JPS59143043U - レテイクルアライメント装置 - Google Patents

レテイクルアライメント装置

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Publication number
JPS59143043U
JPS59143043U JP3551483U JP3551483U JPS59143043U JP S59143043 U JPS59143043 U JP S59143043U JP 3551483 U JP3551483 U JP 3551483U JP 3551483 U JP3551483 U JP 3551483U JP S59143043 U JPS59143043 U JP S59143043U
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JP
Japan
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reticle
alignment device
reticle alignment
light source
mark
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Pending
Application number
JP3551483U
Other languages
English (en)
Inventor
仙石　正行
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Publication of JPS59143043U publication Critical patent/JPS59143043U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレティクルアラメン！・装置の正面図、
第２図は本考案の一実施例によるレティクルアライメン
ト装置の正面図である。 １・・・アライメント微動機構、２・・・レティクル、
３・・・照明光源部、４・・・対物レンズ部、５・・・
接眼レンズ部、６・・・光学顕微鏡、７・・・ベース、
８・・・ハーフミラ−０

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レティクルのアライメントマークを照明する照明光源部
    と、レティクル位置決め基準線と、レティクル位置観察
    顕微鏡と、レティクル位置微動調整機構を有するレティ
    クルアライメント装置において、レティクルのアライメ
    ントマークを、レティクル下部より照明し、その反射光
    をレティクル下部より、光学顕微鏡により観察可能とし
    、レティクル上に照明光源部及び光学顕微鏡を有するこ
    となく、レティクルマークを基準位置にアライメントで
    きることを特徴とするレティクルアライメント装置。
JP3551483U 1983-03-14 1983-03-14 レテイクルアライメント装置 Pending JPS59143043U (ja)

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JP3551483U JPS59143043U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 レテイクルアライメント装置

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JP3551483U JPS59143043U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 レテイクルアライメント装置

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JPS59143043U true JPS59143043U (ja) 1984-09-25

Family

ID=30166212

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JP3551483U Pending JPS59143043U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 レテイクルアライメント装置

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