 3.
A zero correction signal 34 is applied to the amplifier 31, and the output of the amplifier 31 is set to zero in advance, and the output signal of the amplifier 31 is read after a certain period of time T1 from the time of zero setting.

零設定時点から読取9合行うまでの時間T3を検測時間
と称する。増幅器31を零点設定したとき、増幅器31
の感度は高感度の状態に切替えられる。
The time T3 from the time of zero setting until nine readings are performed is referred to as a measurement time. When the zero point of the amplifier 31 is set, the amplifier 31
The sensitivity of is switched to a high sensitivity state.

よって増幅器31の出力を読取る状態では差圧検出器2
2の検出信号を大きく拡大して読取るようにしている。
Therefore, in the state where the output of the amplifier 31 is read, the differential pressure detector 2
The second detection signal is greatly enlarged and read.

こ\で電磁弁16.17を開に制御し、圧力を与える期
間T+と、電磁弁16.17を閉じて圧力を安定させる
期間T2と、増幅器31を零設定してから読取りを行う
までの検測時間T8を通して一検測サイクルと称する。
Here, the solenoid valve 16.17 is controlled to open and the pressure is applied for a period T+, the solenoid valve 16.17 is closed and the pressure is stabilized T2, and the time from setting the amplifier 31 to zero until reading is taken. The entire inspection time T8 is referred to as one inspection cycle.

この期間’f1.’f2.’rsの切替はシーケンスコ
ントローラ54によって行われる。
This period'f1. 'f2. 'rs switching is performed by the sequence controller 54.

被検査物20の気密が完全で漏れが存在しない状態では
、増幅器31からの出力信号は一定検測時間において理
想的には零となる。被検査物2゜に漏れが存在すると、
その内部の圧力が正圧の場合はその正圧が漸次減少し、
負圧の場合は圧力が漸次増加する出力信号が得られ、一
定検側時間内の出力信号は負又は正の漏れ量にはソ比例
した値となる。
When the inspection object 20 is completely airtight and there is no leakage, the output signal from the amplifier 31 ideally becomes zero during a certain measurement time. If there is a leak at 2° of the object to be inspected,
If the internal pressure is positive, the positive pressure will gradually decrease,
In the case of negative pressure, an output signal in which the pressure gradually increases is obtained, and the output signal within a certain detection time has a value proportional to the amount of negative or positive leakage.

基準信号設定器33から与えられる基準信号と増幅器3
1の出力信号が比較器32で比較され、出力信号が基準
信号を越えないがどうかにょシ、良品もしくは不良品を
示す良否判定出力35が得られる。
The reference signal given from the reference signal setter 33 and the amplifier 3
The output signals of 1 are compared by a comparator 32, and if the output signal does not exceed the reference signal, a quality determination output 35 is obtained indicating whether the product is good or defective.

〈圧力変化検出式又は差圧検出式漏れ検出装置の問題点
〉 この従来の圧力変化検出式漏れ検査装置においては、基
準タンク21を被検査物2oと全く同一形状で漏れの々
いものを使用しても、被検査物20と基準タンク21と
の温度差、内容量、形状の僅かな変形歪み、付着水分の
差などの因子によって影響を受け、出力信号は理想的に
零の状態になシ得ない。即ち、これらの因子によって被
検査物2゜に全く漏れがなくても、一定検用時間内の出
力信号は理想的な零状態とならず、第2図Bに示すよう
に正又は負の成る漏れ量に匹敵する値△Pを示すのが通
常である。
<Problems with pressure change detection type or differential pressure detection type leak detection device> In this conventional pressure change detection type leak detection device, the reference tank 21 has exactly the same shape as the object 2o to be inspected and is resistant to leakage. However, the output signal ideally remains at zero because it is affected by factors such as the temperature difference between the test object 20 and the reference tank 21, the internal capacity, slight deformation of the shape, and the difference in adhering moisture. I can't get it. In other words, due to these factors, even if there is no leakage at all in the inspected object 2°, the output signal within a certain testing time will not be in the ideal zero state, but will be positive or negative as shown in Figure 2B. It usually shows a value ΔP comparable to the amount of leakage.

これらの因子による誤差が各検測サイクルごとに常に一
定であれば、使用に際して予め補正をすることができる
が、実際には長時間、長期間における雰囲気条件、即ち
周囲温度、湿度、供給空気温度、被検査物20及び基準
タンク21の温度、付着水分などの因子が徐々に変化す
る。
If the errors caused by these factors are always constant for each measurement cycle, they can be corrected in advance during use, but in reality, the atmospheric conditions over a long period of time, i.e., ambient temperature, humidity, supply air temperature, etc. , the temperature of the test object 20 and the reference tank 21, and factors such as attached moisture gradually change.

又、被検査物20の開口部をシールするゴムの変形の発
生などもあシ、これらの因子に基づいて生産工程ライン
を流れる多数の被検食物20を吹矢と漏れ検査する場合
には必ず1日の間又は各日。
In addition, deformation of the rubber that seals the opening of the test object 20 may occur, and based on these factors, when testing a large number of test foods 20 flowing through the production process line with a blowgun, it is necessary to between days or each day.

毎に或は季節的経年的にこれらの因子に基づく誤差が変
化する。
Errors based on these factors change from time to time or seasonally or over the years.

〈従来の漏れ検査装置の欠点〉 従来の圧力変化検出式又は差圧検出式漏れ検査装置にお
いては、時間と共に変化する因子に基づく誤差が存在し
、良否判定のだめの基準信号設定器33の出力基準値を
ひんばんに変更する必要があった。しかしこれは省力化
、自動化を目的とする漏れ検査装置にとっては望ましい
ことでなく、且つこの操作によっては高精度の漏れ検査
の実施は困難であった。
<Disadvantages of conventional leak testing devices> In conventional pressure change detection type or differential pressure detection type leak testing devices, there are errors based on factors that change over time, and the output standard of the reference signal setting device 33 is used for pass/fail judgment. I had to change the values frequently. However, this is not desirable for a leak testing device intended for labor saving and automation, and it has been difficult to perform highly accurate leak testing with this operation.

〈発明の目的〉 この発明は上述の従来の漏れ検査装置における諸難点を
解決し、被検査物自体のばらつきを除いては、所定の期
間内の因子の変化を自動的に袖正し、常に一定の検査精
度を維持することがoJ能な誤差自動補正機能を持つ漏
れ検査装置を提供するものである。
<Purpose of the Invention> The present invention solves the various problems in the conventional leakage testing device described above, automatically corrects for changes in factors within a predetermined period, except for variations in the inspected object itself, and constantly The present invention provides a leakage inspection device having an automatic error correction function capable of maintaining a constant inspection accuracy.

〈発明の概袈〉 この発明によると、被検査物に一定流体圧を印加し、こ
の被検査物の圧力変化を時間的にとらえるか、もしくは
一定流体圧が印加された漏れのない基準タンクとの間の
差圧変化を時間的にとらえて予め設定した基準判定値と
の比較により、被検査物の良否の判定を行う漏れ検査装
置において、良品と判定された被検査物の検測データを
所定数記憶する記憶手段と、この記憶手段で記憶された
検測データの平均値を演算する演算手段と、この演算手
段で得られた平均値を被検査物の検測データに対する補
正値とし、この補正値に基ついて検測データを補正する
データ補正手段と、運転開始の最初の検測サイクルにお
いてだけ予め設定した補正値により補正する初期補正手
段とを設けたものである。
<Summary of the Invention> According to the present invention, a constant fluid pressure is applied to an object to be inspected, and changes in the pressure of this object to be inspected are detected over time, or a leak-free reference tank to which a constant fluid pressure is applied is used. In a leak test device that determines the quality of the inspected object by capturing the change in the differential pressure over time and comparing it with a preset standard judgment value, the inspection data of the inspected object that has been determined to be good is a storage means for storing a predetermined number of measurements, a calculation means for calculating an average value of the inspection data stored in the storage means, and the average value obtained by the calculation means as a correction value for the inspection data of the object to be inspected; The apparatus is provided with a data correction means for correcting the measurement data based on this correction value, and an initial correction means for correcting the measurement data using a preset correction value only in the first measurement cycle at the start of operation.

〈発明の実施例〉 以下この発明の誤差自動補正漏れ検査装置を、その実施
例に基づき図面を使用して耗細に説明する。
<Embodiments of the Invention> The automatic error correction and leakage inspection device of the present invention will be described in detail below based on embodiments using the drawings.

第3図はこの発明の実施例の要部の構成を示す図で、差
圧検出器22の出力端は増幅器31の入力端に接続され
、増幅器31の出力端にはA−D変換器41の入力端が
接続される。これら差圧検出器22と増幅器31とA−
D変換器41によシ検測手段が構成される。このA−D
変換器41の出力端はデータ補正部47を介して出力表
示548及び比較部49の入力端に接続される。
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a main part of an embodiment of the present invention, in which the output terminal of the differential pressure detector 22 is connected to the input terminal of an amplifier 31, and the output terminal of the amplifier 31 is connected to an A-D converter 41. The input end of is connected. These differential pressure detector 22, amplifier 31 and A-
The D converter 41 constitutes a measuring means. This A-D
The output terminal of the converter 41 is connected to the output display 548 and the input terminal of the comparison section 49 via the data correction section 47 .

一方、A−D変換器41の出力は記憶手段42に供給さ
れる。記憶手段42は″誤差上限値設定器42aと、A
−Dg換器41の出力値がこの設定器4.2 aに設定
された誤差上限値へPMより小さいときその出力データ
を通過させA−D変換器41の出力データが誤差上限値
△PMよシ大きいとき、その通過を阻止するゲート手段
42bと、ゲート手段42bを通過したデータだけを記
憶する誤差記憶器42Cとによって構成される。よって
誤差記憶器42Cには設定器4’2aに設定した誤差上
限値△PM、l:、り小さい誤差データだけが記憶され
礫誤差データ記憶器42cに記憶した誤差データはサン
プル数設定器42に設定した個数のデータ分だけ読出さ
れて平均値演算部44に与えられる。
On the other hand, the output of the A-D converter 41 is supplied to the storage means 42. The storage means 42 includes an error upper limit value setter 42a and a
-When the output value of the Dg converter 41 reaches the error upper limit value set in this setting device 4.2a and is smaller than PM, the output data is passed and the output data of the A-D converter 41 is set to the error upper limit value △PM. It is constituted by a gate means 42b that prevents the data from passing when the error is large, and an error storage 42C that stores only the data that has passed through the gate means 42b. Therefore, the error storage unit 42C stores only error data that is smaller than the error upper limit value △PM, l:, set in the setter 4'2a. A set number of data are read out and given to the average value calculation section 44.

平均値演算部44では誤差データ配憶器42Cから与え
られたデータの平均値を算出し、切換スイッチ52を通
じて補正量変換部45に供給される。
The average value calculating section 44 calculates the average value of the data given from the error data storage device 42C, and supplies the average value to the correction amount converting section 45 through the changeover switch 52.

この補正量変換部45は例えば検測時間T3と平均値演
算部44から与えられる平均誤差値△Pとによって補正
量δ=」ト×△Pを演算する。こ\で3 Tは経過時間を示し、T−0からT=T8まで変化する
ものとする。この演算により補正量変換部45から時間
Tの経過に伴って補正量δはδ−0からδ=△Pまで漸
次増加するディジタル符号として得られる。この補正値
δをデータ補正部47に与え、D−A変換器41から出
力される検測データ△Piを補正する。
The correction amount converting section 45 calculates the correction amount δ=''t×ΔP using, for example, the measurement time T3 and the average error value ΔP given from the average value calculation section 44. Here, 3 T indicates the elapsed time, and it is assumed that it changes from T-0 to T=T8. Through this calculation, the correction amount δ is obtained from the correction amount converter 45 as a digital code that gradually increases from δ-0 to δ=ΔP as time T passes. This correction value δ is given to the data correction section 47 to correct the measurement data ΔPi output from the DA converter 41.

この発明においては補正量変換部45の入力側に平均値
演算部44の他に初回補正量設定器53を設け、運転開
始の1回目の検測時だけこの初回補正量設定器53に設
定した補正値により検測データを袖正し、2回目以後は
検測データの平均値を補正値として利用するものである
。平均値はサンプル数設定器43に設定したサンプル数
の平均値とする。つまりサンプル数をNに設定した場合
は、今回の検測データとN個前のサンプル数の平均値を
求めるものである。次の検測サイクルでは先のN個前の
最も古い検測データを除去し、その回の検測データを加
えて平均値を算出する。これは一般に移動平均と呼ばれ
ている。誤差記憶器42Cに記憶される誤差データの数
がN個に達する賛での間はその記憶されたデータの平均
値を算出する。尚54は各部の動作をシーケンス制御す
るコントローラを示す。
In this invention, an initial correction amount setter 53 is provided in addition to the average value calculation section 44 on the input side of the correction amount conversion section 45, and the initial correction amount setting device 53 is set only at the first measurement at the start of operation. The measurement data is corrected using the correction value, and the average value of the measurement data is used as the correction value from the second time onwards. The average value is the average value of the number of samples set in the sample number setting device 43. In other words, when the number of samples is set to N, the average value of the current measurement data and the number of N samples before is calculated. In the next measurement cycle, the oldest N pieces of previous measurement data is removed, and the measurement data from that cycle is added to calculate the average value. This is generally called a moving average. Until the number of error data stored in the error storage device 42C reaches N, the average value of the stored data is calculated. Note that 54 indicates a controller that sequentially controls the operations of each part.

〈発明の動作〉 運転開始時には切替スイッチ52を初回補正量設定器5
3側に切替える。初回補正量設定器53には前日の最終
補正値或はその季節における予め経験的に得られた補正
値を設定する。第4図を用いて補正動作について説明す
る。第4図Aに示すDI 、D2.Ds、・・・・I)
nは各検測サイクルの検測データである。この検測デー
タD1〜onの中で誤差上限値△PMを越える例えばD
lはゲート手段42bによりその通過を阻止され記憶器
42cに記憶しない。第4図Bに示すδ1〜δnは各検
測データD1〜Dnを補正する補正値を示す。
<Operation of the invention> At the start of operation, the selector switch 52 is set to the initial correction amount setter 5.
Switch to side 3. The initial correction amount setter 53 is set with the final correction value of the previous day or a correction value obtained empirically in advance for that season. The correction operation will be explained using FIG. 4. DI shown in FIG. 4A, D2. Ds,...I)
n is the measurement data of each measurement cycle. For example, D exceeding the error upper limit △PM among the measurement data D1~on
1 is prevented from passing through by the gate means 42b and is not stored in the memory 42c. δ1 to δn shown in FIG. 4B indicate correction values for correcting each of the measurement data D1 to Dn.

こ\で初回の補正値δlは初回補正量設定器53から与
えられ、この補正値δlによって検測データD1を補正
することにより、第4図Cに示す補正量データΔP1を
得る。この補正量データp+が良否判定比較部49に与
えられ、良否判定比較部49において良否判定限界設定
器50から与えられる限界値△Psと比較する。補正済
データ△P1が限界値範囲内であれば良信号51が出力
される。補正済データ△P1は良否判定比較部49の他
に表示器48にも与えられ、補正量のデータ値(差圧に
対応した値)を表示する。
Here, the initial correction value δl is given from the initial correction amount setter 53, and by correcting the measurement data D1 using this correction value δl, the correction amount data ΔP1 shown in FIG. 4C is obtained. This correction amount data p+ is given to the pass/fail judgment comparison section 49, where it is compared with the limit value ΔPs given from the pass/fail judgment limit setter 50. If the corrected data ΔP1 is within the limit value range, a good signal 51 is output. The corrected data ΔP1 is also given to a display 48 in addition to the pass/fail judgment comparison section 49, and displays the data value of the correction amount (value corresponding to the differential pressure).

2回目の検測サイクルにおいては、切替スイッチ52が
平均値演算部44側に切替られる。配憶器42cには1
回目の検測データ値D1が2回目の検測データD2の補
正値δ2となシ、3回目の検測データにおいては1回目
の検測データD1と2回目の検測データ値D2が記憶さ
れるから平均値演算部44は検測デー°りD】とD2の
平均値δ3を算出し、この平均値δ8を補正量変換部4
5に供給し、3回目の検測データD3を補正する。補正
量データ△P2が良否限界値△Psよシ小さければ良否
判定比較部49から良信号51が出方される。
In the second measurement cycle, the changeover switch 52 is switched to the average value calculation section 44 side. 1 for the storage device 42c
The first measurement data value D1 is the correction value δ2 of the second measurement data D2, and the first measurement data D1 and the second measurement data value D2 are stored in the third measurement data. Therefore, the average value calculation unit 44 calculates the average value δ3 of the measurement data ΔD] and D2, and converts this average value δ8 into the correction amount conversion unit 4.
5 to correct the third measurement data D3. If the correction amount data ΔP2 is smaller than the pass/fail limit value ΔPs, the pass/fail determination comparison section 49 outputs a pass signal 51.

同様にして検測データD4は検測データD1.D2、D
sの平均値δ4を使用して補正される。この補正の結果
、補正済データ△P4が得られるか△P4が例えば良否
判定限界値△Psを越えたとすれば良否判定比較部49
から不良信号511が出力される。この場合は検測デー
タD4は記憶器42cに取込まない。
Similarly, the measurement data D4 is the measurement data D1. D2, D
It is corrected using the average value δ4 of s. As a result of this correction, is the corrected data △P4 obtained? If △P4 exceeds the pass/fail judgment limit value △Ps, for example, the pass/fail judgment comparison unit 49
A defective signal 511 is output from. In this case, the measurement data D4 is not taken into the memory 42c.

このようにして記憶器42cに記憶されたサンプル数が
サンプリング数設定器43に設定した数Nに達するまで
は順次補正用データ数が増加する。
In this way, the number of correction data increases sequentially until the number of samples stored in the storage device 42c reaches the number N set in the sampling number setting device 43.

サンプリング数がNに達するとその後は平均値の算出に
当ててその回の検測データを加える代シに設定サンプル
数Nだけ前のデータを除いて平均値を算出する。
When the number of samples reaches N, after that, the average value is calculated by excluding the previous data by the set number of samples N instead of adding the measurement data of that time to calculate the average value.

また成る検測サイクルにおける検測データD1が補正量
限界設定器42aに設定された補正量限界値△PMを越
えたときは被検査物以外の異常な漏れがあると判定して
これを記憶器42cに取込捷ないものとする。
When the inspection data D1 in the next inspection cycle exceeds the correction amount limit value △PM set in the correction amount limit setter 42a, it is determined that there is an abnormal leakage other than the object to be inspected, and this is stored in the memory. 42c.

〈発明の効釆〉 上記したようにこの発明によれば初回の検測サイクルだ
け初回補正量設定手段53によって設定した補正値によ
り検測データを補正し、2回目以後は各検測サイクル毎
に得られる誤差値を平均した値を補正値として利用する
ようにしたから、運転の初期から精度の高い試験を行う
ことができる。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the measurement data is corrected by the correction value set by the initial correction amount setting means 53 only in the first measurement cycle, and from the second time onwards, in each measurement cycle. Since the average value of the obtained error values is used as the correction value, highly accurate tests can be performed from the beginning of operation.

また運転中に誤差が僅かずっ変化しても、その誤差は平
均化されて補正値として得ることができるため、運転開
始から高い精度で漏れ検査を行うことができる。
Furthermore, even if the error changes slightly during operation, the error can be averaged and obtained as a correction value, so that leak inspection can be performed with high accuracy from the start of operation.

T また補正量変換部45において五×△Pを演算し、時間
の経過と共に補正値δを漸次増加させるように補正した
ので補正値δとA−D変換器41から出力される検測デ
ータがはy等しい状態で増加するから、補正済データは
どの時点を採っても小さい値にすることができる。よっ
て良否判定限界設定器50に設定する限界値を小さくし
ても検測期間T3において良品の場合は良否限界値△P
sを越えることがない。よって良否限界値△psを小さ
く設定することができ、精度が高い漏れ検査を行うこと
ができる。よってその効果は実用に供して頗る大である
T In addition, the correction amount converter 45 calculates 5×ΔP and corrects the correction value δ so as to gradually increase with the passage of time, so that the correction value δ and the measurement data output from the A-D converter 41 are Since y increases while y is equal, the corrected data can be set to a small value at any point in time. Therefore, even if the limit value set in the pass/fail judgment limit setter 50 is made small, if the product is non-defective during the inspection period T3, the pass/fail limit value △P
It never exceeds s. Therefore, the pass/fail limit value Δps can be set small, and a highly accurate leak test can be performed. Therefore, the effect is extremely great in practical use.

〈発明の他の実施例〉 第5図は第3図に示した各部の構成をマイクロコンピュ
ータによって構成した場合を示す。
<Other Embodiments of the Invention> FIG. 5 shows a case where the configuration of each part shown in FIG. 3 is configured by a microcomputer.

第5図において55はマイクロコンピユータラ示す。こ
のマイクロコンピュータ55は周知のよ・ うに中央処
理装置56と、ROM57と、RAM58と、入力ポー
ト59及び出力ポートロ1とにより構成することができ
る。入力ポート59には差圧検出器22のアナログ検測
データを増幅器31によって増幅し、その増幅出力をA
−D変換器41においてA−D変換したディジタル検測
データが与えられる。中央処理装置56は一定の時間間
隔、例えば10ミリ秒程度の時間間隔でA−D変換器4
1から出力される検測データを取込む。
In FIG. 5, 55 indicates a microcomputer. As is well known, the microcomputer 55 can be composed of a central processing unit 56, a ROM 57, a RAM 58, an input port 59, and an output port 1. The analog measurement data of the differential pressure detector 22 is amplified by the amplifier 31, and the amplified output is connected to the input port 59.
-D converter 41 provides digital measurement data that has been A-D converted. The central processing unit 56 controls the A-D converter 4 at regular time intervals, for example, at time intervals of about 10 milliseconds.
Import the measurement data output from 1.

入力ポート59にばA−D変換器41の他に設定器62
が接続される。設定器62には第3図で説明したように
誤差上限値設定器42aと、平均値を算出するだめのサ
ンプル数設定器43と、良否判定限界設定器50と、初
回補正量設定器53が接続され、これら各設定器42a
、43,50.53に設定した設定値が中央処理装置5
6に取込まれ、RAM58の指定されたアドレスに記憶
される。
In addition to the A-D converter 41, the input port 59 has a setting device 62.
is connected. As explained in FIG. 3, the setting device 62 includes an error upper limit value setting device 42a, a sample number setting device 43 for calculating the average value, a pass/fail judgment limit setting device 50, and an initial correction amount setting device 53. connected to each of these setting devices 42a.
, 43, 50. The setting value set to 53 is the central processing unit 5.
6 and stored at a designated address in the RAM 58.

第6図に第5図に示す実施例の動作順序を説明するフロ
ーチャートを示す。
FIG. 6 shows a flowchart illustrating the operational sequence of the embodiment shown in FIG.

ステップ■では上記したように設定器42a。In step (2), the setting device 42a is used as described above.

4−3 、50 、53の各設定値をRAM58に取込
む動作を行う。ステップ■ではA−D変換値を取込む。
4-3, 50, and 53 are loaded into the RAM 58. In step (2), the A-D conversion value is taken in.

ステップ■でA−D変換値が誤差上限値△PMより小さ
いか否かを判定する。この判定ステップ■は第3図に示
したゲート手段42bに対応し、A−D変換値が誤差上
限値へPMよシ大きい場合はステップ00にジャンプし
不良信号51″を出力する。
In step (2), it is determined whether the A-D conversion value is smaller than the error upper limit value ΔPM. This judgment step (2) corresponds to the gate means 42b shown in FIG. 3, and if the A-D conversion value is larger than the error upper limit value than PM, the process jumps to step 00 and a defect signal 51'' is output.

ステップ■でA−D変換値をRAM48に取込む。In step (2), the A-D conversion value is loaded into the RAM 48.

ステップ■で初回の検測ザイクルか否かを判定する。こ
の判定の結果初回を検測サイクルであればステップ■で
初回補正値を読出す。
In step (2), it is determined whether or not this is the first cycle of inspection. As a result of this determination, if the first time is the inspection cycle, the first correction value is read out in step (3).

ステップ■において初回の検測ザイクルでないものと判
定するとステップ■にジャンプし、検測サイクルの数が
サンプリング数設定器43に設定した数Nよシ大か小か
を判定する。この判定の結果検測サイクルの数がサンプ
リング数設定器43に設定した数Nより小さい場合はス
テップ@でRAM48に取込んだ検測データの平均値を
演算する。
If it is determined in step (2) that the test cycle is not the first one, the process jumps to step (2), where it is determined whether the number of test cycles is larger or smaller than the number N set in the sampling number setting device 43. As a result of this determination, if the number of inspection cycles is smaller than the number N set in the sampling number setter 43, the average value of the inspection data taken into the RAM 48 is calculated in step @.

ステップ■における判定において、検測サイクル数がサ
ンプリング設定器43の設定数Nより大きいときはステ
ップ0において設定数Nに対応する前のデータを除去し
、新しいA−D変換値を加えて平均値を算出する。
In the judgment in step (2), if the number of measurement cycles is greater than the set number N of the sampling setter 43, in step 0, the previous data corresponding to the set number N is removed, a new A-D conversion value is added, and the average value is Calculate.

これらの平均値又は初回補正値△Pを用いてステップの
において上×△Pを演算し、時間と共3 に票次犬となるような補正値δに変換する。従ってこの
ステップ■は第3図に示しだ補正量変換部45に対応す
る。
Using these average values or the initial correction value ΔP, calculate the upper×ΔP in the step, and convert it into a correction value δ that becomes 3 points higher with time. Therefore, this step (2) corresponds to the correction amount converter 45 shown in FIG.

ステップ■で得られた補正値によりステップ■において
A−D変換値を補正する。従ってこのステップ■が第3
図に示したデータ補正部47に対応する。
In step (2), the A-D conversion value is corrected using the correction value obtained in step (2). Therefore, this step ■ is the third
This corresponds to the data correction section 47 shown in the figure.

ステップ■において補正済データが良否判定限界内か否
かを判定し、良否判定限界内であればステップ[相]で
良信号51を出力する。補正済データが良否判定限界を
越える場合はステップリリ(でジャンプし、不良信号5
1°を出力する。
In step (2), it is determined whether the corrected data is within the pass/fail judgment limit, and if it is within the pass/fail judgment limit, a pass signal 51 is output in step [phase]. If the corrected data exceeds the pass/fail judgment limit, jump with step lily() and send the defect signal 5.
Outputs 1°.

以上のシーケンス動作はマイクロコンピュータ55を構
成するROM57に収納したプログラムによって実行さ
れる。
The above sequence operations are executed by a program stored in the ROM 57 constituting the microcomputer 55.

〈発明の更に他の実施例〉 ところで上述では被検査物20に対して基準タンク21
を設け、被検査物20と基準タンク21の圧力差を差圧
検出器22によって検出するようにした場合を説明した
が、第7図に示すように被検食物20に対してだけ加圧
又は排気を行い、被検査物20の圧力変化を基準タンク
との圧力差として検出せずに直接圧力検出器63によっ
て検出し、その圧力変化により被検査物20の漏れを検
出する漏れ検査装置も考えられる。
<Yet another embodiment of the invention> By the way, in the above description, the reference tank 21 is
The case has been described in which the pressure difference between the test object 20 and the reference tank 21 is detected by the differential pressure detector 22, but as shown in FIG. 7, only the test food 20 is pressurized or A leak testing device is also considered in which the pressure change in the test object 20 is directly detected by the pressure detector 63 without being detected as a pressure difference with the reference tank after evacuation is performed, and leakage in the test object 20 is detected based on the pressure change. It will be done.

第7図はこのような漏れ検査装置にこの発明を適用した
場合を示す。第7図において第5図と対応する部分には
同一符号を付し、その重複説明は省略する。
FIG. 7 shows a case where the present invention is applied to such a leak testing device. In FIG. 7, parts corresponding to those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and redundant explanation thereof will be omitted.

以上説明したようにこの発明によれば、運転開始に際し
初回補正値を用意したから、運転開始時点から精度の高
い漏れ検査を行うことができる。
As explained above, according to the present invention, since the initial correction value is prepared at the time of starting operation, highly accurate leakage inspection can be performed from the time of starting operation.

寸だ検111i1サイクルが進んで誤差値が漸次変化し
ても、その変動に追従して補正値が変化するから、時間
の経過に対しても常に精度の高い漏れ検査を行うことが
できる。
Even if the error value gradually changes as the dimension inspection 111i1 cycle progresses, the correction value changes to follow the change, so that leakage inspection can always be performed with high precision even over time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の漏れ検査装置を説明するだめのブロック
図、第2図は第1図の動作を説明するだめの波形図、第
3図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第4図は
第3図の実施例における補正動作を説明するためのブロ
ック図、第5図はこの発明の他の実施例を示すブロック
図、第6図は第5図の動作を説明するだめのフローチャ
ート、第7図はこの発明の他の実施例を示すブロック図
である。 ll:圧力源、20:被検査物、21:基準タンク、2
2:差圧検出器、31:零点補正式増幅器、41:A−
D変換器、42:記憶手段、44:平均値演算部、45
:補正量変換部、47:データ補正部、49:良否判定
比較部、50:良否判定限界設定器、53:初回補正量
設定器。 代理人草野 卓
FIG. 1 is a block diagram for explaining a conventional leakage test device, FIG. 2 is a waveform diagram for explaining the operation of FIG. 1, and FIG. 3 is a block diagram for explaining an embodiment of the present invention. 4 is a block diagram for explaining the correction operation in the embodiment of FIG. 3, FIG. 5 is a block diagram for explaining another embodiment of the invention, and FIG. 6 is a block diagram for explaining the operation of FIG. 5. Flowchart FIG. 7 is a block diagram showing another embodiment of the present invention. ll: Pressure source, 20: Test object, 21: Reference tank, 2
2: Differential pressure detector, 31: Zero point correction amplifier, 41: A-
D converter, 42: Storage means, 44: Average value calculation unit, 45
: correction amount converter, 47: data correction section, 49: pass/fail judgment comparison section, 50: pass/fail judgment limit setter, 53: initial correction amount setter. Agent Takashi Kusano

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)A、  被検査物に一定流体圧を印加し、この被
検査物の内部又は外部の圧力の変化を計測して検測デー
タを得る検測手段と、 B、この検測手段から得られる検測データの適正範囲内
の検測テークを所定個数分記憶する記憶手段と、 C0この記憶手段に記憶された1個以上所定数までの検
測データの平均値を逐次算出して誤差補正値を得る平均
値演算手段と、 D、この演算手段で得られた誤差補正値により上記検測
手段から得られる検測データを補正するデータ補正手段
と、 E、このデータ補正手段で補正した補正済検測データと
良否判定限界値とを比較し、被検査物の良否を判定する
良否判定手段と、 F。運転の最初の検測サイクルにおいてだけ予め設定し
た誤差補正値を上記データ補正手段に与え、初回の検測
サイクルの検測データを補正する初回補正値設定手段と
、 から成る圧力変化検出式漏れ検査装置。
(1) A. An inspection means that applies a constant fluid pressure to the object to be inspected and measures changes in pressure inside or outside the object to obtain inspection data, and B. Obtains data from this inspection means. a storage means for storing a predetermined number of test takes within an appropriate range of the test data to be measured; D. Data correction means for correcting the measurement data obtained from the measurement means using the error correction value obtained by this calculation means; E. Correction corrected by this data correction means. F. a pass/fail judgment means for comparing the completed inspection data and a pass/fail judgment limit value to judge the pass/fail of the inspected object; a pressure change detection type leak test comprising: initial correction value setting means for correcting the test data of the first test cycle by giving a preset error correction value to the data correction means only in the first test cycle of operation; Device.
JP4186983A 1983-03-14 1983-03-14 Pressure variation detecting type leakage inspecting device Granted JPS59166835A (en)

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JPH0157299B2 JPH0157299B2 (en) 1989-12-05

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004219253A (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Mitsubishi Rayon Co Ltd Leak inspection method for water purifying cartridge

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004219253A (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Mitsubishi Rayon Co Ltd Leak inspection method for water purifying cartridge

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